JP7412542B2 - 交換装置、及び交換方法 - Google Patents
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Description
装置は、処理体を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記処理体を加工する
加工具が交換可能に取付けられる加工機構と、前記保持部と前記加工機構とを収容する外
装カバーと、を備える。前記交換装置は、前記加工機構に前記加工具を取付ける、又は前記加工機構から前記加工具を取外す交換機構と、前記交換機構を、前記外装カバーの進入口を介して前記外装カバーの外部から内部に移動させる移動機構と、前記移動機構を支持する走行台と、前記走行台を走行させる走行機構と、前記走行台に取付けられるハウジングと、を備える。前記ハウジングは、前記交換機構と前記移動機構とを収容した状態で前記外装カバーの外壁面に接触し、前記ハウジングの内部を密閉する。前記ハウジングの内部と前記外装カバーの内部とは、前記外装カバーの前記進入口を介して連通する。
40 研削装置(加工装置)
42 チャック(保持部)
43 加工機構
44 外装カバー
44a 進入口
71 交換機構
72 移動機構
73 走行台
74 走行機構
D 研削工具(加工具)
W 基板(処理体)
Claims (14)
- 処理体を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記処理体を加工する加工具が交換可能に取付けられる加工機構と、前記保持部と前記加工機構とを収容する外装カバーとを備える加工装置で使用される前記加工具の交換装置であって、
前記加工機構に前記加工具を取付ける、又は前記加工機構から前記加工具を取外す交換機構と、
前記交換機構を、前記外装カバーの進入口を介して前記外装カバーの外部から内部に移動させる移動機構と、
前記移動機構を支持する走行台と、
前記走行台を走行させる走行機構と、
前記走行台に取付けられるハウジングと、
を備え、
前記ハウジングは、前記交換機構と前記移動機構とを収容した状態で前記外装カバーの外壁面に接触し、前記ハウジングの内部を密閉し、
前記ハウジングの内部と前記外装カバーの内部とは、前記外装カバーの前記進入口を介して連通する、交換装置。 - 処理体を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記処理体を加工する加工具が交換可能に取付けられる加工機構と、前記保持部と前記加工機構とを収容する外装カバーとを備える加工装置で使用される前記加工具の交換装置であって、
前記加工機構に前記加工具を取付ける、又は前記加工機構から前記加工具を取外す交換機構と、
前記交換機構を、前記外装カバーの進入口を介して前記外装カバーの外部から内部に移動させる移動機構と、
前記移動機構を支持する走行台と、
前記走行台を走行させる走行機構と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記加工装置で作成された交換指令を前記交換装置が受信すると、前記走行機構が前記走行台を前記外装カバーの外部の設定位置まで走行させる制御と、
前記外装カバーの進入口が開放されていることを前記交換装置が検知すると、前記移動機構が前記交換機構を前記外装カバーの前記進入口を介して前記外装カバーの外部から内部に進入させる制御と、
前記交換機構が前記加工機構に前記加工具を取付ける、又は前記加工機構から前記加工具を取外す制御と、
を行う、交換装置。 - 前記走行機構を制御する走行制御部を備え、
前記加工具は、複数の前記加工装置に共通の保管部にて保管され、
前記走行制御部は、前記走行機構が前記加工具を保管する位置と、前記加工具を交換する位置との間で前記走行台を走行させる制御を行う、請求項1又は2に記載の交換装置。 - 前記走行機構を制御する走行制御部を備え、
前記加工具は、複数の前記加工装置毎に前記加工装置の外部に設けられる保管部にて保管され、
前記走行制御部は、前記走行機構が前記加工具を保管する位置と、前記加工具を交換する位置との間で前記走行台を走行させる制御を行う、請求項1又は2に記載の交換装置。 - 前記加工具を保管する保管部を備え、
前記保管部は、前記走行台と共に走行させられる、請求項1~4のいずれか1項に記載の交換装置。 - 前記交換機構は、前記加工具を保持する保持機構を有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の交換装置。
- 前記保持機構は、前記加工具を収容する容器を保持する、請求項6に記載の交換装置。
- 前記交換機構は、前記保持機構を回転させる第1回転機構を含む、請求項6又は7に記載の交換装置。
- 前記交換機構は、前記加工機構のスピンドル軸の回転を止める回り止め機構を有する、請求項1~8のいずれか1項に記載の交換装置。
- 前記交換機構は、前記加工機構のスピンドル軸を回転させる第2回転機構を有する、請求項1~9のいずれか1項に記載の交換装置。
- 前記交換機構は、前記加工具と前記加工機構とを締結する締結具を締める、又は緩める操作機構を有する、請求項1~10のいずれか1項に記載の交換装置。
- 前記交換機構は、前記加工具と前記加工機構との間にガスを供給するガス供給機構を有する、請求項1~11のいずれか1項に記載の交換装置。
- 前記交換機構と前記移動機構の組は、複数設けられ、独立に制御される、請求項1~12のいずれか1項に記載の交換装置。
- 処理体を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記処理体を加工する加工具が交換可能に取付けられる加工機構と、前記保持部と前記加工機構とを収容する外装カバーとを備える加工装置で使用される前記加工具の交換方法であって、
前記加工具の交換装置が前記加工装置で作成された交換指令を受信することと、
前記交換装置が前記外装カバーの外部の設定位置まで走行することと、
前記外装カバーの進入口が開放されていることを前記交換装置が検知することと、
前記交換装置が前記外装カバーの前記進入口を介して前記外装カバーの外部から内部に進入することと、
前記交換装置が前記加工機構に前記加工具を取付ける、又は前記加工機構から前記加工具を取外すことと、を含む、交換方法。
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