JP7395874B2 - ゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置 - Google Patents

Description

本発明は、ゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置に関するものである。

半導体パッケージの製造では、基材に載置した半導体素子を樹脂封止した樹脂封止成形品からカルとランナー及びゲート等の不要樹脂を除去し、更に複数取りのパッケージを個々に分けることで、製品である半導体パッケージを得ている。

そして、樹脂封止成形品から不要樹脂を除去する工程は、不要樹脂のうちカルとランナーをプッシャーによって打ち抜くことで行われ、カルとランナーから剥離が始まり、最後にゲートが剥離される。

このとき、ランナーは、強度の弱い部分を引きちぎるようにして基材から剥離されるために、パッケージと繋がる部分の切断位置が安定せずに、ゲート残部が発生する。

なお、ここでいうゲート残部とは、不要樹脂を打ち抜いた後に、パッケージと繋がって残ったゲート、或いはゲートの一部を意味する。

パッケージにゲート残部が生じることを抑止するものとしては、例えば特許文献１記載の半導体処理装置がある。この半導体処理装置は、樹脂封止後の複数のパッケージが配列、成形された成形品からプッシャーによってカルとランナーを打ち抜く際に、各パッケージが傾斜するようにパレットの上面に段差を設けている。

そして、カルとランナーを打ち抜く際には、薄いゲートから剥離が始まるようにすることで、剥離の途中段階において、樹脂片がゲート近傍において切断されるということがなく、ゲート残部は発生しない、というものである。

特開平４－２９８０５４号公報

しかし、近年においては、半導体パッケージの薄型化や小型化が進み、効率化を図るためにパッケージの多数個取りが主流となっている。このため、各パッケージが小さくなって、上記従来の装置では、ゲート残部が生じることが多くあり、ゲート残部の対策として充分とはいえなかった。

本発明は、以上の点を鑑みて創案されたものであり、基材に載置された半導体素子を樹脂封止した樹脂封止成形品から不要樹脂であるカルとランナー及びゲートを除去する際に、パッケージにゲート残部が生じることを抑止することができるゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置を提供することを目的とする。

（１）上記の目的を達成するために、本発明に係るゲートブレイク方法は、基材に載置された半導体素子を樹脂封止したパッケージを有する樹脂封止成形品から、カルとランナー及びゲートを打ち抜くゲートブレイク方法であって、前記ゲートにクラックを形成する第１の姿勢を前記パッケージに取らせる工程と、前記第１の姿勢とは異なる第２の姿勢を、前記ランナーを打ち抜いた後の前記パッケージに取らせて前記ゲートを打ち抜く工程とを備える。

本発明のゲートブレイク方法によれば、基材に載置された半導体素子を樹脂封止したパッケージに第１の姿勢を取らせることにより、ゲートにクラックを形成することができる。これにより、ゲートに脆弱な部分を形成できる。

そして、ランナーを打ち抜いた後のパッケージに、第１の姿勢とは異なる第２の姿勢を取らせることにより、ゲートを打ち抜くために好適な姿勢にすることができる。これにより、パッケージにゲート残部が生じることを抑止できる。

また、パッケージが第２の姿勢を取った状態で、ゲートを打ち抜くので、パッケージのゲート以外の部分が損傷することを抑止できる。

（２）本発明は、前記ランナーに対して所定の角度で傾斜した第１の姿勢を前記パッケージに取らせるようにしてもよい。

この場合は、ランナーに対して所定の角度で傾斜した第１の姿勢をパッケージに取らせることにより、ゲートにクラックを形成することができる。

（３）本発明は、前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向において、前記ゲートから遠い方の前記パッケージの側面が、前記ランナーが打ち抜かれる軌跡から離れる方向に前記パッケージを傾斜させた状態で前記ランナーを打ち抜くようにしてもよい。

（４）本発明は、前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向に対して略直角な第２の姿勢を前記パッケージに取らせるようにしてもよい。

この場合は、カルとランナー及びゲートを打ち抜く方向に対して略直角な第２の姿勢をパッケージに取らせることにより、パッケージの側面が、カルとランナー及びゲートを打ち抜く方向と略平行になる。これにより、精度よくゲートを打ち抜くことが可能になり、パッケージの側面の損傷やゲート残部を抑止できる。

