JP7780903B2 - 半導体ウエハ用外縁保護シートおよび接着シート - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ用外縁保護シートおよび接着シートに関する。

半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）における第１面および第２面の外縁部を保護する接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。

実用新案登録第３１８７５７３号公報

特許文献１に記載された樹脂フィルム（半導体ウエハ用外縁保護シート）の場合、シリコンウェハ１（半導体ウエハ）に貼付する貼付材料として、デバイス面１ａ（第２面）を保護するデバイス面用樹脂フィルム２と、底面１ｂ（第１面）を保護する底面用樹脂フィルム３との２つの材料を用意なければならないため、貼付材料を用意する用意工程、貼付材料を保管する保管工程、さらには、貼付材料を半導体ウエハに貼付する貼付工程等が重複し、無電解めっき用シリコンウェハ等のシート貼付品を製造する製造プロセスが煩雑になるという不都合を発生する。

本発明の目的は、シート貼付品を製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる半導体ウエハ用外縁保護シートおよび接着シートを提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、半導体ウエハ用外縁保護シート（接着シート）を構成する基材が、第１エネルギーによって変形する第１エネルギー変形材と、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材とを備えているので、半導体ウエハ（被着体）に貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品を製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。
また、半導体ウエハ用外縁保護シート（接着シート）を構成する基材が、第１エネルギーによって変形する第１エネルギー変形材を備え、同半導体ウエハ用外縁保護シート（接着シート）を構成する接着剤層が、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材を備えているので、半導体ウエハ（被着体）に貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品を製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。

（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る半導体ウエハ用外縁保護シートの説明図、（Ｂ）～（Ｄ）は、半導体ウエハ用外縁保護シートを使用するシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図、（Ｅ）～（Ｈ）は、変形例の説明図。 （Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る半導体ウエハ用外縁保護シートの説明図、（Ｂ）～（Ｄ）は、半導体ウエハ用外縁保護シートを使用するシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。 （Ａ）は、本発明の第３実施形態に係る接着シートの説明図、（Ｂ）（Ｃ）は、接着シートの使用例の説明図。 （Ａ）は、本発明の第４実施形態に係る接着シートの説明図、（Ｂ）（Ｃ）は、接着シートの使用例の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ｂ）と同じ方向から観た図とする。

［第１実施形態］
本発明の半導体ウエハ用外縁保護シート（以下、単に「保護シート」ともいう）ＰＳ１は、図１（Ａ）に示すように、基材ＢＳ１と当該基材ＢＳ１に支持された接着剤層ＡＬ１とを備え、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦにおける第１面ＷＦ１および、当該第１面ＷＦ１の背面側に位置する第２面ＷＦ２の外縁部を保護するものである（図１（Ｄ）参照）。

基材ＢＳ１は、第１エネルギーによって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ１と、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ２とを備えている。
本第１実施形態では、第１エネルギー変形材ＥＴ１は、第１エネルギーとしての１６０℃の熱によって変形するポリオレフィン（ＰＯ）系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムが採用され、第２エネルギー変形材ＥＴ２は、第２エネルギーとしての１８０℃の熱によって変形するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムが採用されている。
なお、ポリオレフィン系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムは、例えば、特開２００６－５１８６２号公報や特開２０２１－６６７７５号公報に記載の熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。
また、ポリエチレンテレフタレート系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムは、例えば、特開昭６１－２０３１６１号公報や特表２０１６－５２１８０７号公報に記載の熱収縮シートを使用することができ、何ら限定されるものではない。

接着剤層ＡＬ１は、第１エネルギー変形材ＥＴ１上に積層されており、例えば、特開２００９－１３２７８７号公報や特開２０１６－１６９３８９号公報に記載の接着剤や粘着剤を使用することができ、何ら限定されるものではない。

