JP7414399B2 - 回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 - Google Patents
回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7414399B2 JP7414399B2 JP2019070127A JP2019070127A JP7414399B2 JP 7414399 B2 JP7414399 B2 JP 7414399B2 JP 2019070127 A JP2019070127 A JP 2019070127A JP 2019070127 A JP2019070127 A JP 2019070127A JP 7414399 B2 JP7414399 B2 JP 7414399B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- diffractive optical
- optical element
- resin
- low transmittance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 155
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 155
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 68
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 32
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 19
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 14
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 8
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 6
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 6
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 5
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 4
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- YIJYFLXQHDOQGW-UHFFFAOYSA-N 2-[2,4,6-trioxo-3,5-bis(2-prop-2-enoyloxyethyl)-1,3,5-triazinan-1-yl]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN1C(=O)N(CCOC(=O)C=C)C(=O)N(CCOC(=O)C=C)C1=O YIJYFLXQHDOQGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- -1 oligomers Polymers 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HGXJDMCMYLEZMJ-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy 2,2-dimethylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOOC(=O)C(C)(C)C HGXJDMCMYLEZMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YOTSWLOWHSUGIM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-4-[2-(4-ethenoxyphenyl)propan-2-yl]benzene Chemical compound C=1C=C(OC=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC=C)C=C1 YOTSWLOWHSUGIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMIZWXDKTUGEES-UHFFFAOYSA-N 2,2-di(cyclopenten-1-yloxy)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C=1CCCC=1OC(COC(=O)C(=C)C)OC1=CCCC1 JMIZWXDKTUGEES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URYHQMZOXSKGRF-UHFFFAOYSA-N 2-(cyclopenten-1-yloxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC1=CCCC1 URYHQMZOXSKGRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 4-oxo-4-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)butanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC(=O)OCCOC(=O)C=C UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIBVJVHFBHFXFH-UHFFFAOYSA-N 7,7-dimethyl-2-(2-methylpentan-2-yl)octaneperoxoic acid Chemical compound CCCC(C)(C)C(C(=O)OO)CCCCC(C)(C)C BIBVJVHFBHFXFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZHNIJLTZELTRMY-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(CCC)OOOOOOC(C)(C)CCC Chemical class C(C)(C)(CCC)OOOOOOC(C)(C)CCC ZHNIJLTZELTRMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N [2-methyl-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- KOMDZQSPRDYARS-UHFFFAOYSA-N cyclopenta-1,3-diene titanium Chemical compound [Ti].C1C=CC=C1.C1C=CC=C1 KOMDZQSPRDYARS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- ZBVQEUUTPTVMHY-UHFFFAOYSA-N