JP7430786B2 - パターン形成方法、回路基板の製造方法、及び、積層体 - Google Patents
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Description
本開示の一態様は、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能なパターン形成方法を提供することを目的とする。
本開示の他の一態様は、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能なパターン形成方法を利用する回路基板の製造方法を提供することを目的とする。
本開示のさらに他の一態様は、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能な積層体を提供することを目的とする。
<1> 第一の感光層と、露光波長に対して透明な領域を有する基板と、第二の感光層と、をこの順で有する積層体を準備する工程と、上記第一の感光層を露光する工程と、上記第二の感光層を露光する工程と、露光された上記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程と、露光された上記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程と、を含み、上記第一の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ1、及び上記第二の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ2が、λ1≠λ2の関係を満たすパターン形成方法。
<2> 上記第一の感光層、及び上記第二の感光層が、互いに異なる感光性化合物を含む<1>に記載のパターン形成方法。
<3> 上記第一の感光層、及び上記第二の感光層について、以下の関係1及び関係2を満たす<1>又は<2>に記載のパターン形成方法。
関係1:1.1≦E1r/E2
関係2:1.1≦E2r/E1
ここで、E1rは、上記積層体の上記第二の感光層側から上記主波長λ2を有する光で露光した際に上記第一の感光層が反応しない最高露光量を表し、E2は、上記第二の感光層を露光する工程において上記主波長λ2を有する光で上記第二の感光層を露光する際の露光量を表し、E2rは、上記積層体の上記第一の感光層側から上記主波長λ1を有する光で露光した際に上記第二の感光層が反応しない最高露光量を表し、E1は、上記第一の感光層を露光する工程において上記主波長λ1を有する光で上記第一の感光層を露光する際の露光量を表す。
<4> 上記第一の感光層、及び上記第二の感光層について、以下の関係3及び関係4を満たす<1>~<3>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
関係3:3≦S12/S11
関係4:3≦S21/S22
ここで、S12は、上記主波長λ2に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、S11は、上記主波長λ1に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、S21は、上記主波長λ1に対する上記第二の感光層の分光感度を表し、S22は、上記主波長λ2に対する上記第二の感光層の分光感度を表す。
<5> 上記第一の感光層が、上記主波長λ2の光を吸収する物質を含む、及び/又は上記第二の感光層が、上記主波長λ1の光を吸収する物質を含む<1>~<4>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<6> 上記積層体が、上記基板と上記第一の感光層との間に配置された上記主波長λ2の光を吸収する物質を含む層、上記基板の上に上記第一の感光層を介して配置された上記主波長λ2の光を吸収する物質を含む層、上記基板と上記第二の感光層との間に配置された上記主波長λ1の光を吸収する物質を含む層、及び上記基板の上に上記第二の感光層を介して配置された上記主波長λ1の光を吸収する物質を含む層からなる群より選択される少なくとも1つを有する<1>~<5>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<7> 上記主波長λ2を吸収する物質及び上記主波長λ1の光を吸収する物質のいずれか一方が、400nm以上の波長域に最大吸収波長λmaxを有する物質である<5>又は<6>に記載のパターン形成方法。
<8> 上記第一の感光層と上記第一の感光層を露光するための光源との間に上記主波長λ2を吸収する部材が配置されている、及び/又は上記第二の感光層と上記第二の感光層を露光するための光源との間に上記主波長λ1を吸収する部材が配置されている<1>~<7>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<9> 上記主波長λ2を吸収する部材及び上記主波長λ1の光を吸収する部材のいずれか一方が、400nm以上の波長域に最大吸収波長λmaxを有する物質を含む部材である<8>に記載のパターン形成方法。
<10> 上記第一の感光層を露光する工程、及び上記第二の感光層を露光する工程が、同時に行われる<1>~<9>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<11> 上記第一の感光層を露光する工程、及び上記第二の感光層を露光する工程が、別々に行われる<1>~<9>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<12> 露光された上記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程、及び露光された上記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程が、同時に行われる<1>~<11>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<13> 露光された上記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程、及び露光された上記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程が、別々に行われる<1>~<11>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<14> 上記積層体が、上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有する<1>~<13>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<15> 上記積層体が、上記基板の両面にそれぞれ少なくとも1つの導電性層を有する<1>~<13>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<16> 上記積層体が、上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、上記導電層の少なくとも一部領域の上に、上記導電層と異なる組成を持つ導電層がさらに形成されている<1>~<13>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<17> 上記積層体が、上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、上記導電層が、基板内で異なる組成を持つ2つ以上の領域を有する<1>~<13>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<18> 上記導電性層の少なくとも1つが、金属酸化物を含む層である<14>~<17>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<19> 上記導電性層の少なくとも1つが、金属ナノワイヤ及び金属ナノ粒子からなる群より選択される少なくとも1種を含む層である<14>~<17>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<20> 上記第一の樹脂パターン、及び上記第二の樹脂パターンの少なくとも一方をマスクとして用いて、上記導電性層をエッチングする工程を含む<14>~<19>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<21> 上記第一の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層である<1>~<20>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<22> 上記第一の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層である<1>~<20>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<23> 上記第二の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層である<1>~<22>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<24> 上記第二の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層である<1>~<22>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<25> 上記第一の感光層を露光する工程における露光波長が、波長365nmを含まない<1>~<24>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<26> 上記第二の感光層を露光する工程における露光波長が、波長405nmを含まない<25>に記載のパターン形成方法。
<27> 上記第一の感光層を露光する工程における露光波長が、波長405nmを含まない<1>~<24>のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
<28> 上記第二の感光層を露光する工程における露光波長が、波長365nmを含まない<27>に記載のパターン形成方法。
<29> <1>~<28>のいずれか1つに記載のパターン形成方法を含む回路基板の製造方法。
特性A:第一の感光層の最大感度波長をλm1、第二の感光層の最大感度波長をλm2としたとき、λm1≠λm2の関係を満たす。ここで、最大感度波長とは、光の波長毎に感光層が反応する最低露光量を分光感度として求め、最低露光量が最も小さくなる波長を指す。
特性B:上記基板が、上記波長λm1及びλm2の光に対して少なくとも50%以上の透過率を有する。
<31> 上記波長λm1が、395nmを超え500nm以下の範囲であり、
上記波長λm2が、250nm以上395nm以下の範囲である<30>に記載の積層体。
<32> 上記第一の感光層が、上記波長λm2の光を吸収する物質を含む<30>又は<31>に記載の積層体。
<33> 上記第二の感光層が、上記波長λm1の光を吸収する物質を含む<30>~<32>のいずれか1つに記載の積層体。
<34> 上記第一の感光層、及び上記第二の感光層について、以下の関係C及び関係Dを満たす<30>~<33>のいずれか1つに記載の積層体。
関係C:3≦Sm12/Sm11
関係D:3≦Sm21/Sm22
ここで、Sm12は、上記波長λm2に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、Sm11は、上記波長λm1に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、Sm21は、上記波長λm1に対する上記第二の感光層の分光感度を表し、Sm22は、上記波長λm2に対する上記第二の感光層の分光感度を表す。
<35> 上記第一の感光層における波長λm2の光の透過率が、70%以下である<30>~<34>のいずれか1つに記載の積層体。
<36> 上記第二の感光層における波長λm1の光の透過率が、70%以下である<30>~<35>のいずれか1つに記載の積層体。
<37> 上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有する<30>~<36>のいずれか1つに記載の積層体。
<38> 上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、上記導電層の少なくとも一部領域の上に、上記導電層と異なる組成を持つ導電層がさらに形成されている<30>~<37>のいずれか1つに記載の積層体。
<39> 上記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、上記導電層が、基板内で異なる組成を持つ2つ以上の領域を有する<30>~<37>のいずれか1つに記載の積層体。
<40> 上記基板の両面にそれぞれ少なくとも1つの導電性層を有する<30>~<39>のいずれか1つに記載の積層体。
<41> 上記導電性層の少なくとも1つが、金属酸化物を含む層である<37>~<40>のいずれか1つに記載の積層体。
<42> 上記導電性層の少なくとも1つが、金属ナノワイヤ及び金属ナノ粒子よりなる群から選択される少なくとも1種を含む層である<37>~<41>のいずれか1つに記載の積層体。
<43> 上記第一の感光層が、ネガ型感光層である<30>~<42>のいずれか1つに記載の積層体。
<44> 上記第二の感光層が、ネガ型感光層である<30>~<43>のいずれか1つに記載の積層体。
<45> 上記第一の感光層が、ポジ型感光層である<30>~<42>のいずれか1つに記載の積層体。
<46> 上記第二の感光層が、ポジ型感光層である<30>~<43>及び<45>のいずれか1つに記載の積層体。
<47> 上記波長λm2が、335nm以上395nm以下の範囲である<30>~<46>のいずれか1つに記載の積層体。
<48> 上記波長λm1が、396nm以上456nm以下の範囲である<30>~<47>のいずれか1つに記載の積層体。
