WO2009113183A1

WO2009113183A1 - マルチチッププロ－バ

Info

Publication number: WO2009113183A1
Application number: PCT/JP2008/054840
Authority: WO
Inventors: 八木慎一郎; 田子一弘
Original assignee: 株式会社東京精密
Priority date: 2008-03-11
Filing date: 2008-03-11
Publication date: 2009-09-17

Abstract

分離した状態で検査を行うチップを高効率で検査できるマルチチッププローバが開示されており、分離された複数チップ14を保持するステージ26と、２個以上の所定数のチップの電極15に同時に接触する複数のニードル33,33A,33Eを有するニードルヘッド31と、ステージに保持された複数チップの電極の位置を検出する電極位置検出機構29と、各ニードルの位置を調整する複数のニードル位置調整機構36B-36Hと、を備え、複数のニードル位置調整機構により、検出した複数チップの電極の位置に対応するように、複数のニードルの位置を調整して、複数のニードルを複数チップの電極に同時に接触する。

Description

マルチチッププロ一バ

技術分野

本発明は、ウェハ上に形成された後ダイサーゃスクライバーなどによって分離された状態で検査を行う必要のある複数のデバイス（明

チップ）の電気的な検查を行うマルチチッププローバに関し、特にトランジスタやダイオードなどの小型のチップで 1枚のウェハに非常に多数形成されるチップの検査を行書うマルチチッププロ一バに関する。

背景技術

半導体製造工程などでは、薄い円板状のウェハに各種の処理を施してウェハに複数のデバイス（チップ）を形成した後、各デバイスの電気的特性が検査され、その後ダイサ一で切り離なされた後、リ — ドフレームなどに固定されて組み立てられる。上記の電気的特性の検査は、プローバとテス夕で構成されるウェハテストシステムにより行われる。プローバは、ウェハをウェハ載置台に保持し、各デバイスの電極にプローブを接触させる。テス夕は、プローブに接続される端子から、電源および各種の試験信号を供給し、デバイスの電極に出力される信号をテス夕で解析して正常に動作するかを確認する。

デバイスには M P Uゃ大容量メモリなどの高集積度のデバイスだけでなく、トランジスタやダイオードなどの簡単な構成のデバイスもある。このような簡単な構成のデバイスは、例えば 0 . 2〜 0 . 5 m m角の小型のデバイスであるが、高耐圧 · 高出力のパワーデバイスであることが多く、ウェハに形成された状態では正確な検査を行うことができず、ダイサーゃスクライバーなどによってウェハを切断して、個別のチップに分離した状態で検査が行われる。

L E Dも正確な検査を行うには、個別のチップに分離した状態で検査を行う必要があり、チップの電極にニードルを接触させて動作させ、その時の電気特性と共に出力光の特性を検査する必要がある。以下、 L E Dを例として説明を行うが、本発明のマルチチッププローバは、 L E Dに限定されるものではなく、個別のチップに分離した状態で検査を行う必要があるチップの検査に使用可能である。上記のように L E Dチップは、例えば 0 . 3 m m角の微小なチップであり、直径が約 5 0 m mのウェハに数万個が形成される。チップは非常に高精度のピッチでウェハに形成されているので、分離する前であれば、通常のウェハプローバを使用して多数のチップの電極に多数組のニードルを接触させ、時分割で順次動作させることにより、多数のチップを効率よく検査することが可能である。

ウェハからのチップの分離は、図 1 Aから図 1 Cに示すように、穴を有する平板状のフレーム 1 1の裏面に貼り付けた粘着テープ 1 2にウェハ 1 3 を貼り付け、ダイサ一によりウェハ 1 3に溝を形成した後、スクライバーなどによってウェハを切断して個別のチップ 1 4に分離することにより行われる。各チップ 1 4は分離しても粘着テープ 1 2 に貼り付けられているが、その位置は変化して規則正しく配列された状態でなくなる。

