JPS62224579A - 研磨テ−プ - Google Patents
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- JPS62224579A JPS62224579A JP6817686A JP6817686A JPS62224579A JP S62224579 A JPS62224579 A JP S62224579A JP 6817686 A JP6817686 A JP 6817686A JP 6817686 A JP6817686 A JP 6817686A JP S62224579 A JPS62224579 A JP S62224579A
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は磁気ヘッド等の研磨に用いる研磨テープに関し
、特に仕上げ研磨用の研磨テープに関するものである。
、特に仕上げ研磨用の研磨テープに関するものである。
(従来技術)
磁気ヘッド等を研磨する研磨テープは粒状の研磨剤を含
有する研磨層を研磨面上を店動させて研磨する方法がと
られる。
有する研磨層を研磨面上を店動させて研磨する方法がと
られる。
ビデオ用あるいは高級オーディA用磁気ヘッド等はテー
プ摺動面の平滑性がとくに要求されるため一般に磁気ヘ
ッドを製作する際には、1IJI磨デープによる粗研磨
の後、精密研磨が必要とされる。
プ摺動面の平滑性がとくに要求されるため一般に磁気ヘ
ッドを製作する際には、1IJI磨デープによる粗研磨
の後、精密研磨が必要とされる。
製作初期段階である11 ?il?磨においては、モー
ス硬度9.5程度の硬い研磨剤である炭化ケイ素や、モ
ースlii!度9程度の硬い研磨剤である酸化アルミニ
ウム等が適しているが、仕上げ研磨にはモース硬度8.
5程度の酸化クロム等を研磨剤として使用するのが適し
ている。磁気ヘッドの埃の除去等を目的とするクリーニ
ング用の研磨テープには、これにより柔かい−し一ス硬
度5.5Pi!度の酸化鉄等が使用されるが、これはr
i11F!!能力が低いため仕上げ研磨用の研磨テープ
には不適当である。しかし前記のような硬い研磨剤に、
圧接された磁気ヘッド等の被研磨面は傷がつきゃすく、
また粒状の研磨剤を含イコ゛づる研磨層表面は、研磨剤
が不規則に突出しているため、゛非常に粗く研磨面に無
数の傷をつける原因と/にっていた。このよう/7粒状
の研磨剤は、1ift磨時、r+JI IF!r Fi
から脱粒する可能性も高く、脱粒した粒がrtlf磨面
ど、研磨テープとの間に介在し、研磨面の1麻の原因と
もなっている。磁気ヘッド等はヘッド表面の精密性が必
要とされるためこのような研磨は好ましくない。
ス硬度9.5程度の硬い研磨剤である炭化ケイ素や、モ
ースlii!度9程度の硬い研磨剤である酸化アルミニ
ウム等が適しているが、仕上げ研磨にはモース硬度8.
5程度の酸化クロム等を研磨剤として使用するのが適し
ている。磁気ヘッドの埃の除去等を目的とするクリーニ
ング用の研磨テープには、これにより柔かい−し一ス硬
度5.5Pi!度の酸化鉄等が使用されるが、これはr
i11F!!能力が低いため仕上げ研磨用の研磨テープ
には不適当である。しかし前記のような硬い研磨剤に、
圧接された磁気ヘッド等の被研磨面は傷がつきゃすく、
また粒状の研磨剤を含イコ゛づる研磨層表面は、研磨剤
が不規則に突出しているため、゛非常に粗く研磨面に無
数の傷をつける原因と/にっていた。このよう/7粒状
の研磨剤は、1ift磨時、r+JI IF!r Fi
から脱粒する可能性も高く、脱粒した粒がrtlf磨面
ど、研磨テープとの間に介在し、研磨面の1麻の原因と
もなっている。磁気ヘッド等はヘッド表面の精密性が必
要とされるためこのような研磨は好ましくない。
また可撓性の支持体上に研磨層を形成するため、til
l磨層に粒状の研磨剤を含有させると、カールしやりい
。このような、研磨テープのカールは、研磨面、rIJ
′lK而となじみにくく精密研磨に不都合であった。
l磨層に粒状の研磨剤を含有させると、カールしやりい
。このような、研磨テープのカールは、研磨面、rIJ
′lK而となじみにくく精密研磨に不都合であった。
(発明の目的)