（５）上記の目的を達成するために、本発明に係るゲートブレイク装置は、基材に載置された半導体素子を樹脂封止したパッケージを有する樹脂封止成形品から、カルとランナー及びゲートを打ち抜き部で打ち抜くゲートブレイク装置であって、前記パッケージを載置するパッケージ載置部と、前記ゲートにクラックを形成する第１の姿勢を前記パッケージ載置部に載置した前記パッケージに取らせると共に、前記パッケージに残るゲートを前記打ち抜き部で打ち抜くための第２の姿勢を前記パッケージに取らせる姿勢設定部とを備える。

本発明のゲートブレイク装置によれば、パッケージ載置部に載置したパッケージに第１の姿勢を取らせることにより、ゲートにクラックを形成することができる。これにより、ゲートに脆弱な部分を形成できる。

そして、パッケージに残るゲートを打ち抜き部で打ち抜くための第２の姿勢を、ランナーを打ち抜いた後のパッケージに取らせることにより、パッケージにゲート残部が生じることを抑止できる。

また、パッケージが第２の姿勢を取った状態で、パッケージに残るゲートを打ち抜くので、パッケージのゲート以外の部分が損傷することを抑止できる。

（６）本発明における前記姿勢設定部は、前記パッケージ載置部に対して所定の角度で傾斜した第１の姿勢を前記パッケージに取らせる構成としてもよい。

この場合は、パッケージ載置部に対して所定の角度で傾斜した第１の姿勢をパッケージに取らせることにより、ゲートにクラックを形成することができる。

（７）本発明における前記姿勢設定部は、前記打ち抜き部から遠い方の前記パッケージの端部が、前記パッケージ載置部と離れるように前記パッケージを傾斜させる構成としてもよい。

（８）本発明における前記姿勢設定部は、前記パッケージ載置部と略平行な第２の姿勢を前記パッケージに取らせる構成としてもよい。

この場合は、パッケージ載置部と略平行な第２の姿勢をパッケージに取らせることにより、パッケージの側面が、カルとランナー及びゲートを打ち抜く方向と略平行になる。これにより、精度よくゲートを打ち抜くことが可能になり、パッケージの側面の損傷やゲート残部を抑止できる。

（９）本発明における前記姿勢設定部は、前記パッケージを前記パッケージ載置部に押し付ける方向へ弾性体を介して押圧するクランパーと、前記パッケージを前記クランパーが押圧する方向とは逆向きに押圧して、前記第１の姿勢を前記パッケージに取らせるワークレシーバとを備える構成としてもよい。

この場合は、パッケージをパッケージ載置部に押し付ける方向へ弾性体を介して押圧するクランパーを備えることにより、パッケージ載置部に載置されたパッケージをクランパーによって押圧することができる。

また、このときクランパーは、弾性体の付勢によってパッケージに対し所定の押圧力を維持しながら押圧する。これにより、クランパーは、パッケージを必要以上の強い力で押圧することがなく、パッケージの損傷を抑止できる。

更に、パッケージをクランパーが押圧する方向とは逆向きに押圧して、第１の姿勢をパッケージに取らせるワークレシーバを備えることにより、ゲートにクラックを形成することができる。

（１０）本発明における前記姿勢設定部は、前記パッケージを前記パッケージ載置部に押し付ける方向へ弾性体を介して押圧するクランパーと、前記パッケージ載置部に対向する前記パッケージの面を沿わせて、前記パッケージを傾斜させる角度設定部とを備える構成としてもよい。

この場合は、パッケージをパッケージ載置部に押し付ける方向へ弾性体を介して押圧するクランパーを備えることにより、パッケージ載置部に載置されたパッケージをクランパーによって押圧することができる。

また、このときクランパーは、弾性体の付勢によってパッケージに対し所定の押圧力を維持しながら押圧する。これにより、クランパーは、パッケージを必要以上の強い力で押圧することがなく、パッケージの損傷を抑止できる。

また、パッケージ載置部に対向するパッケージの面を沿わせて、パッケージを傾斜させる角度設定部を備えることにより、クランパーで押圧されたパッケージは、角度設定部に沿うように傾斜し、パッケージ載置部に対して所定の角度で傾斜した第１の姿勢をパッケージに取らせることができ、ゲートにクラックを形成することができる。

