JP7485147B2 - 感光性着色組成物、硬化物、着色スペーサー、画像表示装置 - Google Patents
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Description
[1](a)着色剤、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)光重合開始剤、(d)エチレン性不飽和化合物、(e)溶剤、及び(f)分散剤を含有する着色スペーサー形成用感光性着色組成物であって、
前記(c)光重合開始剤が、下記式(I)で表されるオキシムエステル系化合物を含むことを特徴とする、着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
R1は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R2は、置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は置換基を有していてもよいアリーロイル基を表す。
R3は、水素原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
R4は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R5及びR6は各々独立に、置換基を有していてもよいベンゼン環、又は置換基を有していてもよいナフタレン環を表す。ただし、R5及びR6の少なくともいずれか1つは、置換基を有していてもよいナフタレン環である。
R1及びR4の少なくともいずれか1つは、置換基として-OR7基を有する。ただしR7はハロゲノアルキル基を表す。
Xは、直接結合、又はカルボニル基を表す。
Zは、直接結合、又はカルボニル基を表す。)
[2]前記(a)着色剤が、赤色顔料及び橙色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種と、青色顔料及び紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種とを含有する、[1]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[3]前記赤色顔料が以下の(1)であり、前記橙色顔料が以下の(2)であり、前記青色顔料が以下の(3)であり、前記紫色顔料が以下の(4)である、[2]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
(1)C.I.ピグメントレッド177、254から選ばれる少なくとも1種
(2)C.I.ピグメントオレンジ43、64から選ばれる少なくとも1種
(3)C.I.ピグメントブルー15:6、60から選ばれる少なくとも1種
(4)C.I.ピグメントバイオレッド23、29から選ばれる少なくとも1種
[4]前記(a)着色剤100質量部に対する、赤色顔料及び橙色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種の顔料の含有割合が、1質量部以上30質量部以下である、[2]又は[3]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[5]前記(a)着色剤100質量部に対する、青色顔料及び紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種の顔料の含有割合が、20質量部以上90質量部以下である、[2]~[4]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[6]前記(a)着色剤が、有機黒色顔料を含有する、[1]~[5]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[7]前記有機黒色顔料が、下記式(1)で表される化合物、その幾何異性体、その塩、またはその幾何異性体の塩を含有する、[6]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[8]前記(a)着色剤が、カーボンブラックを含有する、[1]~[7]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[9]前記(a)着色剤が、有機顔料及びカーボンブラックを含有する、[1]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[10]前記有機顔料が、赤色顔料、橙色顔料、青色顔料及び紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、[9]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[11]前記有機顔料が、以下の(1)~(4)からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、[9]又は[10]に記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
(1)C.I.ピグメントレッド177、254から選ばれる少なくとも1種
(2)C.I.ピグメントオレンジ43、64から選ばれる少なくとも1種
(3)C.I.ピグメントブルー15:6、60から選ばれる少なくとも1種
