KR200382509Y1 - 퍼지밸브를 갖는 저장용기 - Google Patents

퍼지밸브를 갖는 저장용기 Download PDF

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KR200382509Y1 KR20-2005-0002699U KR20050002699U KR200382509Y1 KR 200382509 Y1 KR200382509 Y1 KR 200382509Y1 KR 20050002699 U KR20050002699 U KR 20050002699U KR 200382509 Y1 KR200382509 Y1 KR 200382509Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 또는 전자 재료에 사용되는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막을 형성시키는데 사용되는 유기금속 화합물 취급용 용기에 관한 것으로, 유기 금속 화합물을 사용하는 공정중간이나 공정의 완료 후 용기를 구성하는 밸브와 연결관 등의 내부에 잔존하는 잔류물을 효율적으로 세정하여 제거할 수 있도록 함으로서, 화합물의 사용 효율성을 극대화하고, 저장용기의 사용 기간을 연장하며, 사용 중 저장된 화합물의 변질을 억제할 수 있는 퍼지밸브를 갖는 저장용기를 제공한다.

Description

퍼지밸브를 갖는 저장용기{The canister with purge valve for the special chemical}
본 고안은 반도체 또는 전자 재료에 사용되는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막을 형성시키는데 사용되는 유기금속 화합물 취급용 용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기 금속 화합물을 사용하는 공정중간이나 공정의 완료 후 용기를 구성하는 밸브와 연결관 등의 내부에 잔존하는 잔류물을 효율적으로 세정하여 제거할 수 있도록 함으로서, 화합물의 사용 효율성을 극대화하고, 저장용기의 사용 기간을 연장하며, 사용 중 저장된 화합물의 변질을 억제할 수 있는 퍼지밸브를 갖는 저장용기에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막을 형성시키는데 사용되는 유기금속 화합물을 세라믹 박막 및 후막에 증착할 때 원자층 증착법(ALD : atomic layer deposition)이나 화학 증착법(CVD : Chemical Vapor Deposition)과 같은 공정을 사용한다. 이러한 ALD나 CVD와 같은 공정에서는 핵심 소재로 고가의 특별히 고안된 화합물이 사용되며 이들 화합물은 목적에 따라 특수 제작된 스테인레스 스틸이나 석영재질의 용기에 채워져 공정에 적용된다.
상기와 같이 ALD나 CVD와 같은 공정에서 사용되는 유기 금속 화합물(이하 전구체라 칭함)은 공기 및 수분에 매우 민감하여 이들과 접촉시 인화 또는 급속한 변질로부터 파티클이라 칭하는 불순물이 발생되며, 그에 따라 ALD 및 CVD 공정의 효율성을 저하시킨다. 또한 전구체가 온도에 약하여 장시간 전구체의 증기가 가온된 상태로 밀폐된 공간에 존재하게 되면 용기 내 특정 부위에서 변질됨으로 인하여 전구체를 반도체 소자 및 전자 재료의 제조장치에 재현성 및 연속성을 가지고 공급할 수 없게 만든다. 따라서 이를 고려한 저장용기가 필요하다.
반도체 소자 및 전자 재료의 제조장치에서 사용되는 저장용기는 일반적으로 도 1에 도시된 바와 같이 전구체가 저장되는 용기본체(10), 상기 용기본체(10)의 상부에 결합되며 주입구(21)와 배출구(22)를 갖는 용기커버(20), 상기 용기커버(20)의 주입구(21)와 연결되어 불활성가스가 주입되는 주입밸브(31)를 갖는 주입관(30), 상기 용기커버(20)의 배출구(22)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출밸브(41)를 갖는 배출관(40)을 포함한다.
좀더 상세하게는 용기본체(10) 내 저장된 전구체의 원활한 기화를 위해 주입관(30)으로 이송된 아르곤(Ar)이나 질소(N2)와 같은 불활성 가스가 주입구(21)를 통해 주입되며, 주입된 가스의 버블링(bubbling)에 의해 기화된 전구체 기체상은 불활성 가스와 혼합된 상태로 배출구(22)를 통해 배출관(40)으로 배출된 후 반도체 및 전자 소자 제조 공정의 원하는 장치까지 공급되게 구성된다. 여기서, 방법을 달리하여 화합물을 액체로 이송할 때는 주입관(30)과 배출관(40)의 목적이 반대로 되어 사용될 수 있다. 이때, 주입관(30)과 배출관(40)에 형성된 주입밸브(31)와 배출밸브(41)는 각각 용기본체(10)로 주입되는 불활성 가스와 불활성 버블링 가스 및 기화된 전구체 혼합가스의 이송을 적절하게 조절하기 위해 형성한 것이다.