図 2は、この分離後のチップ 1 4の配列具合の例を示す図である。各チップ 1 4は位置や方向がずれる。参照番号 1 5は、チップの電極を示す。検査を行う場合には、ニードルを電極 1 5に接触させて通電することによりチップ 1 4を動作させる。

図 2に示すように、分離後のチップ 1 4は配列位置がずれ、電極 1 5の位置もずれるため、所定の位置に配置された多数のニードルを有する従来のプローバを使用したのでは、ニードルを正確に電極に接触させることができず、多数のチップを時分割で順次動作させて検査することができない。そこで、従来は、抵抗、トランジスタ、ダイオードなどを 1個ずつ検査して特性ごとに分離するチップセレク夕と呼ばれる装置に、光検出器を設けて検査を行っていた。特許文献 1 ：特開平 1 1 一 1 8 3 5 2 3号公報

発明の開示

しかし、チップセレクタはチップを 1個ずつ検査ステージに保持して二一ドルをチップの電極に接触させるため、チップ 1個の検査に要する時間が長いという問題があった。検査に要する時間のうち、チップを動作させてその電気特性及び光特性を検出するのに要する時間は比較的短く、チップをセッ卜してニードルをチップの電極に接触させるのに要する時間が大きな割合を占めている。

検査時間が長くなると、その分生産性が低下してコスト増の要因となる。

検査時間を短縮するため、抜き取り検査を行うことが考えられるが、高品質の L E Dについては全数検査が必須であり、検査に要する時間に起因するコストの低減が望まれている。

本発明は、このような問題を解決することを目的とし、分離して検査を行う必要のあるチップを効率よく検査できるマルチチッププローバの実現を目的とする。

上記目的を実現するため、本発明のマルチチッププロ一バは、複数のチップの電極に同時に接触する複数のニードルの位置をそれぞれ調整可能にして、たとえ分離されてチップ及び電極の位置がずれても、ニードル位置調整機構によりずれた電極の位置に合わせて各ニードルの位置を調整することにより、複数のチップの電極に正確に二一ドルが接触するようにする。

すなわち、本発明のマルチチッププローバは、分離された複数チップを保持するステージと、 2個以上の所定数の前記チップの電極に同時に接触する複数のニードルを有するニードルヘッドと、前記ステージに保持された前記複数チップの電極の位置を検出する電極位置検出機構と、各ニードルの位置を調整する複数のニードル位置調整機構と、を備え、前記複数のニードル位置調整機構により、検出した前記複数チップの電極の位置に対応するように、前記複数のニードルの位置を調整して、前記複数のニードルを前記複数チップの電極に同時に接触することを特徴とする。 .

電極位置検出機構は、従来のプローバに設けられたァライメント機構のハードウェアがそのまま使用可能であり、画像処理ボードでチップ及び電極を認識して、電極の位置、更に必要に応じて 2個の電極を結ぶ（仮想）線の傾き 0を検出するソフトウェアを備える。

各ニードル位置調整機構は、対応するニードルを少なくともステージ表面に平行な平面内の 2軸方向に移動する。ステージ表面に垂直な方向のチップの電極位置のずれは小さい上、ニードルは弾性があり、この方向の電極位置のずれが小さければ正しく接触させることができるので、一般にはニードルをステージ表面に垂直な方向に移動させる必要はないが、正確な接触圧が必要である場合などは、各ニードル位置調整機構は対応するニードルをステージ表面に垂直な方向に移動するように構成する。これにより、すべてのニードルの位置関係を、分離したチップの電極の位置関係に合致させることが可能である。

また、各チップは分離されることにより位置及び方向がずれるが、各チップ内の電極の位置関係は変化しない。そこで、各チップごとの複数の電極に接触する複数のニードルの組を一緒に移動するチップ別位置調整機構を複数備え、チップ別位置調整機構は、対応する二一ドルの組を少なくともステージ表面に平行な平面内で回転する回転機構と、対応するニードルの組を移動する平行移動機構と、を有するように構成する。これにより、すべてのニードルの位置関係を、分離したチップの電極の位置関係に合致させることが可能であると共に、上記のニードルごとにニードル位置調整機構を設ける構成に比べて、移動軸を 1軸低減できる。