以上のような保護シートＰＳ１は、例えば、図１（Ｂ）に示すようなシート貼付装置ＥＡによって使用することができる。
すなわち、シート貼付装置ＥＡは、保護シートＰＳ１を供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された保護シートＰＳ１がウエハＷＦにおける第１面ＷＦ１の外縁からはみ出したはみ出し領域ＰＳ１Ｈを形成するように、保護シートＰＳ１を第１面ＷＦ１に押圧して貼付する押圧工程を実施する押圧手段２０と、はみ出し領域ＰＳ１Ｈに熱を付与して変形させ、当該はみ出し領域ＰＳ１Ｈを第２面ＷＦ２方向に折り曲げて貼付する折り曲げ貼付工程を実施する折り曲げ貼付手段３０とを備え、押圧手段２０とウエハＷＦとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段４０の近傍に配置されている。
なお、第１実施形態では、基準位置ＷＦＲを中心とする円形形状のウエハＷＦが採用されている。

供給手段１０は、保護シートＰＳ１が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから保護シートＰＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１５とを備えている。

押圧手段２０は、押圧ローラ２１を備えている。

折り曲げ貼付手段３０は、はみ出し領域ＰＳ１Ｈに１６０℃の熱を付与する第１エネルギー付与手段３１と、はみ出し領域ＰＳ１Ｈに１８０℃の熱を付与する第２エネルギー付与手段３２とを備えている。
第１エネルギー付与手段３１は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で大気やガス等の気体を加熱し、はみ出し領域ＰＳ１Ｈを１６０℃に加熱可能な第１熱気ＡＲ１を生成する第１熱気生成手段３１Ａと、第１熱気生成手段３１Ａで生成され、配管３１Ｂを介して送風された第１熱気ＡＲ１を噴出する噴出口３１Ｃが形成された環状ノズル３１Ｄとを備えている。なお、噴出口３１Ｃは、Ｚ軸と平行な直線である中心線ＣＬを中心とした円環形状に設けられている。
第２エネルギー付与手段３２は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で大気やガス等の気体を加熱し、はみ出し領域ＰＳ１Ｈを１８０℃に加熱可能な第２熱気ＡＲ２を生成する第２熱気生成手段３２Ａと、第２熱気生成手段３２Ａで生成され、配管３２Ｂを介して送風された第２熱気ＡＲ２を噴出する噴出口３２Ｃが形成された環状ノズル３２Ｄとを備えている。なお、環状ノズル３２Ｄは、ブラケット３２Ｅを介して駆動機器としての直動モータ３２Ｆの出力軸３２Ｇに支持され、噴出口３２Ｃは、中心線ＣＬを中心とした円環形状に設けられている。

移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４２Ａを有する支持テーブル４２と、保持面４２Ａに形成された凹部４２Ｂ内に配置された駆動機器としての直動モータ４３と、その出力軸４３Ａに支持され、上面が減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４４Ａとされたリフトテーブル４４とを備えている。なお、保持面４２Ａには、保護シートＰＳ１が接着しない、または、保護シートＰＳ１が接着しても当該保護シートＰＳ１を剥がすことが可能なフッ素樹脂やシリコーン樹脂等の不接着材が積層されている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の保護シートＰＳ１の繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＷＦＲがリフトテーブル中心４４Ｒと重なるように、ウエハＷＦを保持面４２Ａ、４４Ａ上に載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面４２Ａ、４４Ａでの吸着保持を開始する。

その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させ、ウエハＷＦが供給手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該供給手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、ウエハＷＦの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、保護シートＰＳ１が剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された保護シートＰＳ１は、押圧ローラ２１によってウエハＷＦに押圧され、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、はみ出し領域ＰＳ１Ｈを形成するように第１面ＷＫ１に貼付される。次に、先頭の保護シートＰＳ１全体がウエハＷＦに貼付され、当該先頭の保護シートＰＳ１に続く次の保護シートＰＳ１の繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。そして、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、リフトテーブル中心４４Ｒ（基準位置ＷＦＲ）が中心線ＣＬと一致すると、移動手段４０がリニアモータ４１の駆動を停止し、ウエハＷＦの左方への移動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４２Ａでの吸着保持を解除する。

