JP7447987B2 - 剥離フィルムロール及びその製造方法、セラミック部品シート及びその製造方法、並びに、セラミック部品及びその製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、剥離フィルムロール及びその製造方法、セラミック部品シート及びその製造方法、並びに、セラミック部品及びその製造方法に関する。

近年、電子機器の小型化の要求に伴い、電子部品も小型化されつつある。電子部品の一種であるセラミック部品も年々小型化されている。例えば、セラミック部品の一種である積層セラミックコンデンサは、誘電体層及び内部電極の厚みを薄くして大容量化が図られている。一般的な積層セラミックコンデンサは、剥離フィルムをキャリアフィルムとし、誘電体層及び内部電極をキャリアフィルム上に形成してグリーンシートとし、グリーンシートを剥離して積層することよって製造される。

積層セラミックコンデンサの誘電体層の厚みが薄くなると、ショート等の不具合を発生する電圧強度における耐性を示す耐圧性能が低下する傾向にある。特に、誘電体層の厚みが不均一である場合、薄い部分が耐圧性能の低下の要因となる。そのような薄い部分を有する誘電体層を備える積層セラミックコンデンサは耐圧不良となり、積層セラミックコンデンサの歩留まりが低下する。一方、誘電体層の厚みが均一であると耐圧性能が良好となり、積層セラミックコンデンサの歩留まりが向上する。

誘電体層のキャリアフィルムとして用いられる剥離フィルムに存在する傷等は、誘電体層の厚み変動の要因となる。また、剥離フィルムの表面の平滑性が誘電体層の厚みの均一性に影響を及ぼす。このような事情から、例えば、特許文献１では、剥離フィルムを平滑にして誘電体層の厚みのばらつきを低減することが可能な剥離フィルムロールが検討されている。

特開２０１１－２０６９９５号公報

セラミック部品の製造工程では、剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムの剥離層の表面にセラミックグリーンシートを形成する。ここで、セラミック部品の生産性を向上するための方策として、剥離フィルムロールに巻かれる剥離フィルムの巻き長さを長くして、剥離フィルムロールの取替頻度を減らすことが有効であると考えられる。

一方で、平滑化された剥離フィルムを巻き芯に巻き付ける場合に、隣接する剥離フィルム間の空気が抜け難い傾向にある。空気の抜けにばらつきがあると偏芯が生じ、剥離フィルムの巻き付け状態の品位が低下する。巻き付け状態の品位を向上するには、巻きずれ等の発生を抑制するため、巻き付け時の剥離フィルムの張力を大きくすることが必要となる。巻き付け時の剥離フィルムの張力を大きく維持するためには、巻き取りが進んで巻き取りロールの径が大きくなるにつれて、巻き取り軸のトルクを上昇させる必要がある。しかしながら、巻き取り軸のトルクを上昇させて、巻き付け時の張力を大きくし過ぎると、巻き芯の表面の突起、及び、剥離フィルムに含まれるフィラー等の形状が、剥離フィルムに転写され、剥離フィルムの剥離層の表面（剥離面）に凹凸及び変形が生じることが懸念される。このような形状転写を抑制するためには、剥離フィルムを低い張力で巻き付けることが必要となる。このような事情から、剥離フィルムの巻き取り長さが長くなってくると、巻き取り軸のトルク制御だけで、巻き付け状態の品位と剥離フィルムの凹凸及び変形の低減とを両立することは困難である。

そこで、本開示では、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルムの表面における凹凸及び変形を十分に低減することが可能な剥離フィルムロール及びその製造方法を提供する。また、本開示では、そのような剥離フィルムロールを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品シート及びその製造方法を提供する。また、本開示では、そのようなセラミック部品シートを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品及びその製造方法を提供する。

本開示の剥離フィルムロールの製造方法は、コンタクトロールを巻き取りロールに押圧しながら剥離フィルムを巻き取りロールに巻き取る巻取工程を有し、巻取工程では、コンタクトロールを回転駆動させながら剥離フィルムを巻き取るものである。剥離フィルムの搬送は搬送ロールを用いることができる。なお、巻き取りロールとは、巻き芯に剥離フィルムを含むフィルムの巻き取りが行われている状態のフィルムロールをいう。

上記製造方法では、巻取工程において、コンタクトロールを巻き取りロールに押圧するとともに、このコンタクトロールを回転駆動させながら剥離フィルムを巻き取りロールに巻き取っている。このコンタクトロールによる押圧と回転駆動によって、巻き取られる剥離フィルムの間における空気の抜けを促進することができる。これによって、巻き取りロールのトルクを小さくして剥離フィルムにおける凹凸形状の転写を抑制するとともに、巻きずれの発生を抑制することができる。したがって、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルムの表面の凹凸及び変形が十分に低減されている剥離フィルムロールを製造することができる。

上記製造方法では、巻取工程において、剥離フィルムの厚みをＦ［ｍ］、剥離フィルムの幅をＷ［ｍ］、巻き取りロールを回転駆動する巻き取り軸のトルクをＴ［Ｎ・ｍ］としたときに、Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値を７０，０００～４２０，０００Ｎ／ｍの範囲内に維持してよい。

従来のようにコンタクトロールを用いずに巻き取る場合は、Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値を上述の範囲とすると、転写による凹凸を十分に低減できるものの、剥離フィルムが巻かれるときの力がその内側に巻かれていた剥離フィルムに作用して巻かれる方向と直交する方向にずれる、所謂巻きずれが生じる。上記巻取工程では、コンタクトロールが剥離フィルムを押圧するとともに回転駆動しているため、Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値を上述の範囲としても巻きずれの発生を抑制することができる。その結果、剥離フィルムにおける凹凸形状の転写と巻きずれの発生を一層抑制することができる。したがって、巻き付け状態の品位が十分に高く、且つ、剥離フィルムの表面の凹凸及び変形が一層低減されている剥離フィルムロールを製造することができる。

上記製造方法では、巻取工程における、巻き取りロールを回転駆動する巻き取り軸のトルクＴ［Ｎ・ｍ］の最大値をＴ_ｍａｘ［Ｎ・ｍ］、最小値をＴ_ｍｉｎ［Ｎ・ｍ］、及び前記最大値と前記最小値の和の１／２をＴ_ａｖｅ［Ｎ・ｍ］としたときに、下記式（１）及び（２）を満足してもよい。
Ｔ_ｍａｘ≦１．２×Ｔ_ａｖｅ （１）
Ｔ_ｍｉｎ≧０．８×Ｔ_ａｖｅ （２）

上記式（１）及び式（２）を満足することで、巻き取り軸のトルクの変動を小さくすることができる。これによって、巻き取られる剥離フィルムの張力が急変化して巻き取りロールにおける巻き位置がずれたり、皺が発生したりすることを十分に抑制できる。

上記製造方法は、剥離フィルムを、搬送ロールを用いて搬送する搬送工程と、剥離フィルムを長手方向に沿って切断する切断工程を含んでよい。剥離フィルムを切断する前に、ニップロールと搬送ロールによって剥離フィルムを挟んでよい。ニップロールと搬送ロールで剥離フィルムを挟むことによって、切断される剥離フィルムに所定の張力を与えることができる。これによって、切断工程を円滑に行うことが可能になるとともに、剥離フィルムの切断部分の形状を高精度に整えることができる。

