JP7464856B2 - β－ジケトン保存容器及び充填方法 - Google Patents
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Description
本開示は、半導体製造装置で使用されるβ－ジケトンの保存容器等に関する。
アセチルアセトン、ヘキサフルオロアセチルアセトン（１，１，１，５，５，５－ヘキサフルオロ－２，４－ペンタンジオン）などを代表としたβ－ジケトンは数多くの種類の金属と容易に反応し錯体を形成することから、現在、半導体層や金属層の成膜またはエッチング、及びチャンバー内のクリーニングなど、半導体製造装置での使用が期待されている。半導体製造装置で使用するためには、β－ジケトン中のわずかな不純物が製品の品質に影響を及ぼすため高純度のものが要求される。
有機材料であるβ－ジケトンは、通常は、耐久性樹脂またはガラス製の容器に保存される。しかし、容器の密閉性、耐久性、配管との接続の容易さの観点から、実際に半導体製造装置で使用するためには、金属製容器に入れて使用することが望ましい。
しかし、金属製容器にβ－ジケトンを保存する場合、容器を構成する金属とβ－ジケトンが錯体を形成してβ－ジケトン中に金属が溶出し、保存中にβ－ジケトン中の金属不純物が増加するという問題があった。
特許文献１においては、ステンレス鋼などの金属製容器の内表面に、四フッ化エチレンとパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体であるＰＦＡなどの化学的に安定なフッ素樹脂の皮膜を形成した薬品容器が、耐薬品性を備えた金属製容器として検討されている。
しかし、特許文献１に記載のフッ素樹脂の皮膜を形成したステンレス鋼製の容器に、β－ジケトンを保存する場合、β－ジケトンがフッ素樹脂を透過して一部は金属表面まで到達してしまうため、金属成分の溶出を防止することができなかった。
また、特許文献２においては、保存する液体、例えば液晶材料などの融点が－７０℃から３０℃の有機材料の比抵抗等の品位を十分に維持するために、鉄、銅、耐腐食性鋼鉄、アルミニウム又はチタンから選ばれる金属製容器の内表面に１０ｎｍ～１０００μｍの膜厚を有する無機皮膜を形成している。
β－ジケトンは鉄などの遷移金属と錯体を形成しやすいので、ステンレス鋼などの遷移金属を含む材料は、β－ジケトンの保存容器の材料として好ましくない。そこで、β－ジケトンとは錯体を形成しにくいアルミニウム素材を用いた容器にβ－ジケトンを保存することが考えられる。
特許文献３においては、ヘキサフルオロアセチルアセトンをＡｌ製容器、Ａｌ－Ｍｇ合金製容器、またはＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金製容器に保存する場合、容器への導入直後に金属製容器の内表面に存在する自然酸化膜と反応し、金属錯体が生成して純度が低下する問題が生じることから、事前にその自然酸化膜を除去する洗浄工程を設けることで、純度の低下を防止している。
しかしながら、半導体製造装置に気体のβ－ジケトンを供給する場合、β－ジケトン充填済み容器を液体のβ－ジケトンが気化する温度まで加熱する必要がある。例えば、ヘキサフルオロアセチルアセトンは、一気圧での沸点が約７０℃であり、気体として使用する場合は保存容器を少なくとも６０℃以上、好ましくは８０℃まで加熱する必要があるが、特許文献３に記載されているように自然酸化膜を除去したアルミニウム製容器を用いても、加熱を長時間続けた場合、β－ジケトン中への金属成分の溶出を防止することができなかった。なお、半導体製造装置に気体のβ－ジケトンを供給する場合、気体のβ－ジケトンを供給するときにのみβ－ジケトン充填済み容器を加熱する場合もあるが、気体のβ－ジケトンを供給しないときでも、β－ジケトン充填済み容器を加熱し続ける場合がある。そのため、β－ジケトン充填済み容器を長時間加熱し続けても、β－ジケトン中への金属成分の溶出を抑えることが求められている。
本開示は、液体のβ－ジケトンを充填し、上記液体のβ－ジケトンを気化できる状態に保持したときであっても、液体のβ－ジケトン中の金属不純物の増加を抑制することのできる、β－ジケトンの保存容器等を提供することを目的とする。