（１１）本発明における前記クランパーの先端面は、前記パッケージの前記第１の姿勢の傾斜と同じ方向に所定の角度で傾斜させてある構成としてもよい。

この場合は、クランパーの先端面は、パッケージの第１の姿勢の傾斜と同じ方向に所定の角度で傾斜させてあることにより、クランパーで押圧されたパッケージは、クランパーの先端面に沿う方向に傾斜しやすくなり、第１の姿勢を取りやすくなる。

本発明は、基材に半導体素子を載置した樹脂封止成形品から不要樹脂であるカルとランナー及びゲートを除去する際に、パッケージにゲート残部が生じることを抑止することができるゲートブレイク方法及びゲートブレイク装置を提供することができる。

本発明に係るゲートブレイク装置の第１実施形態を示す断面説明図である。 下ブレイク盤を示し、図１のＡ－Ａ矢視説明図である。 図２におけるＰ部の拡大説明図である。 ゲートブレイク装置を使用したゲートブレイクにおいて、（ａ）樹脂封止成形品をセットする工程、（ｂ）パッケージを押圧する工程を示す説明図である。 ゲートブレイク工程において、（ａ）パッケージの傾斜を設定する工程、（ｂ）ランナーを打ち抜く工程を示す説明図である。 ゲートブレイク工程において、（ａ）パッケージを水平に設定する工程、（ｂ）ゲートを打ち抜く工程を示す説明図である。 本発明に係るゲートブレイク装置の変形例を使用し、（ａ）樹脂封止成形品をセットする工程、（ｂ）パッケージの傾斜を設定する工程を示す説明図である。 ゲートブレイク工程において、（ａ）ランナーを打ち抜く工程、（ｂ）パッケージの水平を設定する工程とゲートを打ち抜く工程を示す説明図である。

図１乃至図４を主に参照して、本発明に係るゲートブレイク装置の第１実施形態を更に詳細に説明する。

なお、以下の説明において、場所又は方向の説明をする際の「前後」の表現については、各正面視説明図（図１、図４乃至図８）の紙厚み方向において、紙表方を「前」、紙裏方を「後」として説明する。

また、「上下」の表現については、同図の紙面における奥方を「上」とし、紙面における手前方を「下」として説明する。更に、「左右」の表現については、同図の紙面における左方を「左」とし、紙面における右方を「右」として説明する。

ゲートブレイク装置Ｇは、半導体パッケージを製造する樹脂封止装置（図示省略）において、金型を備える成形ユニット（図示省略）を使用して行われる樹脂封止成形品８を成形する工程の後工程に配置されるもので、下ブレイク盤１と上ブレイク盤２を備えている（図１参照）。

（樹脂封止成形品８）
ここで、図２及び図３を参照して、ゲートブレイク装置Ｇにより行われるゲートブレイクの対象となる樹脂封止成形品８について説明する。なお、図１では下ブレイク盤１に載置されている樹脂封止成形品８を想像線で表している。

樹脂封止成形品８は、所要の間隔をおいて、複数のカル８１とランナー８２で繋がれて並設された、基材である二枚のリードフレーム８０を有している。各リードフレーム８０は、前後方向に長い略四角形状である（図２、図３参照）。

各カル８１は、前後方向へ所定の間隔で複数配列されている。各カル８１に繋がるランナー８２は、後述する保持台盤１０に設けられた切欠溝８９を通り、各リードフレーム８０の下面を左右方向の略中央部まで伸びて、更に左右へ分岐している。（図２、図３参照）なお、切欠溝８９は、下ブレイク盤１の後述する排出口１２に通じている（図３参照）。

また、各リードフレーム８０には、半導体素子を樹脂封止した平面視で略四角形のパッケージ８３が、各ランナー８２の分岐した各先端にゲート８４（図３、図４参照）を介し繋がった状態で多数設けられている（図２、図３参照）。

各切欠溝８９を通っているランナー８２は、切欠溝８９の縁部と所定の隙間（符号省略）を以て通されている。これにより、後述するランナーパンチ２４によってランナー８２を打ち抜く際に、ランナー８２が保持台盤１０に対して干渉せずに、リードフレーム８０から分離できるようにしている（図３参照）。