本開示の一側面に係る剥離フィルムロールは、上述のいずれかの製造方法によって得られる。この剥離フィルムロールは、上述のいずれかの製造方法よって得られるものであるため、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルムの表面の凹凸及び変形が十分に低減されている。

本開示の一側面に係るセラミック部品シートの製造方法は、上述のいずれかの剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムの剥離層の表面にセラミック粉末を含むペーストを用いてセラミックグリーンシートを形成する工程を有する。

上記製造方法は、上述のいずれかの剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムを用いている。上記剥離フィルムロールは、巻きずれによって剥離フィルムの表面に傷が生じること、及び、転写によって剥離フィルムの表面に凹凸が生じることを十分に抑制することができる。このため、剥離フィルムロールに巻かれた剥離フィルムの先端から後端の間の広い領域に亘って、厚み変動及びピンホールが十分に低減されたセラミックグリーンシートを形成することができる。したがって、信頼性に優れるセラミック部品シート製造することができる。本開示において剥離フィルムの「後端」とは、巻き芯に接する側の一端をいい、剥離フィルムの「先端」とは剥離フィルムロールの外周面に現れている側の一端をいう。

本開示の一側面に係るセラミック部品の製造方法は、上述の製造方法で得られたセラミック部品シートを用いてセラミックグリーンシートを含む積層体を得る工程と、積層体を焼成して焼結体を得る工程と、を有する。

上記製造方法では、巻きずれ及び転写による表面の凹凸及び厚み変動が十分に抑制された剥離フィルムを使用してセラミック部品を製造する。これによって、厚み変動及びピンホールが十分に低減されたセラミックグリーンシートを形成することができる。したがって、信頼性に優れるセラミック部品を製造することができる。

本開示の一側面に係るセラミック部品シートは、上述のいずれかの剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムの剥離層の表面にセラミックグリーンシートを含むグリーンシートを形成して得られる。

上述のセラミック部品シートは、上述のいずれかの剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムを用いて得られる。上記剥離フィルムの剥離層は、巻きずれ及び転写による表面の凹凸及び変形が十分に抑制されている。このため、セラミックグリーンシートの厚み変動及びピンホールを十分に低減することができる。このようなセラミックグリーンシートを含むグリーンシートを形成して得られるセラミック部品シートは、優れた信頼性を有する。

本開示の一側面に係るセラミック部品は、上記セラミック部品シートのセラミックグリーンシートを含む積層体を形成し、当該積層体を焼成して得られる焼結体を備える。上記セラミックグリーンシートは厚み変動及びピンホールが十分に低減されている。上記セラミック部品は、このようなセラミックグリーンシートを含む積層体を焼成して得られる焼結体を備えることから信頼性に優れる。

本開示によれば、剥離フィルムの巻き長さを長くしても、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルムの表面における凹凸及び変形を十分に低減することが可能な剥離フィルムロール及びその製造方法を提供することができる。また、そのような剥離フィルムロールを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品シート及びその製造方法を提供することができる。また、そのようなセラミック部品シートを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品シート及びその製造方法を提供することができる。

図１は、一実施形態に係る剥離フィルムロールの斜視図である。 図２は、剥離フィルムの一例を示す断面図である。 図３は、剥離フィルムロールの製造装置の一例を示す図である。 図４は、剥離フィルムロールの製造装置の別の一例を示す図である。 図５は、巻き取り部において巻き取りロールに巻き取られる剥離フィルムの張力の変化を模式的に示す図である。 図６は、巻き取り部における制御方法の一例を示す図である。 図７は、一実施形態に係るセラミック部品シートの断面図である。 図８は、一実施形態に係るセラミック部品を示す断面図である。

以下、場合により図面を参照して、本開示の実施形態を説明する。各図面において、同一又は同等の要素には同一の符号を付与し、重複する説明を場合により省略する。ただし、以下の実施形態は、本開示を説明するための例示であり、本開示を以下の内容に限定する趣旨ではない。

図１は、一実施形態に係る剥離フィルムロールの斜視図である。図１の剥離フィルムロール１００は、基材フィルム及び剥離層を有する剥離フィルム２０と、剥離フィルム２０が巻かれている巻き芯１０と、を備える。剥離フィルム２０は、例えば、積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック部品の製造工程において、キャリアフィルムとして用いられる。この製造工程では、例えば、剥離フィルムの上に、塗布又は印刷によって、誘電体グリーンシートとなるセラミックグリーンシート、及び内部電極となる電極グリーンシートが形成される、その後、これらを剥離して積層し、積層体を焼成してセラミック部品が製造される。剥離フィルム２０は、剥離フィルムロール１００から引き出されて使用される。

巻き芯１０の材質としては、紙、プラスチック、金属等が挙げられる。セラミック部品の製造ではパーティクルがピンホール発生原因となるため、紙粉の生じない軽量なプラスチックを含むものが好ましい。そのようなものとして、ＡＢＳ樹脂、ベークライト及び繊維強化プラスチック等が挙げられる。繊維強化プラスチックは、高い機械的強度に加えて柔軟性を有するため好ましく用いることができる。繊維強化プラスチックとしては、繊維を熱硬化性樹脂で補強したものが挙げられる。樹脂としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。繊維としては、ガラス繊維、アラミド繊維等が挙げられる。コスト面等を考慮して、樹脂は不飽和ポリエステル樹脂であってよい。同様の観点から、繊維はガラス繊維であってよい。

巻き芯１０の外径は１５０ｍｍ以下であってよく、１００ｍｍ以下であってもよい。これによって、剥離フィルムロール１００のサイズを小さくして、設置スペース及び輸送コストを低減することができる。

巻き芯１０に巻かれている剥離フィルム２０の巻き長さは４０００ｍ以上であってよく、５０００ｍ以上であってよく、６０００ｍ以上であってもよい。これによって、セラミックグリーンシート及びセラミック部品等の製造工程において、剥離フィルムロール１００の取替頻度を低減し、各種製品の生産効率をさらに向上することができる。剥離フィルム２０の厚みは、１０～１１０μｍであってよく、２０～６０μｍであってよい。剥離フィルム２０の幅は、例えば０．１～２ｍであってよい。なお、本開示において、剥離フィルムの引き出し及び巻き取りの際に、剥離フィルムが搬送される方向を長手方向といい、剥離フィルムの長手方向と直交する方向を剥離フィルムの幅方向という。

図２は、剥離フィルムの一例を示す断面図である。剥離フィルム２０は、基材フィルム２２とその一方面上に剥離層２４とを有する。基材フィルム２２は合成樹脂のフィルムであってよい。合成樹脂としては、ポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂及びポリエチレン樹脂等のポリオレフィン樹脂、ポリ乳酸樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂等のアクリル系樹脂、ポリスチレン樹脂、ナイロン等のポリアミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリレタン樹脂、フッ素系樹脂、並びにポリフェニレンスルフィド樹脂等が挙げられる。これらのうち、ポリエステル樹脂が好ましい。ポリエステル樹脂のうち、力学的性質、透明性、コスト等の観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）がより好ましい。