(4)C.I.ピグメントバイオレッド23、29から選ばれる少なくとも1種
[12]前記有機顔料が、青色顔料及び紫色顔料を含有する、[9]~[11]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[13]前記(a)着色剤100質量部に対するカーボンブラックの含有割合が、5質量部以上50質量部以下である、[9]~[12]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[14]硬化した塗膜の膜厚1μm当たりの光学濃度が1.0以上である、[1]~[13]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[15]フォトリソグラフィー法により高さの異なる着色スペーサーを一括形成するために用いる、[1]~[14]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物。
[16][1]~[15]のいずれかに記載の着色スペーサー形成用感光性着色組成物を硬化して得られる硬化物。
[17][16]に記載の硬化物から形成される着色スペーサー。
[18][17]に記載の着色スペーサーを備える画像表示装置。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは「アクリル及び/又はメタクリル」を意味し、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」についても同様である。
本発明の感光性着色組成物は、
(a)着色剤
(b)アルカリ可溶性樹脂
(c)光重合開始剤
(d)エチレン性不飽和化合物
(e)溶剤
(f)分散剤
を必須成分として含有する。また、本発明の感光性着色組成物は、必要に応じて、更にシランカップリング剤等の密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、界面活性剤、顔料誘導体等、その他の配合成分を含むものであり、通常、各配合成分が、溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。
本発明の第1の態様に係る感光性着色組成物で用いる(a)着色剤は、赤色顔料及び橙色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種と、青色顔料及び紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも1種とを含有する。このように本発明の第1の態様に係る感光性着色組成物は、特定の有機着色顔料を含有することにより高遮光性を達成することができる。
赤色顔料:C.I.ピグメントレッド177、254、272
橙色顔料:C.I.ピグメントオレンジ43、64、72
青色顔料:C.I.ピグメントブルー15:6、60
紫色顔料:C.I.ピグメントバイオレット23、29
(1)C.I.ピグメントレッド177、254から選ばれる少なくとも1種
(2)C.I.ピグメントオレンジ43、64から選ばれる少なくとも1種
(3)C.I.ピグメントブルー15:6、60から選ばれる少なくとも1種
(4)C.I.ピグメントバイオレッド23、29から選ばれる少なくとも1種
黒色色材の中でも、液晶の電圧保持率の低下を抑制し、また、紫外線の吸収を抑制して形状や段差をコントロールしやすくするとの観点からは、有機黒色顔料を用いることが好ましく、特に遮光性の観点からは、下記式(1)で表される化合物、その幾何異性体、その塩、またはその幾何異性体の塩である有機黒色顔料を用いることが好ましい。
R13およびR18は互いに独立して好ましくは水素原子、NO2、OCH3、OC2H5、臭素原子、塩素原子、CH3、C2H5、N(CH3)2、N(CH3)(C2H5)、N(C2H5)2、α-ナフチル、β-ナフチル、SO3HまたはSO3 -であり、さらに好ましくは水素原子またはSO3Hである。
さらに好ましくは水素原子である。
この有機黒色顔料は、好ましくは後述される分散剤、溶剤、方法によって分散して使用される。また、分散の際に前記一般式(2)のスルホン酸誘導体が存在すると、分散性や保存性が向上する場合がある。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、C.I.パッドブルー5等が、キノンイミン系染料として、例えば、C.I.ベーシックブルー3、C.I.ベーシックブルー9等が、キノリン系染料として、例えば、C.I.ソルベントイエロー33、C.I.アシッドイエロー3、C.I.ディスパースイエロー64等が、ニトロ系染料として、例えば、C.I.アシッドイエロー1、C.I.アシッドオレンジ3、C.I.ディスパースイエロー42等が挙げられる。
その他の黒色色材の中でも、液晶の電圧保持率の低下を抑制し、また、紫外線の吸収を抑制して形状や段差をコントロールしやすくするとの観点からは、前記一般式(1)で表される以外の、その他の有機黒色顔料を用いることが好ましい。その他の有機黒色顔料としては、アニリンブラック、ペリレンブラック、シアニンブラックなどが挙げられる。
(1)C.I.ピグメントレッド177、254から選ばれる少なくとも1種
(2)C.I.ピグメントオレンジ43、64から選ばれる少なくとも1種
(3)C.I.ピグメントブルー15:6、60から選ばれる少なくとも1種
(4)C.I.ピグメントバイオレッド23、29から選ばれる少なくとも1種
