JP7422690B2 - ガラス製成形型の製造方法および光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
凹面形状または凸面形状の成形面を有するガラス製成形型の製造方法であって、
温度Taに加熱されたガラス素材をマスター型表面と当接させた状態で押圧すること、
上記当接させた状態で上記ガラス素材を冷却すること、
上記冷却後、上記当接させた状態を解除すること、
により、上記成形面を形成することを含み、
上記当接させた状態の解除は、上記ガラス素材の温度が当接状態解除許容温度Tb以下であるときに行われ、
Tbは、
Tb=Tg-200℃
であり、Tgは上記ガラス素材のガラス転移点(単位:℃)であり、
上記冷却中、上記ガラス素材の温度がTcであるときの上記マスター型の温度はTkであり、
Tk=Tc-A
であり、Aは0℃超であり、かつ
上記ガラス素材の温度がTb以上Tc未満であるときに上記マスター型の温度はガラス素材の温度を下回り、
Tb以上Tc未満の全温度域において、
形成される成形面が凹面形状の場合、上記マスター型と上記ガラス素材とは下記式1:
(式1)
-1.00≦βTK―βTG≦0.01
を満たし、
形成される成形面が凸面形状の場合、上記マスター型と上記ガラス素材とは下記式2:
(式2)
-0.01≦βTK―βTG≦1.00
を満たし、
Tcは、Tb超Ta未満であり、かつ
Tc=Tg+(Ts-Tg)×B
であり、Bは0超1未満であり、Tsは上記ガラス素材の屈伏点(単位:℃)であり、
上記式中、
βTKは、上記マスター型の温度Taにおける長さを基準とした温度(T-A)における収縮率(単位:%)を無単位で示した値であり、
βTGは、上記ガラス素材の温度Taにおける長さを基準とした温度Tにおける収縮率(単位:%)を無単位で示した値であり、
Tは、Tb以上Tc未満である、ガラス製成形型の製造方法、
に関する。
以下、上記のガラス製成形型の製造方法について、更に詳細に説明する。以下では図面を参照して説明することがあるが、本発明は図面に示す実施形態に限定されるものではない。
図1は、ガラス製成形型を備えた光学素子用製造装置の一例の概略断面図である。図1の光学素子用製造装置10は、被成形素材21から光学素子20をプレス成形によって製造するものであり、ガラス製の成形型である上型11と下型12を備える。上型11と下型12は、案内型13内に相対移動可能に支持されており、互いの間隔を変化させることができる。上型11および下型12は、両方とも移動可能な可動型であってもよいし、一方が可動型で他方が移動しない固定型であってもよい。
上記ガラス製成形型は、マスター型によってガラス素材をプレス成形することによって製造することができる。ガラス素材については、特に限定はなく、各種組成および物性を有するガラス素材を使用することができる。ガラス素材としては、市販のガラスを使用してもよく、公知の方法で作製したガラス素材を使用してもよい。
(A)モル%表示のガラス組成において、SiO2とAl2O3の合計含有量が60.0%以上である。
(B)モル%表示のガラス組成において、SiO2含有量が51.0~79.0%、Al2O3含有量が8.0~24.0%、MgO、CaO、SrOおよびBaOの合計含有量が1.0~35.0%である
(C)モル%表示のガラス組成において、MgO含有量が1.0~30.0%、CaO含有量が0.0~15.0%、SrO含有量が0.0~12.0%、BaO含有量が0.0~12.0%、ZnO含有量が0.0~10.0%、Li2O含有量が0.0~8.0%、Na2OとK2Oとの合計含有量が0.0~4.25%、ZrO2含有量が0.0~10.0%、TiO2含有量が0.0~6.0%、La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5およびHfO2の合計含有量が0.0~4.0%である。
(D)モル%表示のガラス組成において、SiO2、Al2O3、およびMgOの合計含有量に対するLi2O、Na2O、K2Oの合計含有量のモル比(Li2O+Na2O+K2O)/(SiO2+Al2O3+MgO)が0.000~0.050の範囲である。
(E)モル%表示のガラス組成において、SiO2、B2O3、P2O5およびAl2O3の合計含有量が10.0~90.0%である。
(F)モル%表示のガラス組成において、SiO2含有量が0.0~80.0%、好ましくは1.0~70.0%、B2O3含有量が0.0~80.0%、好ましくは1.0~70.0%、P2O5含有量が0.0~80.0%、好ましくは1.0~70.0%、Al2O3含有量が0.0~30.0%である。
(G)モル%表示のガラス組成において、MgO含有量が0.0~60.0%、CaO含有量が0.0~60.0%、SrO含有量は0.0~60.0%、BaO含有量が0.0~60.0%、ZnO含有量が0.0~60.0%、Li2O含有量が0.0~60.0%、Na2OとK2Oとの合計含有量が0.0~60.0%、ZrO2含有量が0.0~20.0%、La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5およびHfO2の合計含有量が0.0~70.0%である。
(1)ガラス転移点Tgが650℃以上、670℃以上または700℃以上(例えば900℃以下)である。
(2)屈伏点Tsが700℃以上、720℃以上または750℃以上(例えば950℃以下)である。
(3)100℃~300℃での平均熱膨張係数αが10×10-7/℃~70×10-7/℃、20×10-7/℃~60×10-7/℃、または25×10-7/℃~55×10-7/℃である。
上記製造方法では、ガラス素材をマスター型によって押圧して成形することにより、凹面形状または凸面形状の成形面を有するガラス製成形型を製造する。