基材フィルム２２の厚みは、好ましくは１０～１００μｍ、より好ましくは２０～５０μｍである。厚みが１０μｍ未満の場合、剥離フィルム２０の寸法安定性等の物理特性が損なわれる傾向がある。厚みが１００μｍを超える場合、剥離フィルム２０の単位面積当たりの製造コストが上昇してしまう傾向がある。

基材フィルム２２は、剥離フィルム２０の機械的強度を十分に高くする観点から、透明性が損なわれない程度にフィラー（充填剤）を含有してもよい。本実施形態の剥離フィルムロール１００は、基材フィルム２２がフィラーを含有しても、剥離フィルムロール１００の径方向に沿って隣接する剥離フィルム２０の剥離層２４にフィラーの形状が転写されるのを十分に抑制することができる。フィラーは、特に限定されるものではなく、例えば、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、シリカ、カオリン、タルク、酸化チタン、フュームドシリカ、アルミナ、及び有機粒子等が挙げられる。

剥離層２４は、基材フィルム２２の一方面上に剥離剤を含む溶液を塗布し、乾燥及び硬化させて形成される。塗布方法は特に限定されず、リバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、マイヤーバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法等を用いればよい。乾燥は熱風乾燥、赤外線乾燥、自然乾燥等を用いることができる。乾燥時の水分結露を抑制するために加熱することが好ましく、６０～１２０℃程度であってよい。

剥離層２４の形成に用いられる剥離剤としては、例えば、シリコーン系剥離剤、長鎖アルキル系剥離剤、フッ素系剥離剤、及びアミノアルキド樹脂系のものが挙げられる。シリコーン系剥離剤は、硬化反応の違いから、付加反応系シリコーン剥離剤、縮合系シリコーン剥離剤、紫外線硬化系剥離剤等がある。

硬化条件は、剥離剤の硬化系統に合わせて適宜選択すればよい。例えば、剥離剤が付加反応系のシリコーンであれば、８０～１３０℃で数十秒間の加熱処理を行うことで硬化させることができる。紫外線硬化系であれば、水銀ランプ、メタルハライドランプ等を光源として紫外線を照射して硬化させることができる。紫外線を照射してラジカル重合させる場合、酸素阻害を防止するために、硬化を窒素雰囲気下で行うことが好ましい。剥離層２４の厚み変動幅は小さいことが好ましい。

付加反応系シリコーン剥離剤は、ポリジメチルシロキサンの末端及び／又は側鎖にビニル基が導入されたものと、ハイドロジェンシロキサンとを反応させて硬化させる。硬化には白金触媒を用いることができる。例えば、１００℃前後の硬化温度で数十秒間から数分間で硬化させることができる。剥離層２４の厚みは５０～３００ｎｍ程度であってよい。付加反応系の剥離剤としては信越化学工業株式会社製のＫ８４７、ＫＳ８４７Ｔ，ＫＳ－７７６Ｌ、ＫＳ－７７６Ａ、ＫＳ－８４１、ＫＳ－７７４、ＫＳ－３７０３Ｔ、ＫＳ－３６０１等（いずれも商品名）を挙げることができる。

剥離層２４は、例えば（メタ）アクリレート成分と（メタ）アクリレート変性シリコーンの硬化物で構成されてもよい。このような硬化物は紫外線で硬化できるので、剥離層２４の厚みを大きくすることができる。このため、例えば、基材フィルム２２がフィラーを含む場合に、フィラーに起因する突起を覆って剥離層２４の表面（剥離面）を平滑にすることができる。この場合、剥離層２４の厚みは、３００～３０００ｎｍであってよい。

互いに相溶しない（メタ）アクリレートモノマーと（メタ）アクリレート変性シリコーンオイルを用いてもよい。これらを反応開始剤とともに溶剤中に混合し、基材フィルム２２に塗布後、溶剤を乾燥させる。このようにして、シリコーン変性シリコーンオイルを表面近傍に局在化させた状態で、紫外線により硬化させて、剥離層２４を形成してもよい。（メタ）アクリレート変性シリコーンオイルとしては公知のものが使用できる。例えば、信越化学工業株式会社製のＸ－２２－１６４Ａ、Ｘ－２２－１６４Ｂ、Ｘ－２２－１７４ＤＸ、Ｘ－２２－２４４５（いずれも商品名）等を挙げることができる。

剥離フィルム２０における剥離層２４の表面は平滑であることが好ましい。具体的には剥離層２４の表面粗さ（Ｒｐ）は１００ｎｍ以下であることが好ましく、５０ｎｍ以下であることがより好ましい。本実施形態における剥離層２４の表面粗さ（Ｒｐ）は、ＪＩＳ Ｂ ０６０１－２００１で規定される最大山高さであり、接触式の表面粗さ計又は走査型白色干渉顕微鏡を用いて測定することができる。

一実施形態に係る剥離フィルムロール１００の製造方法は、剥離フィルムを、搬送ロールを用いて搬送する搬送工程と、剥離フィルムを長手方向に沿って切断する切断工程と、コンタクトロールを巻き取りロールに押圧しながら剥離フィルムを巻き取りロールで巻き取る巻取工程と、を有する。搬送工程は、切断工程の前後のいずれか、又は両方で行ってよい。

図３は、剥離フィルムロール１００の製造方法を行う製造装置の一例を示す図である。図３の製造装置３００では、剥離フィルムロール２００を用いる。剥離フィルムロール２００は、剥離フィルム２０よりも広い幅（例えば、１～２ｍ）を有する剥離フィルム２０Ａが巻き芯１１に巻き付けられている。剥離フィルムロール２００は、公知の方法で、剥離フィルム２０Ａを巻き芯１１に巻き付けることによって製造される。剥離層は、基材フィルムの長手方向に平行になるように縞状に複数並んで形成されていてもよい。このとき、剥離フィルム２０Ａの基材フィルム側を内側にして巻き芯１１に巻き付けてもよいし、剥離層側を内側にして巻き付けてもよい。剥離フィルムロール２００の巻き長さは剥離フィルムロール１００の巻き長さよりも長くてもよい。剥離フィルムロール２００を、剥離フィルムロール１００の巻き長さの整数倍の長さに、切断作業に付随するロス分を加味した長さで作製してもよい。この場合、巻取工程において、剥離フィルムロール１００が完成した後、剥離フィルムロール２００から繰り出された剥離フィルム２０Ａを幅方向に沿って切断し、別の剥離フィルムロール１００の製造にこの剥離フィルムロール２００を引き続き用いてもよい。これによって生産性の効率化を図ることができる。

製造装置３００は、上流側に設けられる繰り出し部１１０において、剥離フィルムロール２００の巻き芯１１が回転軸２０２に挿入され、回転軸２０２は剥離フィルムロール２００を回転可能に支持する。さらに、製造装置３００は剥離フィルムロール２００から引き出された剥離フィルム２０Ａを上下方向に挟む一対のロール５０を備える。製造装置３００は、搬送工程を行う一対のロール５０の下流側に、切断工程を行う切断部１２０と、巻取工程を行う巻き取り部１３０とをこの順で備える。