本開示の他の一態様によれば、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能なパターン形成方法を利用する回路基板の製造方法が提供される。
本開示のさらに一態様によれば、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能な積層体が提供される。
本開示において、「(メタ)アクリル」とは、アクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれか一方を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれか一方を意味する。
本開示において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する複数の物質の合計量を意味する。
本開示において、「工程」との用語には、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本開示における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有しないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本開示において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
本開示において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
本開示において、化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合がある。
本開示において、「固形分」とは、組成物の組成から溶剤を除いた成分をいう。
本開示において、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、特に断りのない限り、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)分析装置(カラム:「TSKgel GMHxL、TSKgel G4000HxL」(東ソー株式会社製)、及び「TSKgel G2000HxL」(東ソー株式会社製)、検出器:示差屈折計、溶媒:テトラヒドロフラン(THF))を用いて測定され、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
本開示において、序数詞(例えば、「第一」、及び「第二」)は、構成要素を区別するために使用する用語であり、構成要素の数、及び構成要素の優劣を制限するものではない。
本開示に係るパターン形成方法は、第一の感光層と、露光波長に対して透明な領域を有する基板と、第二の感光層と、をこの順で有する積層体を準備する工程(以下、「準備工程」という場合がある。)と、上記第一の感光層を露光する工程(以下、「露光工程(1)」という場合がある。)と、上記第二の感光層を露光する工程(以下、「露光工程(2)」という場合がある。)と、露光された上記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程(以下、「現像工程(1)」という場合がある。)と、露光された上記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程(以下、「現像工程(2)」という場合がある。)と、を含み、上記第一の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ1、及び上記第二の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ2が、λ1≠λ2の関係(以下、「特定露光条件」という場合がある。)を満たす。
本開示に係るパターン形成方法は、第一の感光層と、露光波長に対して透明な領域を有する基板(以下、単に「基板」という場合がある。)と、第二の感光層と、をこの順で有する積層体を準備する工程を含む。
本開示に係るパターン形成方法は、積層体として、後述する本開示に係る積層体を好適に用いることができる。
積層体は、露光波長に対して透明な領域を有する基板を有する。基板は、第一の感光層と第二の感光層との間に配置されている。
基板は、導電性層を有することが好ましい。具体的に、積層体は、基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有することが好ましい。積層体は、基板の両面にそれぞれ少なくとも1つの導電性層を有することがより好ましい。導電性層は、露光波長に対して透明な領域を有することが好ましい。
また、別の導電層を積層する場合は、上述の記載に準じた組成の層を積層してもよい。例えば、銀ナノワイヤを含む導電層を形成した後その一部又は全部の領域上に銀ナノ粒子を含む層を形成する、ITOを含む導電層を形成した後その一部又は全部の領域上に銅を含む層を形成する、などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
上記別の層の形成手段としては、例えば、塗布、真空蒸着、スパッタリング、ラミネートなど、公知の手法を用いることが可能である。
積層体は、第一の感光層を有する。第一の感光層としては、露光により現像液に対する溶解性が変化する性質を有する層であれば制限されない。第一の感光層としては、例えば、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層(以下、単に「ポジ型感光層」という場合がある。)、及び露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層(以下、単に「ネガ型感光層」という場合がある。)が挙げられる。
ポジ型感光層としては、制限されず、公知のポジ型感光層を利用できる。ポジ型感光層は、酸分解性樹脂、すなわち、酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位を有する重合体と、光酸発生剤と、を含むことが好ましい。また、ポジ型感光層は光反応開始剤としてナフトキノンジアジド系化合物と、フェノールノボラック樹脂と、を含むポジ型感光層であってもよい。
ポジ型感光層は、酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位(以下、「構成単位A」という場合がある。)を有する重合体(以下、「重合体X」という場合がある。)を含むことが好ましい。ポジ型感光層は、1種単独の重合体Xを含んでいてもよく、2種以上の重合体Xを含んでいてもよい。
重合体Xは、酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位(構成単位A)を有することが好ましい。重合体Xが構成単位Aを有することにより、ポジ型感光層の感度を向上できる。
式A3中、R31又はR32がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。
式A3中、R31及びR32は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数1~4のアルキル基であることが好ましい。
式A3中、R33は、炭素数1~10のアルキル基であることが好ましく、炭素数1~6のアルキル基であることがより好ましい。
式A3中、R31~R33で表されるアルキル基及びアリール基は、置換基を有していてもよい。
式A3中、R31又はR32と、R33とは連結して環状エーテルを形成することが好ましい。上記環状エーテルの環員数は、5又は6であることが好ましく、5であることがより好ましい。
式A3中、X0は、単結合であることが好ましい。アリーレン基は、置換基を有していてもよい。
式A3中、R34は、重合体Xのガラス転移温度(Tg)をより低くし得るという観点から、水素原子であることが好ましい。
重合体Xは、酸基を有する構成単位(以下、「構成単位B」という場合がある。)を有していてもよい。
重合体Xは、既述の構成単位A及び構成単位B以外の、他の構成単位(以下、「構成単位C」という場合がある。)を有することが好ましい。構成単位Cの種類及び含有量の少なくとも一方を調製することで、重合体Xの諸特性を調整することができる。重合体Xが構成単位Cを有することで、重合体Xのガラス転移温度、酸価、及び親疎水性を容易に調整することができる。
重合体Xのガラス転移温度(Tg)は、90℃以下であることが好ましく、20℃~60℃であることがより好ましく、30℃~50℃であることが特に好ましい。ポジ型感光層が後述する転写材料を用いて形成される場合、重合体Xのガラス転移温度が上記範囲内であることで、ポジ型感光層の転写性を向上できる。
第一の構成単位の単独重合体のガラス転移温度をTg1、共重合体における第一の構成単位の質量分率をW1、第二の構成単位の単独重合体のガラス転移温度をTg2、共重合体における第二の構成単位の質量分率をW2とした場合、第一の構成単位、及び第二の構成単位を有する共重合体のガラス転移温度Tg0(単位:K)は、以下の式にしたがって推定することができる。
FOX式:1/Tg0=(W1/Tg1)+(W2/Tg2)
重合体Xの酸価は、解像性の観点から、0mgKOH/g~50mgKOH/gであることが好ましく、0mgKOH/g~20mgKOH/gであることがより好ましく、0mgKOH/g~10mgKOH/gであることが特に好ましい。
A=56.11×Vs×0.1×f/w
A:酸価(mgKOH/g)
Vs:滴定に要した0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の使用量(mL)
f:0.1mol/L水酸化ナトリウム水溶液の力価
w:測定試料の質量(g)(固形分換算)
重合体Xの重量平均分子量(Mw)は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、60,000以下であることが好ましい。ポジ型感光層が後述する転写材料を用いて形成される場合、重合体Xの重量平均分子量が60,000以下であることで、低温(例えば130℃以下)でポジ型感光層を転写できる。
測定装置として、HLC(登録商標)-8220GPC(東ソー株式会社製)を用いる。
カラムとして、TSKgel(登録商標)Super HZM-M(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、Super HZ4000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、Super HZ3000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)、及びSuper HZ2000(4.6mmID×15cm、東ソー株式会社製)をそれぞれ1本ずつ直列に連結したものを用いる。
溶離液として、THF(テトラヒドロフラン)を用いる。
測定条件については、試料濃度を0.2質量%、流速を0.35mL/min、サンプル注入量を10μL、及び測定温度を40℃とする。
検出器として、示差屈折率(RI)検出器を用いる。
検量線は、東ソー株式会社製の「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F-40」、「F-20」、「F-4」、「F-1」、「A-5000」、「A-2500」、及び「A-1000」の7サンプルのいずれかを用いて作成する。
重合体Xの含有量は、高解像性の観点から、ポジ型感光層の全質量に対して、50質量%~99.9質量%であることが好ましく、70質量%~98質量%であることがより好ましい。
重合体Xの製造方法としては、制限されず、公知の方法を利用できる。例えば、有機溶剤中、重合開始剤を用いて、構成単位Aを形成するためのモノマー、さらに必要に応じて、構成単位Bを形成するためのモノマー及び構成単位Cを形成するためのモノマーを重合することにより重合体Xを製造できる。また、重合体Xは、いわゆる高分子反応で製造することもできる。
ポジ型感光層は、重合体Xに加えて、酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位を有しない重合体(以下、「他の重合体」という場合がある。)を含んでいてもよい。
ポジ型感光層は、感光性化合物として、光酸発生剤を含むことが好ましい。光酸発生剤は、活性光線(例えば、紫外線、遠紫外線、X線、及び電子線)の照射により酸を発生することができる化合物である。
ポジ型感光層は、上記した各成分に加えて、公知の添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、例えば、増感剤、塩基性化合物、ヘテロ環状化合物、アルコキシシラン化合物、及び界面活性剤が挙げられる。
ポジ型感光層は、可塑性を改良する目的で、可塑剤を含んでいてもよい。
ポジ型感光層は、増感剤を含むことが好ましい。
ポジ型感光層は、塩基性化合物を含むことが好ましい。
カルボン酸の第四級アンモニウム塩としては、例えば、テトラメチルアンモニウムアセテート、テトラメチルアンモニウムベンゾエート、テトラ-n-ブチルアンモニウムアセテート、及びテトラ-n-ブチルアンモニウムベンゾエートが挙げられる。
ポジ型感光層は、ヘテロ環状化合物を含んでいてもよい。
ポジ型感光層は、アルコキシシラン化合物を含んでいてもよい。
ポジ型感光層は、膜厚の均一性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましい。
また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、DIC(株)製のメガファック DSシリーズ(化学工業日報(2016年2月22日)、日経産業新聞(2016年2月23日))、例えばメガファック DS-21が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーも使用できる。
フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する(メタ)アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基(好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基)を2以上(好ましくは5以上)有する(メタ)アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく使用できる。