-1.00≦βTK―βTG≦0.01
(式2)
-0.01≦βTK―βTG≦1.00
マスター型もしくはガラス素材から測定用試料を切り出すか、または、マスター型もしくはガラス素材と同じ材料から構成される測定用試料を作製する。マスター型および/またはガラス素材が母材の表面に被膜(例えば離型膜等)を有する場合、上記の収縮率は、母材部分から切り出した測定用試料または母材部分と同じ材料から構成される測定用試料について求める。測定用試料は、長さ20mm±0.5mm、直径5mm±0.5mmの丸棒とする。以下において、測定用試料の長さをLRTと表記する。各試料について、JOGIS08-2003に準じる方法によって熱膨張特性を測定する。詳しくは、試料に98mNの荷重を印加した状態で、4℃/分の昇温速度で加熱し、1秒ごとに温度に対する伸び量(単位:mm)を測定して得られたグラフ(いわゆる熱膨張曲線)から、温度Taにおける伸び量ΔLTaと任意の温度Tにおける伸び量ΔLTを求める。こうして求められた伸び量ΔLTaとΔLTとの差分(ΔLTa-ΔLT)を、温度Taにおける長さを基準とした温度Tにおける収縮量(単位:mm)とし、これを温度Taにおける測定用試料の長さLRT+ΔLTa(単位:mm)で割ったものを収縮率(単位:%)とする。また、ガラス素材について、上記グラフにおける低温度域と高温度域の直線部分の延長の交点に対応する温度をガラス転移点Tg、上記グラフにおいて見かけ上膨張が停止する温度、即ち温度上昇に伴い伸びが増加から減少に転じる変曲点の温度を屈伏点Tsとする。
本発明の一態様は、上記製造方法によってガラス製成形型を製造することおよび製造されたガラス製成形型によって被成形素材をプレス成形することを含む光学素子の製造方法に関する。
ガラス素材として、6種のガラス素材(ガラス素材1~6)を準備した。ガラス素材1~6は、アルミノシリケート系ガラス製および/またはシリケート系ガラスに該当するガラスであって、先に例示した(A)~(F)の1つ以上を満たすガラス製のガラス素材である。
マスター型として、マスター型1:SiC製マスター型、マスター型2:ガラス製マスター型(ガラス:HOYA株式会社製硝種名M-TAFD305)、を準備した。
また、各ガラス素材の成形時の温度Taは、表1に示す温度とした。
製造されたガラス製成形型について、マスター型の凸面形状を転写して成形されたガラス製成形型の凹面形状精度(転写精度)、マスター型の凹面形状を転写して成形されたガラス製成形型の凸面形状精度(転写精度)を、下記方法によって、下記評価基準によって評価した。
(評価方法)
Panasonic社製超高精度三次元測定機(UA3P)を用いて、ガラス製成形型の成形面の形状測定を行い、BESTFIT形状誤差を算出した。測定は、各成形面について測定方向を変えて合計2回行った。BESTFIT形状誤差は、マスター型表面(球面)の曲率半径を基準として算出した。
(評価基準)
〇:3つのガラス製成形型のすべての成形面内において、BEST FIT後の形状誤差が0.04μm以下である。
×:3つのガラス製成形型の成形面内に、BEST FIT後の形状誤差が0.04μm超の部分がある。
例えば、明細書に例示または好ましい範囲として記載した形態の2つ以上を任意に組み合わせることは、もちろん可能である。
Claims (6)
- 凹面形状または凸面形状の成形面を有するガラス製成形型の製造方法であって、
温度Taに加熱されたガラス素材をマスター型表面と当接させた状態で押圧すること、
前記当接させた状態で前記ガラス素材を冷却すること、
前記冷却後、前記当接させた状態を解除すること、
により、前記成形面を形成することを含み、
前記当接させた状態の解除は、前記ガラス素材の温度が当接状態解除許容温度Tb以下であるときに行われ、
Tbは、
Tb=Tg-200℃
であり、Tgは前記ガラス素材のガラス転移点(単位:℃)であり、
前記冷却中、前記ガラス素材の温度がTcであるときの前記マスター型の温度はTkであり、
Tk=Tc-A
であり、Aは0℃超であり、かつ
前記ガラス素材の温度がTb以上Tc未満であるときに前記マスター型の温度はガラス素材の温度を下回り、
Tb以上Tc未満の全温度域において、
形成される成形面が凹面形状の場合、前記マスター型と前記ガラス素材とは下記式1:
(式1)
-1.00≦βTK―βTG≦0.01
を満たし、
形成される成形面が凸面形状の場合、前記マスター型と前記ガラス素材とは下記式2:
(式2)
-0.01≦βTK―βTG≦1.00
を満たし、
Tcは、Tb超Ta未満であり、かつ
Tc=Tg+(Ts-Tg)×B
であり、Bは0超1未満であり、Tsは前記ガラス素材の屈伏点(単位:℃)であり、
前記式中、
βTKは、前記マスター型の温度Taにおける長さを基準とした温度(T-A)における収縮率(単位:%)を無単位で示した値であり、
βTGは、前記ガラス素材の温度Taにおける長さを基準とした温度Tにおける収縮率(単位:%)を無単位で示した値であり、
Tは、Tb以上Tc未満である、ガラス製成形型の製造方法。 - 前記Aは、1℃以上300℃以下である、請求項1に記載のガラス製成形型の製造方法。
- 前記Tbは、50℃以上500℃以下である、請求項1または2に記載のガラス製成形型の製造方法。
- 前記冷却を、-0.1~-100.0℃/分の冷却速度で行う、請求項1~3のいずれか1項に記載のガラス製成形型の製造方法。
- 請求項1~4のいずれか1項に記載の製造方法によってガラス製成形型を製造すること、および
製造されたガラス製成形型によって被成形素材をプレス成形すること、
を含む、光学素子の製造方法。 - 前記光学素子は、ガラス製光学素子である請求項5に記載の光学素子の製造方法。
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