次いで、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、移動手段４０が直動モータ４３を駆動し、リフトテーブル４４を上昇させた後、折り曲げ貼付手段３０が第１熱気生成手段３１Ａを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、噴出口３１Ｃからはみ出し領域ＰＳ１Ｈに第１熱気ＡＲ１を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第１エネルギー変形材ＥＴ１が収縮して変形し、図１（Ｃ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＰＳ１Ｈが被着体ＷＫの外縁から下方に垂れ下がる。この際、はみ出し領域ＰＳ１Ｈは、第２面ＷＦ２に接触してもよいし、接触しなくてもよい。その後、折り曲げ貼付手段３０が直動モータ３２Ｆを駆動し、図１（Ｄ）に示すように、環状ノズル３２Ｄを下降させると、第１熱気生成手段３１Ａの駆動を停止した後、第２熱気生成手段３２Ａを駆動し、噴出口３２Ｃからはみ出し領域ＰＳ１Ｈに第２熱気ＡＲ２を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第２エネルギー変形材ＥＴ２が収縮して変形し、図１（Ｄ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＰＳ１Ｈが第２面ＷＦ２に貼り付いてシート貼付品ＵＰが形成される。

次に、折り曲げ貼付手段３０が第２熱気生成手段３２Ａの駆動を停止した後、直動モータ３２Ｆを駆動し、環状ノズル３２Ｄを初期位置に復帰させるとともに、移動手段４０が直動モータ４３を駆動し、リフトテーブル４４を初期位置に復帰させる。そして、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４４Ａでの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段がシート貼付品ＵＰを次工程に搬送すると、リニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような第１実施形態によれば、保護シートＰＳ１を構成する基材ＢＳ１が、１６０℃の熱によって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ１と、１８０℃の熱によって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ２とを備えているので、ウエハＷＦに貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品ＵＰを製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。

［第２実施形態］
本発明の半導体ウエハ用外縁保護シートは、図２（Ａ）に示すような保護シートＰＳ２としてもよい。
保護シートＰＳ２は、基材ＢＳ２と当該基材ＢＳ２に支持された接着剤層ＡＬ２とを備え、ウエハＷＦにおける第１面ＷＦ１および、当該第１面ＷＦ１の背面側に位置する第２面ＷＦ２の外縁部を保護するものである。

基材ＢＳ２は、第１エネルギーによって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ３を備えている。
第２実施形態では、第１エネルギー変形材ＥＴ３は、第１エネルギーとしての１６０℃の熱によって変形するポリオレフィン系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムが採用されているが、第１エネルギーとしての１８０℃の熱によって変形するポリエチレンテレフタレート系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムが採用されてもよい。
なお、ポリオレフィン系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムや、ポリエチレンテレフタレート系樹脂を主成分とする熱収縮フィルムは、第１実施形態で示した熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。

接着剤層ＡＬ２は、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ４を備えている。
第２実施形態では、第２エネルギー変形材ＥＴ４は、第２エネルギーとしての紫外線ＵＶによって変形する紫外線硬化型接着剤が採用されている。
なお、紫外線硬化型接着剤は、例えば、特開平１１－１１６９３４号公報や特開２０２１－７０７０７号公報に記載の紫外線硬化型接着剤を使用することができ、何ら限定されるものではない。

以上のような保護シートＰＳ２は、第１実施形態で例示したシート貼付装置ＥＡを以下のように変更して使用することができる。
すなわち、シート貼付装置ＥＡは、供給手段１０が保護シートＰＳ２を供給し、折り曲げ貼付手段３０が、はみ出し領域ＰＳ２Ｈに熱および紫外線ＵＶを付与して変形させ、当該はみ出し領域ＰＳ２Ｈを第２面ＷＦ２方向に折り曲げて貼付する。以下は、第１実施形態で例示したシート貼付装置ＥＡと異なる点のみ説明する。