상기한 구조의 용기는 전구체를 재충전하거나 용기를 세정하기 위해서 주입밸브(31)와 배출밸브(41)를 잠근 상태에서 제조장치로부터 용기를 분리하게 된다. 이 과정에서 전구체의 이동 통로인 배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체가 공기 중의 수분이나 산소 등과 반응하여 파티클을 형성하면서 침착되는데, 그에 따라 이 용기를 그대로 ALD 및 CVD 공정에 사용하게 되면 제조공정상 오염이 발생하게 된다. 그러므로 용기를 제조장치로부터 분리하기 전 배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체를 제거하는 것이 매우 중요하다.
배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체를 제거하기 위하여 종래에는 많은 시간 동안 진공을 이용해 펌핑(Pumping)하였다. 그러나, 이와 같은 과정은 고가의 제조장치 사용 시간을 감소하게 하여 제조 원가의 상승을 유발시키는 단점이 있다. 특히 많은 펌핑 시간에도 불구하고 잔존하는 전구체가 완벽하게 제거되지 않아 추후 공정에서의 오염원이 되기도 하고 용기의 수명을 단축시키는 핵심적 문제가 있다.
이러한 문제를 극복하기 위하여 퍼지밸브(Purge valve)를 설치하여 배출밸브(41) 후단에 잔존하는 전구체를 제거하고자 하는 시도가 있었다.
이와 관련된 용기는 도 2에 도시된 바와 같이 주입밸브(31)와 배출밸브(41)의 후단으로 각각 제2주입밸브(32)와 제2배출밸브(42)를 형성함과 아울러 제2주입밸브(32)와 제2배출밸브(42)의 후단으로 퍼지밸브(51)가 형성된 퍼지관(50)이 연결된다. 이러한 구성의 용기에서는 주입관(30)으로 이송되는 퍼지가스(통상 불활성가스)가 퍼지밸브(51)를 통과한 후 배출관(40)을 통해 외부로 배출되면서 배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체를 제거하게 된다.
그러나, 상기한 구조의 용기는 배출밸브(41)의 후단으로부터 퍼지밸브(51)와의 연결부위에 일정 부피의 부분이 존재하는데, 이 부분의 청소가 용이하지 않다는 단점이 있으며, 이 부분의 청소를 위해서는 장시간 퍼지와 펌핑을 해야 하는 단점이 있다.
이를 보완하기 위하여 등록실용신안 제258032호에서는 도 3에 도시된 바와 같이 용기에서 퍼지밸브(51)의 위치를 변경하여 줌으로서 배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체를 좀더 효율적으로 제거할 수 있도록 한 기술을 개시한 바 있다. 즉, 주입밸브(31)와 배출밸브(41)의 후단으로 퍼지밸브(51)를 갖는 퍼지관(50)을 형성함으로서 배출밸브(41)와 퍼지밸브(51)를 연결하는 관의 길이를 최소화하여 배출밸브(41) 후단에 잔류하는 전구체를 제거할 수 있도록 하였다.
상기한 구성의 용기에서 배출밸브(41)는 도 4에 도시된 바와 같이 내부에 전구체가 이동하는 유로(42)를 포함하고 있다. 상기 용기에서 배출밸브(41)를 잠그게 되면 이 좁은 유로(42)를 통과하는 전구체가 유로(42)에서 체류하게 된다. 그러나, 반도체 및 전자 산업의 ALD 와 CVD 공정에 응용되는 전구체는 대부분 휘발성이 낮은데, 그에 따라 퍼지과정에서 유로로 직접적으로 퍼지가스 통과하지 않아 유로(42)에 잔존하는 전구체의 제거가 용이하지 않다는 문제점이 있다. 특히 열분해나 열로 인한 변질이 쉬운 전구체의 경우 전구체를 가온하여 진행하는 ALD 및 CVD 사용 공정 중 용기가 닫혀있는 상태로 기화된 전구체가 배출밸브(41) 내부의 좁은 유로(42)에 장시간 머무르게 되면서 전구체가 점차 분해 또는 변질되고 이들 산물이 차곡차곡 배출밸브(41) 내부에 쌓여 짐으로 인하여 일정한 기체 흐름을 방해하거나 막음으로서 전체 배출량의 재현성 확보를 어렵게 하는 문제점이 있다.