一対のロール５０の材質としては、金属、プラスチック、ゴム等が挙げられる。一対のロール５０を構成する上ロール５０ａと下ロール５０ｂは、互いに異なる材質で構成されていてもよい。例えば、上ロール５０ａは、剥離フィルム２０Ａを上ロール５０ａに十分に接触させる観点から、少なくとも表面がゴム製である搬送ロールであってよい。下ロール５０ｂは、下ロール５０ｂ自体が変形して搬送速度が不安定になることを抑制するため、金属製のニップロールであってよい。一対のロール５０の構成は特に限定されず、変形例では、上ロール５０ａがニップロールであり、下ロール５０ｂが搬送ロールであってもよい。

一対のロール５０は、その上流側と下流側とで剥離フィルム２０Ａの張力を異ならせる機能を有してよい。繰り出し部１１０の回転軸２０２には剥離フィルム２０Ａの進行方向とは逆向きのトルクが働き、剥離フィルム２０Ａに張力が付与される。逆向きのトルクとしては摩擦トルク、又は電磁ブレーキ等を用いて付与することができる。一対のロール５０が剥離フィルム２０Ａの張力を異ならせる機能を有することによって、切断部１２０及び巻き取り部１３０における剥離フィルム２０の張力の制御を高い自由度で行うことができる。

切断部１２０は、上刃ロール６０ａと下刃ロール６０ｂとを有する。上刃ロール６０ａは、その回転軸方向に沿って複数枚の上刃が所定間隔で装着されていてよい。上刃ロール６０ａの上刃は、下刃ロール６０ｂと噛み合うようになっていてよい。一対のロール５０を通過した剥離フィルム２０Ａは、上刃ロール６０ａと下刃ロール６０ｂの間で、長手方向に沿って切断される。これによって、例えば１００～５００ｍｍの幅を有する剥離フィルム２０に分割される。巻き取り軸１０２に複数の巻き芯１０を取り付けて、切断された剥離フィルム２０をコンタクトロール７０で押圧しながら巻き芯１０に巻き取れば、複数の剥離フィルムロール１００を一度に製造することができる。切断部１２０には、ギャング刃等の公知のスリッターを用いることができる。なお、切断部１２０は有していなくてもよい。この場合、一つの剥離フィルムロール２００から一つの剥離フィルムロール１００が得られる。

巻き取り部１３０は、巻き取りロール１００ａの巻き芯１０に挿入され、巻き芯１０を回転可能に支持する巻き取り軸１０２を備える。切断部１２０で切断されて得られた剥離フィルム２０は、巻き取り部１３０において巻き取り軸１０２に取り付けられた巻き芯１０に巻き取られる。このとき、巻き取り軸１０２は所定のトルクで回転するとともに、コンタクトロール７０が、巻き取られる剥離フィルム２０を巻き芯１０側に押圧する。すなわち、剥離フィルム２０は、コンタクトロール７０で押圧されながら巻き取られる。巻き取り軸１０２は所定の巻き取りトルクで回転駆動することによって、剥離フィルム２０の巻き取り性を向上することができる。また、巻き取りロール１００ａへのコンタクトロール７０の押圧の大きさは適宜調整してよい。

この例では、コンタクトロール７０は、巻き取り軸１０２とは逆向きに回転しているが、これに限定されない。コンタクトロール７０と巻き取り軸１０２は同じ向きに回転してもよい。ただし、巻き付け状態の品位を一層高くするとともに、剥離フィルム２０の表面における凹凸及び変形を一層低減する観点から、コンタクトロール７０は、巻き取り軸１０２とは逆向きに回転することが好ましい。

図４は、剥離フィルムロール１００の製造方法を行う製造装置の別の例を示す図である。図４の製造装置３０１は、巻き取り部１３０の代わりに巻き取り部１３１を有する点で、図３の製造装置３００と異なっている。製造装置３０１の繰り出し部１１０及び切断部１２０は、製造装置３００と同様であってよい。製造装置３０１の巻き取り部１３１では、剥離フィルム２０が、まずコンタクトロール７０に接し、コンタクトロール７０に接した状態でコンタクトロール７０の周りを約半周回った後、コンタクトロール７０と巻き取りロール１００ａとの間に挟まれる。剥離フィルム２０は、コンタクトロール７０と巻き取りロール１００ａの間で押圧されながら、所定のトルクで回転する巻き取り軸１０２によって巻き取られる。この例においても、剥離フィルム２０は、コンタクトロール７０で押圧されながら巻き取られる。コンタクトロール７０が回転駆動するとともに、巻き取り軸１０２も所定の巻き取りトルクで回転駆動することによって、剥離フィルム２０の巻き取り性を向上することができる。

図５は、巻き取り部１３０，１３１において巻き取りロール１００ａに巻き取られる剥離フィルム２０にかかる張力の変化を模式的に示す図である。図５の横軸は巻き取りロール１００ａのロール形の大きさであり、縦軸は巻き取られる剥離フィルム２０にかかる張力である。図５の直線１は、剥離フィルム２０を一定の張力で巻き取る一定張力制御で巻き取ったときの張力の変化を示している。一定張力制御では、巻き取り開始時から終了時まで一定の張力で剥離フィルムを巻き取るため、内側において、巻き芯の表面の突起、及び、剥離フィルムに含まれるフィラー等の形状が、剥離フィルムに転写され、剥離フィルムの剥離層の表面に凹凸が生じやすくなる。

図５の曲線２は、テーパーテンション制御で剥離フィルムを巻き取るときの張力の変化を示している。この場合は、巻き取りが進行しロール径が大きくなるにつれて、直線１に比べて、巻き取られる剥離フィルム２０にかかる張力を小さくすることができる。このため、剥離フィルム２０の剥離層２４の表面に凹凸が生じることを抑制できる。

図５の曲線３は、巻き取り軸１０２のトルクを一定に制御して、剥離フィルム２０を巻き取るときの張力の変化を示している。この場合は、巻き取りが進行しロール径が大きくなるにつれて、曲線２よりも、巻き取られる剥離フィルム２０にかかる張力をさらに小さくすることができる。したがって、剥離フィルム２０の剥離層２４の表面に凹凸が生じることを十分にすることが抑制できる。

コンタクトロール７０は、駆動部によって回転駆動する。図５の曲線３のように剥離フィルム２０を低い張力で巻き取っても、コンタクトロール７０で押圧しながらコンタクトロール７０を回転駆動させているため、巻き取りロール１００ａの径方向に沿って隣り合う剥離フィルム２０の間の空気を低減することができる。これによって、巻きずれ、スライド現象及び巻き締りの発生が抑制され、剥離層２４に皺及び傷等の凹凸が発生することを抑制できる。コンタクトロール７０の回転速度は、適宜微調整してよい。切断部１２０における切断スピードが一定の場合、コンタクトロール７０の回転速度は概ね一定としてよい。

コンタクトロール７０の材質は金属、プラスチック及びゴム等が挙げられる。剥離フィルム２０が帯電し易い場合、コンタクトロール７０を導電性のものとしてよい。コンタクトロール７０の材質に応じて、コンタクトロール７０の直径を適宜調整してよい。例えば、硬めの材質であれば比較的大きな直径のものを用い、柔らかい材質であれば比較的小さい直径のものを用いてよい。