供給手段１０は、図２（Ｂ）に示すように、保護シートＰＳ２が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持ローラ１１で支持する点が第１実施形態で例示したシート貼付装置ＥＡと異なる。

折り曲げ貼付手段３０は、第２エネルギー付与手段３２がはみ出し領域ＰＳ２Ｈに紫外線ＵＶを付与する点が第１実施形態で例示したシート貼付装置ＥＡと異なる。
第２エネルギー付与手段３２は、第１実施形態で例示した第２熱気生成手段３２Ａ、配管３２Ｂおよび環状ノズル３２Ｄに代えて、図２（Ｃ）に示すように、第２エネルギーとしての紫外線ＵＶを発光する円環形状の紫外線ランプ３２Ｈを支持する環状ブラケット３２Ｊを備えている。なお、紫外線ランプ３２Ｈは、ＬＥＤランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何どのようなものを採用してもよい。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作は、第１実施形態と同様にして、はみ出し領域ＰＳ２Ｈを形成するように保護シートＰＳ２をウエハＷＦの第１面ＷＦ１に貼付した後、図２（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＰＳ２Ｈに第１熱気ＡＲ１を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第１エネルギー変形材ＥＴ３が収縮して変形し、図２（Ｃ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＰＳ２ＨがウエハＷＦの外縁から下方に垂れ下がる。この際、はみ出し領域ＰＳ２Ｈは、第２面ＷＦ２に接触してもよいし、接触しなくてもよい。次いで、第１実施形態と同様にして、図２（Ｄ）に示すように、環状ブラケット３２Ｊを下降させた後、折り曲げ貼付手段３０が紫外線ランプ３２Ｈを駆動し、はみ出し領域ＰＳ２Ｈに紫外線ＵＶを照射する。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第２エネルギー変形材ＥＴ４が収縮して変形し、図２（Ｄ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＰＳ２Ｈが第２面ＷＦ２に貼り付いてシート貼付品ＵＰが形成され、以後は第１実施形態と同様の動作となる。

以上のような第２実施形態によれば、保護シートＰＳ２を構成する基材ＢＳ２が、１６０℃の熱によって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ３を備え、同保護シートＰＳ２を構成する接着剤層ＡＬ２が、紫外線ＵＶによって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ４を備えているので、ウエハＷＦに貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品ＵＰを製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。

［第３実施形態］
本発明の接着シートＡＳ１は、図３（Ａ）に示すように、基材ＢＳ１と当該基材ＢＳ１に支持された接着剤層ＡＬ１とを備え、被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１および、当該第１面ＷＫ１とは異なる第２面ＷＫ２を保護するものである。
基材ＢＳ１および接着剤層ＡＬ１は、第１実施形態で示した基材ＢＳ１および接着剤層ＡＬ１と同等のものが例示できる。
なお、被着体ＷＫは、図３（Ｂ）に示すように、第１面ＷＫ１、第２面ＷＫ２、第３面ＷＫ３および第４面ＷＫ４を備えている。

以上のような接着シートＡＳ１は、第１実施形態で例示した使用例と同様にして使用することができる。
すなわち、第１実施形態と同様にして、はみ出し領域ＡＳ１Ｈを形成するように接着シートＡＳ１を被着体ＷＫの第１面ＫＷ１に貼付した後、図３（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳ１Ｈに第１熱気ＡＲ１を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第１エネルギー変形材ＥＴ１が収縮して変形し、図３（Ｂ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳ１Ｈが被着体ＷＫの外縁から下方に垂れ下がる。この際、はみ出し領域ＡＳ１Ｈは、第２面ＷＫ２や第３面ＷＫ３等に接触してもよいし、接触しなくてもよい。次いで、第１実施形態と同様にして、図３（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳ１Ｈに第２熱気ＡＲ２を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第２エネルギー変形材ＥＴ２が収縮して変形し、図３（Ｃ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳ１Ｈが第２面ＷＫ２の全面および第３面ＷＫ３の一部に貼り付いてシート貼付品ＵＰが形成される。なお、接着シートＡＳ１は、はみ出し領域ＡＳ１Ｈが第２面ＷＫ２の一部に貼り付くようにしてもよいし、はみ出し領域ＡＳ１Ｈが第３面ＷＫ３の全面に貼り付くようにしてもよいし、はみ出し領域ＡＳ１Ｈが第４面ＷＫ４の一部に貼り付くようにしてもよい。

以上のような第３実施形態によれば、接着シートＡＳ１を構成する基材ＢＳ１が、１６０℃の熱によって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ１と、１８０℃の熱によって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ２とを備えているので、被着体ＷＫに貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品ＵＰを製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。

［第４実施形態］
本発明の接着シートＡＳ２は、図４（Ａ）に示すような接着シートＡＳ２としてもよい。
接着シートＡＳ２は、基材ＢＳ２と当該基材ＢＳ２に支持された接着剤層ＡＬ２とを備え、被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１および、当該第１面ＷＫ１とは異なる第２面ＷＫ２を保護するものである。

以上のような接着シートＡＳ２は、第２実施形態で例示した使用例と同様にして使用することができる。
すなわち、第２実施形態と同様にして、はみ出し領域ＡＳ２Ｈを形成するように接着シートＡＳ２を被着体ＷＫの第１面ＫＷ１に貼付した後、図４（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳ２Ｈに第１熱気ＡＲ１を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第１エネルギー変形材ＥＴ３が収縮して変形し、図４（Ｂ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳ２Ｈが被着体ＷＫの外縁から下方に垂れ下がる。この際、はみ出し領域ＡＳ２Ｈは、第２面ＷＫ２や第３面ＷＫ３等に接触してもよいし、接触しなくてもよい。次いで、第２実施形態と同様にして、図４（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳ２Ｈに紫外線ＵＶを照射する。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第２エネルギー変形材ＥＴ４が収縮して変形し、図４（Ｃ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳ２Ｈが第２面ＷＫ２の全面および第３面ＷＫ３の一部に貼り付いてシート貼付品ＵＰが形成される。なお、接着シートＡＳ２は、はみ出し領域ＡＳ２Ｈが第２面ＷＫ２の一部に貼り付くようにしてもよいし、はみ出し領域ＡＳ２Ｈが第３面ＷＫ３の全面に貼り付くようにしてもよいし、はみ出し領域ＡＳ２Ｈが第４面ＷＫ４の一部に貼り付くようにしてもよい。

以上のような第４実施形態によれば、接着シートＡＳ２を構成する基材ＢＳ２が、１６０℃の熱によって変形する第１エネルギー変形材ＥＴ３を備え、同接着シートＡＳ２を構成する接着剤層ＡＬ２が、紫外線ＵＶによって変形する第２エネルギー変形材ＥＴ４を備えているので、被着体ＷＫに貼付する貼付材料を１つとすることができ、シート貼付品ＵＰを製造する製造プロセスが煩雑になることを防止することができる。

本発明における半導体ウエハ用外縁保護シートおよび接着シートは、それら半導体ウエハ用外縁保護シートおよび接着シートについて説明した機能を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、半導体ウエハ用外縁保護シートは、基材と当該基材に支持された接着剤層とを備え、半導体ウエハにおける第１面および、当該第１面の背面側に位置する第２面の外縁部を保護するものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない。

第１、第３実施形態において、保護シートＰＳ１および接着シートＡＳ１は、第１エネルギー変形材ＥＴ１と接着剤層ＡＬ１との間に第２エネルギー変形材ＥＴ２が積層されていてもよいし、第１エネルギー変形材ＥＴ１と第２エネルギー変形材ＥＴ２との間や、基材ＢＳ１と接着剤層ＡＬ１との間や、接着剤層ＡＬ１の反対側の最外層に、樹脂、紙、金属箔等からなるその他の層が１または複数積層されていてもよいし、例えば、１３０℃や１８０℃といった１６０℃以外の熱によって変形するポリオレフィンが第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２に採用されてもよいし、例えば、１５０℃や２００℃といった１８０℃以外の熱によって変形するポリエチレンテレフタレートが第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２に採用されてもよいし、図１（Ｅ）に示すように、第２エネルギー変形材ＥＴ２が第１エネルギー変形材ＥＴ１の外縁部のみに設けられていてもよいし、図１（Ｆ）に示すように、第１エネルギー変形材ＥＴ１が第２エネルギー変形材ＥＴ２の外縁部のみに設けられていてもよい。
第１、第３実施形態において、保護シートＰＳ１および接着シートＡＳ１は、第１エネルギー変形材ＥＴ１として、熱、冷気、紫外線、赤外線、Ｘ線、ガンマ線等の第１エネルギーによって変形するものが採用され、第２エネルギー変形材ＥＴ２として、熱、冷気、紫外線、赤外線、Ｘ線、ガンマ線等の第１エネルギーとは異なる第２エネルギーによって変形するものが採用されてもよく、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせはどのような組み合わせでもよい。

第２、第４実施形態において、保護シートＰＳ２および接着シートＡＳ２は、基材ＢＳ２と接着剤層ＡＬ２との間や、接着剤層ＡＬ２の反対側の最外層に、樹脂、紙、金属箔等からなるその他の層が１または複数積層されていてもよいし、例えば、１３０℃や１８０℃といった１６０℃以外の熱によって変形するポリオレフィンが第３エネルギー変形材ＥＴ３に採用されてもよいし、例えば、１５０℃や２００℃といった１８０℃以外の熱によって変形するポリエチレンテレフタレートが第３エネルギー変形材ＥＴ３に採用されてもよいし、第１エネルギー変形材ＥＴ３として、熱、冷気、紫外線、赤外線、Ｘ線、ガンマ線等の第１エネルギーによって変形するものが採用され、第２エネルギー変形材ＥＴ４として、熱、冷気、紫外線、赤外線、Ｘ線、ガンマ線等の第１エネルギーとは異なる第２エネルギーによって変形するものが採用されてもよく、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせはどのような組み合わせでもよい。
第２、第４実施形態において、第２エネルギー変形材ＥＴ４は、図１（Ｇ）、（Ｈ）に示すように、当該接着剤ＡＤの外縁部のみに設けられていてもよいし、図１（Ｉ）に示すように、接着剤ＡＤに混入されていてもよい。

第１、第２エネルギー変形材ＥＴ１、ＥＴ２、ＥＴ３は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）系樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）系樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）系樹脂、ポリスチレン（ＰＳ）系樹脂、ポリオレフィン（ＰＯ）系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系樹脂等を主成分とする熱収縮フィルムでもよく、第１エネルギー変形材ＥＴ１と第２エネルギー変形材ＥＴ２とが、または、第３エネルギー変形材ＥＴ３と第４エネルギー変形材ＥＴ４とが異なる温度の熱によって変形する組み合わせとすることができる。
なお、ポリ塩化ビニル系樹脂を主成分とする第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２は、例えば、特開平９－５９４６７号公報や特開２０１８－１９７２９２号公報に記載の熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。
ポリプロピレン系樹脂を主成分とする第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２は、例えば、特開平７－３３０９８３号公報や特開２０１９－７００６号公報に記載の熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。
ポリエチレン系樹脂を主成分とする第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２は、例えば、特開平５－８４８２６号公報や特開２００４－７５１３０号公報に記載の熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。
ポリスチレン系樹脂を主成分とする第１エネルギー変形材ＥＴ１や第２エネルギー変形材ＥＴ２は、例えば、特開２０００－２３３４４４号公報や特開２００５－１８７５１８号公報に記載の熱収縮フィルムを使用することができ、何ら限定されるものではない。

第１、第２エネルギー変形材ＥＴ１、ＥＴ２、ＥＴ３、ＥＴ４は、第１エネルギーまたは第２エネルギーによって膨張して変形するものでもよいし、第１エネルギーまたは第４エネルギーによって収縮や膨張することなく変形するものでもよい。

保護シートＰＳ１および接着シートＡＳ１は、１つの基材中に第１エネルギーによって変形する物質と、第２エネルギーによって変形する物質との両方が含まれたものであってもよい。
保護シートＰＳ１、ＰＳ２および接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、図１（Ｊ）、（Ｋ）に示すように、中央部に孔ＨＬが形成されることで円環形状とされ、ウエハＷＦにおける第１面ＷＦ１の外縁部と第２面ＷＦ２の外縁部とを保護してもよいし、第２実施形態で例示した被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１の外縁部と第２面全体とを保護したりするものでもよい。
保護シートＰＳ１、ＰＳ２および接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等どのような形状でもよい。
半導体ウエハＷＦは、シリコーン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等であってもよい。
被着体ＷＫは、例えは、単一の部材でもよいし、同種または異種の複数の部材でもよいし、半導体ウエハＷＦと同様の形状でもよいし、第１面ＷＫ１と第２面ＷＫ２とで構成されたものでもよいし、第１面ＷＫ１と第２面ＷＫ２と第３面ＷＫ３とで構成されたものでもよいし、第１面から第５面以上の面で構成されたものでもよい。

本発明における保護シートＰＳ１、ＰＳ２、接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ウエハＷＦおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、保護シートＰＳ１、ＰＳ２、接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ウエハＷＦおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、このような保護シートＰＳ１、ＰＳ２および接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの等、どのようなものでもよい。さらに、ウエハＷＦとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等であってもよいし、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、保護シートＰＳ１、ＰＳ２および接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

ＡＬ１、ＡＬ２…接着剤層
ＡＳ１、ＡＳ２…接着シート
ＢＳ１、ＢＳ２…基材
ＥＴ１、ＥＴ３…第１エネルギー変形材
ＥＴ２、ＥＴ４…第２エネルギー変形材
ＰＳ１、ＰＳ２…保護シート
ＷＦ…半導体ウエハ
ＷＦ１、ＷＫ１…第１面
ＷＦ２、ＷＫ２…第２面
ＷＫ…被着体

Claims (4)

1. 基材と当該基材に支持された接着剤層とを備え、半導体ウエハにおける第１面および、当該第１面の背面側に位置する第２面の外縁部を保護する半導体ウエハ用外縁保護シートにおいて、
   前記基材は、第１エネルギーによって変形する第１エネルギー変形材と、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材とを備えていることを特徴とする半導体ウエハ用外縁保護シート。
2. 前記第１エネルギー変形材および第２エネルギー変形材のうちいずれか一方は、その他方の前記第２エネルギー変形材または第１エネルギー変形材の外縁部のみに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウエハ用外縁保護シート。
3. 基材と当該基材に支持された接着剤層とを備え、半導体ウエハにおける第１面および、当該第１面の背面側に位置する第２面の外縁部を保護する半導体ウエハ用外縁保護シートにおいて、
   前記基材は、第１エネルギーによって変形する第1エネルギー変形材を備え、
   前記接着剤層は、第２エネルギーによって変形する第２エネルギー変形材を備えていることを特徴とする半導体ウエハ用外縁保護シート。
4. 前記第２エネルギー変形材は、前記接着剤層の外縁部のみに設けられていることを特徴とする請求項３に記載の半導体ウエハ用外縁保護シート。