複数チップのステージ上への搬送などのために、従来とプローバと同様に、ステージとニードルヘッドの相対的な位置を変化させる

3次元移動機構を備えることが望ましい。

この 3次元移動機構を使用する場合、 3次元移動機構により複数チップの位置がずれないとした場合に電極がニードルに接触する位置に移動し、各ニードルを対応する電極の位置ずれに合わせて移動させることも可能であるが、 3次元移動機構により 1個の基準電極と対応する基準ニードルの位置が合うように移動を行い、基準電極と基準ニードル以外の他の電極とニードルの位置関係は、各ニードル位置調整機構で合わせるようにする。これにより、基準ニードルにはニードル位置調整機構を設ける必要がなくなる。

また、上記のチップ別位置調整機構を設ける構成に 3次元移動機構を設ける場合も同様であり、 3次元移動機構により複数チップの位置がずれないとした場合に電極がニードルに接触する位置に移動し、各ニードルを対応する電極の位置ずれに合わせて移動させることも可能であるが、 3次元移動機構により 1個の基準電極と対応する基準ニードルの位置が合うように移動を行い、基準電極を有するチップ以外の他のチップの電極とニードルの位置関係は、各チップ別位置調整機構で合わせるようにする。また、基準電極を有するチップの基準電極以外の電極と対応するニードルとの位置は、回転機構により回転成分を合わせれば一致するので、基準電極を有するチップのチップ別位置調整機構は、平行移動機構を設ける必要がなくなる。

複数チップは、図 1 Aから図 1 Cに示したように、フレームに貼り付けられた粘着テープに貼り付けられた状態でステージに保持するようにしてもよい。この場合、ステージは、粘着テープの面が接触するように保持する。保持された粘着テープ及びチップは位置が変化しないので、電極位置検出機構は、粘着テープに貼り付けられたすベての複数のチップの電極の位置を検出する。ニードルヘッドは、粘着テープに貼り付けられた複数のチップのうちの所定数、例えば 4個のチップの電極に同時に接触する複数のニードルを有する。この所定数は多いほど望ましいが、その分ニードルの本数及び二一ドル位置調整機構の個数を増加させる必要があり、プロ一バが大型化してコス卜が増加する。

複数の二一ドルが同時に接触する所定数のチップは、隣接して配列されたチップでもよいが、配列されたチップのうち所定のチップ間隔で選択されたチップであってもよい。これにより、二一ドル位置調整機構を設ける空間を広くすることが可能である。この場合、ニードルが接触したチップの検査が終了すると、間のチップにニードルが接触するように順次移動して検査を行う。

また、図 1 Aから図 1 Cに示したフレーム及び粘着テープを使用せずに、ステージが複数チップを独立して保持するようにしてもよい。

チップが L E Dなどの発光素子である場合、発光素子の出力する光特性を検出する光検出器を備え、複数のニードルが同時に接触する複数チップを時分割で順次動作させて発光させ、光検出器の出力を時分割で順次検出する。

この場合、動作させるチップの位置に合わせて、光検出器の位置を調整する光検出器位置調整記憶を備え.るようにしてもよい。

本発明によれば、複数のチップの電極に同時にニードルを接触させることが可能になるので、検査時間を短縮してコストを低減することができる。図面の簡単な説明

図 1 Aから図 1 Cは、本発明のマルチチッププローバで検査されるチップの供給形態の一例であり、フレームの貼り付けた粘着テープに分離したチップが貼り付けられた状態を示す図である。

図 2は、分離したチップの配列状態の例を説明する図である。図 3は、本発明の第 1実施例のマルチチッププローバの概略構成を示す図である。

図 4 Aおよび図 4 Bは、第 1実施例のニードルへッドと光検出ュニッ卜の部分の構成を示す図である。

図 5 Aおよび図 5 Bは、同時にニードルを接触させるチップの配列例を示す図である。

図 6は、第 1実施例における検査動作を示すフローチャートである。

図 7 Aおよび図 7 Bは、同時にニードルを接触させるチップの配列の変形例を示す図である。

図 8 Aおよび図 8 Bは、電極の接触するニードルの本数の変形例を示す図である。

図 9は、本発明の第 2実施例における位置合わせの原理を説明する図である。

図 1 0は、第 2実施例におけるプローブ移動機構の概略構成を示す図である。

図 1 1は、分離したチップのステージ上の保持形態の変形例を示す図である。発明を実施するための最良の形態

図 3は、本発明の第 1実施例のマルチチッププローバの全体構成を示す図である。図 3に示すように、第 1実施例のマルチチッププローバは、基台 2 1 と、基台 2 1 に設けられた移動ベース 2 2 と、移動ベース 2 2上を X軸方向（図に垂直な方向）に移動する X移動台 2 3 と、 X移動台 2 3上を Y軸方向（図の水平方向）に移動する Y移動台 2 4と、 Y移動台 2 4に設けられた Z軸移動（図の上下方向） · θ回転機構 2 5 と、 Ζ軸移動 · 0回転機構 2 5に支持されたステージ 2 6 と、支柱 2 7 と、上板 2 8 と、ァライメント顕微鏡 2 9 と、二一ドルヘッド 3 1 と、光検出ユニット 4 0 と、を備える。なお、図示していないが、コンピュータで構成され、全体の制御を行う制御部を有する。上記の機構により、ステージ 2 6は、 X、 Υ 、 Ζ軸の 3軸方向と、 Ζ軸に垂直な面内で回転可能である。ステ一ジ 2 6上には、図 1 Aから図 1 Cに示したフレーム 1 1 と粘着テープ 1 2 とウェハ 1 3の分離されたチップ 1 4で構成される被検査物 2 0が載置されて固定される。分離されたチップ 1 4の電極の位置を検出する時には、ステージ 2 6をァライメント顕微鏡 2 9の下に移動し、全チップを走査して画像処理により電極の位置を検出して記憶される。ニードルヘッド 3 1 と光検出ュニ.ット 4 0を除く構成は、従来のウェハプローバと同じ構成であり、これ以上の説明は省略する。

図 4 Αおよび図 4 Βは、ニードルへッド 3 1 と光検出ュニット 4 0の部分の構成を示す図であり、図 4 Αは側面図であり、図 4 Βは上面図である。光検出ユニット 4 0は、検査するチップの直上に配置され、チヅプ（ここでは L E D ) が出力する光量を検出する光パヮーメ一夕 4 1 と、光パワーメータ 4 1の支持部 4 2 と、支持部 4 2を移動する光パワーメータ移動機構 4 3 と、先端が検査するチップの近傍に伸びた光ファイバ 4 4と、光ファイバ 4 4を保持して光ファイバ 4 4に入射した光の波長を検出するためのモノクロメータ (図示せず）に中継する中継ユニット 4 5 と、中継ユニット 4 5を支持する支持部 4 6 と、支持部 4 6 を移動するファイバ移動機構 4 7 と、を有する。図 4 Bに示すように、光検出ユニット 4 0は円形部から、ファイバ移動機構 4 7 を収容する部分が突出した形状を有する。光パワーメータ移動機構 4 3 とファイバ移動機構 4 7は、公知の移動機構で実現でき、ピエゾ素子のような高速の動作が可能な素子を用いた移動機構であることが望ましい。しかし、駆動ネジとモ一夕を組み合わせたような移動機構を使用してもよい。光パワーメータ移動機構 4 3 とファイバ移動機構 4 7は、後述するように、異なるチップを検查する時に移動する必要のない場合には、設ける必要はない。