また、保持台盤１０において、載置されたリードフレーム８０に設けられている各パッケージ８３の四箇所の角部近傍には、平面視で略楕円形状の通し穴１５が表裏面を貫通して設けてある。各通し穴１５は、後述するパッケージガイド２７を通すための穴である。

（下ブレイク盤１）
下ブレイク盤１は、図示していないスライドガイドに沿って移動可能な保持台盤１０を備えている。保持台盤１０は、各パッケージ８３を収容して樹脂封止成形品８を保持することができる多数のパッケージ載置部１１を有している（図１、図３、図４参照）。

また、保持台盤１０の左右方向の中央部には、カル８１とランナー８２を打ち抜いて下方へ落とすための排出口１２が各ランナー８２に対応して形成されている。なお、パッケージ載置部１１は、保持台盤１０において排出口１２の左右に前後方向へ二列ずつ設けられている（図２参照）。

各パッケージ載置部１１は、パッケージ８３の形状に合わせた、底部１１０が平坦な凹部である。パッケージ載置部１１の深さは、パッケージ８３の厚さの約１／２であり、パッケージ８３が収まったときに、リードフレーム８０と保持台盤１０の上面との間に若干の間隙が設けられるように設定されている。これにより、パッケージ８３の下面（符号省略）が各パッケージ載置部１１の底部１１０に接面して安定する利点がある。

パッケージ載置部１１の図３、図４で左端部は、上部がやや広がって下部が垂直な壁部１１１となっており、その反対（右方）には、垂直な壁部１１４が設けられている（図４参照）。また、壁部１１１と壁部１１４の間隔は、パッケージ８３の左右方向の幅よりやや広くなるように設定されている。

なお、上記のように排出口１２の左右に前後方向へ二列ずつ配列されているパッケージ載置部１１は、隣接する二列の左右方向において、互いに他の列のパッケージ載置部１１に対して線対称構造となるよう形成されている（参考：図２）。

各パッケージ載置部１１の底部１１０において、左方の壁部１１１の近傍、かつ前後方向の中央部には、円孔である案内孔１１２が上下面を貫通して垂直に設けてある（図４参照）。案内孔１１２には、丸棒状で先端が半球形状に仕上げてあるワークレシーバ１３が進退摺動可能に通してある（図１、図４参照）。

各ワークレシーバ１３は、保持台盤１０の下面に配置されたエアシリンダー１３０により駆動されて進退動をし、パッケージ載置部１１の底部１１０に対向するパッケージ８３の下面を押圧する。詳しくは、ワークレシーバ１３の先端は、壁部１１１に近い方のパッケージ８３の下面を、上方（後述する製品クランパー２１が押圧する方向とは逆向き）に押圧する。

また、保持台盤１０の上面において各パッケージ載置部１１の左右方向の中央部、かつ前後方向に近接して、上部がやや尖ったガイドピン１４が垂直に立設されている。各ガイドピン１４は、樹脂封止成形品８を保持台盤１０にセットするときに、各パッケージ８３をパッケージ載置部１１へ案内するものである（図３、図４参照）。

（上ブレイク盤２）
上ブレイク盤２は、上記下ブレイク盤１の上方に配してあり、押圧盤２０を有している。上ブレイク盤２は、押圧盤２０に取付具２０１を介し複数設けてある連結部材２０２を介し、図示を省略した昇降操作部に連結して、水平を維持しながら昇降操作が可能である。

押圧盤２０の下面には、下ブレイク盤１の各パッケージ載置部１１に対応して、製品クランパー２１が設けてある。各製品クランパー２１は、押圧盤２０の下面に下方へ突出して設けられた製品クランパーガイド２２に、下方へ進退摺動可能、かつ所定の突出位置で停止するようにして収容されている。なお、各製品クランパー２１の先端は、パッケージ８３の上面を下方に押圧し、前述した各ワークレシーバ１３と共に姿勢設定部を構成する（図１、図４参照）。

ここで、左右方向において、ワークレシーバ１３がパッケージ８３を上方に押圧する位置は、製品クランパー２１がパッケージ８３を下方に押圧する位置から左方にずれた位置としており、このことによって、パッケージ載置部１１に対して所定の角度で傾斜した姿勢（後述する第１の姿勢）をパッケージ８３に取らせることができる（図３、図４、図５参照）。