특히, ALD 및 CVD 공정은 일반적으로 전구체 용기가 장치에 장착되면 전구체가 모두 사용될 때까지 연속하여 공정이 멈춤 없이 진행되는 것이 아니라 공정 중 사이사이에 상황에 따라 1∼2 시간씩 또는 길게 공정을 중단하기도 하는데 열에 민감한 전구체의 경우 가온된 상태에서 장시간 배출밸브(41)의 내부 유로(42) 및 배출관(40)에 밀폐된 상태로 머무를 경우 전구체의 열분해 또는 변질이 발생한다. 이들 열분해 및 변질의 산물이 점차 배출밸브(41)의 내부에 축적되어 유로(42)의 내경을 좁게 하고 급기야는 유로(42)를 막아 버림으로 사용 공정의 재현성, 연속성 및 특히 효율성의 저하로 인한 심각한 양산성의 문제를 야기한다.
이러한 문제점을 해소하기 위한 연구가 여러 방면으로 진행되어 왔다. 예를 들면 배출구(22)의 용기 내 하부에 여러 모양의 구조물을 설치하여 불활성 가스로 버블링을 할 때 튀어 오르는 전구체가 배출밸브(41) 가까이에 최대한 닿지 않게 하거나, 기화된 전구체가 닫혀진 상태로 장시간 배출밸브(41)에 머무르지 않도록 공회전을 시켜주기도 하였으나 획기적인 개선을 이루지 못했다. 근본적인 개선은 ALD 및 CVD 공정 중 일정시간 전구체를 사용하지 않을 때 배출밸브(41) 근처에 잔존하는 전구체를 제거하여 최소화시켜주는 점이다.
따라서, 본 고안은 반도체 또는 전자 재료에서 사용되는 전구체의 취급 과정에서 용기에 부착된 배출밸브와 그 후단에 잔존하는 전구체 잔류물을 효과적으로 제거할 수 있도록 한 퍼지밸브를 갖는 저장용기를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은
전구체가 저장되는 용기본체, 상기 용기본체의 상부에 결합되며 주입구와 배출구를 갖는 용기커버, 상기 용기커버의 주입구와 연결되어 불활성가스가 주입되는 주입밸브를 갖는 주입관, 상기 용기커버의 배출구와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출밸브를 갖는 배출관을 포함하는 저장용기에 있어서,
상기 배출구와 배출밸브사이에 연결된 퍼지밸브를 갖는 퍼지관을 포함함을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기를 제공한다.
이하 본 고안에 따른 저장용기를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 저장용기의 개략도로서, 도면에 도시된 바와 같이 전구체가 저장되는 용기본체(10), 상기 용기본체(10)의 상부에 결합되며 주입구(21)와 배출구(22)를 갖는 용기커버(20), 상기 용기커버(20)의 주입구(21)와 연결되어 불활성가스가 주입되는 주입밸브(31)를 갖는 주입관(30), 상기 용기커버(20)의 배출구(22)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출밸브(41)를 갖는 배출관 및 상기 배출구(22)와 배출밸브(41)사이에 연결된 퍼지밸브(51)를 갖는 퍼지관(50)을 포함한다.
여기서, 용기본체(10)의 상부에 결합되는 용기커버(20)는 필요에 따라 탈부착 가능하게 형성하거나, 용접에 의하여 용기본체(10)와 일체화시켜 완전히 밀폐가 되도록 할 수도 있으며, 상기 용기본체(10)와 용기커버(20)는 다양한 구조와 형상으로 제조된 것을 사용할 수 있다.
용기커버(20)에는 주입구(21)와 배출구(22)가 형성되는데, 주입구(21)는 주입관(30)과 연결되어 있어 불활성가스가 용기본체(10) 내부로 주입되는 곳이며, 배출구(22)는 배출관과 연결되어 있어 불활성가스와 함께 기화된 전구체가 배출되는 곳이다. 필요에 따라서는 상기 주입구(21)와 배출구(22) 이외에 전구체를 충전하기 위한 충전구, 유량 및 온도를 측정하기 위한 측정기구가 더 설치될 수도 있다.
