JPH01109082A - 研磨フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精密
機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研磨
フィルムに関するものである。

従来の技術 この種の研磨フィルムとしては、従来、プラスチックフ
ィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連続
あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあり
、その研磨材として、電融アルミナを粉砕して得られた
アルミナ砥粒（ＷＡ）を用いるものがあった。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の粉砕アルミナ砥粒を研磨材として用い
た研磨フィルムでは、その表面仕上げ性能の点で問題が
あった。すなわち、研磨材として粒度の小さい粉砕アル
ミナ砥粒を用いれば、表面仕上げ性能を高めることはで
きるのであるが、研削力がそれだけ低下してしまう。こ
のように、従来の粉砕アルミナ砥粒を用いた研磨フィル
ムでは、研削力を退化させずに、表面仕上げ性能を所望
値まで高めることは困難であった。

本発明の目的は、このような従来の問題点を解消しうる
研磨フィルムを提供することである。

問題点を解決するための手段 本発明による研磨フィルムは、フィルム基体上に、板状
アルミナ粉をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨層
を形成したことを特徴とする。

実施例 次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例について、
本発明をより詳細に説明する。

′！Ｊ１図は、本発明の一実施例として研磨フィルムの
一部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは
、プラスチックフィルムｌの上に、バインダー樹脂３中
に板状アルミナ砥粒２を分散させてなる研磨層を連続的
に形成したものである。

第２図は、本発明の別の実施例としての研磨フィルムの
一部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは
、裏面に粘着剤層４および離型紙５を有したプラスチッ
クフィルム１の表面上に、バインダー樹脂３中に板状ア
ルミナ砥粒２を分散させてなる研磨層を連続的に形成し
たものである。

第３図は、本発明のさらに別の実施例としての研磨フィ
ルムの一部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィ
ルムは、研磨層が不連続または島状に形成されている以
外は、第１図の実施例と同隨である。第４図は、本発明
のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部を示す
断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、研磨層が
不連続または島状である以外は、第２図の実施例と同様
である。また、これら研磨フィ、ルムは、テープシート
、ディスク状等任意の形に加工して使用できるものであ
る。

前述したような本発明の研磨フィルムにおいて、板状ア
ルミナ砥粒として使用するのに適したものとしては、例
えば、板状アルミナＰＷＡシリーズ（不二見研磨材株式
会社１Ｋ）　、ＴＳ−ＭＩＣＲＯシリーズ（ロンザ株式
会社）等がある。この場合において、実験によれば、使
用する板状アルミナ砥粒の粒径は、０．１μｍ〜１００
μｍの範囲が適当であり、最も望ましい粒径としては、
０．５μｍ〜３０μｍである。

また、バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂および熱
可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液硬
化型ウレタン、１液硬化型ウレタンｉｔ脂、エポキシ・
ポリアミド樹脂、不飽和ポリエステル附指等、１００℃
以下で反応（高分子化＝硬化）するものが適している。

熱可塑性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹
脂、セルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂
等が使用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラス
トマー、ニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム
、エチレン酢ビゴム、フッ素ゴム等も使用できる。

フィルム基体であるプラスチックフィルムとしては、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネ
イトおよびそれらを表面処理したもの、その地合成紙、
不織布等を使用することができる。

また、実験によれば、使用する板状アルミナ砥粒の研磨
層中における砥粒濃度は、１０％〜９０％の範囲が適当
である。

次に、本発明の具体的実験例について説明する。

具体的実験例（１） この実験例は、本発明による研廖フィルムを試作実験す
るため、研磨層のバインダー樹脂として熱硬化型樹脂を
１吏用した場合の例であり、先ず、次の表１に示すよう
な組成の塗工剤を準備する。

表　　１ 但し、数随は、重量部を示し、ＰＷＡ−９は、粒径ｄｓ
ｏ　　＝９．５μｍのものである。

表１の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーター、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、１０μｍ〜１００μｍの厚さに塗布し、溶剤を
乾燥後、６０ｔ’で４８時間硬化して研磨シートを製造
した。その研磨シートを用いて圧力１４０ｇ／ｃａｔ、
回転数２０Ｏｒｐｍ、ワーク回転数１２５ｒｐｍで、ア
ルミを研磨し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面粗
さおよび体債を測定した。

比較実験例（１） 一方、前述した本発明による具体的実験例（１）の研磨
フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較し
うる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表２に示
すような組成の塗工剤を準備し、具体的実験例（１）と
同様に塗布し、具体的実験例（１）と同一の研磨および
評価を行った。

表　　２ 但し、数値は、重量部を示し、ＷＡ　ｌ　５００は、粒
径（１８０”９．９μｍのものである。

具体的実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間対
表面粗さの関係を示すと、第５図の曲線への如くなり、
比較実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間対表
面粗さの関係を示すと、第５図の曲線Ｂの如くなった。

また、具体的実験例（１〕における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ａの如
くなり、比較実験例（１）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ｂの如
くなった。