本発明で用いる(b)アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基又は水酸基を含む樹脂であれば特に限定はなく、例えばエポキシ(メタ)アクリレート系樹脂、アクリル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂、カルボキシル基含有ウレタン樹脂、ノボラック系樹脂、ポリビニルフェノール系樹脂等が挙げられるが、中でもエポキシ(メタ)アクリレート系樹脂、アクリル系樹脂が好ましい。これらは1種を単独で、或いは複数種を混合して使用することができる。
エポキシ樹脂にα,β-不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β-不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び/又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<アルカリ可溶性樹脂(b2)>
エポキシ樹脂にα,β-不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β-不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び/又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
これらの内、感度の点から、特に好ましいものは(メタ)アクリル酸である。
これらの不飽和単量体(b1)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
これらの不飽和単量体(b2)は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
(c)光重合開始剤は、光を直接吸収し、分解反応又は水素引き抜き反応を起こし、重合活性ラジカルを発生する機能を有する成分である。必要に応じて重合促進剤(連鎖移動剤)、増感色素等の付加剤を添加して使用してもよい。
R1は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R2は、置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は置換基を有していてもよいアリーロイル基を表す。
R3は、水素原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
R4は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R5及びR6は各々独立に、置換基を有していてもよいベンゼン環、又は置換基を有していてもよいナフタレン環を表す。ただし、R5及びR6の少なくともいずれか1つは、置換基を有していてもよいナフタレン環である。
R1及びR4の少なくともいずれか1つは、置換基として-OR7基を有する。ただしR7はハロゲノアルキル基を表す。
Xは、直接結合、又はカルボニル基を表す。
Zは、直接結合、又はカルボニル基を表す。
アルカノイル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられ、感度の観点から無置換であることが好ましい。
これらの中でも、感度の観点からR2を、置換基を有していてもよいアルカノイル基とすることが好ましく、無置換のアルカノイル基とすることがより好ましく、アセチル基とすることがさらに好ましい。
これらの中でも、溶解性の観点からR3を、置換基を有していてもよいアルキル基とすることが好ましく、無置換のアルキル基とすることがより好ましく、2-エチルヘキシル基とすることがさらに好ましい。
ハロゲノアルキル基における炭素鎖は、直鎖であっても、分岐鎖であっても、環状であってもよいが、製造容易性の観点からは直鎖であることが好ましい。
ハロゲノアルキル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基などが挙げられ、製造容易性の観点からは無置換であることが好ましい。
また、Zは、直接結合又はカルボニル基を表すが、密着性の観点からは直接結合であることが好ましく、感度の観点からはカルボニル基であることが好ましい。
光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素、重合促進剤を配合させることができる。増感色素としては、日本国特開平4-221958号公報、日本国特開平4-219756号公報に記載のキサンテン色素、日本国特開平3-239703号公報、日本国特開平5-289335号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、日本国特開平3-239703号公報、日本国特開平5-289335号公報に記載の3-ケトクマリン化合物、日本国特開平6-19240号公報に記載のピロメテン色素、その他、日本国特開昭47-2528号公報、日本国特開昭54-155292号公報、日本国特公昭45-37377号公報、日本国特開昭48-84183号公報、日本国特開昭52-112681号公報、日本国特開昭58-15503号公報、日本国特開昭60-88005号公報、日本国特開昭59-56403号公報、日本国特開平2-69号公報、日本国特開昭57-168088号公報、日本国特開平5-107761号公報、日本国特開平5-210240号公報、日本国特開平4-288818号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
増感色素もまた1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性着色組成物は、(d)エチレン性不飽和化合物を含む。(d)エチレン性不飽和化合物を含むことで、感度が向上する。
本発明に用いられるエチレン性不飽和化合物は、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも1個有する化合物である。具体的には、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、アクリロニトリル、スチレン、及びエチレン性不飽和結合を1個有するカルボン酸と、多価又は1価アルコールのモノエステル、等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性着色組成物は、(e)溶剤を含む。(e)溶剤を含むことで、顔料を溶剤中に分散でき、また、塗布が容易となる。
本発明の感光性着色組成物は、通常、(a)着色剤、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)光重合開始剤、(d)エチレン性不飽和化合物、(f)分散剤、及び必要に応じて使用されるその他の各種材料が、溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。溶剤の中でも、分散性や塗布性の観点から有機溶剤が好ましい。
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、プロピレングリコール-t-ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3-メチル-3-メトキシブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;
シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;
アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;
シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;
アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸プロピル、3-メトキシプロピオン酸ブチル、γ-ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;
ブチルクロリド、アミルクロリドのようなハロゲン化炭化水素類;
メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;
アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類等。
これらの有機溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、グリコールアルキルエーテルアセテート類は、単独で使用してもよいが、他の有機溶剤を併用してもよい。併用する有機溶剤として、特に好ましいのはグリコールモノアルキルエーテル類である。
本発明の感光性着色組成物においては、(a)着色剤を微細に分散させ、且つその分散状態を安定化させることが品質の安定性確保には重要なため、(f)分散剤を含む。
これらの高分子分散剤は1種を単独で使用してもよく、又は2種以上を併用してもよい。
これらの内、顔料の分散性の観点から、(f)分散剤は官能基を有するウレタン系高分子分散剤及び/又はアクリル系高分子分散剤を含むことが好ましく、アクリル系高分子分散剤を含むことが特に好ましい。
また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル結合及び/又はポリエーテル結合を有する高分子分散剤が好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又は硫黄原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に1級のアミノ基の水素原子が好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量(Mw)は通常1,000~200,000、好ましくは2,000~100,000、より好ましくは3,000~50,000の範囲である。この分子量が1,000未満では分散性及び分散安定性が劣り、200,000を超えると溶解性が低下し分散性が劣ると同時に反応の制御が困難となる。
リビング重合法には、アニオンリビング重合法、カチオンリビング重合法、ラジカルリビング重合法があり、このうち、アニオンリビング重合法は、重合活性種がアニオンであり、例えば下記スキームで表される。
また、本発明で用いることができるA-Bブロック共重合体、B-A-Bブロック共重合体1g中の4級アンモニウム塩基の量は、通常0.1~10mmolであることが好ましく、この範囲内にすることで良好な分散性を確保できる傾向がある。
