JP3201870B2 - 研磨フィルム - Google Patents
研磨フィルムInfo
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Description
される研磨フィルムに関する。
と接触しているため、ヘッド形状及び仕上げ面精度が摺
動特性及び磁気特性に関与し、表面研磨加工が性能に大
きく寄与している。従来の磁気ヘッド用研磨フィルム
は、研磨精度を向上させるため、仕上げ工程において
は、通常、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド等の
3μm以下の砥粒が用いられ、結合剤としてのバインダ
ー樹脂を選択し、これらの混合割合により研磨フィルム
の加工性能を制御している。
ルムは、通常、ロール状で使用するため、スリット時の
巻き取りテンションにより、外周部と内周部でフィルム
に作用する圧力に差が生じ、内周側でバインダー樹脂中
に研磨材が沈み込み(目潰れ)、研磨フィルムの表面粗
さが低下し、ロール内周部で加工性能が変化する現象が
発生し、製造時における大きな問題となっていた。
磨層に加工性能を低下させない為に、研磨材と同等かそ
れ以下の粒度からなる球状粒子を添加することによりロ
ール内外周で加工性能が変化しない研磨フィルムが構成
される。
研磨層を形成してなる研磨フィルムにおいて、研磨層に
球状粒子が添加されたことを特徴とする磁気ヘッドの研
磨フィルムである。
平均粒径0.4〜3μmのものを使用する。研磨材の材
料は、アルミナ、シリコンカーバイド、ダイヤモンド、
ジルコニア、酸化鉄、酸化クロム粉等から選択できる。
一方、球状粒子は、研磨材の粒度と同等以下の粒度のも
のを使用する。余り大きいと研磨不良を生じる。余り小
さいとロール内周部で目潰れを生じる。球状粒子の添加
量は研磨材に対し3〜5wt%の範囲で使用すれば十分
に所期の効果を得ることができる。余り少ないと効果が
なく、多過ぎると研磨材の量が減少して研磨不良とな
る。球状粒子の材料としては、セラミックス、ガラス、
ポリマービーズから選択する。これらの研磨材と球状粒
子は熱可塑性樹脂或いは熱硬化性樹脂等のバインダ樹脂
と混合し、ポリエステルフィルムに塗布される。研磨層
の厚さが10〜20μmの範囲が適当である。
粒子の添加により増加させると、ロール内周部でのバイ
ンダー樹脂中への研磨材の沈み込み(目潰れ)を回避
し、ロール内で均一な加工性能が得られることが確認さ
れた。
製)、ポリマービーズ平均粒径0.4μm(日本触媒
(株)製)、熱可塑性樹脂及び溶剤をサンドミルにより
均一に分散し塗料化し、ポリエステル基材上に研磨層が
10〜20μmになる様に塗布厚を調整し、多層均一構
造の研磨層を有する研磨フィルムを得た。 研磨塗料組成 研磨材 100重量部 バインダー樹脂 29重量部 ポリマービーズ 3重量部 溶剤 100重量部
に対し、ポリマービーズが1,5,10wt%となる様
に塗料を調整し、塗布厚10〜20μmの多層均一構造
の研磨フィルムを得た。 研磨塗料組成 研磨材 100重量部 バインダー樹脂 29重量部 ポリマービーズ 1,5,10重量部 溶剤 100重量部
m)に対し、平均粒径2.5μmのポリマービーズを重
量比で3wt%になるように添加し、添加粒子粒度の異
なる多層均一構造の研磨フィルムを得た。
m幅、長さ200mにスリット加工し、ロール状の研磨
フィルムを作製した。この研磨フィルムを室温放置で9
0日放置したもの及び卓上型温湿度試験器(ジュニア−
JTH型 ETAC ENGNEERRING.CO.
LTD.)50℃90%の条件で5,10,15日間温
湿度試験を実施し(但し、実施例3については、15日
のみとした)、研磨フィルムの外周部、中心部(100
m)及び内周部をサンプリングし、走査型電子顕微鏡
(日立製作所製、S−570型)により、研磨層表面状
態の測定を行って、表1の結果を得た。
2.7mm幅、200m長さ)の研磨フィルムでフレキ
シブルディスクヘッド加工実験を実施し、被研磨物の表
面形状評価を行って、表2の結果を得た。
製)の研磨材を球状粒子を添加しない系で同一組成で分
散、塗布し、幅12.7mm、長さ200mのサンプル
テープを作成した。これを実施例4と同一の温湿度試験
を実施し、走査型電子顕微鏡にて研磨層表面観察を行っ
た。表3の結果を得た。
明で得られた磁気ヘッドの加工用研磨フィルムにおい
て、球状粒子を研磨材に対して少量、好ましくは3〜5
wt%添加することによって、ロール内周部で目潰れ、
目詰まりを発生させることなく、ロール内で表面性が均
一に制御され、加工性能のバラツキを無くすことを可能
にした。
Claims (4)
- 【請求項1】 基剤上に、平均粒径0.4〜3μmの研
磨材、研磨材の平均粒子径以下の球状ポリマー粒子及び
バインダー樹脂からなる研磨層が形成された研磨フィル
ムにおいて、前記研磨材に対する粒状ポリマー粒子の添
加量が3〜5wt%で、かつ前記研磨層の塗布厚が10
〜20μmである研磨フィルム。 - 【請求項2】 前記研磨材がアルミナ、シリコンカーバ
イド、ダイヤモンド、ジルコニア、酸化鉄、酸化クロム
粉等からなる請求項1からなる研磨フィルム。 - 【請求項3】 前記バインダー樹脂が、熱可塑性樹脂或
いは熱硬化性樹脂である請求項1の研磨フィルム。 - 【請求項4】 前記球状ポリマー粒子が、セラミック
ス、ガラス、ポリマービーズからなる請求項1の研磨フ
ィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09497193A JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09497193A JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06278039A JPH06278039A (ja) | 1994-10-04 |
| JP3201870B2 true JP3201870B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=14124806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09497193A Expired - Lifetime JP3201870B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 研磨フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3201870B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001353662A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Xebec Technology Co Ltd | 研磨材及びこの研磨材を用いた多層配線基板表面の研磨方法 |
| JP2002254323A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 研磨フィルムおよびその製造方法 |
| JP5084504B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2012-11-28 | 株式会社松風 | 球状樹脂粒子を含有する歯科用研磨材 |
| KR20170125873A (ko) * | 2015-02-27 | 2017-11-15 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 세라믹 미세입자를 갖는 소비자 스크러빙 물품 및 이의 제조 방법 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP09497193A patent/JP3201870B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06278039A (ja) | 1994-10-04 |
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