製品クランパー２１の先端面２１０は、パッケージ８３が、後述する第１の姿勢の傾斜と同じ方向に所定の角度で傾斜させてある。これにより、パッケージ８３は、製品クランパー２１の先端面２１０に沿う方向に傾斜しやすくなり、第１の姿勢を取りやすくなる。

なお、先端面２１０の角度は、パッケージ８３が第１の姿勢で傾斜する角度と同じでもよいし、異なっていてもよい（図４参照）。また、パッケージ８３の第１の姿勢は、その姿勢によってゲートにクラックを好適に形成することができれば、その形態を特に限定するものではない。

そして、各製品クランパー２１は、コイルバネ２１１により下方へ向け付勢されている。これにより、各製品クランパー２１は、常態においては製品クランパーガイド２２の先端から最大限突出して停止している（図１、図４参照）。

また、押圧盤２０の下面の左右に二列ずつ前後方向へ製品クランパーガイド２２が設けられ、二列の製品クランパーガイド２２の左右方向の中間部には、保持台盤１０にセットされた樹脂封止成形品８の各ランナー８２を打ち抜くためのランナーパンチ２４が設けられている（図１参照）。

各ランナーパンチ２４は、丸棒状で、下方へ突出しており、かつ先端が揃うように垂直方向に同じ長さで設けてある。ランナーパンチ２４は、押圧盤２０の下面の左右に前後方向へ一列ずつ設けてある（図１参照）。

また、各製品クランパーガイド２２には、ゲート８４を打ち抜くゲートパンチ２６と、ゲート８４を打ち抜く際に、パッケージ８３の左右方向の位置決めをするパッケージガイド２７が設けてある。すなわち、ゲートパンチ２６とパッケージガイド２７は、上ブレイク盤２の下降動作に伴って作動する（図１、図３、図４参照）。

ゲートパンチ２６は、製品クランパーガイド２２の外周部において、ランナーパンチ２４に近い方の一箇所に設けてある。ゲートパンチ２６は、横断面形状が四角形で、製品クランパー２１に近い方の下部の角部に切断刃２６０を有している（図３、図４参照）。

ゲートパンチ２６の切断刃２６０は、平面視で、保持台盤１０にセットされた樹脂封止成形品８のパッケージ８３のゲート８４と同じところに、パッケージ８３の右方の側面８３０との間に若干の間隙を設けて位置させてある。

パッケージガイド２７は、製品クランパーガイド２２の外周方向の四箇所に設けられている。パッケージガイド２７は、横断面形状が四角形で、パッケージ載置部１１に収容されたパッケージ８３の左右の側面８３０、８３１に高さを合わせたときに、側面８３０、８３１との間に若干の間隙が設けられるようにしてある（図３、図４参照）。

なお、各パッケージガイド２７の先部には、パッケージ８３に近い方に先部が窄まるように傾斜させた案内面（符号省略）が形成されており、パッケージガイド２７の下降によるパッケージ８３の左右の位置決めを円滑に行うことができるようにしている。

また、押圧盤２０の左右方向の中央部には、カルプッシャー２８が下方へ向けて垂直に固定されている。カルプッシャー２８は、ランナーパンチ２４でランナー８２を打ち抜く際に、ランナーパンチ２４と共に下降してカル８１を下方へ押し下げるものである。

（作用）
ここで、ゲートブレイク装置Ｇを使用して樹脂封止成形品８のゲートブレイクを行う場合の作用を説明する。なお、図４乃至図８においては、便宜上、リードフレーム８０の図示を省略している。

〔１〕樹脂封止成形品８のセット
成形ユニットで成形された樹脂封止成形品８は、図示しないアンローダーにより搬送され、ゲートブレイク装置Ｇの、受け取り位置に水平状態で停止している下ブレイク盤１の所定の位置に載置される。

具体的には、樹脂封止成形品８は保持台盤１０に水平にセットされ、このとき、各パッケージ８３はパッケージ載置部１１に収容される。また、このとき、樹脂封止成形品８の各ランナー８２は、上ブレイク盤２のランナーパンチ２４の下方に対応して位置している（図１、図２、図３、図４（ａ）参照）。