ニードルヘッド 3 1は、光検出ユニット 4 0の周囲に配置される形状を有し、 1個のニードルユニット 3 6 Aと、 7個のニードル位置調整機構 3 6 B〜 3 6 Hと、を有する。ニードルユニット 3 6 A は、基準ニードル 3 3 Aをニードルへッド 3 1 に固定するュニットである。ニードル位置調整機構 3 6 Eは、ニードル 3 3 Eと、ニードル 3 3 Eを保持するニードル保持ュニッ卜 3 4 Eと、ニードル保持ュニット 3 4 Eが取り付けられる移動ュニット 3 5 Eと、移動ュニット 3 5 Eを移動させる移動機構 3 6 Eと、を有する。移動機構 3 6 Eは、二一ドル 3 3 Eをステージ 2 6の載置面に平行な面内の 2軸方向、例えば、 X軸方向と Y軸方向に移動させることが可能である。ニードル位置調整機構も、公知の移動機構で実現でき、ピエゾ素子のような高速の動作が可能な素子を用いた移動機構であることが望ましいが、駆動ネジとモータを組み合わせたような移動機構を使用してもよい。

他の二一ドル位置調整機構 3 6 B〜 3 6 D、 3 6 F〜 3 6 Hも同様の構成を有する。図示のように、このような 7個のニードル位置調整機構 3 6 B〜 3 6 Pが光検出ュニット 4 0の周囲に放射状に配置される。ニードルユニット 3 6 Aは位置調整機構を有さないので、配置のためのスペースは小さくてよく、例えば、光検出ユニット 4 0の突出部とニードル位置調整機構 3 6 Bの間に配置される。ステージ 2 6の載置面に垂直な方向のチップの電極位置のずれは小さい上、ニードルは弾性があり、この方向の電極位置のずれが小さければ正しく接触させることができるので、ニードル位置調整機構はニードルをステージ表面に垂直な方向に移動させないが、正確な接触圧が必要である場合などは、各ニードル位置調整機構は対応するニードルをステージ表面に垂直な方向に移動するように構成してもよい。

以上の構成により、すべての二一ドルの位置関係を、分離したチップの電極の位置関係に合致させることが可能である。

図 5 Aおよび図 5 Bは、同時に二一ドルを接触させるチップ 1 4 の配置を示す図であり、図 5 Aは 1列に隣接して配置された 4個のチップ 1 4の電極 1 5にニードルが同時に接触する例を、図 5 Bは 2行 2列に隣接して配置された 4個のチップ 1 4の電極 1 5にニードルが同時に接触する例を示す。図 5 Aおよび図 5 Bにおいて、参照符号 Rは、図 4 Bに示した基準ニードル 3 3 Aが接触する基準電極を示す。同時にニードルを接触させるチップ 1 4の組を、ここでは測定単位と称することとする。図 6は、第 1実施例の検査動作を示すフローチャートである。ステップ 1 0 1では、図 1 Aから図 1 Cに示したような分割されたチップがテープに貼り付けられたフレームをステージ 2 6上に搬送して保持する。この状態でチップの位置が変化することはないとする。

ステップ 1 0 2では、ァライメント顕微鏡 2 9などを含むァライメント機構で全チップの電極位置を検出して記憶する。

ステップ 1 0 3では、測定単位ごとに、基準電極とそれ以外の電極の位置関係を算出する。この位置関係は、電極のずれがない時を基準にして、それからのずれとして算出される。この処理は図示していない制御部が行う。

ステップ 1 0 4では、ニードル位置調整機構 3 6 B〜 3 6 Hが、測定単位の基準ニードル以外のニードルの位置を、それぞれステツプ 1 0 3で算出した位置関係に基づいて移動する。これにより 8本のニードルは、 4個のチップの 8個の電極の位置に対応した位置関係になる。