주입관(30)은 상기 용기커버(20)의 주입구(21)와 연결되어 용기본체(10) 내부로 불활성가스가 주입될 수 있도록 도와주며, 불활성가스의 주입유무와 주입량을 조절하기 위하여 주입밸브(31)가 형성된다.
배출관은 상기 용기커버(20)의 배출구(22)와 연결되어 용기본체(10) 내부로 주입된 불활성가스와 상기 불활성가스의 버블링에 의해 기화된 전구체가 배출되게 도와주며, 배출유무와 배출량을 조절하기 위하여 배출밸브(41)가 형성된다.
본 고안에 따르면 상기 배출구(22)와 배출밸브(41)사이에는 퍼지밸브(51)를 갖는 퍼지관(50)이 연결된다. 상기 퍼지관(50)은 도면에 도시된 바와 같이 별도의 퍼지가스 공급관(52)을 통해 퍼지 가스가 공급되도록 할 수 있으며, 퍼지가스는 아르곤(Ar)이나 질소(N2)와 같은 공지의 불활성가스가 사용된다.
이와 같이 퍼지밸브(51)를 갖는 퍼지관(50)이 배출구(22)와 배출밸브(41)사이에 연결됨에 따라 용기의 사용 후 퍼지가스를 배출밸브(41)의 하단으로부터 공급하여 줄 수 있어 용기의 사용 후 배출밸브(41)의 내부를 포함하여 배출밸브(41)의 전후에 잔존하는 전구체를 효과적으로 제거할 수 있게 된다.
이때, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)는 각각 개별적인 밸브체로 구성할 수 있으나, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성할 수 있다. 이렇게 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성하게 하면 배출밸브(41) 하단부의 가장 가까운 위치에서 퍼지밸브(51)로부터 퍼지가스를 주입할 수 있게 됨에 따라 불필요한 공간을 최소화 할 수 있게 된다. 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)가 하나로 된 밸브체로 구성하는 것은 공지된 두 개의 밸브가 하나의 밸브체를 구성하는 것을 적용하면 용이하게 실시할 수 있는 것이다.
도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 저장용기의 개략도로서, 도면에 도시된 바와 같이 용기는 도 5에 도시된 용기의 구성에서 일측이 배출밸브(41)의 후단에 연결되고, 타측은 퍼지가스 공급관(52)과 연결된 것으로 제2퍼지밸브(61)를 갖는 가지관(60)이 더 형성된다.
상기와 같이 제2퍼지밸브(61)를 갖는 가지관(60)이 더 형성되게 되면, 좀더 완벽하게 배출밸브(41)의 전후에 잔존하는 전구체를 제거할 수 있으며, 특히 용기를 제조장치에 장착 후 전구체를 사용하기 이전에 각 부품에 존재할 수 있는 대기를 외부로 배출시킬 수 있게 된다.
이때, 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61) 및 배출밸브(41)는 각각 개별적인 밸브체로 구성할 수 있으나, 필요에 따라서는 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61)를 하나로 된 밸브체로 구성하거나, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성하거나, 제2퍼지밸브(61)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 되게 구성할 수 있으며, 또한 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61) 및 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성할 수 있다. 이와 같이 두 개의 밸브를 하나의 밸브체로 구성하거나 또는 3개의 밸브를 하나의 밸브체로 구성하게 되면 불필요한 내부 공간을 최소한으로 줄일 수 있게 된다.
도 7은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 저장용기의 개략도로서, 도면에 도시된 바와 같이 저장용기는 퍼지관(50)이 주입밸브(31) 후단의 불활성가스 주입관(30)과 연결되어 퍼지가스가 공급되도록 구성된다.
이와 같이 퍼지관(50)이 불활성가스 주입관(30)과 연결되면 별도의 퍼지가스 공급관이 필요 없게 되어 용기에서 불필요한 공간을 줄일 수 있으며, 용기의 구성이 간단해진다.
이때, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)는 각각 개별적인 밸브체로 구성할 수 있으나, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성할 수 있다. 이렇게 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성하게 하면 배출밸브(41) 하단부의 가장 가까운 위치에서 퍼지밸브(51)로부터 퍼지가스를 주입할 수 있게 됨에 따라 불필요한 공간을 최소화 할 수 있게 된다.