100mLのビーカーに分散剤試料の0.5~1.5gを精秤し、50mLの酢酸で溶解する。pH電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を0.1mol/LのHClO4酢酸溶液にて中和滴定する。滴定pH曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
〔但し、W:分散剤試料秤取量[g]、V:滴定終点での滴定量[mL]、S:分散剤試料の固形分濃度[質量%]を表す。〕
同様に、上記式(ii)のR35及びR36における、置換基を有していてもよいアリール基としては、上記式(i)のR31~R33として例示したものを好ましく採用することができる。また、上記式(ii)のR35及びR36における、置換基を有していてもよいアラルキル基としては、上記式(i)のR31~R33として例示したものを好ましく採用することができる。
また、上記式(i)において、対アニオンのY-としては、Cl-、Br-、I-、ClO4 -、BF4 -、CH3COO-、PF6 -等が挙げられる。
本発明の感光性着色組成物には、上述の成分の他、シランカップリング剤等の密着向上剤、塗布性向上剤、現像改良剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、界面活性剤、顔料誘導体等を適宜配合することができる。
本発明の感光性着色組成物には、基板との密着性を改善するため、密着向上剤を含有させてもよい。密着向上剤としては、シランカップリング剤、燐酸基含有化合物等が好ましい。
シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、(メタ)アクリル系、アミノ系等種々のものを1種単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。
燐酸基含有化合物としては、(メタ)アクリロイル基含有ホスフェート類が好ましく、下記一般式(g1)、(g2)又は(g3)で表されるものが好ましい。
これらの燐酸基含有化合物も1種類を単独で用いても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
本発明の感光性着色組成物には、塗布性向上ため、界面活性剤を含有させてもよい。
なお、界面活性剤は、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。
本発明の感光性着色組成物には、分散性、保存性向上のため、分散助剤として顔料誘導体を含有させてもよい。
顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
光酸発生剤とは、紫外線により酸を発生することができる化合物であり、露光を行った際に発生する酸の作用により、例えばメラミン化合物等架橋剤があることで架橋反応を進行させることとなる。
本発明の感光性着色組成物には、さらに架橋剤を加えることができ、例えばメラミン又はグアナミン系の化合物を用いることができる。これら架橋剤としては、例えば、下記一般式(6)で示されるメラミン又はグアナミン系の化合物を挙げることができる。
重合促進剤として、また、基板への密着性の向上のため、メルカプト化合物を添加することも可能である。
本発明の感光性着色組成物において、(a)着色剤の含有量は、感光性着色組成物中の全固形分量に対して通常10質量%以上であり、20質量%以上であることが好ましく、さらに30質量%以上であることが好ましい。また、通常60質量%以下であることが好ましく、さらに50質量%以下であることが好ましい。
また、本発明の感光性着色組成物中に占める増感色素の配合割合は感度の観点から感光性着色組成物中の全固形分中、通常20質量%以下、好ましくは15質量%以下、更に好ましくは10質量%以下である。
本発明の感光性着色組成物は、着色スペーサー形成用に好適に使用することができ、着色スペーサーとして用いるとの観点からは黒色を呈していることが好ましい。また、その塗膜の膜厚1μm当たりの光学濃度(OD)が1.0以上であることが好ましく、1.2以上であることがより好ましく、1.5以上であることがさらに好ましく、1.8以上であることが特に好ましい。通常4.0以下であり、3.0以下であることが好ましく、2.5以下であることがより好ましい。
本発明の感光性着色組成物(以下、「レジスト」と称することがある。)は、常法に従って製造される。
通常、(a)着色剤は、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理するのが好ましい。分散処理により(a)着色剤が微粒子化されるため、レジストの塗布特性が向上する。
本発明の感光性着色組成物を硬化させることで、硬化物を得ることができる。感光性着色組成物を硬化してなる硬化物は、着色スペーサーとして好適に用いることができる。
次に、本発明の感光性着色組成物を用いた着色スペーサーについて、その製造方法に従って説明する。
着色スペーサーを形成するための支持体としては、適度の強度があれば、その材質は特に限定されるものではない。主に透明基板が使用されるが、材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルフォンなどの熱可塑性樹脂製シート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂などの熱硬化性樹脂シート、又は各種ガラスなどが挙げられる。
透明基板の厚さは、通常0.05~10mm、好ましくは0.1~7mmの範囲とされる。また各種樹脂の薄膜形成処理を行う場合、その膜厚は、通常0.01~10μm、好ましくは0.05~5μmの範囲である。
本発明の感光性着色組成物は、公知のカラーフィルター用感光性着色組成物と同様の用途に使用される。以下、着色スペーサー(ブラックフォトスペーサー)として使用される場合について、本発明の感光性着色組成物を用いたブラックフォトスペーサーの形成方法の具体例に従って説明する。
[1]基板への供給方法
本発明の感光性着色組成物は、通常、溶剤に溶解或いは分散された状態で、基板上へ供給される。その供給方法としては、従来公知の方法、例えば、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、スプレーコート法などによって行うことができる。また、インクジェット法や印刷法などにより、パターン状に供給されてもよい。
基板上に感光性着色組成物溶液を供給した後の乾燥は、ホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブンを使用した乾燥方法によるのが好ましい。また、温度を高めず、減圧チャンバー内で乾燥を行う、減圧乾燥法を組み合わせてもよい。
露光は、感光性着色組成物の塗布膜上に、ネガのマスクパターンを重ね、このマスクパターンを介し、紫外線又は可視光線の光源を照射して行う。露光マスクを用いて露光を行う場合には、露光マスクを感光性着色組成物の塗布膜に近接させる方法や、露光マスクを感光性着色組成物の塗布膜から離れた位置に配置し、該露光マスクを介した露光光を投影する方法によってもよい。また、マスクパターンを用いないレーザー光による走査露光方式によってもよい。
また、近接露光方式の場合には、露光対象とマスクパターンとの距離としては、通常10μm以上、好ましくは50μm以上、より好ましくは75μm以上である。また、通常500μm以下、好ましくは400μm以下、より好ましくは300μm以下である。
上記の露光を行った後、アルカリ性化合物の水溶液、又は有機溶剤を用いる現像によって、基板上に画像パターンを形成することができる。この水溶液には、さらに界面活性剤、有機溶剤、緩衝剤、錯化剤、染料又は顔料を含ませることができる。
現像の後の基板には、必要により上記の露光方法と同様な方法により追露光を行っても良く、また熱硬化処理を行ってもよい。この際の熱硬化処理条件は、温度は100℃~280℃の範囲、好ましくは150℃~250℃の範囲で選ばれ、時間は5分間~60分間の範囲で選ばれる。
本発明のカラーフィルターは、上述のような本発明の着色スペーサーを備えるものであり、例えば透明基板としてのガラス基板上に、ブラックマトリクスと、赤色、緑色、青色の画素着色層と、オーバーコート層とが積層されて、着色スペーサーを形成した後配向膜を形成して製造される。
以下の実施例及び比較例で用いた感光性着色組成物の構成成分は次の通りである。
BASF社製、Irgaphor(登録商標) Black S 0100 CF(下記式(2)で表される化学構造を有する)
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート145質量部を窒素置換しながら攪拌し、120℃に昇温した。ここにスチレン10質量部、グリシジルメタクリレート85.2質量部およびトリシクロデカン骨格を有するモノアクリレート(日立化成社製FA-513M)66質量部を滴下し、および2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル8.47質量部を3時間かけて滴下し、更に90℃で2時間攪拌し続けた。次に反応容器内を空気置換に変え、アクリル酸43.2質量部にトリスジメチルアミノメチルフェノール0.7質量部およびハイドロキノン0.12質量部を投入し、100℃で12時間反応を続けた。その後、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)56.2質量部、トリエチルアミン0.7質量部を加え、100℃3.5時間反応させた。こうして得られたアルカリ可溶性樹脂-IのGPCにより測定した重量平均分子量Mwは約8400、酸価は80mgKOH/gであった。
日本化薬(株)製「ZCR-1642H」(MW=6500、酸価=98mg-KOH/g)
ビックケミー社製「DISPERBYK-LPN21116」(側鎖に4級アンモニウム塩基及び3級アミノ基を有するAブロックと、4級アンモニウム塩基及びアミノ基を有さないBブロックからなる、アクリル系A-Bブロック共重合体。アミン価は70mgKOH/g。酸価は1mgKOH/g以下。)
分散剤-IのAブロック中には、下記式(1a)及び(2a)の繰り返し単位が含まれ、Bブロック中には下記式(3a)の繰り返し単位が含まれる。分散剤-Iの全繰り返し単位に占める下記式(1a)、(2a)、及び(3a)の繰り返し単位の含有割合はそれぞれ11.1モル%、22.2モル%、6.7モル%である。
ビックケミー社製「DISPERBYK-167」(ウレタン系高分子分散剤)
ルーブリゾール社製「Solsperse12000」
<溶剤-I>
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
<溶剤-II>
MB:3-メトキシブタノール
<光重合開始剤-I>
Irgacure OXE03(BASF社製)