図６は、図３の巻き取り部１３０における制御方法の一例を示す図である。巻き取り部１３０は、巻き取りロール１００ａを回転駆動する巻き取り軸１０２のトルクＴを制御するトルク制御部８１ａと、トルク制御部８１ａからのトルク情報に基づいて巻き取り軸１０２を回転駆動する回転駆動部８２とを有してよい。回転駆動部８２は、トルク制御部８１ａからのトルク情報に基づいて、巻き取り軸１０２のトルク（巻き取りトルク）がＴとなるように回転駆動する。なお、巻き取りロール１００ａは、剥離フィルム２０を巻き取り中である剥離フィルムロールであり、巻き取りが完了すると剥離フィルムロール１００となる。

巻き取られる剥離フィルム２０の厚みをＦ［ｍ］、剥離フィルム２０の幅をＷ［ｍ］、巻き取りロール１００ａを回転駆動する巻き取り軸１０２のトルクをＴ［Ｎ・ｍ］としたときに、Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値は、７０，０００～４２０，０００Ｎ／ｍの範囲内に維持されてよい。この値は、巻き取り軸１０２が、剥離フィルム２０の単位断面当たりに与えるトルクの大きさを示している。巻取工程におけるＴ／（Ｆ・Ｗ）の値を、上記範囲にすることによって、剥離フィルムロール１００の径方向に沿って隣り合う剥離フィルム同士における凹凸の転写を抑制しつつ、剥離フィルム２０間の空気を低減して剥離フィルム同士を十分に密着させることができる。同様の観点から、巻取工程におけるＴ／（Ｆ・Ｗ）の値は、７０，０００～２８０，０００Ｎ／ｍの範囲内であってよく、１００，０００～２１０，０００Ｎ／ｍの範囲内であってもよい。

巻き取り軸１０２のトルクＴの変動は小さい方が好ましい。例えば、巻取工程における巻き取り軸１０２のトルクＴ［Ｎ・ｍ］の最大値をＴ_ｍａｘ［Ｎ・ｍ］、最小値をＴ_ｍｉｎ［Ｎ・ｍ］、及び最大値Ｔ_ｍａｘと最小値Ｔ_ｍｉｎの和の１／２をＴ_ａｖｅ［Ｎ・ｍ］としたときに、下記式（１）及び（２）を満たしてよく、下記式（３）及び（４）を満たしてもよい。
Ｔ_ｍａｘ≦１．２×Ｔ_ａｖｅ （１）
Ｔ_ｍｉｎ≧０．８×Ｔ_ａｖｅ （２）
Ｔ_ｍａｘ≦１．１×Ｔ_ａｖｅ （３）
Ｔ_ｍｉｎ≧０．９×Ｔ_ａｖｅ （４）

巻取工程において、下記（１）及び（２）、又は式（３）及び（４）を満足することによって、巻き取り軸１０２のトルクＴの変化幅を小さくすることができる。これによって、トルクＴが大きくなることによって生じ得る巻き締りを十分に抑制することができる。なお、巻取工程においてトルクＴを一定とすると、巻き取りロール１００ａのロール径ｒが大きくなるにつれて、剥離フィルム２０の巻き取り張力が低くなる。本実施形態では、剥離フィルム２０をコンタクトロール７０で押圧しながら回転駆動によって巻き取りを行っているため、巻き取り張力が低くなっても、径方向に隣接する剥離フィルム２０間の空気量を十分に低減することができる。

製造装置３００は、コンタクトロール７０の回転軸７２のトルクＴ’を制御するトルク制御部８１ｂと、トルク制御部８１ｂからのトルク情報に基づいて回転軸７２を回転駆動する回転駆動部８３とを有してよい。回転駆動部８３は、トルク制御部８１ｂからのトルク情報に基づいて、回転軸７２のトルクがＴ’となるように回転駆動する。コンタクトロール７０のトルクＴ’を大きくすると、巻き取られる剥離フィルム２０の張力は大きくなる。

例えば、ロール径ｒが小さいときには、剥離フィルム２０に過剰に張力がかからないようにするために、コンタクトロール７０のトルクＴ’を小さくしておく。そして、巻き取りが進行しロール径ｒが大きくなるにつれてトルクＴ’を大きくすれば、トルクＴが一定の下における剥離フィルム２０の張力の低下を、コンタクトロール７０のトルクＴ’で補助することができる。これによって、巻き取りロール１００ａにおける空気量を低減するとともに、張力の低下に伴う剥離フィルム２０のバタつきを抑制して切断時の安定性を向上することができる。

製造装置３００は、巻き取りロール１００ａに対するコンタクトロール７０の押圧Ｐを制御する押圧制御部８１ｃと、実際の押圧を発生させるシリンダー部８４により構成されることがある。シリンダー部８４は、シリンダーに圧縮された空気を送り込むことで押圧が発生する。圧縮された空気の気圧を調整することでコンタクトロールの押圧が制御される。

コンタクトロール７０の巻き取りロール１００ａに対する押圧Ｐは、ロール径ｒが大きくなるにつれて徐々に大きくしてもよい。巻き取り軸１０２のトルクＴを一定にした場合、ロール径ｒが大きくなるにつれて、剥離フィルム２０の張力が小さくなる。そこで、コンタクトロール７０の押圧Ｐを大きくすれば、径方向に隣接する剥離フィルム２０間の空気量を十分に低減することができる。押圧は、切断工程における切断スピード及び剥離フィルム２０の幅等に応じて設定してよい。

巻き取り軸１０２は、巻き芯１０を巻き取り軸１０２に固定するための固定機構を備えていてよい。剥離フィルム２０の巻き取りが終了し、剥離フィルムロール１００が得られた後は、コンタクトロール７０を、シリンダー部８４を用いて動かして剥離フィルムロール１００から離す。そして、巻き取り軸１０２の固定機構を解除して剥離フィルムロール１００を巻き取り軸１０２から取り外す。このようにして剥離フィルムロール１００を製造することができる。

このようにして製造される剥離フィルムロール１００は、巻取工程において、剥離フィルム２０をコンタクトロール７０で巻き取りロール１００ａに押圧するとともに、このコンタクトロール７０を回転駆動させながら剥離フィルム２０を巻き取っている。コンタクトロール７０は押圧Ｐで巻き取りロール１００ａに巻き付けられる剥離フィルム２０を巻き取りロール１００ａに向けて押圧している。また、コンタクトロール７０はトルクＴ’で回転駆動する。したがって、巻き取られる剥離フィルム２０の間における空気の抜けを促進し、巻きずれの発生を抑制できる。また、巻き取りロール１００ａの巻き取り軸１０２のトルクＴを小さくして、剥離フィルム２０の剥離層２４の表面への凹凸形状の転写を低減することができる。したがって、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルム２０の表面の凹凸及び変形が十分に低減されている剥離フィルムロール１００を製造することができる。

制御部８０は、トルク制御部８１ａ，８１ｂ、及び押圧制御部８１ｃを有する。制御部８０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等の主記憶装置、キーボード及びマウス等の入力デバイス、ディスプレイ等の出力デバイス、各種測定部との間でデータの送受信を行うための送受信部、及びハードディスク等の補助記憶装置等を含む通常のコンピュータシステムとして構成されてよい。トルク制御部８１ａ，８１ｂ、及び押圧制御部８１ｃは、一つのコンピュータシステムに含まれていてもよいし、それぞれが個別のコンピュータシステムによって構成されていてもよい。

