JP7484773B2 - 紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法、紫外線発光素子用基板の製造方法及び紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ - Google Patents
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Description
図2,3に、本発明に係る紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの一例を示す。図2に示されるように、本発明に係る紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ100Aは、少なくとも一方の表面が窒化ガリウムからなる支持基板1と、支持基板1の窒化ガリウムからなる表面の上の接合層2と、接合層2上のAlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)単結晶からなる種結晶層3を含む貼り合わせ基板4と、貼り合わせ基板4の種結晶層3の上の紫外発光素子層5を備えている。図2の例では、紫外発光素子層5の詳細は省略してある。紫外発光素子層5は、図3に示すように少なくともAlyGa1-yN(0.5<y≦1.0)からなる第一導電型クラッド層6と、AlGaN系活性層7と、AlzGa1-zN(0.5<z≦1.0)からなる第二導電型クラッド層8を含んでいる。
本発明に係る紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハから支持基板を分離除去したものが、本発明に係る紫外線発光素子用基板となる。
図1に、本発明に係る紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ及び紫外線発光素子用基板の製造方法の概略フロー図を示す。
まず、少なくとも一方の表面が窒化ガリウムからなる支持基板を準備する(S1)。次に、支持基板の窒化ガリウムからなる表面に接合層を形成する(S2)。接合層の形成方法は特に限定されないが、例えばSiO2などの透明接合層を成膜する方法が挙げられる。あるいは、GaN表面をプラズマやアルゴンイオンエッチングによって、活性化してアモルファス層を形成する方法が挙げられる。このとき、種結晶層側のAlGaNの表面も同様にしてアモルファス層を形成することが好ましい。
貼り合わせ基板をMOVPE装置の反応炉内に導入する。貼り合わせ基板を反応炉に導入する前に、薬品によりクリーニングを行うことが好ましい。貼り合わせ基板を反応炉内に導入後、窒素などの高純度不活性ガスで炉内を満たして、炉内のガスを排気する。
まず、貼り合わせ基板を反応炉内で加熱して、基板の表面をクリーニングすることが好ましい。クリーニングを行う温度は、貼り合わせ基板表面の温度で1000℃から1200℃の間とすることができるが、特に1050℃でクリーニングを行うことで清浄な表面を得ることができる。クリーニングは、炉内の圧力が減圧された後に実施することが好ましく、炉内圧力は30mbar(30×102Pa)から200mbar(200×102Pa)の間とすることができる。反応炉内には、水素、窒素、アンモニアなどからなる混合ガスを供給した状態で10分程度クリーニングを行う。これらの条件は一例であり、特に限定されるものではない。
種結晶層上には、第一導電型クラッド層を成長する前にHVPE法により厚膜のエピタキシャル層を成長させてもよい(S4)。
また、第一導電型クラッド層を成長する前にホモエピタキシャル層を形成する(S5)ことも好ましい。この工程では、規定の炉内圧力及び基板温度において、原料であるAl、Ga、N源となるガスを導入することによって、貼り合わせ基板上に、AlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)をエピタキシャル成長させる。この工程では、例えば炉内圧力は50mbar(50×102Pa)、基板温度1120℃で成長させることができる。Al源としてはトリメチルアルミニウム(TMAl)、Ga源としてはトリメチルガリウム(TMGa)、N源としてはアンモニア(NH3)を用いることができる。また、所望のAl組成の混晶を得るために、原料ガスの材料効率を考慮して、薄膜中に取り込まれるAl/Ga比が設定している比率になるように、原料のTMAl、TMGaの流量を設定する。TMAl、TMGa、NH3のキャリアガスは例えば水素を使用することができる。これらの条件は一例であり、特に限定されるものではない。
次に、種結晶層上に(ホモエピタキシャル層を形成した場合にはホモエピタキシャル層の上に)、紫外発光素子層をエピタキシャル成長により形成する(S6)。例えば、以下のようにして紫外発光素子層を形成することができる。
この工程は、種結晶層上に第一導電型クラッド層を成長する工程である。この工程では、反応炉内を規定の炉内圧力、基板温度に保持した後、原料のTMAl、TMGa、NH3及びn型導電性にするための不純物ガスを、炉内に供給して第一導電型クラッド層を成長する。第一導電型クラッド層は、AlyGa1-yN(0.5<y≦1.0)で表される組成で自由に作製することができる。