DPHA:日本化薬(株)製 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
<添加剤>
日本化薬(株)製、KAYAMER PM-21(メタクリロイル基含有ホスフェート)
<界面活性剤>
DIC(株)製 メガファック F-559
光学濃度(OD)を透過濃度計(グレタグマクベス社製「D200-II」)にて測定した。さらに測定箇所の膜厚も測定し、単位膜厚(1μm)あたりの光学濃度(単位OD)を算出した。
対象となるパターンについて、解像性良くパターンが基板上に残っているもののうち、開口直径が最小のものの開口直径(μm)の値を最小密着とした。この値が小さいほど基板密着性に優れる。
対象となるパターンについて、加熱後の表面におけるシワの発生有無を光学顕微鏡にて70μm×70μmの視野で観察した。なお評価基準は、以下の通りである。
○:パターンの表面にミクロンオーダーのシワが観察されない
×:パターンの表面にミクロンオーダーのシワが著しく目立つ
対象となるパターンについて、(株)菱化システムの三次元非接触表面形状計測システム Micromapにて、50倍の光学レンズを用い、Focusモードで70μm×70μmの視野において表面粗度Sa(算術平均粗さ、nm)を測定した。
表1に記載の顔料、分散剤、分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を、表1に記載の質量比となるように混合した。この溶液をペイントシェーカーにより25~45℃の範囲で3時間分散処理を行った。ビーズとしては、0.5mmφのジルコニアビーズを用い、分散液の2.5倍の質量を加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、顔料分散液1を調製した。
表1に記載の顔料、分散剤、分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、及び溶剤を、表1に記載の質量比となるように混合した以外は、顔料分散液1と同様にして顔料分散液2及び3を調製した。
カーボンブラックは、通常のオイルファーネス法で製造した。但し、原料油としては、Na、Ca、S分量の少ないエチレンボトム油を用い、燃焼用にはコークス炉ガスを用いた。更に、反応停止水としては、イオン交換樹脂で処理した純水を用いた。得られたカーボンブラック540gを純水14500gと共にホモミキサーを用い5,000~6,000rpmで30分撹拌しスラリーを得た。このスラリーをスクリュー型撹拌機付容器に移し約1,000rpmで混合しながらエポキシ樹脂「エピコート828」(三菱化学(株)製)60gを溶解したトルエン600gを少量ずつ添加していった。約15分で、水に分散していたカーボンブラックは全量トルエン側に移行し、約1mmの粒となった。
得られた被覆カーボンブラック、分散剤、顔料誘導体及び溶剤を、表2に記載の質量比となるように混合した。
上記調製した顔料分散液1~4を用いて、表2の配合割合となるように各成分を加え、さらに固形分が22質量%となるようにPGMEAを加え、攪拌、溶解させて、感光性着色組成物を調製した。得られた感光性着色組成物を用いて、後述する方法で評価を行った。なお、表2中の上段の値は各成分の使用量を示している。他方、下段の値は各成分の固形分量を、感光性着色組成物の全固形分量に対する含有割合で示している。
ガラス基板(AGC社製「AN100」)上にスピナーを用いて各感光性着色組成物を塗布した。次いで、100℃にて70秒間、ホットプレート上で加熱乾燥して塗布膜を形成した。
得られた塗布膜に対し、直径5~50μm(5~20μm:1μmおき、25μm~50μm:5μmおき)の各種直径の円形パターンの完全透過開口部及び直径5~50μm(5~20μm:1μmおき、25μm~50μm:5μmおき)の各種直径の円形パターンの中間透過開口部、さらには幅100μmの直線開口部(完全透過)を有する露光マスクを用いて露光処理を施した。中間透過開口部は、Cr酸化物の薄膜で波長365nmにおける光透過率を10±2%としたものである。露光ギャップ(マスクと塗布面間の距離)は、220μmであった。光射光としては、波長365nmでの強度が32mW/cm2である紫外線を用い、露光量は100mJ/cm2とした。また、紫外線照射は空気下で行った。
これらの操作により、不要部分を除去したパターンを得た。当該パターンの形成された基板をオーブン中、230℃で20分間加熱してパターンを硬化させ、略円柱状のスペーサーパターンを得た。
他方、比較例1~3は実施例1及び2と単位ODの値は同じであるが、表面平滑性が悪く、加えて、中間透過開口部の基板密着性が悪いことが確認された。
上記調製した顔料分散液3及び4を用いて、固形分中の比率が表3の配合割合となるように各成分を加え、さらに固形分が22質量%となるようにPGMEAを加え、攪拌、溶解させて、感光性着色組成物を調製した。得られた感光性着色組成物を用いて、露光処理における露光量を40mJ/cm2とした以外は実施例1と同様の手順で評価を行った。なお、表3中の上段の値は各成分の使用量を示している。他方、下段の値は各成分の固形分量を、感光性着色組成物の全固形分量に対する含有割合で示している。また、表面平滑性の評価の視野は5cm×5cmとした。
他方、比較例4は実施例3と単位ODの値は同じであるが、表面平滑性が悪く、表面粗度の値も大きく、さらに、中間透過開口部の基板密着性が悪いことが確認された。
Claims (9)