phenyl-(2-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C=2C=CC=CC=2)C=1C(=O)C1=CC=CC=C1 ZBVQEUUTPTVMHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- PRIFGVOVRHAALC-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 3,3-dimethylbutaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CC(=O)OOC(C)(C)C PRIFGVOVRHAALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMOALOSNPWTWRH-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 7,7-dimethyloctaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)CCCCCC(=O)OOC(C)(C)C NMOALOSNPWTWRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4205—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive optical element [DOE] contributing to image formation, e.g. whereby modulation transfer function MTF or optical aberrations are relevant
- G02B27/4211—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive optical element [DOE] contributing to image formation, e.g. whereby modulation transfer function MTF or optical aberrations are relevant correcting chromatic aberrations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1857—Manufacturing methods using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
- G02B5/189—Structurally combined with optical elements not having diffractive power
- G02B5/1895—Structurally combined with optical elements not having diffractive power such optical elements having dioptric power
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/04—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of organic materials, e.g. plastics
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Description
前記低透過率部は、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率が前記格子部より2%以上6%以下低いことを特徴とする。
上述したように、本発明に係る回折光学素子は、基材と、該基材上に、回折格子を有する第1樹脂層と第2樹脂層とが順に積層され、前記回折格子がベース部と前記積層方向で該ベース部と接する格子部からなる回折光学素子であって、前記第1樹脂層および第2樹脂層の少なくとも一方の前記ベース部が、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率(以下、単に「透過率」ともいう)が前記格子部より2%以上6%以下低い低透過率部を有する。
図1は本発明の回折光学素子の一実施態様を示す概略図である。図1に示すように、該素子は、基材3と、基材3の上に同心円状の複数の輪帯からなる第1樹脂層2と、第1樹脂層2の上に第2樹脂層1とが順に積層されてなる。基材3としては、例えばガラスやプラスチックからなる透明な材料を用いることができる。
第1樹脂層2を構成する樹脂の種類は特に限定されないが、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂等をその例として挙げることができる。本発明において、第1樹脂層2は、第2樹脂層1に対して相対的に低い屈折率と低いアッベ数を有する低屈折高分散層であることが好ましい。また、第2樹脂層1は、第1樹脂層2に対して相対的に高い屈折率と高いアッベ数を有する高屈折低分散層であることが好ましい。すなわち、第1樹脂層の屈折率をnd1、第1樹脂層のアッベ数をν1、第2樹脂層の屈折率をnd2、第2樹脂層のアッベ数をν2としたときに、nd1<nd2およびν1<ν2の関係を満たすことが好ましい。
本発明に係る回折光学素子の製造方法は、基材上に、回折格子を有する第1樹脂層と第2樹脂層を順に積層する工程と、得られた積層体の前記第1樹脂層および第2樹脂層の少なくとも一方の側から短波長紫外光の照射を行い、該照射された側の樹脂層のベース部に、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率が格子部より2%以上6%以下低い低透過率部を形成する工程とを有する。
まず、任意の形状の型5と基材3の間に、第1樹脂層2となる未硬化の樹脂6を充填する(図4(a)、4(b))。未硬化の樹脂6の充填の際には、必要に応じて型5および/または基材3に対し加圧または加熱を行ってもよい。充填の際に型と基材の間にスペーサーを配置することにより、第1樹脂層2の厚みを調整することができる。未硬化の樹脂6を硬化する方法は特に限定されないが、例えば紫外線照射や加熱によって硬化することができる。硬化後に、離型することで第1樹脂層2を基材3上に形成する(図4(c))。
続いて、図4をさらに参照して回折光学素子中の低透過率部の作製方法について述べる。ただし、低透過率部の作製方法は以下に述べる方法に限られない。上記の回折光学素子の製造方法で得られた回折光学素子の第2樹脂層1の上方から、第2樹脂層1に対し透過性が低い短波長(350nm以下の波長)の紫外光9(図4(g))、たとえば波長310nmの紫外光を照射する。第2樹脂層1に対し透過性の低い紫外光9を高強度、長時間照射することで、第2樹脂層1の表面近傍の樹脂のみが黄色味を帯び短波長域の透過率を低減することができる。これにより、図2に示すように、第2樹脂層1中に低透過率部4を得る。この低透過率部4は第2樹脂層1の表面近傍のみに存在し、格子を包含してはいない。この低透過率部の膜厚は5μm以上50μm以下であることが好ましい。