ステップ 1 0 5では、基準電極が基準ニードルに接触するように、ステージ 2 6 を移動する。この時、基準電極が基準ニードルの直下に位置するように移動した後、ステージを上昇させて（ Z軸方向に移動して）電極が二一ドルに接触するように移動させる。

ステップ 1 0 6では、測定単位内の 4個のチップのうち、検査するチップの位置に合わせて、光パワーメータ 4 1 とファイバ 4 4の位置を移動する。なお、測定単位内におけるチップの位置の差が小さく、光パワーメ一夕 4 1 とファイバ 4 4の検出値に影響しない場合には、このステップ 1 0 6を行う必要はなく、光パワーメータ移動機構 4 3 とフアイバ移動機構 4 7 を設ける必要もない。

ステップ 1 0 7では、ニードルから電気信号を印加して、電気特性及び光特性を検出する検査を行う。

ステップ 1 0 8では、測定単位内の全チップの検査が終了したかを判定し、終了していなければステップ 1 0 6.に戻り、測定単位内の全チップの検査が終了するまでステップ 1 0 6から 1 0 8までを繰り返す。従って、ステップ 1 0 6 を行う必要がない時には、測定単位内の全チップを時分割で順次動作させて検査を行うことになるステップ 1 0 9では、ステージ上の全チップの検査が終了したかを判定し、終了していなければステップ 1 0 4に戻り、ステージ上の全チップの検査が終了するまでステップ 1 0 4から 1 0 9までを繰り返す。

いずれにしろ、上記の動作においては、プローブを電極に接触させる 1 回の動作で、 4個のチップの検査が行えるので、測定効率を向上させることができる。

第 1実施例では、基準電極に対応する基準プローブのプローブ移動機構は設けずに、基準電極が基準プローブに接触するようにステージを移動したが、すなわち移動ベース 2 2 と X移動台 2 3 と Y移動台 2 4と、 Z軸移動 · Θ回転機構 2 5で構成される 3次元移動機構によりステージを移動することで基準電極が基準プローブの接触を実現したが、例えば、基準プローブにもプローブ移動機構を設けて移動可能にし、 3次元移動機構によるステージの移動はチップの位置ずれがないとした場合の標準位置に移動するようにし、各電極の標準位置からの位置ずれに応じて各プローブ移動機構の移動量を制御するようにしてもよい。

また、第 1実施例では、図 5 Αおよび図 5 Βに示すように隣接して配置された 4個のチップの検査を行ったが、図 7 Aおよび図 7 B に示すように、配列されたチップ 1 4のうち所定のチップ間隔で選択したチップ 1 4 Sの電極に同時にニードルを接触させるようにしてもよい。図 7 Aは図 5 Aに対応し、 1列に配置されたチップ 1 4 のうちから 4個に 1個のピッチでニードルを接触させるチップ 1 4 Sを選択した例を示す。図 7 Bは、図 5 Bに対応し、 4行 4列に配置されたチップ 1 4のうちからそれぞれの方向で 2個に 1個のピッチで二一ドルを接触させるチップ 1 4 Sを選択した例を示す。図 7 Aおよび図 7 Bに示すようにニードルを接触させるチップを選択することにより、ニードル位置調整機構を設ける空間を広くすることが可能である。なお、図 7 Aおよび図 7 Bの場合、ニードルが接触したチップの検査が終了すると、検査済みチップの間のチップに二一ドルが接触するように順次移動して検査を行う。

チップ 1 4の電極に接触する二一ドル 3 3は、図 8 Aに示すように、 1本の場合もあるが、大電流を流す必要がある場合などには、図 8 Bに示すように、複数本の二一ドル 3 3が電極 1 5に接触するようにしてもよい。

第 1実施例では、基準ニードル以外の各ニードルごとにニードル移動機構を設け、各二一ドルの位置を独立して移動できるようにした。しかし、各チップの 2個の電極の位置関係（間隔）は、露光装置により露光された高精度のパターンに基づいて決定されるので、一定である。第 2実施例では、この特性を利用してニードル移動機構の構成を簡単にする。