この工程は、第一導電型クラッド層の上にAlGaN系活性層を成長する工程である。この工程では、反応炉内を規定の炉内圧力、基板温度に保持した後、原料のTMAl、TMGa、NH3を炉内に供給してAlGaN系活性層を成長する。AlGaN系活性層は、一例として障壁層Al0.75Ga0.25N、井戸層Al0.6Ga0.4Nとすることができる。また、この工程の規定の炉内圧力は例えば75mbar(75×102Pa)、基板温度は1100℃とすることができる。各層で所望のAl組成の混晶を得るために、原料ガスの材料効率を考慮して、薄膜中に取り込まれるAl/Ga比が設定している比率になるように、原料のTMAl、TMGaの流量を設定する。これらの値は、一例であり特に限定されるものではない。
この工程は、AlGaN系活性層の上に第二導電型クラッド層を成長する工程である。この工程では、反応炉内を規定の炉内圧力、基板温度に保持した後、原料のTMAl、TMGa、NH3、及びp型導電性にするための不純物原料を、炉内に供給して第二導電型クラッド層を成長する。第二導電型クラッド層は、AlzGa1-zN(0.5<z≦1.0)で表される組成で自由に作製することができる。また、組成を変えて複数層形成されてもよい。
この工程は、第二導電型クラッド層の上にp型AlGaNコンタクト層を成長する工程である。この工程では、反応炉内を規定の炉内圧力、基板温度に保持した後、原料のTMAl、TMGa、NH3、及びp型導電性にするための不純物原料を、炉内に供給してp型AlGaNコンタクト層を成長する。この工程の規定の炉内圧力は例えば75mbar(75×102Pa)、基板温度は1100℃とすることができる。これらの値は、一例であり特に限定されるものではない。p型導電性にするための不純物原料は、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)を用いることができる。原料ガスを輸送するためのキャリアガスは、水素とすることができる。
この工程では、加熱炉内で所定の温度、時間でウェーハをアニールすることで、第二導電型クラッド層、p型AlGaNコンタクト層のp型不純物を活性化させる。加熱炉内での活性化は、例えば750℃、10分とすることができる。
紫外発光素子層の上には、紫外光に対して透明な恒久支持基板を接合(S7)してもよい。また、HVPE法により厚膜のエピタキシャル層を成長させてもよい(S8)。
例えば、深紫外発光ダイオードなどの紫外線発光素子用基板を作製するために、エピタキシャル層、種結晶を透過し、且つGaNに吸収されるレーザー光を第二導電型クラッド層側(紫外発光素子層側)から照射して、種結晶層と種結晶上のエピタキシャル層から前記の支持基板を分離する(S9)。照射したレーザー光は支持基板表面の窒化ガリウムで吸収され、発生した熱により支持基板が剥離し、分離される。
貼り合わせ基板の作製時(S3)に、AlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)単結晶からなる種結晶を貼り合わせ、種結晶層を剥離して残った単結晶及び剥離された支持基板を再生して使用することにより、高価な化合物半導体基板を再利用できるので、低コスト化することができる。
(実施例1)
窒化ガリウム自立基板上に、SiO2からなる接合層を2μm成長し、AlN単結晶からなる種結晶を貼り合わせた基板を準備した。予め、AlN単結晶の窒素面からイオン注入によって、脆弱層を形成して、接合、剥離することによって、前記接合層上に200nmの厚さのAlN単結晶層を形成した。その後、剥離されて残ったAlN単結晶層の表面を研磨し残存した脆弱層を取り除いて良好な種結晶層表面を得た。なお、剥離後のAlN単結晶は、回収し、再研磨して種結晶層形成用基板として再利用した。
窒化ガリウム(GaN)自立基板上に、常温接合によってAlN単結晶からなる種結晶を貼り合わせた基板を準備した。すなわち、AlN単結晶の窒素面からイオン注入によって、脆弱層を形成した後、AlN単結晶、GaN自立基板表面をアルゴンイオンエッチングによって、活性化してアモルファス層(接合層)を形成し、加圧する方法で接合し、AlN単結晶を脆弱層で剥離して貼り合わせ基板を得た。なお、剥離後のAlN単結晶は、回収し、再研磨して種結晶層形成用基板として再利用した。
活性化アニール工程まで、実施例2と同様の手順で、エピタキシャルウェーハを作製した。前記ウェーハのp型AlGaNコンタクト層上にHVPE法を用いて、AlGaNを150μm成長した。AlGaN層は、前記p型AlGaNコンタクト層と格子整合させるため、AlGaNコンタクト層と同じAl組成で作製した。
サファイヤ基板をMOVPE装置の反応炉内に導入し、1030℃に加熱して水素を供給した状態で10分間クリーニングを行った。規定の炉内圧力及び基板温度において、原料であるAl、Ga、N源となるガスを導入することによって、サファイヤ基板上に、エピタキシャル層の結晶性を改善するためのバッファー層を3μm成長した。第一導電型クラッド層を成長する工程~活性化アニール工程は、実施例1の方法と同じ製造方法で、深紫外線領域の発光ダイオード用エピタキシャル基板を作製した。
比較例1の方法から、バッファー層を成長する工程を、500℃で低温GaNを成長した後、1100℃に昇温してGaN層を100nm成長する方法に変更して、レーザーリフトオフの剥離層をエピタキシャル成長で作製する深紫外線領域の発光ダイオード用エピタキシャル基板を作製した。エピタキシャル基板をMOVPE装置から取り出したところ、エピタキシャル層に全面クラックが発生していた。また、貫通転位密度を比較したところ、実施例の方法では、3~7×104cm-1であったのに対して、比較例2の方法では、2×108cm-1であり、貫通転位密度が著しく増加した。