図5は、本発明の撮像装置の好適な実施形態の一例である、一眼レフデジタルカメラの構成を示している。図5に示すカメラ600において、カメラ本体602と光学機器であるレンズ鏡筒601とが結合されているが、レンズ鏡筒601はカメラ本体602に対して着脱可能ないわゆる交換レンズである。
<透過率>
得られた回折光学素子の表面の厚さ50μmの部分の透過率を次のように測定した。まず、バンドソーにより、第2樹脂層の、表面を含む厚さ50μmの部分を含む広さ数cm角、厚さ数mmのサンプルを切り出した。その後、自動研磨装置を用い、表面を残して厚さが50μmになるまで研磨した。得られたサンプルをホルダから取り出し、波長400nmに対する透過率測定を行った。透過率の測定には分光光度計(U4000(商品名);(株)日立製作所製)を用いた。
素子散乱値は、図5に示した撮像装置を用いて評価を行った。具体的には回折光学素子をレンズ605の位置に配置した。回折光学素子に入射した光を撮像素子610で可視化し、任意の4か所において青色成分(波長430~480nm)の輝度値を算出したものを散乱値とした。
第1樹脂層2の形成に用いる材料として、トリス(2-アクリロキシエチル)イソシアヌレート20重量%、ペンタエリスリトールトリアクリレート25重量%、ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート40重量%、ウレタン変性ポリエステルアクリレート13重量%、および1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン2重量%を混合した紫外線硬化型アクリル系樹脂に対し、平均粒子径20nmのITO微粒子を分散させたもの(以下、ITO分散樹脂ともいう)を用意した。
さらに、第2樹脂層1の形成に用いる材料を以下のようにして得た。ジルコニア-メタノール分散液(SZR-M(商品名);堺化学工業(株)製、個数平均粒子径3nm、分散液中ジルコニア粒子濃度30質量%)100質量部に対し、分散剤として、ω-カルボキシ-ポリカプロラクトンモノアクリレート(東亜合成(株)製)を4.8質量部加え、撹拌し溶解させた。この分散剤を溶解させた溶液に対し分散処理を行い、硬化性樹脂として、トリス(2-アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレートを4.2質量部、ペンタエリスリトールトリアクリレートを2.68質量部、およびジシクロペンテニルオキシエチルアクリレートを8.2質量部、並びに光重合開始剤として1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンを0.5質量部、溶解させた。その後、オイルバスで加熱しながらエバポレータにより40℃で減圧濃縮を行い、メタノールを除去し、ジルコニア分散樹脂(以下、ZrO2分散樹脂ともいう)を得た。
まず、厚さ2mmのガラス基板3上にITO分散樹脂6を載置し、その上に回折格子形状の金型5を配置した(図4(a))。14.2mW/cm2、211秒の条件と20mW/cm2、600秒の条件(照度計: UIT250(商品名);ウシオ電機(株)製、および 受光器:UVD-S365(商品名);ウシオ電機(株)製を使用した)で不図示の高圧水銀ランプ(EXECURE250(商品名);HOYA CANDEO OPTRONICS(株)製)を照射し、硬化(図4(b))した後、型5から離型した(図4(c))。その後、温度80℃で、72時間、大気中でアニールして、回折格子形状を有する第1樹脂層2を得た。
次に、第1樹脂層2上にZrO2分散樹脂8を滴下した(図4(d))。その上に平板ガラス7をのせて樹脂8を押し広げた。このサンプルに、14.2mW/cm2、211秒の条件と20mW/cm2、600秒の条件(照度計:UIT250(商品名);ウシオ電機(株)製、および 受光器:UVD-S365(商品名);ウシオ電機(株)製)を使用した)で不図示の高圧水銀ランプ(EXECURE250(商品名);HOYA CANDEO OPTRONICS(株)製)を照射し、サンプルを硬化した(図4(e))。その後、平板ガラス7を剥がし(図4(f))、温度80℃で72時間アニールした。最後に、第2樹脂層1には310nmの波長の短波長紫外光9を35J照射した。これにより、第2樹脂層1の表面のみに低透過率部を有する回折光学素子を得た(図4(g))。
実施例1の短波長紫外光の照射量を30Jに変更した以外は、実施例1と同様の条件でジルコニア分散樹脂、それを用いた回折光学素子を得た。
実施例1の短波長紫外光の照射量を55Jに変更した以外は、実施例1と同様の条件でジルコニア分散樹脂、それを用いた回折光学素子を得た。
実施例1の短波長紫外光の照射量を70Jに変更した以外は、実施例1と同様の条件でジルコニア分散樹脂、それを用いた回折光学素子を得た。
実施例1の短波長紫外光の照射量を10Jに変更した以外は、実施例1と同様の条件でジルコニア分散樹脂、それを用いた回折光学素子を得た。
実施例1の短波長紫外光の波長を365nmとし、照射量を60Jに変更した以外は、実施例1と同様の条件でジルコニア分散樹脂、それを用いた回折光学素子を得た。
2 第1樹脂層
3 基材
4 低透過率部
5 型
6 未硬化の樹脂
7 型
8 未硬化の樹脂
9 紫外光
600 カメラ
601 レンズ鏡筒
602 カメラ本体
Claims (14)
- 基材と、該基材上に、回折格子を有する第1樹脂層と第2樹脂層とが順に積層され、
前記第1樹脂層と前記第2樹脂層の各々が、ベース部と、積層方向で該ベース部と接する格子部と、を有し、
前記第1樹脂層は、前記格子部を覆う低透過率部を前記ベース部に有し、
前記低透過率部は、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率が前記第1樹脂層の前記格子部より2%以上6%以下低いことを特徴とする回折光学素子。 - 基材と、該基材上に、回折格子を有する第1樹脂層と第2樹脂層とが順に積層され、
前記第1樹脂層と前記第2樹脂層の各々が、ベース部と、積層方向で該ベース部と接する格子部と、を有し、
前記第2樹脂層は、前記格子部を覆う低透過率部を前記ベース部に有し、
前記低透過率部は、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率が前記第2樹脂層の前記格子部より2%以上6%以下低いことを特徴とする回折光学素子。 - 前記低透過率部は前記ベース部を構成する樹脂と同じ樹脂から形成されている請求項1または2に記載の回折光学素子。
- 前記低透過率部の膜厚が5μm以上50μm以下である請求項1~3のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 前記低透過率部は短波長領域の光量を低減する請求項1~4のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 前記低透過率部は、前記第2樹脂層の前記第1樹脂層と接していない面の表面に形成されている請求項2に記載の回折光学素子。
- 前記低透過率部において、前記第1樹脂層と接していない面の表面から前記内部透過率が連続的に低下している請求項6に記載の回折光学素子。