〔２〕製品クランパー２１によるパッケージ８３の押圧
上ブレイク盤２が鉛直方向に下降し、各製品クランパー２１の先端が各パッケージ８３の上面をやや押圧するように当接し、上ブレイク盤２は停止する（図４（ｂ）参照）。

このとき、各製品クランパー２１は、コイルバネ２１１の付勢力によって、パッケージ８３に対する所定の押圧力を維持しながら、下方への突出長さがやや縮小している。これにより、各製品クランパー２１は、各パッケージ８３を必要以上の強い力で押圧することがなく、パッケージ８３が損傷することを抑止できる。

〔３〕ワークレシーバ１３によるパッケージ８３の傾斜設定
各製品クランパー２１で各パッケージ８３を押圧した状態で、各エアシリンダー１３０が作動し、各ワークレシーバ１３が上昇して案内孔１１２から突出する。そして、各ワークレシーバ１３の先端は、左右方向において、製品クランパー２１が押圧する位置とは左方へずれた位置を、製品クランパー２１の押圧する方向とは逆向きに押圧し、各パッケージ８３のランナー８２から遠い方の端部が押し上げられる（図１、図５（ａ）参照）。

これにより、各パッケージ８３が所定の角度で傾斜し、第１の姿勢を取る（図５（ａ）参照）。このとき、例えばゲート８４とランナー８２の境界部が屈曲してクラック（符号省略）が形成され、ゲート８４に脆弱な部分を形成することができる。なお、パッケージ８３の第１の姿勢を取ったときの水平に対する角度は、適宜設定されるもので、特に限定はされない。

また、製品クランパー２１の先端面２１０は、パッケージ８３が第１の姿勢である時の傾斜と同じ方向に所定の角度で傾斜させてあり、パッケージ８３は、傾斜するときに、製品クランパー２１の先端面２１０に沿う方向に傾斜しやすくなり、第１の姿勢を取りやすくなる。つまり、製品クランパー２１とワークレシーバ１３でパッケージ８３を損傷させることを抑止できる。

〔４〕ランナーパンチ２４によるランナー８２の打ち抜き
上ブレイク盤２が鉛直方向に下降し、ランナーパンチ２４がランナー８２を押圧してランナー８２を打ち抜く。これと同時に、クラックを境に、ゲート８４からランナー８２が分離する。同時に、カルプッシャー２８が、カル８１を下方へ押し下げるので、ランナー８２とカル８１は、排出口１２を通って自重で落下する（図１、図５（ｂ）参照）。

このとき、分離したランナー８２の先端部は、ランナー８２を打ち抜く方向へ移動するが、パッケージ８３の側面８３０が、ランナー８２を打ち抜く方向に進むにつれてランナー８２から離れるように、すなわちランナー８２の先端部の移動軌跡から徐々に離れるように傾斜しているので、ランナー８２の先端部がパッケージ８３の側面８３０に接触せず、側面８３０が損傷することを抑止できる。

〔５〕ワークレシーバ１３と製品クランパー２１によるパッケージ８３の水平設定
各エアシリンダー１３０が作動し、各ワークレシーバ１３の先端が案内孔１１２の中に入るまで下降する。これにより、各パッケージ８３が各製品クランパー２１に押されて底部１１０に接して水平状態に戻り、上記第１の姿勢とは異なる第２の姿勢を取る（図６（ａ）参照）。

このとき、各パッケージガイド２７も下降しており、各パッケージ８３の垂直になった左右の側面８３０、８３１を挟むように、側面８３０、８３１との間に若干の間隙を設けて位置している。これにより、各パッケージガイド２７によって、各パッケージ８３の左右の位置決めが行われる。

〔６〕ゲートパンチ２６によるゲート８４の除去
上ブレイク盤２が、製品クランパー２１の付勢力に抗して鉛直方向に下降することで、各パッケージガイド２７と共に各ゲートパンチ２６も下降する。このとき、切断刃２６０はパッケージ８３の右の側面８３０に沿って下降して、ゲート残部であるゲート８４を打ち抜く（図６（ｂ）参照）。