また、フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体も使用できる。メガファック RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K(以上、DIC株式会社製)等が挙げられる。
ポジ型感光層は、上記添加剤以外の成分(以下、「他の成分」という場合がある。)を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、着色剤、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、架橋剤、及び、有機又は無機の沈殿防止剤が挙げられる。他の成分の好ましい態様については、特開2014-85643号公報の段落0165~段落0184にそれぞれ記載があり、これらの内容は参照により本明細書に組み込まれる。
ネガ型感光層としては、制限されず、公知のネガ型感光層を利用できる。ネガ型感光層は、パターン形成性の観点から、酸基を有する重合体、重合性化合物、及び、光重合開始剤を含むことが好ましい。ネガ型感光層として、例えば、特開2016-224162号公報に記載された感光性樹脂層を用いてもよい。
ネガ型感光層は、酸基を有する重合体(以下、「重合体Y」という場合がある。)を含むことが好ましい。
側鎖に分岐構造を有する基を含むモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸sec-ブチル、(メタ)アクリル酸tert-ブチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸tert-アミル、(メタ)アクリル酸sec-アミル、(メタ)アクリル酸2-オクチル、(メタ)アクリル酸3-オクチル及び(メタ)アクリル酸tert-オクチル等が挙げられる。これらのなかでも、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸イソブチル、メタクリル酸tert-ブチルが好ましく、メタクリル酸イソプロピル又はメタクリル酸tert-ブチルがより好ましい。
側鎖に脂環構造を有する基を含むモノマーの具体例としては、単環の脂肪族炭化水素基を有するモノマー、及び、多環の脂肪族炭化水素基を有するモノマーが挙げられる。また、炭素原子数5~20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。より具体的な例としては、(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル-2)、(メタ)アクリル酸-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-2-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-3-メチル-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-3,5-ジメチル-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-3-エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸-3-メチル-5-エチル-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-3,5,8-トリエチル-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-3,5-ジメチル-8-エチル-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸2-メチル-2-アダマンチル、(メタ)アクリル酸2-エチル-2-アダマンチル、(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ-4,7-メンタノインデン-5-イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ-4,7-メンタノインデン-1-イルメチル、(メタ)アクリル酸-1-メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデカン、(メタ)アクリル酸-3-ヒドロキシ-2,6,6-トリメチル-ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸-3,7,7-トリメチル-4-ヒドロキシ-ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸-2,2,5-トリメチルシクロヘキシル、及び(メタ)アクリル酸シクロヘキシル等が挙げられる。これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸-1-アダマンチル、(メタ)アクリル酸-2-アダマンチル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸1-メンチル、又は(メタ)アクリル酸トリシクロデカンが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸-2-アダマンチル、又は(メタ)アクリル酸トリシクロデカンがより好ましい。
ネガ型感光層は、重合性化合物を含むことが好ましい。
ネガ型感光層は、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤は、活性光線(例えば、紫外線、及び可視光線)を受けることにより重合性化合物の重合を開始する。光重合開始剤は、光反応開始剤の一種である。
ネガ型感光層は、上記した各成分に加えて、公知の添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、例えば、重合禁止剤、可塑剤、増感剤、水素供与体、ヘテロ環状化合物、及び紫外線(UV)吸収剤が挙げられる。
ネガ型感光層は、重合禁止剤を含んでいてもよい。
可塑剤としては、例えば、上記ポジ型感光層において説明した可塑剤が挙げられ、好ましい可塑剤も同様である。
ネガ型感光層は、増感剤を含んでいてもよい。
ネガ型感光層は、水素供与体を含んでいてもよい。水素供与体は、光重合開始剤に水素を与えることができる。
ヘテロ環状化合物としては、例えば、上記ポジ型感光層において説明したヘテロ環状化合物が挙げられ、好ましいヘテロ環状化合物も同様である。
ネガ型感光層は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において、UV吸収剤を含んでいてもよい。UV吸収剤は、露光波長に対するネガ型感光層の透過率を小さくできる。
ネガ型感光層は、上記添加剤以外の成分(以下、「他の成分」という場合がある。)を含んでいてもよい。他の成分としては、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、着色剤、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、架橋剤、及び有機又は無機の沈殿防止剤が挙げられる。これらの成分の好ましい態様については特開2014-85643号公報の段落0165~段落0184にそれぞれ記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
第一の感光層は、金属成分、残モノマー成分等の不純物をできる限り含まないことが好ましい。
第一の感光層の厚さは、制限されない。第一の感光層の平均厚さは、膜厚の均一性の観点から、0.5μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましい。第一の感光層の平均厚さは、解像性の観点から、20μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがより好ましく、5μm以下であることが特に好ましい。第一の感光層の平均厚さは、上記基板の平均厚さの測定方法に準ずる方法により測定する。
積層体は、第二の感光層を有する。第二の感光層としては、露光により現像液に対する溶解性が変化する性質を有する層であれば制限されない。第二の感光層としては、例えば、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層、及び露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層が挙げられる。
第二の感光層は、金属成分、残モノマー成分等の不純物をできる限り含まないことが好ましい。
第二の感光層の厚さは、制限されない。第二の感光層の平均厚さは、膜厚の均一性の観点から、0.5μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましい。第二の感光層の平均厚さは、解像性の観点から、20μm以下であることが好ましく、10μm以下であることがより好ましく、5μm以下であることが特に好ましい。第二の感光層の平均厚さは、上記基板の平均厚さの測定方法に準ずる方法により測定する。
(1)第一の感光層がネガ型感光層であり、第二の感光層がネガ型感光層である。
(2)第一の感光層がポジ型感光層であり、第二の感光層がポジ型感光層である。
(3)第一の感光層がネガ型感光層であり、第二の感光層がポジ型感光層である。
(4)第一の感光層がポジ型感光層であり、第二の感光層がネガ型感光層である。
第一の感光層、及び第二の感光層は、それぞれ特定の露光感度を有することが好ましい。これにより、露光かぶりの発生を効果的に抑制することができる。
関係1:1.1≦E1r/E2
関係2:1.1≦E2r/E1
ここで、E1rは、積層体の第二の感光層側から上記主波長λ2を有する光で露光した際に第一の感光層が反応しない最高露光量を表し、E2は、第二の感光層を露光する工程において主波長λ2を有する光で第二の感光層を露光する際の露光量を表し、E2rは、積層体の第一の感光層側から主波長λ1を有する光で露光した際に第二の感光層が反応しない最高露光量を表し、E1は、第一の感光層を露光する工程において主波長λ1を有する光で第一の感光層を露光する際の露光量を表す。上記した各露光量の単位は、同じである。上記した各露光量の単位は、例えば、mJ/cm2である。
関係3:3≦S12/S11
関係4:3≦S21/S22
ここで、S12は、主波長λ2に対する第一の感光層の分光感度を表し、S11は、主波長λ1に対する第一の感光層の分光感度を表し、S21は、主波長λ1に対する第二の感光層の分光感度を表し、S22は、主波長λ2に対する第二の感光層の分光感度を表す。上記した各分光感度の単位は、同じである。上記した各分光感度の単位は、例えば、mJ/cm2である。
第一の感光層は、主波長λ2の光を吸収する性質を有することが好ましい。第二の感光層を露光する工程(すなわち、露光工程(2))において、例えば、第二の感光層、基板及び第一の感光層をこの順で透過した露光光は、波長選択性を有するフィルターといった部材によって反射され、再び第二の感光層に到達することがある。反射された露光光によって第二の感光層が再び露光されると、解像性が低下する可能性がある。一方、主波長λ2の光を吸収する性質を有する第一の感光層は、第二の感光層及び基板を透過した主波長λ2の光、及び波長選択性を有するフィルターといった部材によって反射された主波長λ2の光を吸収できる。よって、第二の感光層の再露光に起因する解像性の低下が抑制される。
(1)第一の感光層が主波長λ2の光を吸収する物質を含む。
(2)第二の感光層が主波長λ1の光を吸収する物質を含む。
(3)第一の感光層が主波長λ2の光を吸収する物質を含む、かつ、第二の感光層が主波長λ1の光を吸収する物質を含む。
(1)主波長λ1が400nm以上である場合、主波長λ1の光を吸収する物質は、400nm以上の波長域に吸収を有する。
(2)主波長λ1が400nm未満である場合、主波長λ1の光を吸収する物質は、400nm未満の波長域に吸収を有する。
(3)主波長λ2が400nm以上である場合、主波長λ2の光を吸収する物質は、400nm以上の波長域に吸収を有する。
(4)主波長λ2が400nm未満である場合、主波長λ2の光を吸収する物質は、400nm未満の波長域に吸収を有する。
積層体は、上記以外の層(以下、「他の層」という場合がある。)を有していてもよい。他の層としては、例えば、仮支持体、及び保護フィルムが挙げられる。
積層体の製造方法としては、制限されず、公知の方法を利用できる。例えば、基板の一方の面に第一の感光層を形成し、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成する方法が挙げられる。第一の感光層、及び第二の感光層は、同時に形成されても別々に形成されてもよい。以下、第一の感光層、及び第二の感光層を総称して「感光層」という場合がある。「感光層」との用語は、特に断りのない限り、第一の感光層、若しくは第二の感光層、又は第一の感光層及び第二の感光層の両方を包含する。
塗布法としては、制限されず、公知の方法を利用できる。例えば、基板に感光層形成用組成物を塗布することによって、感光層を形成することができる。基板に塗布された感光層形成用組成物は、必要に応じて、公知の方法により乾燥してもよい。
転写材料を用いる方法としては、例えば、基板と転写材料とを貼り合わせる方法が挙げられる。例えば、仮支持体と、第一の感光層と、を有する転写材料を基板に貼り合わせることで、基板に第一の感光層を転写することができる。
本開示に係るパターン形成方法は、第一の感光層を露光する工程(露光工程(1))を含む。露光工程(1)において、露光された第一の感光層(すなわち、露光部)は、現像液に対する溶解性が変化する。例えば、第一の感光層がポジ型感光層である場合、第一の感光層の露光部は、未露光部に比べて、現像液に対する溶解性が増大する。例えば、第一の感光層がネガ型感光層である場合、第一の感光層の露光部は、未露光部に比べて、現像液に対する溶解性が低下する。
本開示に係るパターン形成方法は、第二の感光層を露光する工程(露光工程(2))を含む。露光工程(2)において、露光された第二の感光層(露光部)は、現像液に対する溶解性が変化する。例えば、第二の感光層がポジ型感光層である場合、第二の感光層の露光部は、未露光部に比べて、現像液に対する溶解性が増大する。例えば、第二の感光層がネガ型感光層である場合、第二の感光層の露光部は、未露光部に比べて、現像液に対する溶解性が低下する。
上記主波長λ1は、露光かぶり抑制の観点から、395nmを超え500nm以下の範囲であることが好ましく、396nm以上456nm以下の範囲であることがより好ましい。
上記主波長λ2は、露光かぶり抑制の観点から、250nm以上395nm以下の範囲であることが好ましく、335nm以上395nm以下の範囲であることがより好ましい。
また、露光かぶり抑制の観点から、上記主波長λ1は、395nmを超え500nm以下の範囲であり、かつ上記主波長λ2は、250nm以上395nm以下の範囲であることが更に好ましく、上記主波長λ1は、396nm以上456nm以下の範囲であり、かつ上記主波長λ2は、335nm以上395nm以下の範囲であることが特に好ましい。
(1)第一の感光層と第一の感光層を露光するための光源との間に主波長λ2を吸収する部材が配置されている。
(2)第二の感光層と第二の感光層を露光するための光源との間に主波長λ1を吸収する部材が配置されている。
(3)第一の感光層と第一の感光層を露光するための光源との間に主波長λ2を吸収する部材が配置されている、かつ、第二の感光層と第二の感光層を露光するための光源との間に主波長λ1を吸収する部材が配置されている。
本開示に係るパターン形成方法は、露光された第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程(現像工程(1))を含む。現像工程(1)において、例えば、露光された第一の感光層のうち現像液に対する溶解性が相対的に大きい部分を除去することで、第一の樹脂パターンを形成することができる。
本開示に係るパターン形成方法は、露光された第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程(現像工程(2))を含む。現像工程(2)において、例えば、露光された第二の感光層のうち現像液に対する溶解性が相対的に大きい部分を除去することで、第二の樹脂パターンを形成することができる。
基板の少なくとも一方の面に導電性層が配置されている場合、本開示に係るパターン形成方法は、第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンの少なくとも一方をマスクとして用いて、導電性層をエッチングする工程(以下、「エッチング工程」という場合がある。)を含むことが好ましい。本開示に係るパターン形成方法がエッチング工程を含むことで、基板の少なくとも一方の面に導電パターンを形成することができる。例えば、第一の樹脂パターンをマスクとして用いて導電性層をエッチングする場合、第一の樹脂パターンによって覆われた導電性層は、導電パターンとして基板に残存する。一方、第一の樹脂パターンによって覆われていない導電性層は除去される。
本開示に係るパターン形成方法は、工程ラインの汚染を防ぐ観点から、上記エッチング工程後に、必要に応じて、洗浄工程、及び乾燥工程を含んでいてもよい。
本開示に係るパターン形成方法は、第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンの少なくとも一方を全面露光する工程(以下、「全面露光工程」という場合がある。)を含んでいてもよい。全面露光工程は、後述する除去工程の前に行われることが好ましい。本開示に係るパターン形成方法が全面露光工程を含むことで、後述する除去工程における樹脂パターンの除去性を向上すること、及び、現像後に残存したパターンの反応度をさらに向上することができる。例えば、ポジ型感光層を用いて形成される樹脂パターンは、全面露光されることによって、後述する除去工程における除去性がさらに向上する。例えば、ネガ型感光層を用いて形成される樹脂パターンは、全面露光されることによって、硬化がさらに進みプロセスに対する樹脂パターンの耐性が向上する。
本開示に係るパターン形成方法は、全面露光工程の間、及び全面露光工程と後述する除去工程との前の少なくとも一方において、第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンの少なくとも一方を加熱する工程(以下、「加熱工程」という場合がある。)を含んでいてもよい。本開示に係るパターン形成方法が加熱工程を含むことで、第一の樹脂パターン及び第二の樹脂パターンの除去を容易に行うことができる。例えば、ポジ型感光層を用いて形成される樹脂パターンにおいては、光酸発生剤の反応速度、及び発生酸とポジ型感光性組成物との反応速度を向上できるため、除去性能を向上できる。
本開示に係るパターン形成方法は、第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンの少なくとも一方を除去する工程(以下、「除去工程」という場合がある。)を含んでいてもよい。以下、第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンを総称して「樹脂パターン」という場合がある。「樹脂パターン」との用語は、特に断りのない限り、第一の樹脂パターン、若しくは第二の樹脂パターン、又は第一の樹脂パターン、及び第二の樹脂パターンの両方を包含する。
本開示に係るパターン形成方法は、ロールツーロール方式により行われることが好ましい。ロールツーロール方式としては、制限されず、公知のロールツーロール方式を利用できる。例えば、本開示に係るパターン形成方法において、少なくとも1つの工程の前後に、少なくとも基板を巻き出す工程、及び少なくとも基板を巻き取る工程をそれぞれ設けることで、基板を搬送しながら加工できる。
本開示に係るパターン形成方法は、上記以外の工程を含んでいてもよい。上記以外の工程としては、例えば、以下の工程が挙げられる。
基板が導電性層を有する場合、本開示に係るパターン形成方法は、上記導電性層の一部又は全ての可視光線反射率を低下させる処理をする工程を含んでいてもよい。
本開示に係る回路基板の製造方法は、本開示に係るパターン形成方法を含む。本開示に係る回路基板の製造方法は、上記構成を備えることで、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成可能なパターン形成方法を利用することができる。例えば、樹脂パターンをエッチングマスクとして利用することで、高精細な導電パターンを形成することができる。また、例えば、樹脂パターンを導電性層の保護膜として利用することもできる。
本開示に係る積層体は、第一の感光層と、基板と、第二の感光層とをこの順で含み、以下の特性A及び特性Bを備える。
特性A:第一の感光層の最大感度波長をλm1、第二の感光層の最大感度波長をλm2としたとき、λm1≠λm2の関係を満たす。ここで、最大感度波長とは、光の波長毎に感光層が反応する最低露光量を分光感度として求め、最低露光量が最も小さくなる波長を指す。
特性B:上記基板が、上記波長λm1及びλm2の光に対して少なくとも50%以上の透過率を有する。
なお、最大感度波長は、例えば以下のようにして決めることができる。感光層に対し、特定波長の光を、ストーファー4105ステップウエッジタブレットを通して照射した際に、感光材が反応を起こす最低露光量をEminとする。照射する波長を変えることで、分光感度曲線を取得できる。Eminは波長ごとに異なるため、最小値をとる波長が最大感度波長となる。
ネガ型感光層においては、露光部が残存する最低露光量をEminとすることができる。一方、ポジ型感光層においては、露光部が除去される最低露光量をEminとすることができる。
なお、光源光が高圧水銀灯のように離散的な(g線、h線、i線のように)光量分布を持つ場合や、フィルタ等を用いて照射光の波長制御を行う場合、感光材に実際に当たる光の中で最も感度が高い波長を最大感度波長とする。例えば、ある感材の分光感度曲線で最小値が290nmにあり、2番目が365nm(i線)にあったとする。高圧水銀灯では290nmの光は実質的にほとんど出ていないため、この感材を高圧水銀灯で露光する場合は365nmが最大感度波長となる。
本開示に係る積層体が上記効果を奏する理由は、以下のように推察される。上記のとおり、露光かぶりの発生を抑制するために、例えば紫外線吸収材料を用いて感光層の光学濃度を高くすると、得られる樹脂パターンの解像性が悪化する可能性がある。一方、本開示に係るパターン形成方法は、準備工程と、露光工程(1)と、露光工程(2)と、現像工程(1)とを有し、第一の感光層の最大感度波長λm1と第二の感光層の最大感度波長λm2とが互いに異なるため、上記基板が、上記波長λm1及びλm2の光に対して少なくとも50%以上の透過率を有するものであっても、第一の感光層、及び第二の感光層をそれぞれ選択的又は優先的に露光することができる。よって、本開示に係る積層体は、露光かぶりの発生を抑制することができ、解像性に優れる樹脂パターンを形成することができる。
また、積層体における上記波長λm1及びλm2の好ましい態様はそれぞれ、後述する以外、パターン形成方法における主波長λ1及びλ2の好ましい態様において、主波長λ1及びλ2を上記波長λm1及びλm2に入れ替えた好ましい態様と同様である。
上記波長λm2は、露光かぶり抑制の観点から、250nm以上395nm以下の範囲であることが好ましく、335nm以上395nm以下の範囲であることがより好ましい。
また、露光かぶり抑制の観点から、上記波長λm1は、395nmを超え500nm以下の範囲であり、かつ上記波長λm2は、250nm以上395nm以下の範囲であることが更に好ましく、上記波長λm1は、396nm以上456nm以下の範囲であり、かつ上記波長λm2は、335nm以上395nm以下の範囲であることが特に好ましい。
また、上記第一の感光層における波長λm2の光の透過率は、露光かぶり抑制、及び、解像性の観点から、70%以下であることが好ましく、50%以下であることがより好ましく、20%以下であることがさらに好ましく、10%以下であることが特に好ましく、5%以下であることが最も好ましい。なお、上記透過率の下限値は、0%である。
上記第二の感光層は、露光かぶり抑制、及び、解像性の観点から、上記波長λm1の光を吸収する物質を含むことが好ましい。
また、上記第二の感光層における波長λm1の光の透過率は、露光かぶり抑制、及び、解像性の観点から、70%以下であることが好ましく、50%以下であることがより好ましく、20%以下であることがさらに好ましく、10%以下であることが特に好ましく、5%以下であることが最も好ましい。なお、上記透過率の下限値は、0%である。
上記波長λm2の光を吸収する物質、及び、上記波長λm1の光を吸収する物質としてはそれぞれ、上述した主波長λ2の光を吸収する物質、及び、上述した主波長λ1の光を吸収する物質と同様であり、好ましい態様も同様である。
関係C:3≦(Sm12/Sm11)
関係D:3≦(Sm21/Sm22)
ここで、Sm12は、上記波長λm2に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、Sm11は、上記波長λm1に対する上記第一の感光層の分光感度を表し、Sm21は、上記波長λm1に対する上記第二の感光層の分光感度を表し、Sm22は、上記波長λm2に対する上記第二の感光層の分光感度を表す。
Sm12/Sm11の値、及び、Sm21/Sm22の値としてはそれぞれ、3以上が好ましく、4以上が好ましく、5以上が特に好ましい。Sm12/Sm11の値、及びSm21/Sm22の値の上限は特に制限はなく、感光層として適切な性能を有する限りにおいて任意の値に設定することができる。このような性能を持つ感光層は、上記波長λm1及び上記波長λm2のそれぞれに対する感光層の吸光係数を調整する手段によって得ることができる。
次の略号は、それぞれ、以下の化合物を表す。
「MAA」:メタクリル酸(東京化成工業株式会社製)
「MMA」:メタクリル酸メチル(東京化成工業株式会社製)
「PGMEA」:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製)
「St」:スチレン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「V-601」:2,2’-アゾビス(2-メチルプロピオン酸)ジメチル(富士フイルム和光純薬株式会社製)
3つ口フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、昭和電工株式会社、116.5質量部)を入れ、窒素雰囲気下において90℃に昇温した。St(52.0質量部)、MMA(19.0質量部)、MAA(29.0質量部)、V-601(4.0質量部)、及びPGMEA(116.5質量部)を含む溶液を、90℃±2℃に維持した3つ口フラスコ溶液中に2時間かけて滴下した。滴下終了後、90℃±2℃にて2時間撹拌することで、重合体B-1(固形分濃度:30質量%、分子量:70,000、ガラス転移温度:131℃、酸価:189mgKOH/g)を得た。
以下の方法によって、基板の両面にそれぞれ樹脂パターンを形成した。
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)上に、スリット状ノズルを用いて、表1に記載された組成を有する感光層形成用組成物を塗布した。仮支持体上の感光層形成用組成物を、100℃のコンベクションオーブンで2分間乾燥して感光層を形成した。感光層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて転写材料を作製した。表1に記載された各成分の量(添加量)の単位は、質量部である。
表2の記載に従って選択した転写材料を50cm角に裁断した後、転写材料から保護フィルムを剥がした。次いで、ロール温度90℃、線圧0.8MPa、線速度3.0m/分のラミネート条件で、転写材料を基板(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:40μm)の両面に貼り合わせた。具体的に、基板の一方の面に第一の感光層を形成するための転写材料を貼り合わせ、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成するための転写材料を貼り合わせた。以上の手順によって、積層体を作製した。
仮支持体を剥離せずに、線幅3μm~40μmのラインアンドスペースパターンを有するガラスマスク(Duty比 1:1)を積層体の両面にそれぞれ密着させた。平面視した場合にガラスマスクのラインパターンが互いに直交するように、積層体の両面にそれぞれガラスマスクを配置した。次に、第一の感光層、及び第二の感光層を同時に露光した。第一の感光層、及び第二の感光層を同時に露光する際、基板を基準にして第一の感光層が配置された側から第一の感光層を露光し、そして、基板を基準にして第二の感光層が配置された側から第二の感光層を露光した。
各層の露光条件は、以下のようにして決定した。
第一の感光層:第一の感光層に対し、上記ガラスマスクを介して365nmを含まない露光条件で露光した後、露光後1時間放置し、現像した際にライン50ミクロン/スペース50ミクロンのパターン部において、残存パターン幅が49.0ミクロンから51.0ミクロンの範囲となるような露光量とした。
第二の感光層:第二の感光層に対し、上記ガラスマスクを介して405nmを含まない露光条件で露光した後、露光後1時間放置し、現像した際にライン50ミクロン/スペース50ミクロンのパターン部において、残存パターン幅が49.0ミクロンから51.0ミクロンの範囲となるような露光量とした。
なお、上記の「365nmを含まない露光条件」及び「405nmを含まない露光条件」の記載の意味はそれぞれ次のとおりである。
「365nmを含まない露光条件」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、短波長カットフィルター(型番:LUO400、カットオフ波長:400nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、405nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長365nmの強度は0.5%以下である。
「405nmを含まない露光条件」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、水銀露光用バンドパスフィルター(型番:HB0365、中心波長:365nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、365nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長405nmの強度は0.5%以下である。
また、365nmを含まない露光条件の場合、露光量は照度計(UIT-250、ウシオ電機株式会社製)に405nm用受光器(UVD-C405、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のLUO400カットフィルターを介して測定を行った。405nmを含まない露光条件の場合、露光量は照度計に365nm用受光器(UVD-C365、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のバンドパスフィルター(HB0365)を介して測定を行った。
実施例1~12、及び比較例1で作製した樹脂パターン付き基板を用いて、解像性、及び露光かぶりをそれぞれ評価した。評価結果を表2に示す。
樹脂パターンのうち、最も高解像度であったパターンの線幅を到達解像度とした。到達解像度に基づき、以下の基準に従って解像性を評価した。なお、パターンの側壁部に大きな荒れが生じている場合、又は裾引きが顕著に生じ隣接するラインパターンとつながっているような場合は、解像できていないとした。
A:20μm以下
B:20μm超、30μm以下
C:30μm超、又は解像できていない
樹脂パターン付き基板の表面のうち非露光部(非露光部の反対側の基板表面が露光部である部分に限る。以下、本段落において同じ。)を観察し、以下の基準に従って露光かぶりを評価した。露光かぶりが発生すると、上記非露光部において感光層に由来する残渣が観察される。
A:倍率50倍の光学顕微鏡で観察した際に、基板を基準にして第一の感光層が配置されていた側、及び基板を基準にして第二の感光層が配置されていた側のいずれにも残渣が認められない。
B:倍率50倍の光学顕微鏡で観察した際に、基板を基準にして第一の感光層が配置されていた側、及び基板を基準にして第二の感光層が配置されていた側の少なくともいずれか一方に残渣が認められる。
[E1r/E2、及びE2r/E1]
上記[積層体の作製]に記載の手法に従って作製した積層体に対して、第二の感光層側からのみ露光したのち、第一の感光層を現像した際に、残渣が生じる露光量をE1rとした。得られたE1rと表2に記載の第二の感光層露光量E2から、E1r/E2を求めた。同様にして、第二の感光層についてもE2r/E1を求めた。測定結果を表2に示す。
上記[積層体の作製]に記載の手法に従って作製した積層体に対して、15段ステップタブレット(富士フイルム株式会社製)を介して、それぞれ以下の条件で露光を行って分光感度を求めた。
S11:第一の感光層に対して、365nmを含まない露光条件で露光したのち、現像後に残膜が生じる最低露光量
S12:第一の感光層に対して、405nmを含まない露光条件で露光したのち、現像後に残膜が生じる最低露光量
S21:第二の感光層に対して、365nmを含まない露光条件で露光したのち、現像後に残膜が生じる最低露光量
S22:第二の感光層に対して、405nmを含まない露光条件で露光したのち、現像後に残膜が生じる最低露光量
得られた値から、S12/S11及びS21/S22を求めた。測定結果を表2に示す。
[熱可塑性樹脂組成物1の調製]
以下の成分を混合して熱可塑性樹脂組成物1を調製した。
・ベンジルメタクリレート、メタクリル酸及びアクリル酸の共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、Mw:30,000、酸価:153mgKOH/g):42.85質量部
・NKエステルA-DCP(新中村化学工業株式会社製):5.03質量部
・8UX-015A(大成ファインケミカル株式会社製):2.31質量部
・アロニックスTO-2349(東亞合成株式会社製):0.77質量部
・メガファックF-552(DIC株式会社製):0.03質量部
・メチルエチルケトン(三協化学株式会社製):39.50質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製):9.51質量部
以下の成分を混合して熱可塑性樹脂組成物2を調製した。
・ベンジルメタクリレート、メタクリル酸及びアクリル酸の共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、Mw:30,000、酸価:153mgKOH/g):42.85質量部
・NKエステルA-DCP(新中村化学工業株式会社製):4.33質量部
・8UX-015A(大成ファインケミカル株式会社製):2.31質量部
・アロニックスTO-2349(東亞合成株式会社製):0.77質量部
・メガファックF-552(DIC株式会社製):0.03質量部
・メチルエチルケトン(三協化学株式会社製):39.50質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製):9.51質量部
・下記に示す構造の化合物(光酸発生剤、特開2013-47765号公報の段落0227に記載の方法に従って合成した化合物):0.32質量部
以下の成分を混合して中間層組成物を調製した。
・クラレポバールPVA-205(株式会社クラレ製):3.22質量部
・ポリビニルピロリドンK-30(株式会社日本触媒製):1.49質量部
・メガファックF-444(DIC株式会社製):0.0015質量部
・イオン交換水:38.12質量部
・メタノール(三菱ガス化学株式会社製):57.17質量部
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように熱可塑性樹脂組成物1を塗布した。形成された熱可塑性樹脂組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。形成された熱可塑性樹脂層の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように中間層組成物を塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。形成された中間層の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、表1に記載された感光層形成用組成物4Aを塗布し、100℃のコンベクションオーブンで2分間乾燥して感光層を形成した。感光層の上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて転写材料6Aを作製した。
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように熱可塑性樹脂組成物2を塗布した。形成された熱可塑性樹脂組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。形成された熱可塑性樹脂層の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように中間層組成物を塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。形成された中間層の上に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであり、かつ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、表1に記載された感光層形成用組成物3Bを塗布し、100℃のコンベクションオーブンで2分間乾燥して感光層を形成した。感光層の上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて転写材料4Bを作製した。
転写材料6A及び転写材料4Bを用いて、上記「積層体の作製」の項及び上記「パターン形成」の項で説明した方法に従って、樹脂パターン付き基板を作製した。得られた樹脂パターン付き基板を用いて、上記「評価」の項で説明した解像性及び露光かぶりを評価した。評価結果を表2に示す。
上記「感度の測定」の項で説明した方法に従って感度を測定した。測定結果を表2に示す。
「ベンジルベタクリレートとメタクリル酸との共重合体」:固形分濃度30%、PGMEA溶液
「B-CIM」:2-(2-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体(Hampford Research社製)
「OXE-01」:IRGACURE OXE-01(BASFジャパン株式会社製)
「OXE-02」:IRGACURE OXE-02(BASFジャパン株式会社製)
「379EG」:Omnirad 379EG(IGM Resins B.V.製)
「907」:Omnirad 907(IGM Resins B.V.製)
「増感剤A」:下記構造式で表される化合物
「増感剤C」:4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(東京化成工業株式会社製)
「増感剤D」:10-ブチル-2-クロロアクリドン(黒金化成株式会社製)
「増感剤E」:KAYACURE DETX-S(製品名)(日本化薬株式会社製)
「連鎖移動剤A」:N-フェニルカルバモイルメチル-N-カルボキシメチルアニリン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「アロニックスM250」:製品名(東亞合成株式会社製)
「NKエステルBPE-500」:製品名(新中村化学工業株式会社製)
「1-フェニル-3-ピラゾリドン」:富士フイルム和光純薬株式会社製
「フェノチアジン」:富士フイルム和光純薬株式会社製
「MEK」:メチルエチルケトン(三協化学株式会社製)
「MeOH」:メタノール(三井化学株式会社製)
「LCV」:ロイコクリスタルバイオレット(色素、山田化学工業株式会社製)
「UV吸収剤A」:ジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学株式会社製)
「カーボンブラック分散液」:固形分濃度38%(東京インキ株式会社製)
「メガファックF552」:製品名(DIC株式会社製)
「メガファックF551A」:製品名(DIC株式会社製)
「365nmを含まない」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、短波長カットフィルター(型番:LUO400、カットオフ波長:400nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、405nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長365nmの強度は0.5%以下である。
「405nmを含まない」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、水銀露光用バンドバスフィルター(型番:HB0365、中心波長:365nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、365nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長405nmの強度は0.5%以下である。
「-」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用いて、波長選択性を有するフィルターを用いることなく露光した。
[略号]
次の略号は、それぞれ、以下の化合物を表す。
「A-1」:スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチルの共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、各モノマーの比率:52質量%/29質量%/19質量%、Mw:70,000)
「A-2」:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸の共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、各モノマーの比率:80質量%/20質量%、Mw:30,000、酸価:153mgKOH/g)
「A-3」:クラレポバールPVA-205(株式会社クラレ製)
「A-4」:ポリビニルピロリドンK-30(株式会社日本触媒製)
「B-1」:BPE-500(新中村化学工業株式会社製)
「B-2」:M-270(東亞合成株式会社製)
「B-3」:NKエステルA-DCP(新中村化学工業株式会社製)
「B-4」:8UX-015A(大成ファインケミカル株式会社製)
「B-5」:アロニックスTO-2349(東亞合成株式会社製)
「B-6」:KAYARAD DPHA(日本化薬株式会社製)
「C-1」:B-CIM(黒金化成株式会社製)
「C-2」:Omnirad 379EG(IGM Resins B.V.製)
「C-3」:Irgacure OXE-01(BASFジャパン株式会社製)
「C-4」:増感剤A
「C-5」:クマリン7(東京化成工業株式会社製)
「C-6」:4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(東京化成工業株式会社製)
「C-7」:10-ブチル-2-クロロアクリドン(黒金化成株式会社製)
「C-8」:Irgacure OXE-02(BASFジャパン株式会社製)
「D-1」:TDP-G(川口化学工業株式会社製)
「D-2」:1-フェニル-3-ピラゾリドン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「E-1」:ロイコクリスタルバイオレット(東京化成工業株式会社製)
「E-2」:N-フェニルカルバモイルメチル-N-カルボキシメチルアニリン(富士フイルム和光純薬株式会社製〉
「E-3」:ソルベントイエロー56(東京化成工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「E-4」:ジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学株式会社製、365nmの光を吸収する物質)
「E-5」:CBT-1(城北化学工業株式会社製)
「E-6」:F-552(DIC株式会社製)
「E-7」:F-444(DIC株式会社製)
「F-1」:メチルエチルケトン(三協化学株式会社製)
「F-2」:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製)
「F-3]:イオン交換水
「F-4」:メタノール(三菱ガス化学株式会社製)
表3の記載に従って選択した化合物を混合し、熱可塑性樹脂組成物1a~3aを調製した。
以下の化合物を混合し、中間層組成物2を調製した。
・A-3:3.22質量部
・A-4:1.49質量部
・E-7:0.0015質量部
・F-3:38.12質量部
・F-4:57.17質量部
表4の記載に従って選択した化合物を混合し、感光性樹脂組成物6A~10A及び4B~8Bを調整した。
表5の記載に従って、仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)の表面に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであって乾燥後の層厚が3.0μmとなるように熱可塑性樹脂組成物を塗布した。熱可塑性樹脂組成物を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
表5の記載に従って選択した転写材料を50cm角に裁断した後、転写材料から保護フィルムを剥がした。次いで、ロール温度90℃、線圧0.8MPa、線速度3.0m/分のラミネート条件で、転写材料を基板(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:40μm)の両面に貼り合わせた。具体的には、基板の一方の面に第一の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第一の転写材料)を貼り合わせ、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第二の転写材料)を貼り合わせた。以上の手順によって、積層体を作製した。
上記「パターン形成」の項で説明した方法に従って、樹脂パターン付き基板を作製した。
樹脂パターン付き基板を用いて、解像性、及び露光かぶりをそれぞれ評価した。評価結果を表5に示す。
樹脂パターンのうち、最も高解像度であったパターンの線幅を到達解像度とした。到達解像度に基づき、以下の基準に従って解像性を評価した。なお、パターンの側壁部に大きな荒れが生じている場合、又は裾引きが顕著に生じ隣接するラインパターンとつながっているような場合はEとした。評価としては、Dが好ましく、Cがより好ましく、Bがさらに好ましく、Aが特に好ましい。
(基準)
A:10μm以下
B:10μm超、18μm以下
C:18μm超、20μm以下
D:20μm超、30μm以下
E:30μm超、又は解像できていない
上記「感度の測定」の項で説明した方法に従って感度を測定した。測定結果を表5に示す。
[吸収フィルターAの作製]
以下の化合物を混合し、吸収フィルターA用組成物を調製した。なお、以下に示す略号は、既述の略号と同じ意味を有する。
・A-2:25.2質量部
・B-6:5.2質量部
・C-8:0.10質量部
・E-3:0.13質量部
・F-1:60.9質量部
・F-2:8.4質量部
以下の化合物を混合し、吸収フィルターB用組成物を調製した。なお、以下に示す略号は、既述の略号と同じ意味を有する。
・A-2:25.2質量部
・B-6:5.2質量部
・C-8:0.10質量部
・E-4:0.13質量部
・F-1:60.9質量部
・F-2:8.4質量部
既述した実施例25のパターン形成において、第一の感光層側のガラスマスクと短波長カットフィルター(LUO400)との間に吸収フィルターBを配置し、かつ、第二の感光層側のガラスマスクと水銀露光用バンドバスフィルター(HB0365)との間に吸収フィルターAを配置した後、第一の感光層及び第二の感光層を露光したこと以外は、実施例25と同じ手順によって、樹脂パターン付き基板を作製した。得られた樹脂パターン付き基板を用いて、実施例25と同じ評価を行った。「第一の転写材料側の解像性」及び「第二の転写材料側の解像性」のいずれもAであった。上記の結果は、第一の感光層を露光する光を吸収する吸収フィルターAを配置することで、水銀露光用バンドバスフィルター(HB0365)で反射された露光光によって第一の感光層が再び露光されることを抑制し、そして、第二の感光層を露光する光を吸収する吸収フィルターBを配置することで、短波長カットフィルター(LUO400)で反射された露光光によって第二の感光層が再び露光されることを抑制したためであると考えられる。また、「露光かぶり」の評価結果はAであった。
なお、実施例28の積層体は、特性A及び特性Bを満たすものであった。
[略号]
次の略号は、それぞれ、以下の化合物を表す。
「AA-1」:スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチルの共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、各モノマーの比率:52質量%/29質量%/19質量%、Mw:70,000)
「AA-2」:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸の共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、各モノマーの比率:80質量%/20質量%、Mw:30,000、酸価:153mgKOH/g)
「AA-3」:クラレポバールPVA-205(株式会社クラレ製)
「AA-4」:ポリビニルピロリドンK-30(株式会社日本触媒製)
「AB-1」:BPE-500(新中村化学工業株式会社製)
「AB-2」:M-270(東亞合成株式会社製)
「AB-3」:NKエステルA-DCP(新中村化学工業株式会社製)
「AB-4」:8UX-015A(大成ファインケミカル株式会社製)
「AB-5」:アロニックスTO-2349(東亞合成株式会社製)
「AB-6」:KAYARAD DPHA(日本化薬株式会社製)
「AB-7」:NKエステル4G(新中村化学工業株式会社製)
「AB-8」:NKエステルA-GLY-3E(新中村化学工業株式会社製)
「AC-1」:B-CIM(黒金化成株式会社製)
「AC-2」:Omnirad 379EG(IGM Resins B.V.製)
「AC-3」:Irgacure OXE-01(BASFジャパン株式会社製)
「AC-4」:上記増感剤A
「AC-5」:クマリン7(東京化成工業株式会社製)
「AC-6」:4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(東京化成工業株式会社製)
「AC-7」:10-ブチル-2-クロロアクリドン(黒金化成株式会社製)
「AD-1」:TDP-G(川口化学工業株式会社製)
「AD-2」:1-フェニル-3-ピラゾリドン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「AE-1」:ロイコクリスタルバイオレット(東京化成工業株式会社製)
「AE-2」:N-フェニルカルバモイルメチル-N-カルボキシメチルアニリン(富士フイルム和光純薬株式会社製〉
「AE-3」:ソルベントイエロー56(東京化成工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-4」:ソルベントイエロー4(東京化成工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-5」:ソルベントグリーン3(東京化成工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-6」:アシッドイエロー3(東京化成工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-7」:MACROLEX(登録商標) Yellow E2R(ランクセス株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-8」:ジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学株式会社製、365nmの光を吸収する物質)
「AE-9」:Tinuvin 477(BASFジャパン株式会社製、365nmの光を吸収する物質)
「AE-10」:Tinuvin 477-DW(N)(BASFジャパン株式会社製、365nmの光を吸収する物質)
「AE-11」:Tinuvin 360(BASFジャパン株式会社製、365nmの光を吸収する物質)
「AE-12」:CBT-1(城北化学工業株式会社製)
「AE-13」:F-552(DIC株式会社製)
「AE-14」:F-444(DIC株式会社製)
「AE-15」:Bonasorb UA-3911(インドール系化合物、オリエント化学工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-16」:Bonasorb UA-3912(インドール系化合物、オリエント化学工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-17」:FDB-009(山田化学工業株式会社製、405nmの光を吸収する物質)
「AE-18」:下記構造式で表される化合物(405nmの光を吸収する物質)
なお、t-Buはt-ブチル基を表し、Etはエチル基を表す。
「AF-2」:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製)
「AF-3]:イオン交換水
「AF-4」:メタノール(三菱ガス化学株式会社製)
表6の記載に従って選択した化合物を混合し、熱可塑性樹脂組成物A1a~A15aをそれぞれ調製した。
表7の記載に従って選択した化合物を混合し、中間層組成物1b~3bをそれぞれ調製した。
表8の記載に従って選択した化合物を混合し、感光性樹脂組成物1c~8c及び1d~9dをそれぞれ調整した。
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)の表面に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであって乾燥後の層厚が3.0μmとなるように表9に記載の熱可塑性樹脂組成物を塗布した。熱可塑性樹脂組成物を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
表9の記載に従って選択した転写材料を50cm角に裁断した後、転写材料から保護フィルムを剥がした。次いで、ロール温度90℃、線圧0.8MPa、線速度3.0m/分のラミネート条件で、転写材料を基板(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:40μm)の両面に貼り合わせた。具体的には、基板の一方の面に第一の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第一の転写材料)を貼り合わせ、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第二の転写材料)を貼り合わせた。以上の手順によって、積層体を作製した。
上記「パターン形成」の項で説明した方法に従って、樹脂パターン付き基板を作製した。
樹脂パターン付き基板を用いて、上述した評価方法に従って、解像性、及び露光かぶりをそれぞれ評価した。評価結果を表9に示す。
(PETフィルムの作製)
特開平6-306192号公報の段落0060に記載の手法により、紫外線吸収ポリエチレンテレフタレートフィルム(以下「PET(A)」とする。)を作製した。紫外線吸収剤として、上記公報に記載の染料に替えて上記AE-11を用い、吸収材料を調節することで波長350nm~380nmの光に30%の透過率を持つように作製した。
別途、特開平6-306192号公報の段落0060に記載の手法により、着色ポリエチレンテレフタレートフィルム(以下「PET(B)」とする。)を作製した。着色染料として、上記公報に記載の染料に替えて上記AE-7を用い、染料量を調節することで波長405nm~440nmの光に30%の透過率を持つように作製した。
PET(A)上に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように熱可塑性樹脂組成物A1aを塗布した。形成された熱可塑性樹脂組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
形成された熱可塑性樹脂層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように中間層組成物1bを塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。
形成された中間層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、感光性樹脂組成物1cを塗布し、100℃で2分間乾燥して感光層を形成した。感光層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて感光性転写材料Aを作製した。
形成された熱可塑性樹脂層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように中間層組成物1bを塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。
形成された中間層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、感光性樹脂組成物1dを塗布し、100℃で2分間乾燥して感光層を形成した。感光層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて感光性転写材料Bを作製した。
なお、実施例51の積層体は、特性A及び特性Bを満たすものであった。
実施例29~実施例50とそれぞれ同一の積層体を用い、表10にあるような評価条件で、上述した評価方法に従い、解像性、及び露光かぶりの評価をそれぞれ行った。結果を表10に示す。
「405nm以下の波長を含まない露光条件」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、短波長カットフィルター(型番:LU0422、カットオフ波長:422nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、436nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長365nmの強度は0.5%以下である。
「405nm以上の波長を含まない」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、水銀露光用バンドパスフィルター(型番:HB0365、中心波長:365nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、365nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長405nm及び436nmの強度は0.5%以下である。
また、405nm以下の波長を含まない露光条件の場合、露光量は照度計(UIT-250、ウシオ電機株式会社製)に405nm用受光器(UVD-C405、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のLU0422カットフィルターを介して測定を行った。405nm以上の波長を含まない露光条件の場合、露光量は照度計に365nm用受光器(UVD-C365、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のバンドパスフィルター(HB0365)を介して測定を行った。
[略号]
次の略号は、それぞれ、以下の化合物を表す。
「BA-1」:スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチルの共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度:30.0質量%、各モノマーの比率:52質量%/29質量%/19質量%、Mw:70,000)
「BB-1」:BPE-500(新中村化学工業株式会社製)
「BB-2」:NKエステルHD-N(新中村化学工業株式会社製)
「BB-3」:NKエステルNOD-N(新中村化学工業株式会社製)
「BB-4」:NKエステルA-HD-N(新中村化学工業株式会社製)
「BB-5」:NKエステル4G(新中村化学工業株式会社製)
「BB-6」:サートマーSR454(アルケマ社製)
「BB-7」:NKエステルA-TMPT(新中村化学工業株式会社製)
「BB-8」:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均15モルのエチレンオキサイドと平均2モルのプロピレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート
「BB-9」:NKエステルA-9300-1CL(新中村化学工業株式会社製)
「BC-1」:B-CIM(黒金化成株式会社製)
「BC-2」:SB-PI 701(三洋貿易株式会社より入手)
「BC-3」:4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(東京化成工業株式会社製)
「BC-4」:2-イソプロピルチオキサントン(東京化成工業株式会社製)
「BC-5」:クマリン7(東京化成工業株式会社製)
「BC-6」:7-(ジエチルアミノ)クマリン-3-カルボン酸ヘキシル(東京化成工業株式会社製)
「BC-7」:クマリン314(東京化成工業株式会社製)
「BC-8」:クマリン521T(東京化成工業株式会社製)
「BC-9」:クマリン334(シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社製)
「BC-10」:3-アセチル-7-(ジエチルアミノ)クマリン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「BD-1」:TDP-G(川口化学工業株式会社製)
「BD-2」:1-フェニル-3-ピラゾリドン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
「BE-1」:ロイコクリスタルバイオレット(東京化成工業株式会社製)
「BE-2」:N-フェニルカルバモイルメチル-N-カルボキシメチルアニリン(富士フイルム和光純薬株式会社製〉
「BE-5」:CBT-1(城北化学株式会社製)
「BE-6」:F-552(DIC株式会社製)
「BF-1」:メチルエチルケトン(三協化学株式会社製)
「BF-2」:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製)
「BF-4」:メタノール(三菱ガス化学株式会社製)
表11又は表12の記載に従って選択した化合物を混合し、感光性樹脂組成物1e~14e及び1f~11fをそれぞれ調整した。
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)の表面に、スリット状ノズルを用いて、塗布幅が1.0mであって乾燥後の層厚が3.0μmとなるように表13又は表14に記載の熱可塑性樹脂組成物を塗布した。熱可塑性樹脂組成物を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
表13又は表14の記載に従って選択した転写材料を50cm角に裁断した後、転写材料から保護フィルムを剥がした。次いで、ロール温度90℃、線圧0.8MPa、線速度3.0m/分のラミネート条件で、転写材料を基板(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:40μm)の両面に貼り合わせた。具体的には、基板の一方の面に第一の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第一の転写材料)を貼り合わせ、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成するための転写材料(すなわち、第二の転写材料)を貼り合わせた。以上の手順によって、積層体を作製した。
上記「パターン形成」の項で説明した方法に従って、樹脂パターン付き基板を作製した。
樹脂パターン付き基板を用いて、上述した評価方法に従って、解像性、及び露光かぶりをそれぞれ評価した。評価結果を表13又は表14に示す。
表15~表17に記載の成分を混合して熱可塑性樹脂組成物、中間層組成物、感光性樹脂組成物を調製した。
EA-1:スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチル=52/29/19(質量%)共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度30.0%、Mw70,000)
EA-2:ベンジルメタクリレート、メタクリル酸及びアクリル酸の共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分濃度30.0%、Mw30000、酸価153mgKOH/g)
EA-3:クラレポバールPVA-205(株式会社クラレ製)
EA-4:ポリビニルピロリドンK-30(株式会社日本触媒製)
EB-1:NKエステルBPE-500(新中村化学工業株式会社製)
EB-2:NKエステルHD-N(新中村化学工業株式会社製)
EB-3:NKエステルA-DCP(新中村化学工業株式会社製)
EB-4:8UX-015A(大成ファインケミカル株式会社製):2.31部
EB-5:アロニックスTO-2349(東亞合成製)
EB-6:ライトアクリレート DPE-6A(共栄社化学株式会社 製)
EC-1:B-CIM(黒金化成株式会社製)
EC-2:SB-PI 701(三洋貿易株式会社より入手)
EC-3:3-アセチル-7-(ジエチルアミノ)クマリン(富士フイルム和光純薬株式会社製)
EC-4:Irgacure OXE02(BASFジャパン株式会社製)
ED-1:TDP-G(川口化学製)
ED-2:1-フェニル-3-ピラゾリドン (富士フイルム和光純薬株式会社製)
EE-1:ロイコクリスタルバイオレット(東京化成工業株式会社製)
EE-2:N-フェニルカルバモイルメチル-N-カルボキシメチルアニリン(富士フイルム和光純薬株式会社製〉
EE-3:ソルベントイエロー56(東京化成工業株式会社製)
EE-4:CBT-1(城北化学株式会社製)
EE-5:ジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学株式会社製)
EE-6:Tinuvin 970(BASFジャパン株式会社製)
EE-7:メガファックF-552(DIC株式会社製)
EE-8:メガファックF-444(DIC株式会社製)
EF-1:メチルエチルケトン(三協化学株式会社製)
EF-2:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(昭和電工株式会社製)
EF-3:イオン交換水
EF-4:メタノール(三菱ガス化学株式会社製)
<感光性転写材料の作製>
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)上に、仮支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように表18に記載の熱可塑性樹脂組成物を塗布した。形成された熱可塑性樹脂組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
形成された熱可塑性樹脂層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように表18に記載の中間層組成物を塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。
形成された中間層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、表18に記載された感光層形成用組成物を塗布し、100℃のコンベクションオーブンで2分間乾燥して感光層を形成した。感光層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて感光性転写材料108Aを作製した。
別途、表18に記載の各組成物を使用したほかは、上記と同様に熱可塑性樹脂層、中間層、感光層からなる感光性転写材料108Bを作製した。
表18の記載に従って選択した感光性転写材料108Aを50cm角に裁断した後、感光性転写材料108Aから保護フィルムを剥がした。次いで、ロール温度90℃、線圧0.8MPa、線速度3.0m/分のラミネート条件で、保護フィルムを剥がした感光性転写材料108Aを基板(ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる基板上の両面に、銀ナノワイヤが樹脂に分散された導電層が積層されたフィルム。商品名ClearOhm、Cambrios社製)の両面に貼り合わせた。具体的には、基板の一方の面に第一の感光層を形成するための感光性転写材料108A(すなわち、第一の転写材料)を貼り合わせ、そして、基板の他方の面に第二の感光層を形成するための感光性転写材料108B(すなわち、第二の転写材料)を貼り合わせた。以上の手順によって、積層体を作製した。
仮支持体を剥離せずに、配線パターンが描画されたガラスマスクを積層体の両面にそれぞれ密着させた。表18の記載の条件で、第一の感光層、及び第二の感光層を同時に露光した。第一の感光層、及び第二の感光層を同時に露光する際、基板を基準にして第一の感光層が配置された側から第一の感光層を露光し、そして、基板を基準にして第二の感光層が配置された側から第二の感光層を露光した。
なお、表18中の「405nm以下の波長を含まない」及び「405nm以上の波長を含まない」の記載の意味はそれぞれ次のとおりである。
「405nm以下の波長を含まない露光条件」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、短波長カットフィルター(型番:LU0422、カットオフ波長:422nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、436nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長365nmの強度は0.5%以下である。
「405nm以上の波長を含まない」:超高圧水銀灯(USH-2004MB、ウシオ電機株式会社製)を用い、水銀露光用バンドパスフィルター(型番:HB0365、中心波長:365nm、朝日分光株式会社製)を介して露光した。主波長は、365nmである。主波長の強度を100%とする場合、波長405nm及び436nmの強度は0.5%以下である。
また、405nm以下の波長を含まない露光条件の場合、露光量は照度計(UIT-250、ウシオ電機株式会社製)に405nm用受光器(UVD-C405、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のLU0422カットフィルターを介して測定を行った。405nm以上の波長を含まない露光条件の場合、露光量は照度計に365nm用受光器(UVD-C365、ウシオ電機株式会社製)を取り付け、上記のバンドパスフィルター(HB0365)を介して測定を行った。
得られたレジストパターンに対し、ウエットエッチングによってレジストパターンが形成されていない部分の銀ナノワイヤ除去を行った。エッチングは、40℃の40%硝酸鉄(III)水溶液を用い、シャワーエッチングで60秒間行った。
エッチング後、残存するレジストパターンに対し、60℃の2.38%TMAH水溶液をシャワーで吹き付けることでレジストを除去し、配線パターンを得た。得られた配線パターンは、基板の両面共に良好な電気特性を持つものであった。
表18に記載の感光性転写材料を用いたほかは、実施例108と同様にして配線パターンを形成した。実施例108と同様に、良好な電気特性を持つ配線パターンを得た。
<感光性転写材料の作製>
仮支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ:16μm、ヘイズ:0.12%)上に、仮支持体の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように表18に記載の熱可塑性樹脂組成物を塗布した。形成された熱可塑性樹脂組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、熱可塑性樹脂層を形成した。
形成された熱可塑性樹脂層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が1.2μmとなるように表18に記載の中間層組成物を塗布した。中間層組成物の塗膜を80℃で40秒間かけて乾燥し、中間層を形成した。
形成された中間層の表面に、スリット状ノズルを用いて塗布幅が1.0m、且つ、乾燥後の層厚が3.0μmとなるように、表18に記載の感光層形成用組成物を塗布し、100℃のコンベクションオーブンで2分間乾燥して感光層を形成した。感光層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム、厚さ:12μm、ヘイズ:0.2%)を貼り合わせて感光性転写材料112Aを作製した。
別途、表18に記載の各組成物を使用したほかは、上記と同様に熱可塑性樹脂層、中間層、感光層からなる感光性転写材料112Bを作製した。
導電性基板(ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる基板上の両面に、銀ナノワイヤが樹脂に分散された導電層が積層されたフィルム。商品名ClearOhm、Cambrios社製)上に、下記組成の有機膜形成液を乾燥後膜厚30ナノメートルとなるように塗布した。具体的には、導電性基板の片面に有機膜形成液を塗布し100℃2分でプリベークした後、他方の面に同一条件で液を塗布した後、同一条件でプリベークした。次いで、高圧水銀灯で両面から1,000mJ/cm2の露光を行った。さらに140℃30分のポストベークを行い、導電性基板上に有機膜を形成した。
EA-2:1.7部
EB-6:0.41部
EC-4:0.01部
EF-1:47.88部
EF-2:50部
実施例108と同様にして、配線回路の作製を行った。得られた配線パターンは、基板の両面共に良好な電気特性を持つものであった。
表18に記載の感光性転写材料を用いたほかは、実施例112と同様にして配線パターンを形成した。実施例112と同様に、良好な電気特性を持つ配線パターンを得た。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び、技術規格は、個々の文献、特許出願、及び、技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
Claims (28)
- 第一の感光層と、露光波長に対して透明な領域を有する基板と、第二の感光層と、をこの順で有する積層体を準備する工程と、
前記第一の感光層を露光する工程と、
前記第二の感光層を露光する工程と、
露光された前記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程と、
露光された前記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程と、を含み、
前記第一の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ1、及び前記第二の感光層を露光する工程における露光波長の主波長λ2が、λ1≠λ2の関係を満たし、
前記第一の感光層と前記第一の感光層を露光するための光源との間に前記主波長λ 2 を吸収する部材が配置され、前記第二の感光層と前記第二の感光層を露光するための光源との間に前記主波長λ 1 を吸収する部材が配置されており、
前記第一の感光層を露光するための光源及び前記第二の感光層を露光するための光源は、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、及び発光ダイオードから選ばれる少なくとも1つであり、
前記第一の感光層を露光するための光源と前記主波長λ 2 を吸収する部材との間に、主波長λ 1 を透過し、主波長λ 2 を反射するフィルタを有し、かつ、前記第二の感光層を露光するための光源と前記主波長λ 1 を吸収する部材との間に、主波長λ 2 を透過し、主波長λ 1 を反射するフィルタを有する、
パターン形成方法。 - 前記第一の感光層、及び前記第二の感光層が、互いに異なる感光性化合物を含む請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層、及び前記第二の感光層について、以下の関係1及び関係2を満たす請求項1又は請求項2に記載のパターン形成方法。
関係1:1.1≦E1r/E2
関係2:1.1≦E2r/E1
ここで、E1rは、前記積層体の前記第二の感光層側から前記主波長λ2を有する光で露光した際に前記第一の感光層が反応しない最高露光量を表し、E2は、前記第二の感光層を露光する工程において前記主波長λ2を有する光で前記第二の感光層を露光する際の露光量を表し、E2rは、前記積層体の前記第一の感光層側から前記主波長λ1を有する光で露光した際に前記第二の感光層が反応しない最高露光量を表し、E1は、前記第一の感光層を露光する工程において前記主波長λ1を有する光で前記第一の感光層を露光する際の露光量を表す。 - 前記第一の感光層、及び前記第二の感光層について、以下の関係3及び関係4を満たす請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
関係3:3≦S12/S11
関係4:3≦S21/S22
ここで、S12は、前記主波長λ2に対する前記第一の感光層の分光感度を表し、S11は、前記主波長λ1に対する前記第一の感光層の分光感度を表し、S21は、前記主波長λ1に対する前記第二の感光層の分光感度を表し、S22は、前記主波長λ2に対する前記第二の感光層の分光感度を表す。 - 前記第一の感光層が、前記主波長λ2の光を吸収する物質を含む、及び/又は前記第二の感光層が、前記主波長λ1の光を吸収する物質を含む請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記積層体が、前記基板と前記第一の感光層との間に配置された前記主波長λ2の光を吸収する物質を含む層、前記基板の上に前記第一の感光層を介して配置された前記主波長λ2の光を吸収する物質を含む層、前記基板と前記第二の感光層との間に配置された前記主波長λ1の光を吸収する物質を含む層、及び前記基板の上に前記第二の感光層を介して配置された前記主波長λ1の光を吸収する物質を含む層からなる群より選択される少なくとも1つを有する請求項1~請求項5のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記主波長λ2を吸収する物質及び前記主波長λ1の光を吸収する物質のいずれか一方が、400nm以上の波長域に最大吸収波長λmaxを有する物質である請求項5又は請求項6に記載のパターン形成方法。
- 前記主波長λ2を吸収する部材及び前記主波長λ1の光を吸収する部材のいずれか一方が、400nm以上の波長域に最大吸収波長λmaxを有する物質を含む部材である請求項7に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層を露光する工程、及び前記第二の感光層を露光する工程が、同時に行われる請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層を露光する工程、及び前記第二の感光層を露光する工程が、別々に行われる請求項1~請求項8のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 露光された前記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程、及び露光された前記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程が、同時に行われる請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 露光された前記第一の感光層を現像して第一の樹脂パターンを形成する工程、及び露光された前記第二の感光層を現像して第二の樹脂パターンを形成する工程が、別々に行われる請求項1~請求項10のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記積層体が、前記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有する請求項1~請求項12のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記積層体が、前記基板の両面にそれぞれ少なくとも1つの導電性層を有する請求項1~請求項12のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記積層体が、前記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、前記導電層の少なくとも一部領域の上に、前記導電層と異なる組成を持つ導電層がさらに形成されている請求項1~請求項12のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記積層体が、前記基板の少なくとも一方の面に少なくとも1つの導電性層を有し、前記導電層が、基板内で異なる組成を持つ2つ以上の領域を有する請求項1~請求項12のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記導電性層の少なくとも1つが、金属酸化物を含む層である請求項13~請求項16のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記導電性層の少なくとも1つが、金属ナノワイヤ及び金属ナノ粒子からなる群より選択される少なくとも1種を含む層である請求項13~請求項16のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の樹脂パターン、及び前記第二の樹脂パターンの少なくとも一方をマスクとして用いて、前記導電性層をエッチングする工程を含む請求項13~請求項18のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層である請求項1~請求項19のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層である請求項1~請求項19のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第二の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が低下するネガ型感光層である請求項1~請求項21のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第二の感光層が、露光により現像液に対する溶解性が増大するポジ型感光層である請求項1~請求項21のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層を露光する工程における露光波長が、波長365nmを含まない請求項1~請求項23のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第二の感光層を露光する工程における露光波長が、波長405nmを含まない請求項24に記載のパターン形成方法。
- 前記第一の感光層を露光する工程における露光波長が、波長405nmを含まない請求項1~請求項23のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第二の感光層を露光する工程における露光波長が、波長365nmを含まない請求項26に記載のパターン形成方法。
- 請求項1~請求項27のいずれか1項に記載のパターン形成方法を含む回路基板の製造方法。
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