本発明は上述のような問題に鑑み、研磨間を落とりこと
なく研磨面を傷つ(プることなく、精密研磨が可能な研
磨テープの提供を目的とするものである。
なく研磨面を傷つ(プることなく、精密研磨が可能な研
磨テープの提供を目的とするものである。
(発明の構成)
本発明の研磨テープは、六角板状のrI11磨剤を研磨
層に含有することを特徴とする。
層に含有することを特徴とする。
前記研磨剤は、モース硬度8.5の酸化クロム(Cr2
03)が使用される。この酸化クロムの製法としては、
重り[1ム酸カリを原料とする熱分解法、クロム酸ソー
ダを原料とする塩素化後ばい焼法などが知られている。
03)が使用される。この酸化クロムの製法としては、
重り[1ム酸カリを原料とする熱分解法、クロム酸ソー
ダを原料とする塩素化後ばい焼法などが知られている。
この酸化クロムは、粒、状とけず六角板状に形成し結合
剤等に混練させ研磨層として可撓性支持体−[に塗設づ
る。その際研磨剤が板状であるため、支持体面に平行に
配向され、粒状の研磨剤を含有さVた場合に比べ、研磨
層の表面性がなめらかになり、高いモース硬度の酸化ク
ロムを研磨剤として使用しても被研磨面のm付きを防出
することができる。
剤等に混練させ研磨層として可撓性支持体−[に塗設づ
る。その際研磨剤が板状であるため、支持体面に平行に
配向され、粒状の研磨剤を含有さVた場合に比べ、研磨
層の表面性がなめらかになり、高いモース硬度の酸化ク
ロムを研磨剤として使用しても被研磨面のm付きを防出
することができる。
なお、前記研磨層表面は0.01〜0.20の表面粗さ
に形成するのが好ましい。
に形成するのが好ましい。
面記研磨−テープは、いわゆるテープ形状のもののほか
、広くディスク形状あるいはシート形状のものも含むも
のとする。
、広くディスク形状あるいはシート形状のものも含むも
のとする。
(実施態様)
以下、本発明の実施態様について詳細に説明する。
本発明の実施態様による研磨テープ1は、第1図に示す
ように可撓性を有する支持体2と、この支持体2上に形
成された研磨層3から構成されている。研磨層3は、六
角板状に形成されているため、支持体に平行に配向可能
な研磨剤3Aが、結合剤等と混練されて形成される。
ように可撓性を有する支持体2と、この支持体2上に形
成された研磨層3から構成されている。研磨層3は、六
角板状に形成されているため、支持体に平行に配向可能
な研磨剤3Aが、結合剤等と混練されて形成される。
磁気ヘッド4のテープ摺動面をrtll磨する際は、例
えば第2図に示すように、磁気ヘッド4を挾む2つの位
置に配されたリール(図示されていない)の一方から他
方へこの研磨テープ1を矢印へ方向に定速で走行させガ
イドロール5.5により送られて、磁気ヘッド4に研磨
層3が1M動される。このとき研磨層3表面のrA磨剤
3Δににす、磁気ヘッド4のテープ摺動面が平滑に研磨
される。
えば第2図に示すように、磁気ヘッド4を挾む2つの位
置に配されたリール(図示されていない)の一方から他
方へこの研磨テープ1を矢印へ方向に定速で走行させガ
イドロール5.5により送られて、磁気ヘッド4に研磨
層3が1M動される。このとき研磨層3表面のrA磨剤
3Δににす、磁気ヘッド4のテープ摺動面が平滑に研磨
される。
また、ハードディスク等を研磨する方法の一例は第3図
、第4図に示すようにハードディスク14等の被研磨物
を中央にはさみ、2つのゴムローラ1s、 15により
2本の研磨テープ1.1の研磨層3をハードディスク1
4の両面に押圧し、研磨テープ′1を定速で矢印B方向
に摺動させ、前記ハードディスク14を矢印C方向に回
転させて研磨する方法がある。この方法によれば表裏を
なす被研磨面が同時に研磨される。
、第4図に示すようにハードディスク14等の被研磨物
を中央にはさみ、2つのゴムローラ1s、 15により
2本の研磨テープ1.1の研磨層3をハードディスク1
4の両面に押圧し、研磨テープ′1を定速で矢印B方向
に摺動させ、前記ハードディスク14を矢印C方向に回
転させて研磨する方法がある。この方法によれば表裏を
なす被研磨面が同時に研磨される。
またフロッピーディスク用ヘッド4等の研磨を研磨ディ
スクにより行なう場合は、第5図に示すように鋳鉄製の