- (a)着色剤、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)光重合開始剤、(d)エチレン性不飽和化合物、(e)溶剤、及び(f)分散剤を含有する感光性着色組成物であって、
前記(a)着色剤が、下記式(1)で表される化合物、その幾何異性体、その塩、またはその幾何異性体の塩を含有し、
前記(c)光重合開始剤が、下記式(I)で表されるオキシムエステル系化合物を含み、
前記(a)着色剤の含有量が、感光性着色組成物中の全固形分量に対して10質量%以上60質量%以下であり、
前記(c)光重合開始剤の含有割合が、感光性着色組成物の全固形分量に対して0.5質量%以上10質量%以下であることを特徴とする、感光性着色組成物。
(上記式(1)中、R11およびR16は互いに独立して水素原子、CH3、CF3、フッ素原子または塩素原子である;R12、R13、R14、R15、R17、R18、R19およびR20は他の全てから互いに独立して水素原子、ハロゲン原子、R21、COOH、COOR21、COO-、CONH2、CONHR21、CONR21R22、CN、OH、OR21、COCR21、OOCNH2、OOCNHR21、OOCNR21R22、NO2、NH2、NHR21、NR21R22、NHCOR22、NR21COR22、N=CH2、N=CHR21、N=CR21R22、SH、SR21、SOR21、SO2R21、SO3R21、SO3H、SO3 -、SO2NH2、SO2NHR21またはSO2NR21R22である;且つ、R12とR13、R13とR14、R14とR15、R17とR18、R18とR19、及びR19とR20からなる群から選ばれる少なくとも1つの組み合わせは、互いに直接結合し、または酸素原子、硫黄原子、NH若しくはNR21ブリッジによって互いに結合することもできる;R21およびR22は互いに独立して、炭素数1~12のアルキル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、炭素数2~12のアルケニル基、炭素数3~12のシクロアルケニル基または炭素数2~12のアルキニル基である。)
(上記一般式(I)中、
R1は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R2は、置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は置換基を有していてもよいアリーロイル基を表す。
R3は、水素原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
R4は、置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
R5及びR6は各々独立に、置換基を有していてもよいベンゼン環、又は置換基を有していてもよいナフタレン環を表す。ただし、R5及びR6の少なくともいずれか1つは、置換基を有していてもよいナフタレン環である。
R1及びR4の少なくともいずれか1つは、置換基として-OR7基を有する。ただしR7はハロゲノアルキル基を表す。
Xは、直接結合、又はカルボニル基を表す。
Zは、直接結合、又はカルボニル基を表す。) - 前記(a)着色剤が、カーボンブラックを含有する、請求項1に記載の感光性着色組成物。
- 前記(a)着色剤100質量部に対するカーボンブラックの含有割合が、5質量部以上50質量部以下である、請求項2に記載の感光性着色組成物。
- 硬化した塗膜の膜厚1μm当たりの光学濃度が1.0以上である、請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性着色組成物。
- 前記(b)アルカリ可溶性樹脂が下記アルカリ可溶性樹脂(b1)及び/又はアルカリ可溶性樹脂(b2)を含有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性着色組成物。
<アルカリ可溶性樹脂(b1)>
エポキシ樹脂にα,β-不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β-不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸及び/又はその無水物を反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。
<アルカリ可溶性樹脂(b2)>
エポキシ樹脂にα,β-不飽和モノカルボン酸又はカルボキシル基を有するα,β-不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多価アルコール、及び多塩基酸及び/又はその無水物と反応させることによって得られたアルカリ可溶性樹脂。 - フォトリソグラフィー法により高さの異なる着色スペーサーを一括形成するために用いる、請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性着色組成物。
- 請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性着色組成物を硬化して得られる硬化物。
- 請求項7に記載の硬化物から形成される着色スペーサー。
- 請求項8に記載の着色スペーサーを備える画像表示装置。
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