本発明者らは、鋭意検討の結果、内面に二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の無機皮膜が形成されたＡｌ製またはＡｌ合金製の保存容器にβ－ジケトンを保存すると、高温で長期間保持してもβ－ジケトン中の金属不純物の増加を抑制できることを見出し、本開示に到達した。
すなわち本開示は、内部に液体状のβ－ジケトンを充填するための金属製の保存容器であって、上記金属が、アルミニウム素材であり、上記保存容器の内表面が、二酸化ケイ素、窒化炭化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ダイヤモンド及びダイヤモンドライクカーボンからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む無機皮膜を有する、ことを特徴とする、β－ジケトン保存容器を提供するものである。
本開示により、液体のβ－ジケトンを充填し、上記液体のβ－ジケトンを気化できる状態に保持したときであっても、液体のβ－ジケトン中の金属不純物の増加を抑制することのできる、β－ジケトンの保存容器等を提供することができる。
以下、本開示について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は本開示の実施形態の一例であり、これらの具体的内容に限定はされない。その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
［充填済み容器］
本実施形態のβ－ジケトン充填済み容器１０を図１に示す。β－ジケトン充填済み容器１０は、液体状のβ－ジケトンを金属製の保存容器１１に充填して得られる。保存容器１１中では、β－ジケトンは気相２１と液相２３に分かれている。保存容器１１には、β－ジケトンの充填と取出が可能な取出口１３が取り付けられており、気相２１のβ－ジケトンを気体で供給することができる。その際に、β－ジケトン充填済み容器１０を加熱し、液相２３のβ－ジケトンの気化熱を補う必要がある。
本実施形態のβ－ジケトン充填済み容器１０を図１に示す。β－ジケトン充填済み容器１０は、液体状のβ－ジケトンを金属製の保存容器１１に充填して得られる。保存容器１１中では、β－ジケトンは気相２１と液相２３に分かれている。保存容器１１には、β－ジケトンの充填と取出が可能な取出口１３が取り付けられており、気相２１のβ－ジケトンを気体で供給することができる。その際に、β－ジケトン充填済み容器１０を加熱し、液相２３のβ－ジケトンの気化熱を補う必要がある。
［保存容器］
本開示の好ましい実施形態において、金属製の保存容器１１は、アルミニウム素材を用いて成形された容器であり、その内表面に二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の無機皮膜１５が形成されている。本開示において、アルミニウム素材とは、ＪＩＳ Ｈ ４０００：２０１４にて規定された純アルミニウム及びアルミニウム合金をいう。
本開示の好ましい実施形態において、金属製の保存容器１１は、アルミニウム素材を用いて成形された容器であり、その内表面に二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の無機皮膜１５が形成されている。本開示において、アルミニウム素材とは、ＪＩＳ Ｈ ４０００：２０１４にて規定された純アルミニウム及びアルミニウム合金をいう。
本開示の好ましい実施形態において、アルミニウム素材としては、純度が９９質量％以上、好ましくは９９．５質量％以上で残部が不可避不純物である純アルミニウム、例えば、Ａ１０５０を使用することができる。アルミニウム合金としては、Ａｌを９０質量％以上９９．９質量％以下含み、Ｍｇを０．１質量％以上１０質量％以下含むＡｌ－Ｍｇ合金、例えば、Ａ５０５２を使用することができる。また、アルミニウム合金としては、Ａｌを９４質量％以上９９．８質量％以下含み、Ｍｇを０．１質量％以上５質量％以下含み、Ｓｉを０．１質量％以上１質量％以下含むＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金、例えば、Ａ６０６１を使用することができる。
保存容器は、β－ジケトンの１気圧での沸点以上に加熱されて使用される。保存容器の形状は、特に限定されないが、一般的には、ボンベやシリンダーと呼ばれる、一端が閉じていて、他端が液体状のβ－ジケトンの充填及びガス状態のβ－ジケトンの取出ができる開口部が設けられた円筒形状とすることができる。開口部には取出口１３を設けることができ、取出口１３からは、ガス状態のβ－ジケトンを外部に供給することができる。