図 9は、本発明の第 2実施例のマルチチッププローバの位置合わせの原理を説明する図である。チップ 1 4が、位置ずれしていないチップ 1 4 ' の位置から図示のように回転 0を伴ってずれたとする。これに応じて、電極 1 .5の位置もずれ、一方の電極はずれのない時の中心位置 C〇から中心位置 C 1 にべクトル Pだけずれたとする。ずれのない状態のチップ 1 4 ' を、 0回転して、一方の電極の中心位置をベクトル Pだけずらすと、チップ 1 4に重なり合う。すなわち、 2個の電極 1 5に接触する 2本のニードルの相互位置を維持したまま、 0回転してベクトル Pだけ平行移動すると、 2本のニードルをずれた電極に接触させることができる。

図 9では、回転 Θ と 2軸の平行移動の合計 3軸の移動で、ずれた 2個の電極にニードルを接触させることができる。これに対して、第 1実施例では、 2個の電極に対してそれぞれ 2軸の移動が必要であり、合計 4軸の移動が必要である。言い換えれば、図 9の移動では 1軸分の移動を低減することが可能である。

図 1 0は、図 9の移動を実現するチップ別位置調整機構の概略構成を説明する図である。チップ別位置調整機構は、図 1 0に示すように、 2本のニードル 3 3 Aと 3 3 Bは、先端間の距離が 1チップの 2個の電極間の距離に対応するように回転台 5 1 に固定されている。回転台 5 1 は、 X軸移動台 5 2 に対して回転可能に支持されている。 X軸移動台 5 2は、 Y軸移動台 5 3に対して X軸方向に移動可能に支持されている。 Y軸移動台 5 3は、ベース台 5 4に対して Y軸方向に移動可能に支持されている。図 1 0のチップ別位置調整機構は、公知の移動機構で実現でき、ピエゾ素子のような高速の動作が可能な素子を用いた移動機構であることが望ましい。

また、第 2実施例においてもステージ 2 6 を移動する 3次元移動機構を利用して、 1個のチップについては図 9のベクトル Pに対応する平行移動を行うことが可能であるので、 1個のチップ別位置調整機構は回転のみ可能であればよい。

第 1実施例では、フレームの貼り付けた粘着テープに分離したチップが貼り付けられた形でステージに保持されたが、図 1 1 に示すように、.ステージ 2 6に真空吸着機構の吸気口を複数個設けて、複数のチップ 1 4を同時に固定できるようにしてもよい。この場合も、複数のチップ 1 4の位置や回転を精密に設定することは難しいので、複数のチップ 1 4の電極に接触するニードルの位置を移動するニードル位置移動機構を設けて、ニードルの位置をチップ 1 4の電極の位置に合わせた後、ニードルを電極に接触させる。

図 1 1のようにチップを保持する場合、保持する複数のチップを真空吸着などで保持してステージ上まで同時に搬送し、検査の終了した複数のチップは同時にステージ外に搬送するような搬送機構を設けるようにする。これにより、チップの効率的な検査が可能である。

以上本発明の実施例を説明したが、本発明は、説明した実施例に限定されず、各種の変形例が可能であるのはいうまでもない。例えば、実施例では、 L E Dの検査を例として説明したが、本発明は、抵抗、トランジスタ、 I Cなど他のデバイスの検査にも適用できるまた、実施例では、 4個のチップの 8個の電極に同時にプローブを接触させる例を説明したが、 2個以上のチップであれば、特に個数は限定されない。産業上の利用可能性

