KR200227339Y1 - 반도체 측정장비 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 측정장비에 관한 것으로, 단일장비에서 프로우브 카드의 교환없이 다수의 소자측정이 용이하도록 프로우브 팀의 간격 조절이 가능하도록 한 프로우브 카드에 관한 것이다.

본 고안은 다수개의 탐침이 중앙부분에 형성된 구멍에 지지선이 끼워져 일렬로 배열되어 상기 지지선을 따라 이동이 가능하도록 된 다수개의 팁 지지핀내에 각각 고정되고 상기 다수개의 팁 지지핀 및 지지선이 중앙부분에 사각형의 구멍이 형성된 프로우브 카드 보드내의 상기 사각형의 구멍의 서로 마주 보는 변상에 각각 고정된 구조로 된 반도체 측정장비를 제공한다.

Description

반도체 측정장비

제1도는 종래의 프로우브 카드 구조도.

제2도는 본 고안에 의한 프로우브 카드 구조도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 프로우브 카드 보드 12 : Al라인

13 : 탐침 14 : 절연체

15 : 팁 지지핀 16 : 동선

17 : 연선 18 : 지지선 공정용 핀

19 : 홈 20 : 프로우브 카드 지지링

본 고안은 반도체 측정장비에 관한 것으로, 단일장비에서 프로우브 카드(probe card)의 교환없이 다수의 소자측정이 용이하도록 프로우브 팁(tip)의 스페이스 조절이 가능하도록 한 프로우브 카드에 관한 것이다.

종래의 프로우브 카드는 제1(a)도에 도시된 바와 같이 프로우브 스테이션(probe station)의 마더보드(mother board)(1)가 장착되는 프로우브 카드내의 프로우브 팁(3)은 제1(b)도에 도시된 바와 같이 소자의 패드와 패드(pad-to-pad)간의 간격에 따라 테프론 링(tefron ring)(4)을 통해 프로우브 카드내에 고정되며, 납땜을 통해 프로우브 카드의 A1배선(2)에 연결된다.

그러나 상기 종래의 프로우브 카드는 프로우브 카드내의 팁간의 간격이 패드간의 간격에 따라 고정되어 있기 때문에 패드간의 간격이 다른 소자에는 사용할 수 없는 문제점이 있다.

상기 문제를 해결하기 위한 본 고안의 프로우브 카드는 다수개의 탐침이 중앙부분에 형성된 구멍에 지지선이 끼워져 일렬로 배열되어 상기 지지선을 따라 이동이 가능하도록 된 다수개의 팁 지지핀내에 각각 고정되어, 상기 다수개의 팁 지지핀 및 지지선이 중앙부분에 사각형의 구멍이 형성된 프로우브 카드 보드내의 상기 사각형의 구멍이 서로 마주보는 변상에 각각 고정된 구조로 되어있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.

제2도에 본 고안에 의한 프로우브 카드의 구조를 도시하였다.

제2(a)도는 본 고안에 의한 프로우브 카드의 평면구조도이고, 제2(b)도는 제2(a)도의 'A'부분의 확대이며, 제2(c)도는 제2(b)도의 B-B'선에 따른 단면 구조도이고, 제2(d)도는 제2(a)도의 단면구조도이다.

본 고안에 의한 프로우브 카드는 다수개의 탐침(13)이 제2(b)도에 도시된 바와 같이 다수기의 팁 지지핀(Tip support pin)(15)내에 각각 고정되어 있고, 이 팁 지지핀(15)내에는 지지선인 동선(16)이 끼워질 수 있도록 중앙부분에 구멍이 형성되어 있으며, 다수개의 팁 지지핀(15)의 구멍에 하나의 동선(16)이 끼워져 다수개의 팁 지지핀(15)이 일렬로 배열되며, 팀 지지핀(15)이 동선(16)을 따라 상, 하로 이등이 가능하도륵 되어 있다. 상기 팁 지지핀(15)은 완성 후 형태변형이 일어나지 않는 절연물질로 형성하며, 상기 지지선인 동선(16)은 절연 또는 비절연체로 형태변형이 없는 물질로 형성한다.

상기 동선(16) 끼워진 다수개의 팁 지지핀(15)은 예컨대, 테프론으로 된 사각형의 절연체(14)상에 장착되는데, 이 절연체(14)에는 제2(c)도에 도시된 바와 같이 팁 지지핀(15)의 이동이 용이하도록 홈(19)이 형성되어 있다.

상기 동선(16)의 양 끝단은 지지선 고정용 핀(18)에 의해 상기 절연체(14)에 고정되어 있다.

상기와 같이 팁 지지핀(15) 및 지지선(16) 및 탐침(13)이 장착된 절연체(14)는 제2(a)도에 도시된 바와 같이 중앙부분에 사각형의 구멍(30)이 형성된 프로우브 카드 보드(11)내의 사각형의 구멍(30)이 서로 마주 보는 변상에 각각 고정되며, 제2(d)도에 도시된 바와 같이 연선(17)에 의해 Al라인(12)에 연결되어 있다.

상기 프로우브 카드 보드(11)는 제2(d)도에 도시된 바와 같이 프로우브 카드 지지링(support ring)(20)과 프로우버 마더보드(도시되지 않음) 사이에 장착된다.

상기와 같이 구성되는 본 고안의 프로우브 카드는 소자의 패드간의 간격에 따라 탐침(13)이 연결된 팁 지지핀(15)을 이동시켜 팁 간격을 조절할 수 있게 된다.

이상과 같이 본 고안은 이동이 가능하도록 형성한 팁 지지핀을 이용함으로써 팁과 팁 사이의 간격 조절을 가능하게 할 수 있으므로 패드간의 간격이 다른 소자를 단일 장비에서 프로우브 카드를 교환하지 않고 용이하게 측정할 수 있게 된다.

Claims (4)

1. 다수개의 탐침이 중앙부분에 형성된 구멍에 지지선이 끼워져 일렬로 배열되어 상기 지지선을 따라 이동이 가능하도록 된 다수개의 팁 지지핀내에 각각 고정되고, 상기 다수개의 팁 지지핀 및 지지선이 중앙부분에 사각형의 구멍이 형성된 프로우브 카드 보드내의 상기 사각형의 구멍의 서로 마주 보는 변상에 각각 고정되며, 상기 다수개의 팁 지지핀은 사각형의 절연체에 형성된 홈에 장착된 구조로 된 것을 특징으로 하는 반도체 측정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 팁 지지핀은 형태변형이 일어나지 않는 절연물질로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 측정장비.
3. 제1항에 있어서, 상기 지지선은 절연 또는 비절연체로 형태변형이 없는 물질로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 측정장비.
4. 제1항에 있어서, 상기 지지선의 양 끝단은 지지선 고정용 핀에 의해 상기 절연체에 고정됨을 특징으로 하는 반도체 측정장비.