無機皮膜の膜厚は１０ｎｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは１００ｎｍ以上１００μｍ以下、さらに好ましくは５００ｎｍ以上５０μｍ以下である。
無機皮膜が薄すぎると、無機皮膜の欠陥などからβ－ジケトンと金属とが接触する可能性があるので、無機皮膜の膜厚は５００ｎｍ以上あることが好ましい。
無機皮膜が薄すぎると、無機皮膜の欠陥などからβ－ジケトンと金属とが接触する可能性があるので、無機皮膜の膜厚は５００ｎｍ以上あることが好ましい。
本実施形態にかかる保存容器は、アルミニウム素材の板を用いて容器を作成した後、内表面に無機皮膜を形成して得られる。保存容器の内表面に無機皮膜を形成する方法として、真空蒸着やスパッタリングなどの物理的気相成長法（ＰＶＤ）、化学的気相成長法（ＣＶＤ）、原料溶液を塗布して焼成する方法などが挙げられる。
無機皮膜は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ダイヤモンド及びダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む。無機皮膜中の上記材料の含有量は９９質量％以上であることが好ましく、９９．９質量％以上であることがより好ましく、不可避不純物のみを含む高純度な無機皮膜であることが特に好ましい。
炭化水素、あるいは、炭素の同素体からなる非晶質（アモルファス）の硬質膜である。
窒化炭化ケイ素は、化学式ではＳｉＣｘＮｙ（ｘは０．３以上９以下、ｙは０．３以上９以下）で表される材料である。
炭化ケイ素は、化学式ではＳｉＣで表される材料である。
窒化ケイ素は、化学式ではＳｉＮｘ（ｘは０．３以上９以下）で表される材料であり、通常はＳｉ３Ｎ４である。
ダイヤモンドは、炭素原子がダイヤモンド立方晶系の結晶構造を持つ材料である。例えば、ダイヤモンド薄膜はＣＶＤ法により得ることができる。
炭化水素、あるいは、炭素の同素体からなる非晶質（アモルファス）の硬質膜である。
特に、本実施形態においては、無機皮膜は、二酸化ケイ素、窒化炭化ケイ素及びダイヤモンドライクカーボンからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むことが好ましく、二酸化ケイ素及び窒化炭化ケイ素からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むことがより好ましい。
β－ジケトンは、２個のカルボニル基が１個の炭素を隔てて結合した化合物であり、具体的には、Ｒ１－ＣＯ－ＣＲ３Ｒ４－ＣＯ－Ｒ２（Ｒ１、Ｒ２は炭素数１～１０の炭化水素基であり、ヘテロ原子やハロゲン原子を有していてもよい。Ｒ３、Ｒ４は、水素原子、ハロゲン原子、又はＲ１、Ｒ２と同様の炭化水素基である。ヘテロ原子としては、窒素、酸素、硫黄、リン、塩素、ヨウ素又は臭素を挙げられる。Ｒ１～Ｒ４は、同じであっても異なっていてもよい。但し、炭化水素基は、炭素数が３以上の場合にあっては、分岐鎖あるいは環状構造のものも使用できる。）で表される化合物が好ましい。具体的には、β－ジケトンとして、アセチルアセトンやヘキサフルオロアセチルアセトン、トリフルオロアセチルアセトンなどを挙げることができる。
特に、本実施形態で用いるβ－ジケトンは、化学式にフッ素原子を含むことが好ましい。具体的には、β－ジケトンとして、ヘキサフルオロアセチルアセトン、トリフルオロアセチルアセトン、１，１，１，６，６，６－ヘキサフルオロ－２，４－ヘキサンジオン、４，４，４－トリフルオロ－１－（２－チエニル）－１，３－ブタンジオン、４，４，４－トリフルオロ－１－フェニル－１，３－ブタンジオン、１，１，１，５，５，５－ヘキサフルオロ－３－メチル－２，４－ペンタンジオン、１，１，１，３，５，５，５－ヘプタフルオロ－２，４－ペンタンジオン及び１，１，１－トリフルオロ－５，５－ジメチル－２，４－ヘキサンジオンを挙げることができる。
［充填方法］
本実施形態におけるβ－ジケトンの充填方法は、前述の保存容器に液体状のβ－ジケトンを充填する充填工程を含むことを特徴とする。本実施形態の充填方法により、本実施形態のβ－ジケトン充填済み容器を得ることができる。