定盤6のにに研磨ディスク21を設置し、この上方から
被研磨物であるフロッピーディスク用ヘッド4等を圧接
さぜ回転研磨する方法がとられる。
スクにより行なう場合は、第5図に示すように鋳鉄製の
定盤6のにに研磨ディスク21を設置し、この上方から
被研磨物であるフロッピーディスク用ヘッド4等を圧接
さぜ回転研磨する方法がとられる。
これらの方法は、いずれも研磨w43と被研磨面との接
触時、研磨テープを1習vノさせもしくは回転さLるこ
とにより研磨するものであるが第2図は磁気ヘッド4を
遊動可能な研磨テープ1に押しつ番プるため、強い接触
は避Cノられるが第3図および第4図はゴムローラ15
により研磨テープ1がフロッピーディスク14に矢印り
方向圧接されるため。
触時、研磨テープを1習vノさせもしくは回転さLるこ
とにより研磨するものであるが第2図は磁気ヘッド4を
遊動可能な研磨テープ1に押しつ番プるため、強い接触
は避Cノられるが第3図および第4図はゴムローラ15
により研磨テープ1がフロッピーディスク14に矢印り
方向圧接されるため。
第2図に示す研磨方法にくらべ接触に力が加わる。
また、第5図に示す研磨方法は研磨ディスク21が鋳鉄
製の定盤6の上に設置されているため、磁気ヘッド4は
さらに強い力で、研磨ディスク21に圧接されているも
のである。
製の定盤6の上に設置されているため、磁気ヘッド4は
さらに強い力で、研磨ディスク21に圧接されているも
のである。
従って、このように、強い力で研磨層3と被研磨面が圧
接される場合でも被rtll 1面が傷つくことなく研
磨されることが可能と<【るよう^な記研磨テープ1お
よび研磨ディスク21には、六角板状をなす酸化クロム
が研磨剤3として含有される必要がある。この酸化クロ
ムは、モース硬麻8.5と硬めで仕上げ用研磨に適する
。サイズは、六角表面の直径を0.1〜10ミクロン、
好よくは0.3〜3ミクロン、厚さ0,01〜1ミクロ
ン好ましくは0.03〜0.3ミクロンに形成する。ま
た厚さは六角表面のり(Yの10分の1程度とするのが
好ましい。
接される場合でも被rtll 1面が傷つくことなく研
磨されることが可能と<【るよう^な記研磨テープ1お
よび研磨ディスク21には、六角板状をなす酸化クロム
が研磨剤3として含有される必要がある。この酸化クロ
ムは、モース硬麻8.5と硬めで仕上げ用研磨に適する
。サイズは、六角表面の直径を0.1〜10ミクロン、
好よくは0.3〜3ミクロン、厚さ0,01〜1ミクロ
ン好ましくは0.03〜0.3ミクロンに形成する。ま
た厚さは六角表面のり(Yの10分の1程度とするのが
好ましい。
前記1iI′I磨剤を分散させてri11磨層3互層3
させるため、分散性の高い結合剤が好ましく、また研磨
テープ1がどのような状況下にあっても磁気ヘッド4と
の十分なr、’+滑性を維持して走行安定性を良好に保
つように潤括剤等を添加剤を研磨層3に含有させるのが
好ましい。
させるため、分散性の高い結合剤が好ましく、また研磨
テープ1がどのような状況下にあっても磁気ヘッド4と
の十分なr、’+滑性を維持して走行安定性を良好に保
つように潤括剤等を添加剤を研磨層3に含有させるのが
好ましい。
また、前述した非磁性支持体2としては、例えばポリエ
チレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン−2,
6−ナフタレートが使用される。。
チレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン−2,
6−ナフタレートが使用される。。
さらに、研磨層3の厚みは、磁気ヘッド4の形状、材質
に6よるが、この厚みがミツぎると磁気ヘッド4と研磨
テープの接触が悪くなるので50μm以下にブるのが好
ましい。
に6よるが、この厚みがミツぎると磁気ヘッド4と研磨
テープの接触が悪くなるので50μm以下にブるのが好
ましい。
つぎに実施例を挙げてざらに詳細に説明する。
実 施 例
以下の組成でボールミルを使用し、分散した液を7ミク
ロン厚のポリエステルフィルム上に3ミクロン厚に塗布
した。その後1/2吋にスリットして、研磨テープとな
した。なお、以下の説明において部はリベて固形分重量