도 8은 본 고안의 또 다른 실시에에 따른 저장용기의 개략도로서, 도면에 도시된 바와 같이 용기는 도 7에 도시된 용기에서 일측이 상기 배출밸브(41)의 후단에 연결되고, 타측은 상기 불활성가스 주입관(30)과 연결된 것으로 제2퍼지밸브(61)를 갖는 가지관(60)이 더 형성된다.
상기와 같이 제2퍼지밸브(61)를 갖는 가지관(60)이 더 형성되게 되면, 좀더 완벽하게 배출밸브(41)의 전후에 잔존하는 전구체를 제거할 수 있으며, 특히 용기를 제조장치에 장착 후 전구체를 사용하기 이전에 각 부품에 존재할 수 있는 대기를 외부로 배출시킬 수 있게 된다.
이때, 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61) 및 배출밸브(41)는 각각 개별적인 밸브체로 구성할 수 있으나, 필요에 따라서는 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61)를 하나로 된 밸브체로 구성하거나, 퍼지밸브(51)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성하거나, 제2퍼지밸브(61)와 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 되게 구성할 수 있으며, 또한 퍼지밸브(51)와 제2퍼지밸브(61) 및 배출밸브(41)를 하나로 된 밸브체로 구성할 수 있다. 이와 같이 두 개의 밸브를 하나의 밸브체로 구성하거나 또는 3개의 밸브를 하나의 밸브체로 구성하게 되면 불필요한 내부 공간을 최소한으로 줄일 수 있게 된다.
전술한 도 5 내지 도 8에 도시한 바와 같은 구성을 갖는 본 고안에 따른 저장용기는 반도체 또는 전자 재료 소자 제조용 ALD나 CVD와 같은 증착공정용 장치에 장착하여 사용될 수 있으며, 상기 용기에서 거의 대부분의 구성은 충분한 전구체 증기압을 얻고, 전구체의 응축을 방지할 목적으로 가온을 실시할 수 있도록 되는데, 이는 공지의 기술을 적용하면 용이하게 실시할 수 있는 것이다.
본 고안에 따르면 보다 효과적인 퍼지를 위하여 ALD나 CVD 증착용 장치에 용기가 장착된 상태에서 공정이 멈추면 주입밸브(31)를 잠근 상태에서 퍼지밸브(51)를 통해 퍼지가스를 배출밸브(41)의 하단으로 공급하면 배출밸브(41)의 내부 및 배출밸브(41)의 전후에 잔존하는 전구체를 제거하는 것이 좋다. 또한 본 고안에 따르면 공정이 멈추거나 용기의 탈착시 주입밸브(31)를 잠근상태에서 퍼지밸브(51)를 통해 퍼지가스를 배출밸브(41)의 하단으로 공급한 후 퍼지밸브(51)를 잠근 상태에서 제2퍼지밸브(61)를 통해 퍼지가스를 공급하여 배출밸브(41)의 내부 및 배출밸브(41)의 후단에 잔존하는 전구체를 제거하는 것이 좋다.
상기와 같이 퍼지를 하게 되면 종래 배출밸브(41) 후단에 퍼지관(50)이 연결된 저장용기를 사용하여 퍼지하는 것에 비하여 공정중간이나 공정의 완료 후 용기를 분리할 때 용기에 부착된 배출밸브(41)의 전후에 잔존하는 전구체를 최소화하여 용기의 탈착시 발생할 수 있는 밸브나 관의 오염을 억제하여 줌으로서 파티클 생성요인을 감소시켜 소자 양산성을 극대화 시켜줄 수 있게 된다.
뿐만 아니라 본 고안에 따른 용기는 공정이 정지상태일 때 배출밸브(41)의 하단부로부터 불활성 가스를 항시 퍼지 할 수 있기 때문에 밸브 유로 및 관 내부에 잔존하는 전구체의 제거 시간이 단축됨으로 용기의 교환시간이 짧아 ALD 및 CVD 장치의 활용 시간을 연장할 수 있다. 아울러 밸브 내부 유로에 파티클 생성을 최소화하여 줌으로 밸브의 재활용 빈도수를 높여 용기의 사용 기간을 연장하여 줄 수 있다. 또한 배출 밸브의 공정중 막힘 현상을 방지하여 사용공정의 생산성을 향상시켜 줄 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 저장용기는 배출구와 배출밸브 사이에 퍼지밸브를 갖는 퍼지관이 연결된 저장용기를 제공함으로서 이러한 용기를 반도체 또는 전자 재료의 제조 공정 중 ALD나 CVD 증착공정에서 사용할 경우 공정중간이나 공정의 완료 후 용기를 분리할 때 용기에 부착된 배출밸브의 전후에 잔존하는 전구체를 최소화하여 용기의 탈착시 발생할 수 있는 밸브나 관의 오염을 억제하여 줌으로서 파티클 생성요인을 감소시켜 소자 양산성을 극대화 시켜줄 수 있다.