トルク制御部８１ａ、回転駆動部８２及び巻き取り軸１０２は、個別のハードウェアで構成される必要はなく、一つ又は二つのハードウェアによって構成されていてもよい。例えばトルク制御部８１ａと回転駆動部８２の機能は市販のトルクモータで実現されてもよい。トルク制御部８１によるトルク制御の手法は特に制限されず、例えば、フリクションシャフトを用いて行ってもよい。トルク制御部８１ｂ、回転駆動部８３及び回転軸７２も、個別のハードウェアで構成される必要はなく、一つ又は二つのハードウェアによって構成されていてもよい。例えばトルク制御部８１ｂと回転駆動部８３の機能は市販のトルクモータで実現されてもよい。また、押圧制御部８１ｃ及びシリンダー部８４も、個別のハードウェアで構成される必要はなく、一つのハードウェアによって構成されていてもよい。

図７は、本開示の一実施形態に係るセラミック部品シートの断面図である。図７のセラミック部品シート４０の製造方法は、剥離フィルムロール１００から引き出された剥離フィルム２０の剥離層２４の表面２４ａにセラミック粉末を含むペーストと電極ペーストを用いてセラミックグリーンシート３２及び電極グリーンシート３４を含むグリーンシート３０を形成する工程を有する。

セラミックグリーンシート３２は、セラミック粉末を含有するセラミックペーストを塗布して乾燥させて形成することができる。電極グリーンシート３４はセラミックグリーンシート３２の上に電極ペーストを塗布して乾燥させて形成することができる。

セラミックペーストは、例えば、積層セラミックコンデンサであれば誘電体原料（セラミック粉末）と有機ビヒクルとを混練して調製できる。誘電体原料としては、焼成によって複合酸化物や酸化物となる各種化合物が挙げられる。例えば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択して用いることができる。誘電体原料は、平均粒子径が４μｍ以下、好ましくは０．１～３．０μｍの粉末であってよい。

電極ペーストは、例えば、各種導電性金属及び合金等の導電体材料、並びに、各種酸化物、有機金属化合物、及びレジネート等との焼成後に導電体材料となる材料等からなる群より選択される少なくとも一つと、有機ビヒクルとを混練して調製することができる。電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ｎｉ金属、Ｎｉ合金、またはこれらの混合物を用いることが好ましい。接着性向上のために、電極ペーストは、可塑剤を含んでいてもよい。可塑剤としては、フタル酸ベンジルブチル（ＢＢＰ）等のフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが挙げられる。

セラミックペースト及び電極ペーストに含まれる有機ビヒクルは、バインダ樹脂を有機溶剤中に溶解して調製される。有機ビヒクルに用いられるバインダ樹脂としては、例えばエチルセルロース、アクリル系樹脂、ブチラール系樹脂、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、及びこれらの共重合体などが挙げられる。これらのうち、ブチラール系樹脂、具体的にはポリビニルブチラール系樹脂を用いることが好ましい。ブチラール系樹脂を用いることによって、セラミックグリーンシートの機械的強度を高くすることができる。セラミックペースト及び電極ペーストの一方又は双方は、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、帯電除剤、誘電体、ガラスフリット、絶縁体等からなる群より選ばれる少なくとも一種の添加物を含有してもよい。

上述のセラミックペーストを、例えばドクターブレード装置等を用いて、剥離フィルム２０の剥離層２４の表面２４ａに塗布する。そして、塗布したセラミックペーストを、乾燥装置内で、例えば５０～１００℃の温度で１～２０分間乾燥させて、セラミックグリーンシート３２を形成する。セラミックグリーンシート３２は、乾燥前に比較して５～２５％に収縮する。

その後、セラミックグリーンシート３２の表面３２ａ上に、例えばスクリーン印刷装置を用いて、所定のパターンとなるように上述の電極ペーストを印刷する。印刷した電極ペーストを、乾燥装置内で、例えば５０～１００℃の温度で１～２０分間乾燥させて、電極グリーンシート３４を形成する。このようにして、剥離フィルム２０の剥離層２４の上にセラミックグリーンシート３２と電極グリーンシート３４が順次積層されたセラミック部品シート４０を得ることができる。

剥離フィルムロール１００における剥離フィルム２０の凹凸又は厚み変動が大きくなるとセラミックグリーンシート３２の厚み変動幅が大きくなる。剥離フィルムロール１００より引き出される剥離フィルム２０は、剥離層２４において、巻きずれ及びスライド現象等による傷の発生、及び、凹凸が十分に低減されている。このため、剥離フィルムロール１００に巻かれた剥離フィルム２０の先端から後端の間の広い領域に亘って、厚み変動及びピンホールが十分に抑制されたセラミックグリーンシート３２を形成することができる。このようなセラミックグリーンシートを備えるセラミック部品シート４０を用いて作製されるセラミック部品は信頼性に優れる。

セラミックグリーンシート３２及び電極グリーンシート３４の厚みは、それぞれ１．０μｍ以下であってよい。このように厚みが小さくても厚み変動が抑制されることから、高い信頼性を有するセラミック部品を得ることができる。本開示のセラミック部品シートは、図７のものに限定されず、例えば、電極グリーンシートを有さず、セラミックグリーンシート３２のみで構成されていてもよい。

本開示の一実施形態に係るセラミック部品の製造方法は、複数のセラミック部品シートを準備し、セラミック部品シートのグリーンシートを複数積層して積層体を得る積層工程と、積層体を焼成して焼結体を得る焼成工程と、該焼結体に端子電極を形成して積層セラミックコンデンサを得る電極形成工程とを有する。

図８は、上述の製造方法で製造される積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図である。積層セラミックコンデンサ９０は、内層部９２と、この内層部９２を積層方向に挟む一対の外層部９３とを備えている。積層セラミックコンデンサ９０は、側面に端子電極９５を有している。

内層部９２は、複数（本例では１３層）のセラミック層９６（誘電体層）と、複数（本例では１２層）の内部電極層９４とを有している。セラミック層９６と内部電極層９４とは、交互に積層されている。内部電極層９４は、端子電極９５と電気的に接続されている。外層部９３は、セラミック層により形成されている。このセラミック層は、例えば、セラミックグリーンシート３２と同様にして形成してよい。

積層工程では、図７に示すセラミック部品シート４０の剥離フィルム２０を剥離してグリーンシート３０を得る。このグリーンシート３０の一方面３０ｂを外層用グリーンシートに積層する。別のセラミック部品シート４０から別の剥離フィルム２０を剥離し別のグリーンシート３０を得て、最初に剥離したグリーンシートの電極グリーンシート３４と別のグリーンシート３０の一方面３０ｂが向き合うようにして積層する。その後、このような手順を繰り返し行って、グリーンシート３０を積層することによって、積層体を得ることができる。すなわち、この積層工程では、剥離フィルム２０を剥離してグリーンシート３０を得て順次グリーンシート３０を積層する。この手順を複数回繰り返すことによって、積層体を形成している。最後に外層用グリーンシートを積層することも行われる。