- 前記第1樹脂層および前記第2樹脂層を構成する樹脂がいずれも紫外線硬化型樹脂である請求項1~7のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 前記第2樹脂層の上に第2の基材が設けられている請求項1~8のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 前記第1樹脂層の屈折率をnd1、前記第1樹脂層のアッベ数をν1、前記第2樹脂層の屈折率をnd2、前記第2樹脂層のアッベ数をν2としたときに、nd1<nd2およびν1<ν2の関係を満たす請求項1~9のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 筐体と、該筐体内に複数のレンズからなる光学系を備える光学機器であって、前記レンズの少なくとも1つが請求項1~10のいずれか一項に記載の回折光学素子であることを特徴とする光学機器。
- 筐体と、該筐体内に複数のレンズからなる光学系と、該光学系を透過した光を受光する撮像素子とを備える撮像装置であって、前記レンズの少なくとも1つが請求項1~10のいずれか一項に記載の回折光学素子であることを特徴とする撮像装置。
- カメラである請求項12に記載の撮像装置。
- 基材上に、回折格子を有する第1樹脂層と第2樹脂層を順に積層し、前記第1樹脂層と前記第2樹脂層の各々が、ベース部と、積層方向で該ベース部と接する格子部と、を有する積層体を得る工程と、
得られた前記積層体の前記第1樹脂層および第2樹脂層の少なくとも一方の側から短波長紫外光の照射を行い、該照射された側の樹脂層のベース部に前記格子部を覆う低透過率部を形成する工程と、を有し、
前記低透過率部は、波長400nmに対する厚さ50μm当たりの内部透過率が前記低透過率部を有する樹脂層の前記格子部より2%以上6%以下低いことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019070127A JP7414399B2 (ja) | 2019-04-01 | 2019-04-01 | 回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 |
US16/830,510 US11520089B2 (en) | 2019-04-01 | 2020-03-26 | Diffractive optical element, optical apparatus, imaging apparatus and diffractive optical element manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019070127A JP7414399B2 (ja) | 2019-04-01 | 2019-04-01 | 回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020170050A JP2020170050A (ja) | 2020-10-15 |
JP2020170050A5 JP2020170050A5 (ja) | 2022-04-04 |
JP7414399B2 true JP7414399B2 (ja) | 2024-01-16 |
Family
ID=72605811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019070127A Active JP7414399B2 (ja) | 2019-04-01 | 2019-04-01 | 回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11520089B2 (ja) |
JP (1) | JP7414399B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005316414A (ja) | 2004-03-30 | 2005-11-10 | Nikon Corp | 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法 |
JP2006030275A (ja) | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Asahi Glass Co Ltd | 光学部材、光回折素子、および位相板 |
WO2006043442A1 (ja) | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | コバルト系染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
JP2012252168A (ja) | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを用いた撮像光学系 |
US20140168759A1 (en) | 2012-12-14 | 2014-06-19 | Intermolecular Inc. | Methods and apparatuses for patterned low emissivity panels |
WO2015159370A1 (ja) | 2014-04-15 | 2015-10-22 | 三菱化学株式会社 | 遮光材付き基板、カラーフィルタ及び液晶表示装置並びにこの遮光材を形成するための着色樹脂組成物 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008203821A (ja) | 2007-01-22 | 2008-09-04 | Canon Inc | 積層型回折光学素子 |
EP1947488B1 (en) | 2007-01-22 | 2010-05-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Laminated diffraction optical element |
JP2011253181A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-12-15 | Panasonic Corp | 回折光学素子及び光学機器 |
JP5615065B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2014-10-29 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子、光学系及び光学機器 |
JP5854593B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2016-02-09 | キヤノン株式会社 | 積層型回折光学素子 |
JP5596859B2 (ja) * | 2011-06-20 | 2014-09-24 | パナソニック株式会社 | 回折光学素子 |
JP5843524B2 (ja) * | 2011-09-02 | 2016-01-13 | キヤノン株式会社 | 有機無機複合組成物、有機無機複合材料、光学素子および積層型回折光学素子 |
-
2019