뿐만 아니라 본 고안에 따른 저장용기는 ALD나 CVD 증착공정에서 공정이 정지상태일 때 배출밸브의 하단부로부터 불활성 가스를 항시 퍼지 할 수 있기 때문에 밸브 유로 및 관 내부에 잔존하는 전구체의 제거 시간이 단축됨으로 용기의 교환시간이 짧아 ALD 및 CVD 장치의 활용 시간을 연장할 수 있다.
아울러 본 고안에 따른 저장용기는 밸브 내부 유로에 파티클 생성을 최소화하여 줌으로 밸브의 재활용 빈도수를 높여 용기의 사용 기간을 연장하여 줄 수 있으며, 또한 배출 밸브의 공정중 막힘 현상을 방지하여 사용공정의 생산성을 향상시켜 줄 수 있다.
이상에서 본 고안은 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 따라서 본 고안은 당해 기술분야의 통상의 지식을 지닌 자라면 자명하게 도출 가능한 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예를 포괄하도록 의도된 청구범위에 의하여 해석되어져야 할 것이다.
도 1은 종래 저장용기의 일 예를 나타낸 도면.
도 2는 종래 저장용기의 다른 예를 나타낸 도면.
도 3은 종래 저장용기의 또 다른 예를 나타낸 도면.
도 4는 도 3의 A부분 확대도.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 저장용기의 개략도.
도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 저장용기의 개략도.
도 7은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 저장용기의 개략도.
도 8은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 저장용기의 개략도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 용기본체
20 : 용기커버
21 : 주입구 22 : 배출구
30 : 주입관
31 : 주입밸브
40 : 배출관
41 : 배출밸브
50 : 퍼지관
51 : 퍼지밸브 52 : 퍼지가스 공급관
60 : 가지관
61 : 제2퍼지밸브

Claims (10)

  1. 전구체가 저장되는 용기본체, 상기 용기본체의 상부에 결합되며 주입구와 배출구를 갖는 용기커버, 상기 용기커버의 주입구와 연결되어 불활성가스가 주입되는 주입밸브를 갖는 주입관, 상기 용기커버의 배출구와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출밸브를 갖는 배출관을 포함하는 저장용기에 있어서,
    상기 배출구와 배출밸브사이에 연결된 퍼지밸브를 갖는 퍼지관을 포함함을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 퍼지관은 별도로 연결된 퍼지가스 공급관을 통해 퍼지 가스가 공급되도록 한 것을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    일측이 상기 배출밸브의 후단에 연결되고, 타측은 상기 퍼지가스 공급관과 연결된 제2퍼지밸브를 갖는 가지관을 포함함을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 퍼지관은 주입밸브 후단의 불활성가스 주입관과 연결되어 퍼지가스가 공급되도록 한 것을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  5. 청구항 4에 있어서,
    일측이 상기 배출밸브의 후단에 연결되고, 타측은 상기 불활성가스 주입관과 연결된 것으로 제2퍼지밸브를 갖는 가지관을 포함함을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  6. 청구항 2 또는 4에 있어서,
    상기 퍼지밸브와 배출밸브는 각각 개별적인 밸브체로 구성됨을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  7. 청구항 2 또는 4에 있어서,
    상기 퍼지밸브와 배출밸브는 하나로 된 밸브체로 구성됨을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  8. 청구항 3 또는 5에 있어서,
    상기 퍼지밸브와 제2퍼지밸브 및 배출밸브는 각각 개별적인 밸브체로 구성됨을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  9. 청구항 3 또는 5에 있어서,
    상기 퍼지밸브와 제2퍼지밸브, 상기 퍼지밸브와 배출밸브 또는 상기 제2퍼지밸브와 배출밸브는 하나로 된 밸브체로 구성됨을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
  10. 청구항 3 또는 5에 있어서,
    상기 퍼지밸브와 제2퍼지밸브 및 배출밸브는 하나로 된 밸브체로 구성됨을 특징으로 하는 퍼지밸브를 갖는 저장용기.
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