JP7411872B2 - 半導体レーザ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
(i)第1の主面から第1の主面に対向する第2の主面まで貫通する貫通孔、または、第1の主面と第2の主面とを連接する側面に設けられ、第1の主面から第2の主面まで延びるスリットを有し、且つ光学部品が固定されている固定部品を準備する工程、
(ii)光学部品が半導体レーザダイオードに対向するように、固定部品の第1の主面を第1の電極のレーザ光が出射する側面と対向させる工程と、
(iii)半導体レーザダイオードにレーザ光を出射させながら、光学部品の半導体レーザダイオードに対する相対位置を位置決めする工程と、
(iv)位置決め後に、貫通孔またはスリットを介して第1の主面と第1の電極の上記側面との間に接着剤を流し入れる工程と、
(v)接着剤を硬化させ、接着部を形成する工程。
LD15は、レーザ光を生成する。LD15は、例えば、チップ形状をしたLDチップである。LDチップとしては、端面発光型(EEL:Edge Emitting Laser)のLDチップが好ましく用いられる。端面発光型のLDチップでは、例えば、長尺のバー形状の光共振器が、チップ内において基板面と平行に形成されている。共振器の長手方向の一方の端面は光が殆ど反射するように高反射率の膜で覆われている。一方、共振器の長手方向の他方の端面も高反射率の膜で覆われているが、反射率は一方の端面に設けられた反射膜よりも小さい。よって、両端面からの反射により増幅され位相の揃ったレーザビームが他方の端面から出射される。
固定部品13は、ホルダーブロックとも呼ばれ、光学部品16を固定している。例えば、光学部品16は、UV硬化樹脂などの接着材を用いて、固定部品13に接着により取り付けられ得る。固定部品13の材質は、例えば、石英ガラスである。
接着部14は、例えばUV硬化樹脂等の樹脂材料である。接着部14の厚みは、例えば5μm~200μmであってもよい。接着部14の厚みが5μm以上であれば、接着部14を介して、光学部品16が固定された固定部品13を十分な強度で第1の電極11に取り付けることができる。また、接着部14の厚みを200μm以下とすることで、固定部品13の第1の電極11に対する位置決めを精度よく行うことができる。接着部14の厚みは、70μm~120μmであってもよい。
光学部品16は、例えば、コリメートレンズ16aを含む。
第1の電極11および第2の電極12は、LD15に電流を供給するとともに、LD15の作動により生じる熱を外部に逃がす役割を有している。第1の電極11および第2の電極12は、例えば、銅板である。
11:第1の電極
12:第2の電極
13:固定部品
17:貫通孔
18:溝
19:スリット
14:接着部
15:半導体レーザダイオード(LD)
16:光学部品
16a:コリメートレンズ
16b:回転素子
20:接着剤
Claims (10)
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持される半導体レーザダイオードと、
前記半導体レーザダイオードからのレーザ光の出射方向側に配置される光学部品と、
前記光学部品を固定する固定部品と、
前記固定部品と前記第1の電極との間に介在する接着部と、を備え、
前記固定部品は、前記第1の電極の前記レーザ光が出射する側面において、前記第1の電極と接着されており、
前記固定部品は前記側面を露出させる貫通孔を有する、半導体レーザ装置。 - 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持される半導体レーザダイオードと、
前記半導体レーザダイオードからのレーザ光の出射方向側に配置される光学部品と、
前記光学部品を固定する固定部品と、
前記固定部品と前記第1の電極との間に介在する接着部と、を備え、
前記固定部品は、前記第1の電極の前記レーザ光が出射する側面において、前記第1の電極と接着されており、
前記固定部品は、前記第1の電極の前記側面に対向する前記固定部品の主面と連接する側面に、前記第1の電極の前記側面を露出させるように前記出射方向に延びるスリットを有する、半導体レーザ装置。 - 前記貫通孔の少なくとも一部に前記接着部が充填されている、請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記スリットの少なくとも一部に前記接着部が充填されている、請求項2に記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の電極の前記側面に対向する前記固定部品の主面に、前記貫通孔に連通する溝を有し、
前記溝に、前記接着部が充填されている、請求項1または3に記載の半導体レーザ装置。 - 前記第1の電極の前記側面に対向する前記固定部品の主面に、前記スリットに連通する溝を有し、
前記溝に、前記接着部が充填されている、請求項2または4に記載の半導体レーザ装置。 - 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持される半導体レーザダイオードと、
前記半導体レーザダイオードからのレーザ光の出射方向側に配置される光学部品と、
前記光学部品を固定する固定部品と、
前記固定部品と前記第1の電極との間に介在する接着部と、を備え、
前記固定部品は、前記第1の電極の前記レーザ光が出射する側面において、前記第1の電極と接着されており、
前記第1の電極の前記側面に平行であって、且つ、前記半導体レーザダイオードの厚み方向に垂直な幅方向において、前記固定部品の前記幅方向の長さは、前記光学部品の前記幅方向の長さよりも短く、
前記接着部は、前記第1の電極の前記側面に対向する前記固定部品の主面に連接する前記固定部品の側面を覆っている、半導体レーザ装置。 - 前記接着部は、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂の硬化物を含む、
請求項1~7のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置。 - 第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持される半導体レーザダイオードと、前記半導体レーザダイオードからのレーザ光の出射方向側に配置される光学部品と、を備える半導体レーザ装置の製造方法であって、
第1の主面から前記第1の主面に対向する第2の主面まで貫通する貫通孔、または、前記第1の主面と前記第2の主面とを連接する側面に設けられ、前記第1の主面から前記第2の主面まで延びるスリットを有し、且つ前記光学部品が固定されている固定部品を準備する工程と、
前記光学部品が前記半導体レーザダイオードに対向するように、前記固定部品の前記第1の主面を前記第1の電極の前記レーザ光が出射する側面と対向させる工程と、
前記半導体レーザダイオードに前記レーザ光を出射させながら、前記光学部品の前記半導体レーザダイオードに対する相対位置を位置決めする工程と、
前記位置決め後に、前記貫通孔または前記スリットを介して前記第1の主面と前記第1の電極の前記側面との間に接着剤を流し入れる工程と、
前記接着剤を硬化させ、接着部を形成する工程と、を有する、半導体レーザ装置の製造方法。 - 第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に挟持される半導体レーザダイオードと、前記半導体レーザダイオードからのレーザ光の出射方向側に配置される光学部品と、を備える半導体レーザ装置の製造方法であって、
前記光学部品が固定されている固定部品を準備する工程と、
前記光学部品が前記半導体レーザダイオードに対向するように、前記固定部品の第1の主面を前記第1の電極の前記レーザ光が出射する側面と対向させる工程と、
前記半導体レーザダイオードに前記レーザ光を出射させながら、前記光学部品の前記半導体レーザダイオードに対する相対位置を位置決めする工程と、
前記位置決め後に、前記固定部品の前記第1の主面と前記第1の電極の前記側面との間に接着剤を流し入れるとともに、前記固定部品の前記第1の主面に連接する前記固定部品の側面に前記接着剤を付着させる工程と、
前記接着剤を硬化させ、接着部を形成する工程と、を有し、
前記第1の電極の前記側面に平行であって、且つ、前記半導体レーザダイオードの厚み方向に垂直な幅方向において、前記固定部品の前記幅方向の長さは、前記光学部品の前記幅方向の長さよりも短い、半導体レーザ装置の製造方法。
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