本発明は、ウェハから分離した状態で検査する必要のあるデバィスであれば、どのようなデバイスの検査にも適用できる。

Claims

請求の範囲

1 . 分離された複数チップを保持するステージと、

2個以上の所定数の前記チップの電極に同時に接触する複数の二一ドルを有するニードルヘッドと、

前記ステージに保持された前記複数チップの電極の位置を検出する電極位置検出機構と、

各ニードルの位置を調整する複数の二一ドル位置調整機構と、を備え、

前記複数のニードル位置調整機構により、検出した前記複数チップの電極の位置に対応するように、前記複数の二一ドルの位置を調整して、前記複数のニードルを前記複数チップの電極に同時に接触することを特徴とするマルチチッププローバ。

2 . 各ニードル位置調整機構は、対応するニードルを少なくとも前記ステージ表面に平行な平面内の 2軸方向に移動する請求項 1 に記載のマルチチッププローバ。

3 . 前記複数のニードル位置調整機構は、各チップごとの複数の電極に接触する複数のニードルの組を一緒に移動するチップ別位置調整機構を複数備え、

前記チップ別位置調整機構は、対応する前記ニードルの組を少なくとも前記ステージ表面に平行な平面内で回転する回転機構と、対応する前記ニードルの組を移動する平行移動機構と、を有する請求項 1 に記載のマルチチッププロ一バ。

4 . 前記ステージと前記ニードルヘッドの相対的な位置を変化させる 3次元移動機構を備える請求項 1 に記載のマルチチッププロ一バ。

5 . 前記ステージと前記ニードルヘッドの相対的な位置を変化させる 3次元移動機構を備え、

前記複数のニードル位置調整機構は、 1本の基準ニードル以外のニードルごとに設けられ、他のニードルの前記基準ニードルに対する相対的な位置が調整可能であり、

前記 3次元移動機構により前記基準ニードルが対応する電極に接触するように移動し、前記複数のニードル位置調整機構により他のニードルを対応する電極に接触するように移動する請求項 2 に記載のマルチチッププロ一バ。

6 . 前記ステージと前記ニードルへッドの相対的な位置を変化させる 3次元移動機構を備え、

基準チップに対応する前記チップ別位置調整機構は、前記回転機構のみを備え、

前記 3次元移動機構及び前記基準チップの前記チップ別位置調整機構により、前記基準チップの電極が対応する二一ドルに接触するように移動し、前記複数のチップ別位置調整機構により他のチップの電極に対応するニードルが接触するように移動する請求項 3 に記載のマルチチッププローバ。

7 . 前記複数チップはフレームに貼り付けられた粘着テープに貼り付けられ、

前記ステージは、前記粘着テープの面が接触するように保持し、前記電極位置検出機構は、前記粘着テープに貼り付けられた複数のチップの電極の位置を検出し、

前記ニードルヘッドは、前記粘着テープに貼り付けられた複数のチップのうちの所定数の前記チップの電極に同時に接触する複数のニードルを有する請求項 1 に記載のマルチチッププローバ。

8 . 複数のニードルが同時に接触する前記所定数のチップは、隣接して配列されたチップである請求項 1 に記載のマルチチッププローバ。

9 . 複数の二一ドルが同時に接触する前記所定数のチップは、配列されたチップのうち所定のチップ間隔で選択されたチップである請求項 1 に記載のマルチチッププローバ。

1 0 . 前記ステージは、前記複数チップを独立して保持し、前記電極位置検出機構は、前記複数のチップの電極の位置を検出し、

前記ニードルヘッドは、前記複数のチップの電極に同時に接触する複数のニードルを有する請求項 1 に記載のマルチチッププロ一バ

1 1 . 前記チップは、発光素子であり、

前記発光素子の出力する光特性を検出する光検出器を備え、前記複数のニードルが同時に接触する前記複数チップを時分割で順次動作させて発光させ、前記光検出器の出力を時分割で順次検出する請求項 1 に記載のマルチチッププローバ。

1 2 . 動作させるチップの位置に合わせて、前記光検出器の位置を調整する光検出器位置調整機構を備える請求項 1 1 に記載のマルチチッププロ一バ。