をあられす。
ロン厚のポリエステルフィルム上に3ミクロン厚に塗布
した。その後1/2吋にスリットして、研磨テープとな
した。なお、以下の説明において部はリベて固形分重量
をあられす。
(実 施 例)
組成
・Cr2O3(六角板状) ・・・・・・30
0部(ナイス2.0μux 2.0μ乳×0.2ミクロ
ン)・塩化ビニル−酢酸ビニル 一ビニルアルコール共重合体 ・・・・・・ 60部
・シリコーン油 ・・・・・・0
.3部・メチルエチルケトン ・・・・・
・150 PJI・酢酸0−ブチル
・・・・・・3007!JS(比較例1) 実施例に、13いて、rtli @剤を変更して、他は
同様の方法で研磨テープを作成した。
0部(ナイス2.0μux 2.0μ乳×0.2ミクロ
ン)・塩化ビニル−酢酸ビニル 一ビニルアルコール共重合体 ・・・・・・ 60部
・シリコーン油 ・・・・・・0
.3部・メチルエチルケトン ・・・・・
・150 PJI・酢酸0−ブチル
・・・・・・3007!JS(比較例1) 実施例に、13いて、rtli @剤を変更して、他は
同様の方法で研磨テープを作成した。
相 或
・Cr203(粒状) ・・・・・・3
00部(サイズ2.0ミクロン) ・塩化ビニル−FII酸ビニル 一ビニルアルコールJt重合体 ・・・・・・ 60
部・シリコーン油 ・・・・・・
0.3部・メチルエチルケトン ・・・・
・・150部ゝ酢Mn−ブチル 19
.、、.300部(比較例2) 実施例において、研磨剤を変更して、研磨テープを作成
した。
00部(サイズ2.0ミクロン) ・塩化ビニル−FII酸ビニル 一ビニルアルコールJt重合体 ・・・・・・ 60
部・シリコーン油 ・・・・・・
0.3部・メチルエチルケトン ・・・・
・・150部ゝ酢Mn−ブチル 19
.、、.300部(比較例2) 実施例において、研磨剤を変更して、研磨テープを作成
した。
組 成
・Cr2O3(粒状) ・・・・・・3
00部(サイズ0.2ミクロン) ・塩化ビニル−酢酸ビニル 一ビニルアルコール共重合体 ・・・・・・ 60部
・シリコーン油 ・・・・・・0
.3部・メチルエチルケトン ・・・・・
・150部・酢win−ブチル ・・
・・・・300部以上の実施例と比較例1.2の各研磨
テープについてヘッド研削時間、研削後におけるヘッド
表面傷の状@Jjよびヘッド4!7 *を調べ、その結
果を第1表に示す。
00部(サイズ0.2ミクロン) ・塩化ビニル−酢酸ビニル 一ビニルアルコール共重合体 ・・・・・・ 60部
・シリコーン油 ・・・・・・0
.3部・メチルエチルケトン ・・・・・
・150部・酢win−ブチル ・・
・・・・300部以上の実施例と比較例1.2の各研磨
テープについてヘッド研削時間、研削後におけるヘッド
表面傷の状@Jjよびヘッド4!7 *を調べ、その結
果を第1表に示す。
第1表
上記第1表において、ヘッド研削rH間はフェライトヘ
ッド1μmを研削するのに必要な時間である。またヘッ
ド表面の傷は研削後の磁気ヘッドのギャップ面を顕微鏡
で見て確認された幅2 tt m以上の傷の本数/ 0
.5m+である。また、前記衣の備考欄のヘッド表面汚
れとは、研磨層から脱落した研磨粒子を主とする脱落粉
である。
ッド1μmを研削するのに必要な時間である。またヘッ
ド表面の傷は研削後の磁気ヘッドのギャップ面を顕微鏡
で見て確認された幅2 tt m以上の傷の本数/ 0
.5m+である。また、前記衣の備考欄のヘッド表面汚
れとは、研磨層から脱落した研磨粒子を主とする脱落粉
である。
また研磨層表面粗さとは、Ra (中心線平均粗さ)
がcut o[lfj 0.8m、触副半径2μTrL
R触針スピード0.3m / SeCの条件で測定した
とき、このときの測定値が、0.01〜0.20がよい
。また好ましくは、0.03〜0.15更に好ましくは
0.05〜0.10である。表面平滑度は値が小なる程
増す。
がcut o[lfj 0.8m、触副半径2μTrL
R触針スピード0.3m / SeCの条件で測定した
とき、このときの測定値が、0.01〜0.20がよい
。また好ましくは、0.03〜0.15更に好ましくは
0.05〜0.10である。表面平滑度は値が小なる程
増す。