本実施形態におけるβ－ジケトンの充填方法は、前述の保存容器に液体状のβ－ジケトンを充填する充填工程を含むことを特徴とする。本実施形態の充填方法により、本実施形態のβ－ジケトン充填済み容器を得ることができる。
本実施形態の充填方法は、充填工程の前に、保存容器の内表面を、１０℃以上の温度で、充填工程で充填するβ－ジケトンと同じβ－ジケトンにより洗浄する洗浄工程を有することが好ましい。洗浄工程では、まず不活性ガスにより置換した容器内に液体状のβ－ジケトンを入れて密閉し、一定の温度で一定時間保持する。この際、不活性ガスの種類については特に問わない。温度については、１０～４００℃の温度範囲が好ましい。より好ましいのは２０～２００℃の温度範囲、さらに好ましくは４０～１２０℃の温度範囲である。また、保持時間は、適宜設定することができるが、１分以上１週間以内が好ましく、１時間以上５日以内がより好ましい。次に、容器内の液体状のβ－ジケトンを廃棄し、もう一度液体状のβ－ジケトンにより洗浄した後、不活性ガス雰囲気下で乾燥を行う。この際の不活性ガスの種類、条件についても特に問わない。不活性ガスとして、例えば、窒素ガス、アルゴンガス、ネオンガス、ヘリウムガス、クリプトンガス又はキセノンガスを用いることができる。
なお、洗浄工程において、容器内に液体状のβ－ジケトンを入れて密封した際の温度を、８０℃以上にすることが好ましく、９０℃以上にすることがより好ましく、１００℃以上にすることがさらに好ましい。
［β－ジケトンの供給方法］
本実施形態におけるβ－ジケトンの供給方法は、前述の充填方法により得られたβ－ジケトン充填済み容器を、６０℃以上に加熱して、気体のβ－ジケトンを供給する供給工程を含むことを特徴とする。
本実施形態におけるβ－ジケトンの供給方法は、前述の充填方法により得られたβ－ジケトン充填済み容器を、６０℃以上に加熱して、気体のβ－ジケトンを供給する供給工程を含むことを特徴とする。
供給工程におけるβ－ジケトン充填済み容器の加熱温度は、７０℃以上であってもよく、８０℃以上であってもよい。温度が高くなるほど、気体のβ－ジケトンを大量に供給することが容易となるが、金属成分の溶出が生じやすくなる。また、容器の加熱時間は特に限定されないが、気体のβ－ジケトンの供給が必要なときにのみ加熱を行ってもよいし、１月以上や１年以上といった長期間にわたって加熱し続けてもよい。
本実施形態のβ－ジケトン保存容器中のβ－ジケトンは、仮に８０℃で１年間保持したとしても、液体状のβ－ジケトン中のアルミニウムの濃度の増加量が、５０質量ｐｐｂ以下であることが好ましい。より好ましくは３０質量ｐｐｂ以下、さらに好ましくは１０質量ｐｐｂ以下である。
以下、実施例により本開示を詳細に説明するが、かかる実施例に限定されるものではない。
［実施例１～９、比較例１～３］
厚み１μｍの二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）又はダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の無機皮膜を内表面に形成したＡｌ（Ａ１０５０）製容器、Ａｌ－Ｍｇ合金（Ａ５０５２）製容器及びＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金（Ａ６０６１）製容器、並びに、無機皮膜を内表面に形成していないＡｌ（Ａ１０５０）製容器、Ａｌ－Ｍｇ合金（Ａ５０５２）製容器及びＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金（Ａ６０６１）製容器を準備した。なお、ＳｉＯ２の無機皮膜は、シリカの原料溶液を塗布したのち、３００℃以上で焼成することによって得た。ＳｉＣＮの無機皮膜は、ＰＶＤ法により得た。ＤＬＣの無機皮膜は、プラズマＣＶＤ法により得た。いずれの無機皮膜も各材料の含有量が９９質量％以上であった。
厚み１μｍの二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化炭化ケイ素（ＳｉＣＮ）又はダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の無機皮膜を内表面に形成したＡｌ（Ａ１０５０）製容器、Ａｌ－Ｍｇ合金（Ａ５０５２）製容器及びＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金（Ａ６０６１）製容器、並びに、無機皮膜を内表面に形成していないＡｌ（Ａ１０５０）製容器、Ａｌ－Ｍｇ合金（Ａ５０５２）製容器及びＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金（Ａ６０６１）製容器を準備した。なお、ＳｉＯ２の無機皮膜は、シリカの原料溶液を塗布したのち、３００℃以上で焼成することによって得た。ＳｉＣＮの無機皮膜は、ＰＶＤ法により得た。ＤＬＣの無機皮膜は、プラズマＣＶＤ法により得た。いずれの無機皮膜も各材料の含有量が９９質量％以上であった。