積層体におけるグリーンシートの積層枚数に特に制限はなく、例えば、数十層から数百層であってもよい。積層体の積層方向に直交する両端面に、電極層が形成されない厚めの外層用グリーンシートを設けてもよい。積層体を形成した後、積層体を切断してグリーンチップとしてもよい。

焼成工程では、積層工程で得られた積層体（グリーンチップ）を焼成して焼結体を得る。焼成条件は、１１００～１３００℃で、加湿した窒素と水素との混合ガス等の雰囲気下で行うとよい。ただし、焼成時の雰囲気中の酸素分圧は、好ましくは１０^－２Ｐａ以下、より好ましくは１０^－２～１０^－８Ｐａとする。なお、焼成前には、積層体の脱バインダ処理を施すことが好ましい。脱バインダ処理は、通常の条件で行うことができる。例えば、内部電極層の導電体材料として、Ｎｉ又はＮｉ合金等の卑金属を用いる場合、２００～６００℃で行うことが好ましい。

焼成後、焼結体を構成するセラミック層を再酸化させるために、熱処理を行ってもよい。熱処理における保持温度又は最高温度は、１０００～１１００℃であることが好ましい。熱処理の際の酸素分圧は、焼成時の還元雰囲気よりも高い酸素分圧であることが好ましく、１０^－２Ｐａ～１Ｐａであることがより好ましい。このようにして得られた焼結体に、例えばバレル研磨、サンドブラスト等にて端面研磨を施すことが好ましい。

電極形成工程では、焼結体の側面上に、端子電極用ペーストを焼きつけて端子電極９５を形成することにより、図８に示す積層セラミックコンデンサ９０を得ることができる。この積層セラミックコンデンサ９０の製造方法では、剥離フィルム２０の凹凸及び巻きずれ等による傷が十分に低減された剥離層を有する剥離フィルムロール１００を用いている。このため、セラミック層９６及び内部電極層９４における厚みのばらつき、及びピンホールを十分に低減することができる。したがって、耐圧の低下が抑制されており信頼性に優れる。

以上、幾つかの実施形態を説明したが、本開示は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、セラミック部品として積層セラミックコンデンサを形成する例を説明したが、本開示のセラミック部品は積層セラミックコンデンサに限定されず、例えば、他のセラミック部品であってよい。セラミック部品は、例えば、バリスタ、又は積層インダクタであってもよい。

実施例及び比較例を参照して本開示の内容をより詳細に説明するが、本開示は下記の実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
＜剥離フィルムロールの作製＞
剥離フィルムを作製するため、以下の手順で剥離剤溶液を調製した。ノナンジオールジアクリレート１００質量部に対して、アクリレート変性シリコーンオイル（商品名：Ｘ－２２－２４４５，信越化学工業株式会社製）を０．２５質量部、メチルエチルケトンを１００質量部、及びトルエン１００質量部を準備した。これらを金属製容器に入れて攪拌混合し、無色透明の溶液を得た。

上記溶液に、反応開始剤（商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ１２７、ＩＧＭ Ｒａｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．製）を２．５質量部加えて塗布液を調製した。幅１１００ｍｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み：３０μｍ）の一方面に、塗布装置のスリットから塗布液を押し出して塗布し、温度８０℃の熱風を３０秒間当てて、メチルエチルケトン及びトルエンを蒸発させた。このようにしてＰＥＴフィルム上に塗布層を形成した。

次いで、酸素濃度１００ｐｐｍの窒素雰囲気下にて紫外線を照射して塗布層を硬化し、剥離機能のある剥離層を形成した。このようにしてＰＥＴフィルムの一方面に剥離層を有する剥離フィルム（切断前）を得た。走査型白色干渉顕微鏡（装置名：ＶＳ１５４０、株式会社日立ハイテクサイエンス製）を用いて、剥離フィルムの剥離層の表面粗さ（Ｒｐ）を測定した。その結果、剥離層の表面粗さ（Ｒｐ）は３０ｎｍであった。剥離層の厚みは１μｍであった。このような剥離フィルムを、巻き芯に巻き取って剥離フィルムロール（切断前）を得た。また、作製した剥離フィルムの全長は７０００ｍであった。

図３に示すような製造装置を用い、上記剥離フィルムロール２００（切断前）を、回転軸２０２に取り付けた。切断部１２０で、剥離フィルムロール２００（切断前）から引き出された剥離フィルムを長手方法に沿って５つに切断し、幅２００ｍｍのサイズにした。５本の剥離フィルム（切断後）を、図３に示すようにして、剥離層２４が外側になるようにして、外径が８８．２ｍｍのＦＲＰ製の巻き芯１０にそれぞれ巻き取った。巻き取りに際しては、コンタクトロール７０を巻き取りロール１００ａに対して押圧するとともに、巻き取り軸１０２とコンタクトロール７０とを回転駆動させながら、剥離フィルムを巻き芯１０に巻き取った。巻き取り軸１０２としてフリクションシャフトを用いた。

巻き取り軸１０２のトルクＴは０．８６８Ｎ・ｍで一定とした。すなわち、最大値Ｔ_ｍａｘ及び最小値Ｔ_ｍｉｎも０．８６８Ｎ／ｍであった。Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値は１４０，０００Ｎ／ｍであった。得られた５本の剥離フィルムロールの巻き取り長さは、いずれも６０００ｍであった。

＜巻き状態の品位の評価＞
剥離フィルムロールの巻き状態を目視で評価した。側面において、剥離フィルムの側端部が綺麗に並んでいて巻きずれがない場合を「Ａ」、巻きずれがある場合を「Ｂ」と評価した。結果は表１に示すとおりであった。

＜誘電体グリーンシートの形成及び評価＞
作製した剥離フィルムロールを用い、以下の手順でセラミック部品シートとして誘電体グリーンシートを形成した。セラミック粉末としてＢａＴｉＯ_３系の粉末、有機バインダとしてポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、及び溶媒としてメタノールをそれぞれ準備した。次に、セラミック粉末１００質量部に対して、１０質量部の有機バインダ、及び１６５質量部の溶媒を配合し、ボールミルで混練して誘電体スラリーを得た。

剥離フィルムロールを塗布機にセットして、剥離フィルムロールから引き出された剥離フィルムの剥離層側に誘電体スラリーを塗布し、剥離フィルムの剥離層の表面に誘電体グリーンシートを形成した。誘電体グリーンシートの厚みの設定値は０．９μｍとした。誘電体グリーンシートの厚み変動幅は、インラインに設置した透過型Ｘ線膜厚計（商品名：ＡｃｃｕｒｅＸ、（株）ヒューテック製）を用いて、剥離フィルムの幅方向でトラバースしながら長手方向に沿って連続的に測定した。厚み変動幅は、厚みの平均値、最大値及び最小値から求めた。すなわち、最大値－平均値の絶対値と、最小値－平均値の絶対値のうち、大きい方の値を厚み変動幅とした。なお、巻き芯に巻かれた剥離フィルムロールの後端から長さが１００ｍの範囲の剥離フィルムには、塗布機の装置上の制約から誘電体グリーンシートを形成しなかった。