5…紫外発光素子層、 6…第一導電型クラッド層、 7…AlGaN系活性層、
8…第二導電型クラッド層、 9…井戸層、 10…障壁層、 11…コンタクト層、
12…ホモエピタキシャル層、
100A、100B…紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。
Claims (11)
- 少なくとも一方の表面が窒化ガリウムからなる支持基板を準備する工程と、
前記支持基板の前記窒化ガリウムからなる前記表面に接合層を形成する工程と、
前記接合層上にAlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)単結晶からなる種結晶を貼り合わせて種結晶層を有する貼り合わせ基板を形成する工程と、
前記貼り合わせ基板の前記種結晶層上に、少なくとも、AlyGa1-yN(0.5<y≦1.0)からなる第一導電型クラッド層と、AlGaN系活性層と、AlzGa1-zN(0.5<z≦1.0)からなる第二導電型クラッド層を含む紫外発光素子層をエピタキシャル成長させる工程とを有し、
前記支持基板を、GaN層を備えたサファイヤ基板、GaN層を備えたSiC基板、GaN層を備えたSi基板、表面がGaN単結晶からなる材料であるエンジニアリング基板のいずれかとすることを特徴とする紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記貼り合わせ基板を形成する工程では、AlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)単結晶自立基板又はAlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)エピタキシャル基板にイオン注入を行うことで内部に脆弱層を形成した後、前記支持基板と貼り合わせ、前記脆弱層で剥離することにより前記種結晶層を形成することを特徴とする請求項1に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記第一導電型クラッド層を成長する前に、前記種結晶層上にHVPE法によりエピタキシャル層を成長させる工程を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記紫外発光素子層側に紫外光に対して透明な恒久支持基板を接合する工程を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記紫外発光素子層側にHVPE法によりエピタキシャル層を成長させる工程を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハの製造方法により得た紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハに対し、窒化ガリウムに吸収されるレーザー光を前記紫外発光素子層側から照射して、前記支持基板を分離して紫外線発光素子用基板を得ることを特徴とする紫外線発光素子用基板の製造方法。
- 少なくとも一方の表面が窒化ガリウムからなる支持基板と、前記支持基板の前記窒化ガリウムからなる前記表面上の接合層と、前記接合層上のAlxGa1-xN(0.5<x≦1.0)単結晶からなる種結晶層を含む貼り合わせ基板と、
前記貼り合わせ基板の前記種結晶層上の紫外発光素子層であって、少なくともAlyGa1-yN(0.5<y≦1.0)からなる第一導電型クラッド層と、AlGaN系活性層と、AlzGa1-zN(0.5<z≦1.0)からなる第二導電型クラッド層を含む紫外発光素子層を備え、
前記支持基板は、GaN層を備えたサファイヤ基板、GaN層を備えたSiC基板、GaN層を備えたSi基板、表面がGaN単結晶からなる材料であるエンジニアリング基板のいずれかであることを特徴とする紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。 - 前記種結晶層が、波長230nmの光の光透過率が70%以上のものであることを特徴とする請求項7に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。
- 前記AlGaN系活性層は、多重量子井戸(MQW)構造であり、Al、Ga、N以外の構成元素としてInを含み、前記Inの割合が1%未満のものであることを特徴とする請求項7又は請求項8のいずれか一項に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。
- 前記AlGaN系活性層は、25℃、0.2A/mm2の電流注入時に発光するスペクトルのλpが290nmより短波長のものであることを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか一項に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。
- 前記紫外発光素子層側に紫外光に対して透明な恒久支持基板を備えることを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか一項に記載の紫外線発光素子用エピタキシャルウェーハ。
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