これらの曲線を比較すると明らかなように、本発明によ
って研磨材として板状アルミナ砥粒を使用することによ
り、従来の如く粉砕アルミナ砥粒を用いる場合より、研
削力をほぼ同等に保ちつつ、表面粗さを小さくすること
ができる。

具体的実験例（２） この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験す
るため、研磨層のバインダー樹脂として熱可塑性樹脂を
使用した場合の例であり、先ず、次の表３に示すような
組成の塗工剤を準備する。

表　　３ 但し、数値は、重量部を示し、Ｐ　’ｖＶ　Ａ　−９は
、粒径ｄ、。　＝９．５μｍのものである。

表３の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーター、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、１０μｍ〜１００μｍの厚さに塗布し、溶剤を
乾燥後、６０℃で４８時間硬化して研磨シートを製造し
た。その研磨シートを用いて圧力１４０ｇ／ｃｆｆＩ、
回転数２０Ｏｒｐｍ、ワーク回転数１２５ｒｐｍで、ア
ルミを研磨し、一定時間毎に研磨された子ルミの表面粗
さおよび体積を測定した。

比較実験例（２） 一方、前述した本発明による具体的実験例（２）の研磨
フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較し
つる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表４に示
すような組成の塗工剤を準備し具体的実験例（２）と同
様に塗布し、具体的実験例（２）と同一の研磨および評
価を行った。

表　　４ 但し、数値は、重量部を示し、ＷＡ１５００は、粒径ｄ
、。　＝９．９μｍのものである。

具体的実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間対
表面粗さの関係を示すと、第７図の曲線Ａの如くなり、
比較実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間対表
面粗さの関係を示すと、第７図の曲線Ｂの如くなった。

また、具体的実験例（２）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線Ａの如
くなり、比較実験例（２）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線Ｂの如
くなった。

これらの曲線を比較すると明らかなように、本発明によ
って研磨材として板状アルミナ砥粒を使用することによ
り、従来の如く粉砕アルミナ砥粒を用いる場合より、研
削力をほぼ同等°に保ちつつ、表面粗さを小さくするこ
とができる。

その他の具体的実験例を次の表５および６にまとめて示
し、それにそれぞれ対応する比較実験例を同じＮＯｏに
てまとめて示す。実験条件は、実験例（１）と同じであ
る。

表　　５ 表　　６ 但し、表５および６において、Ａは、アルミ、Ｂは、ポ
リメチルメタクリレート、Ｃは、アルミナを示し、Ｄは
、ＰＷＡ−９を示し、Ｅは、ＶＡＧＨ（ＵＣ（４製　塩
ビ、酢ビ、ビニルアルコール・トリポリマー）＝１００
、Ｃ−Ｌ　　（日本ポリウレタン工業製　コロネー）Ｌ
）＝１２．５を示し、Ｆは、Ｎ２３０４＝１００を示し
ており、Ｇは、’ｖＶＡ１５００を示している。

発明の効果 前述の説明から明らかなように、本発明による板状アル
ミナ粉を研磨材として使用した研磨フィルムは、同じ粒
径の粉砕アルミナ粉を研磨材として使用する従来の研磨
フィルムに比較して、同等の研削性を有し、且つ研削後
の仕上り表面粗さを小さいものとすることができる。従
って、本発明の研磨フィルムは、高精密研磨に適し、高
能率で表面粗さの小さい研削を行うことができ、また、
寿命が長いので、研磨フィルムの使用量を減らすことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例としての研磨フィルムの一
部分を示す断面図、第２図は、本発明の別の実施例とし
ての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第３図は、本
発明のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部分
を示す断面図、第４図は、本発明のさらに別の実施例と
しての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第５図は、
本発明の一実施例の研磨フィルムと・従来の研磨フィル
ムとの仕上げ表面粗さ特性を比較して示す図、第６図は
、本発明の一実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィル
ムとの研削力を比較して示す図、第７図は、本発明の別
の実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの仕上
げ表面粗さ特性を比較して示す図、第８図は、本発明の
別の実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの研
削力を比較して示す図である。 ■・・・・・・プラスチックフィルム、２・・・・・・
板状アルミナ砥粒、３・・・・・・バインダー樹脂。 第１図　　　　　第２図 第３図　　　　　　第４０図 び開時間　（分） 第６図 研磨時間　（分） 研磨時ｒｉｌ（分） 研磨時間　（分）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルム基体上に、板状アルミナ粉をバインダー
   樹脂中に分散させてなる研磨層を形成したことを特徴と
   する研磨フィルム。
2. （２）前記バインダー樹脂は、熱硬化性である特許請求
   の範囲第（１）項記載の研磨フィルム。
3. （３）前記バインダー樹脂は、熱可塑性である特許請求
   の範囲第（１）項記載の研磨フィルム。
4. （４）前記研磨層における前記板状アルミナ粉の濃度は
   、１０％から９０％の範囲である特許請求の範囲第（１
   ）項または第（２）項または第（３）項記載の研磨フィ
   ルム。