作製した剥離フィルム上の誘電体グリーンシートについてピンホールと誘電体グリーンシートの厚み変動幅を調査した。誘電体グリーンシートの厚みが０．８５５μｍから０．９４５μｍの範囲つまり厚み変動幅が０．０４５μｍ（設定厚みの±５％）にはいっていれば良品とした。厚み変動幅は０．０３μｍであり、良品であった。また、ピンホールは検出されなかった。

（実施例２～７）
巻き取り軸１０２として用いるフリクションシャフトを変更することによって、巻き取り軸１０２のトルクＴを表１に示すとおりに変更したこと以外は、実施例１と同様にして剥離フィルムロールを作製した。巻き状態の品位の評価、誘電体グリーンシートの形成及び評価を実施例１と同様にして行った。結果は表１に示すとおりであった。

（比較例１）
実施例７と同じフリクションシャフトを用いた。コンタクトロールを用いずに剥離フィルムの巻き取りを行った。得られた剥離フィルムロールの巻き状態の品位の評価を行ったところ、剥離フィルムロールの側面において、剥離フィルムの切断面（端面）は不揃いになっていた。また、巻き取り終了後、巻き取り軸から剥離フィルムロールを取り外そうとしたら、内側の剥離フィルムがスライドし、剥離フィルムロールが竹の子状に変形した。この原因は、ロール径が大きくなるにつれて、巻き取られる剥離フィルムの張力が低下しているにもかかわらず、コンタクトロールを用いなかったためと考えられる。この状態では、塗布装置で誘電体スラリーを塗布することができないので、この時点で評価を終了した。なお、剥離フィルムロールをほどいて剥離フィルムを観察したところ、側端部から内側約３ｃｍ以内の領域で剥離フィルムが折れたような変形がみられた。

（比較例２）
巻き取りロールの巻き取り軸のトルクを調整し、巻き取られる剥離フィルムにかかる張力が一定となるようにして、剥離フィルムを巻き取った（張力一定制御）。得られた剥離フィルムロールの巻き状態の品位の評価、誘電体グリーンシートの形成及び評価を実施例１と同様にして行った。結果は表１に示すとおりであった。

剥離フィルムロールは空気の抱き込みが観察された。また、剥離フィルムロールの巻き芯に近い部分、具体的には、巻き芯に巻かれた剥離フィルムロールの後端から長さが１００ｍから５００ｍの範囲の剥離フィルムでは、内側になるに従い誘電体グリーンシートの厚み変動幅が悪化し、誘電体グリーングリーンシートの厚み変動幅が０．０６μｍであった。このように、厚み変動幅が、設定厚みの±５％の範囲を超えている部分があり、不良であった。また、巻き芯に巻かれた剥離フィルムロールの後端から長さが１００ｍから２５０ｍの範囲の剥離フィルムでは、ピンホールのような形態で誘電体グリーンシートが薄くなっている部分が観察された。

本開示によれば、剥離フィルムの巻き長さを長くしても、巻き付け状態の品位が高く、且つ、剥離フィルムの表面における凹凸及び変形が十分に低減されている剥離フィルムロール及びその製造方法を提供することができる。また、そのような剥離フィルムロールを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品シート及びその製造方法を提供することができる。また、そのようなセラミック部品シートを用いることによって、優れた信頼性を有するセラミック部品及びその製造方法を提供することができる。

１０，１１…巻き芯，２０…剥離フィルム，２２…基材フィルム，２４…剥離層，２４ａ…表面，３０…グリーンシート，３０ｂ…一方面，３２…セラミックグリーンシート，３２ａ…表面，３４…電極グリーンシート，４０…セラミック部品シート，５０…ロール，５０ａ…上ロール，５０ｂ…下ロール，７０…コンタクトロール，７２…回転軸，８０…制御部，８１ａ，８１ｂ…トルク制御部，８１ｃ…押圧制御部，８２，８３…回転駆動部，８４…シリンダー部，９０…積層セラミックコンデンサ，９２…内層部，９３…外層部，９４…内部電極層，９５…端子電極，９６…セラミック層，１００…剥離フィルムロール，１０２…巻き取り軸，１１０…繰り出し部，１２０…切断部，１３０，１３１…巻き取り部，２００…剥離フィルムロール，２０２…回転軸，３００，３０１…製造装置。

Claims (9)

1. コンタクトロールを巻き取りロールに押圧しながら、基材フィルムと剥離層とを有する剥離フィルムを前記巻き取りロールに巻き取る巻取工程を有し、
   前記巻取工程では、前記コンタクトロールを回転駆動させながら、前記巻き取りロールのロール径が大きくなるにつれて前記剥離フィルムにかかる張力が小さくなるように、前記巻き取りロールを回転駆動する巻き取り軸のトルクを制御しつつ前記剥離フィルムを巻き取る、剥離フィルムロールの製造方法。
2. 前記巻取工程において、
   前記剥離フィルムの厚みをＦ［ｍ］、前記剥離フィルムの幅をＷ［ｍ］、前記巻き取りロールを回転駆動する前記巻き取り軸のトルクをＴ［Ｎ・ｍ］としたときに、Ｔ／（Ｆ・Ｗ）の値を７０，０００～４２０，０００Ｎ／ｍの範囲内に維持する、請求項１に記載の剥離フィルムロールの製造方法。
3. 前記巻取工程における、前記巻き取りロールを回転駆動する前記巻き取り軸のトルクＴ［Ｎ・ｍ］の最大値をＴ_ｍａｘ［Ｎ・ｍ］、最小値をＴ_ｍｉｎ［Ｎ・ｍ］、及び前記最大値と前記最小値の和の１／２をＴ_ａｖｅ［Ｎ・ｍ］としたときに、下記式（１）及び（２）を満足する、請求項１又は２に記載の剥離フィルムロールの製造方法。
   Ｔ_ｍａｘ≦１．２×Ｔ_ａｖｅ （１）
   Ｔ_ｍｉｎ≧０．８×Ｔ_ａｖｅ （２）
4. 前記剥離フィルムを、搬送ロールを用いて搬送する搬送工程と、
   前記剥離フィルムを長手方向に沿って切断する切断工程と、を含み、
   前記剥離フィルムを切断する前に、ニップロールと前記搬送ロールによって前記剥離フィルムを挟む、請求項１～３のいずれか一項に記載の剥離フィルムロールの製造方法。
5. 請求項１～４のいずれか一項に記載の製造方法によって得られる剥離フィルムロール。
6. 請求項１～４のいずれか一項に記載の製造方法で得られる剥離フィルムロールから引き出された前記剥離フィルムの前記剥離層の表面にセラミック粉末を含むペーストを用いてセラミックグリーンシートを形成する工程を有する、セラミック部品シートの製造方法。
7. 請求項６に記載の製造方法で得られた前記セラミック部品シートを用いて前記セラミックグリーンシートを含む積層体を得る工程と、
   前記積層体を焼成して焼結体を得る工程と、を有する、前記焼結体を備えるセラミック部品の製造方法。
8. 請求項１～４のいずれか一項に記載の製造方法によって得られた剥離フィルムロールから引き出された前記剥離フィルムの前記剥離層の表面にセラミックグリーンシートを含むグリーンシートを形成して得られる、セラミック部品シート。
9. 請求項８に記載のセラミック部品シートのセラミックグリーンシートを含む積層体を形成し、当該積層体を焼成して得られる焼結体を備えるセラミック部品。

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