- 2019-04-01 JP JP2019070127A patent/JP7414399B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-26 US US16/830,510 patent/US11520089B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005316414A (ja) | 2004-03-30 | 2005-11-10 | Nikon Corp | 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法 |
JP2006030275A (ja) | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Asahi Glass Co Ltd | 光学部材、光回折素子、および位相板 |
WO2006043442A1 (ja) | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | コバルト系染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
JP2012252168A (ja) | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを用いた撮像光学系 |
US20140168759A1 (en) | 2012-12-14 | 2014-06-19 | Intermolecular Inc. | Methods and apparatuses for patterned low emissivity panels |
WO2015159370A1 (ja) | 2014-04-15 | 2015-10-22 | 三菱化学株式会社 | 遮光材付き基板、カラーフィルタ及び液晶表示装置並びにこの遮光材を形成するための着色樹脂組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020170050A (ja) | 2020-10-15 |
US20200310011A1 (en) | 2020-10-01 |
US11520089B2 (en) | 2022-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2081056B1 (en) | Laminated diffractive optical element and resin composition therefor | |
JP4266732B2 (ja) | 積層型回折光学素子 | |
US20070225466A1 (en) | Curable organometallic composition, organometallic polymer material and optical component | |
JP3797223B2 (ja) | 耐光性マイクロレンズアレイおよびそれに使用する樹脂組成物 | |
JP2004145277A (ja) | 光学材料及び、光学素子、回折光学素子、積層型回折光学素子、光学系 | |
JP2004004605A (ja) | 光学材料、光学素子、回折光学素子、積層型回折光学素子、光学系及び光学素子の成形方法 | |
US11346985B2 (en) | Cured product, and optical element, diffractive optical element, optical apparatus, and imaging device using the cured product | |
JP7414399B2 (ja) | 回折光学素子、光学機器、撮像装置および回折光学素子の製造方法 | |
US20030180563A1 (en) | Optical element and method of manufacturing the same, or laminated optical element and method of manufacturing the same | |
US11327209B2 (en) | Diffractive optical element and method of manufacturing the same, curable resin composition, and optical apparatus | |
JP2006232907A (ja) | 光学材料、及び該光学材料を用いた光学素子の成形方法、該成形方法によって成形された光学素子、該光学素子を有する光学系装置 | |
JP7327979B2 (ja) | 硬化物、硬化物を用いた光学素子、回折光学素子、光学機器および撮像装置 | |
JP2021085950A (ja) | 回折光学素子、光学機器および撮像装置 | |
US20200319475A1 (en) | Diffractive optical element, optical device, and imaging apparatus | |
CN114437269B (zh) | 光学元件、光学装置、成像装置和化合物 | |
US20240111077A1 (en) | Optical element, optical apparatus, and image pickup apparatus | |
JP4547948B2 (ja) | 塗布型光学膜用材料、およびそれを用いた光学多層膜と反射スクリーン | |
JP2004126499A (ja) | 光学素子及び光学素子の製造方法、積層型光学素子及び積層型光学素子の製造方法、または光学材料 | |
JP2020173429A (ja) | 回折光学素子、光学機器および撮像装置 | |
JPH10246917A (ja) | レンチキュラースクリーン | |
US20220239809A1 (en) | Polymerizable composition, optical element and method for producing the same, optical device, and image capturing apparatus | |
JP7451298B2 (ja) | 回折光学素子、光学機器および撮像装置 | |
US20240272329A1 (en) | Optical element with excellent environmental durability | |
JP2023058288A (ja) | 光学素子、光学機器、撮像装置 | |
JP2023055538A (ja) | 光学素子、光学素子の製造方法、樹脂組成物、光学機器及び撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220325 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220325 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20220630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231228 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7414399 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |