JP7641120B2 - 接合方法、接合体および流路付きプレート - Google Patents
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- B23K2103/10—Aluminium or alloys thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2025020888A JP2025065475A (ja) | 2018-12-21 | 2025-02-12 | 接合方法および接合体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018240266 | 2018-12-21 | ||
| JP2018240266 | 2018-12-21 | ||
| PCT/JP2019/049049 WO2020129863A1 (ja) | 2018-12-21 | 2019-12-13 | 接合方法および接合体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025020888A Division JP2025065475A (ja) | 2018-12-21 | 2025-02-12 | 接合方法および接合体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2020129863A1 JPWO2020129863A1 (ja) | 2021-11-25 |
| JPWO2020129863A5 JPWO2020129863A5 (https=) | 2022-06-22 |
| JP7641120B2 true JP7641120B2 (ja) | 2025-03-06 |
Family
ID=71101298
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020561389A Active JP7641120B2 (ja) | 2018-12-21 | 2019-12-13 | 接合方法、接合体および流路付きプレート |
| JP2025020888A Pending JP2025065475A (ja) | 2018-12-21 | 2025-02-12 | 接合方法および接合体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2025020888A Pending JP2025065475A (ja) | 2018-12-21 | 2025-02-12 | 接合方法および接合体 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220009022A1 (https=) |
| EP (1) | EP3900867A4 (https=) |
| JP (2) | JP7641120B2 (https=) |
| KR (3) | KR102887437B1 (https=) |
| CN (1) | CN113195146A (https=) |
| TW (1) | TWI830840B (https=) |
| WO (1) | WO2020129863A1 (https=) |
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- 2019-12-13 KR KR1020247017491A patent/KR102887437B1/ko active Active
- 2019-12-13 KR KR1020217017680A patent/KR102670607B1/ko active Active
- 2019-12-13 WO PCT/JP2019/049049 patent/WO2020129863A1/ja not_active Ceased
- 2019-12-13 CN CN201980084269.3A patent/CN113195146A/zh active Pending
- 2019-12-13 KR KR1020257038020A patent/KR20250163426A/ko active Pending
- 2019-12-19 TW TW108146597A patent/TWI830840B/zh active
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| Title |
|---|
| 圓城 敏男,アルミニウムおよびその合金の拡散接合,軽金属,1989年39巻1号,日本,一般社団法人軽金属学会,1989年01月30日,p.58-66,https://www.jstage.jst.go.jp/article/jilm1951/39/1/39_1_58/_pdf |
| 小谷 啓子、池内 健二、松田 福久,実用Al合金の接合界面における形成相-透過電子顕微鏡観察によるAl合金の拡散接合機構の検討(第2報)-,溶接学会論文集,14巻(1996)2号,日本,溶接学会,1996年05月05日,382~388頁 |
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|---|---|
| WO2020129863A1 (ja) | 2020-06-25 |
| KR20210089732A (ko) | 2021-07-16 |
| EP3900867A1 (en) | 2021-10-27 |
| TW202023722A (zh) | 2020-07-01 |
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| KR20240091000A (ko) | 2024-06-21 |
| KR20250163426A (ko) | 2025-11-20 |
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| JPWO2020129863A1 (ja) | 2021-11-25 |
| US20220009022A1 (en) | 2022-01-13 |
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