前記衣かられかるように研磨剤Cr20aを六角板状に
形成することにより研磨層表面の粗さが減少し研@層表
面の(口が防止され、01磨mが増加し、さらに、研磨
層表面が平面化したため研磨テープのカールがなくなり
ヘッド周辺の汚れがなくなっていることから、研磨剤の
脱粒が少なくなっていることがわかる。
形成することにより研磨層表面の粗さが減少し研@層表
面の(口が防止され、01磨mが増加し、さらに、研磨
層表面が平面化したため研磨テープのカールがなくなり
ヘッド周辺の汚れがなくなっていることから、研磨剤の
脱粒が少なくなっていることがわかる。
<R明の効果)
本発明による研磨テープは、六角板状の酸化クロムを研
磨剤として研磨層に含イテさせたことによりrJl磨層
内層内六角板状の研磨剤が支持体表面に平行に配合され
る。このためrlI′Im Fiの表面性が研磨剤のl
1ll磨能力を一致さ往た場合に限らず研磨剤のサイズ
を一致させた場合も、良好となり、研磨層からの脱粒が
ずくなく、ヘッドと研磨層間に介在することによる悪影
響が少ない。したがって被研磨面の傷つきが極めて減少
する。
磨剤として研磨層に含イテさせたことによりrJl磨層
内層内六角板状の研磨剤が支持体表面に平行に配合され
る。このためrlI′Im Fiの表面性が研磨剤のl
1ll磨能力を一致さ往た場合に限らず研磨剤のサイズ
を一致させた場合も、良好となり、研磨層からの脱粒が
ずくなく、ヘッドと研磨層間に介在することによる悪影
響が少ない。したがって被研磨面の傷つきが極めて減少
する。
また、厚み方向の研磨粒子サイズを一致させた場合、ヘ
ッドに接触する研磨剤の面積が、粒状の研磨剤にくらべ
大きくなっているため、粒状のものと同QfQをrtl
+磨層に混入した際、研磨可能な表面積が大きくなり、
すなわら、同時間内での研磨用が増加する。
ッドに接触する研磨剤の面積が、粒状の研磨剤にくらべ
大きくなっているため、粒状のものと同QfQをrtl
+磨層に混入した際、研磨可能な表面積が大きくなり、
すなわら、同時間内での研磨用が増加する。
また、前述したように、研磨剤の研磨層からの脱粒が少
ないため、研磨部、研磨機械周辺を汚さない。また、M
fM剤が板状であるため、支持体に平行に1llI磨剤
が配向され、研磨層が平板状となり研@アープのカール
が少ない。したがって研磨面によくなじみrdl磨に好
都合である。
ないため、研磨部、研磨機械周辺を汚さない。また、M
fM剤が板状であるため、支持体に平行に1llI磨剤
が配向され、研磨層が平板状となり研@アープのカール
が少ない。したがって研磨面によくなじみrdl磨に好
都合である。
また研磨層は表面の粗さを、0.01〜0.20である
ように前記研磨層表面を形成することにより、一段と効
果的になる。
ように前記研磨層表面を形成することにより、一段と効
果的になる。
第1図は磁気ヘッドの研磨時における、本発明の一実I
IM態様による研磨テープの拡大断面図、第2図は本発
明の研磨テープの一尖fI!i態様により磁気ヘッドを
研磨する研磨方法の断面図、第3図は本発明の研磨テー
プの一実/i!態様により磁気ディスクをrII′l磨
する研磨方法の断面図、第4図は第3図のrIIN磨方
法の斜視図、第5図は磁気ヘッドを本発明の研磨テープ
の一実施態様であるディスク状の研磨テープにより研磨
する方法の断面図である。 1.21・・・研磨テープ 2・・・・・・支 持
休3・・・・・・・・・研 磨 層 3△・・・研
磨 剤4・・・・・・・・・磁気ヘッド 第2図 第3図 第5図 (自利手続補正口 特願昭61−68176号 2、発明の名称 研磨テープ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社46代理人 〒160東京都港区六本木5−2−1 はうらいやビル 7階 口(479) 2367(73
18)弁理士 柳 1)征 史 (ほか2名〉5、補正
命令の日付 な し 「図面の簡単な説明」の欄 8、補正の内容 1)明m書第3頁第1行 「に」を削除する。 2)同第7頁第15行 「好まJの後に「しJと訂正する。 3)同第8頁第3行 「潤括剤等を」を「潤滑剤等の」と訂正する。 4)同第13頁第13行 「磁気ディスク」を「ハードディスク」と訂正する。
IM態様による研磨テープの拡大断面図、第2図は本発
明の研磨テープの一尖fI!i態様により磁気ヘッドを
研磨する研磨方法の断面図、第3図は本発明の研磨テー
プの一実/i!態様により磁気ディスクをrII′l磨
する研磨方法の断面図、第4図は第3図のrIIN磨方
法の斜視図、第5図は磁気ヘッドを本発明の研磨テープ
の一実施態様であるディスク状の研磨テープにより研磨
する方法の断面図である。 1.21・・・研磨テープ 2・・・・・・支 持
休3・・・・・・・・・研 磨 層 3△・・・研
磨 剤4・・・・・・・・・磁気ヘッド 第2図 第3図 第5図 (自利手続補正口 特願昭61−68176号 2、発明の名称 研磨テープ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社46代理人 〒160東京都港区六本木5−2−1 はうらいやビル 7階 口(479) 2367(73
18)弁理士 柳 1)征 史 (ほか2名〉5、補正
命令の日付 な し 「図面の簡単な説明」の欄 8、補正の内容 1)明m書第3頁第1行 「に」を削除する。 2)同第7頁第15行 「好まJの後に「しJと訂正する。 3)同第8頁第3行 「潤括剤等を」を「潤滑剤等の」と訂正する。 4)同第13頁第13行 「磁気ディスク」を「ハードディスク」と訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)研磨剤および結合剤を含む研磨層を可撓性支持体上
に塗設してなる研磨テープにおいて前記研磨剤が六角板
状酸化クロムからなることを特徴とする研磨テープ。 2)前記研磨層の表面粗さが0.01〜0.20である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の研磨テー
プ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6817686A JPS62224579A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 研磨テ−プ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6817686A JPS62224579A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 研磨テ−プ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62224579A true JPS62224579A (ja) | 1987-10-02 |
Family
ID=13366202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6817686A Pending JPS62224579A (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 研磨テ−プ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62224579A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109082A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-26 | Tokyo Jiki Insatsu Kk | 研磨フィルム |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP6817686A patent/JPS62224579A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109082A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-26 | Tokyo Jiki Insatsu Kk | 研磨フィルム |
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