次に、窒素ガスによって容器内を置換した。容器内に液体状のβ－ジケトンを入れて密閉した後加熱し、１００℃で４日間保持し、容器内を洗浄した。容器内の液体状のβ－ジケトンを廃棄し、もう一度液体状のβ－ジケトンで洗浄した後、窒素ガスにて乾燥し、容器内を窒素ガスで置換した。
上記容器に液体状のβ－ジケトンとして、ＡｌとＦｅの濃度がいずれも５質量ｐｐｂ以下のヘキサフルオロアセチルアセトンを入れて密閉した後、８０℃に加熱して１月又は１年間放置した。容器内の液体状のβ－ジケトン中の金属成分を、試験前と１月後と１年後に、ＩＣＰ－ＭＳ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて分析した。なお、各実施例と比較例において、窒素ガスとしてフィルターにより金属パーティクルを除去した窒素ガスを使用した。
以上の操作で得られた結果を表１に示す。実施例１～６によると、ＳｉＯ２又はＳｉＣＮの無機皮膜を内表面に形成した容器からは、１月後と１年後のそれぞれにおいて、Ａｌ成分の増加が認められていない。一方、比較例１～３によると、内表面に無機皮膜を持たない容器内の液体状のβ－ジケトンからはＡｌ成分の増加が認められた。実施例７～９によると、ＤＬＣの無機皮膜を有する容器内のβ－ジケトンに関しては、１月後にはＡｌ成分の増加が認められなかったものの、１年後にはＡｌ成分の増加は見られたが、比較例１～３と比較した場合、増加量は少なかった。
特許文献３に記載されている実施例では３０℃で１週間又は２週間保持してもヘキサフルオロアセチルアセトン中のＡｌ濃度が変わっていなかったが、特許文献３に記載された保存方法を追試した比較例１～３では、８０℃という高温で、１月以上という長期間保持したため、Ａｌ成分の増加が認められた。
［実施例１０、比較例４］
洗浄工程における温度を１００℃から２０℃に変更する以外は、実施例１及び比較例１と同様に、β－ジケトンの保存試験を行った。
洗浄工程における温度を１００℃から２０℃に変更する以外は、実施例１及び比較例１と同様に、β－ジケトンの保存試験を行った。
以上の操作で得られた結果を表１に示す。実施例１０と比較例４を比較すると、２０℃で洗浄した場合でも、無機皮膜があれば、Ａｌ成分の増加を抑えられることが分かった。ただし、実施例１０と実施例１を比較すると、β－ジケトンを充填する前に、１００℃で洗浄した実施例１の方が、２０℃で洗浄した実施例１０よりもＡｌ成分の増加を抑えられることが分かった。
［比較例５］
厚み１μｍのＰＦＡを内表面に有するステンレス鋼（ＳＵＳ３０４Ｌ）製容器を用いた以外は実施例１と同様に、β－ジケトンの保存試験を行った。
厚み１μｍのＰＦＡを内表面に有するステンレス鋼（ＳＵＳ３０４Ｌ）製容器を用いた以外は実施例１と同様に、β－ジケトンの保存試験を行った。
以上の操作で得られた結果を表１に示す。比較例５によると、ＰＦＡを内表面に有するステンレス鋼製容器内の液体状のβ－ジケトンからはＦｅ成分の大幅な増加が認められた。比較例５から、特許文献１に記載の容器では、金属成分の溶出を防止できないことが明らかとなった。
また、仮にステンレス鋼容器の内表面に、ＳｉＯ２等の無機皮膜を形成するとしても、ステンレス鋼に由来する金属成分がβ－ジケトンに溶出することを防げないと考えられる。
以上の結果より、金属製容器としてアルミニウム素材を用い、ＳｉＯ２、ＳｉＣＮ又はＤＬＣの無機皮膜を内表面に有する容器を使用することで、高温での長期保存中の液体状のβ－ジケトン中の金属成分の増加を防ぐことができたことが分かる。また、金属製容器としてアルミニウム素材を用い、炭化ケイ素、窒化ケイ素又はダイヤモンドの無機皮膜を内表面に有する容器を使用した場合においても、高温での長期保存中の液体状のβ－ジケトン中の金属成分の増加を防ぐことができる。
本願は、２０１９年５月２８日に出願された日本国特許出願２０１９－０９９４３１号を基礎として、パリ条約ないし移行する国における法規に基づく優先権を主張するものである。該出願の内容は、その全体が本願中に参照として組み込まれている。
１０ β－ジケトン充填済み容器
１１ 保存容器
１３ 取出口
１５ 無機皮膜
２１ 気相
２３ 液相
１１ 保存容器
１３ 取出口
１５ 無機皮膜
２１ 気相
２３ 液相
Claims (13)
- 内部に液体状のβ－ジケトンを充填するための金属製の保存容器に、液体状のβ－ジケトンが充填されていることを特徴とするβ－ジケトン充填済み容器であって、
前記金属が、アルミニウム素材であり、
前記保存容器の内表面が、二酸化ケイ素、窒化炭化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ダイヤモンド及びダイヤモンドライクカーボンからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む無機皮膜を有する、
ことを特徴とする、β－ジケトン充填済み容器。 - 前記β－ジケトンが、化学式にフッ素原子を含むことを特徴とする請求項１に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- 前記アルミニウム素材が、純アルミニウム、Ａｌ－Ｍｇ合金、又はＡｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金であることを特徴とする請求項１または２に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- 前記無機皮膜の膜厚が、１０ｎｍ以上１０００μｍ以下であることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- 前記保存容器が、前記β－ジケトンの１気圧での沸点以上に加熱されて使用されることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- 前記β－ジケトンが、ヘキサフルオロアセチルアセトンであり、
前記無機皮膜が、二酸化ケイ素、窒化炭化ケイ素及びダイヤモンドライクカーボンからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含み、
前記無機皮膜の膜厚が、５００ｎｍ以上５０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項１に記載のβ－ジケトン充填済み容器。 - 前記無機皮膜が、二酸化ケイ素及び窒化炭化ケイ素からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むことを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- ８０℃で１年間保持した後でも、前記β－ジケトン中のアルミニウム濃度の増加量が５０質量ｐｐｂ以下であることを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載のβ－ジケトン充填済み容器。
- 内表面に、二酸化ケイ素、窒化炭化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボンからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む無機皮膜が形成されている、アルミニウム素材製の保存容器に、液体状のβ－ジケトンを充填する充填工程を含むことを特徴とする、β－ジケトンの充填方法。
- 前記充填工程の前に、前記保存容器の内表面を、１０℃以上の温度で、前記充填工程で充填するβ－ジケトンと同じβ－ジケトンにより洗浄する洗浄工程を有することを特徴とする請求項９に記載のβ－ジケトンの充填方法。
- 前記洗浄工程の温度が、８０℃以上であることを特徴とする請求項１０に記載のβ－ジケトンの充填方法。
- 請求項１～８のいずれか１項に記載のβ－ジケトン充填済み容器、あるいは請求項９～１１のいずれか１項に記載の充填方法により得られたβ－ジケトン充填済み容器を、６０℃以上に加熱して、β－ジケトンを気体で供給する供給工程を含むことを特徴とする、β－ジケトンの供給方法。
- 前記供給工程では、前記β－ジケトン充填済み容器を、８０℃以上に加熱することを特徴とする請求項１２に記載のβ－ジケトンの供給方法。
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