このとき、パッケージ８３の右方の側面８３０と、各ゲートパンチ２６を打ち抜く方向とが平行になるので、精度よくゲート８４を打ち抜くことが可能になる。

本発明に係るゲートブレイク装置Ｇの変形例を説明する。
本変形例では、パッケージ載置部１１ａの水平な底部１１０ａに続き、左右に隣り合う他のパッケージ載置部（符号省略）の方向へ下り傾斜した角度設定面１１３が設けてある。角度設定面１１３は、後述する第１製品クランパー２３及び第２製品クランパー２３ａと共に角度設定部を構成する。

クランパーは、ゲート８４側が第１製品クランパー２３、ゲート８４と反対側が第２製品クランパー２３ａである。第１製品クランパー２３と第２製品クランパー２３ａは、製品クランパーガイド２５に対して下方へ進退摺動可能、かつ所定の突出位置で停止するようにして収容されている。

第１製品クランパー２３と第２製品クランパー２３ａは、左右に並設され、それぞれバネ（図示省略）で下方へ付勢され、常態においては製品クランパーガイド２５の先端から最大限突出して停止している（図７（ａ）参照）。

また、第１製品クランパー２３と第２製品クランパー２３ａの突出長さは、右の第１製品クランパー２３の方がやや長く設定されている。そして、第１製品クランパー２３と第２製品クランパー２３ａを付勢するバネの付勢力は、左の第２製品クランパー２３ａの方をやや強く設定している。

（作用）
ゲートブレイク装置Ｇの変形例の作用を説明する。なお、以下の説明では、上記ゲートブレイク装置Ｇと共通する部分について詳細な説明は一部省略し、主に異なる部分について説明する。

〔１〕樹脂封止成形品８のセット
樹脂封止成形品８を保持台盤１０に水平にセットする（図７（ａ）参照）。

〔２〕第１製品クランパー２３によるパッケージ８３の傾斜設定
上ブレイク盤２が下降し、長く突出している右の第１製品クランパー２３の先端がパッケージ８３の上面のゲート８４側を押圧する。

これにより、パッケージ８３が下面を角度設定面１１３に沿わせて止まり、所定の角度で傾斜して、第１の姿勢を取る。同時に、ゲート８４にクラックが形成される。なお、このとき、左のクランパー２３ａは、まだパッケージ８３に触れていない（図７（ｂ）参照）。

〔３〕ランナーパンチ２４によるランナー８２の打ち抜き
上ブレイク盤２が下降し、ランナーパンチ２４がランナー８２を押圧してランナー８２を打ち抜く。これと同時にランナー８２がクラックを境にゲート８４から分離し、ランナー８２とカル８１は自重で落下する（図８（ａ）参照）。このとき、ランナー８２の先端はパッケージ８３の側面８３０に接触しないので、側面８３０が損傷することを抑止できる。

〔４〕第２製品クランパー２３ａによるパッケージ８３の水平設定
上ブレイク盤２が下降し、第２製品クランパー２３ａの先端がパッケージ８３の上面の左寄りを押圧し始める。このとき、右の第１製品クランパー２３の付勢力の方が第２製品クランパー２３ａより弱いため、パッケージ８３は左の方が下がり、水平に戻って第１の姿勢とは異なる第２の姿勢を取る（図８（ｂ）参照）。

〔５〕ゲート８４の除去
上ブレイク盤２が、第１製品クランパー２３と第２製品クランパー２３ａの付勢力に抗して、更に下降し、ゲートパンチ２６の切断刃２６０によってゲート残部（符号省略）が打ち抜かれる（想像線で図示：図８（ｂ）参照）。このとき、パッケージ８３の側面８３０と、各ゲートパンチ２６を打ち抜く方向とが平行になるので、精度よくゲート８４を打ち抜くことが可能になり、側面８３０の損傷やゲート残部を抑止できる。

なお、上記実施の形態及び変形例では、第１の姿勢がゲート８４を下方向へ折り曲げる態様である場合を示したが、これに限定せず、例えば逆に上方向へ折り曲げる態様としてもよい。

また、上記実施の形態及び変形例では、第２の姿勢が水平である場合を示したが、これに限定せず、例えばゲートが繋がるパッケージの側面を打ち抜く方向と略平行とする等、その姿勢とすることによってパッケージに生じるゲート残部を好適に除去できれば、必ずしも水平でなくてもよい。

本明細書及び特許請求の範囲で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書及び特許請求の範囲に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。

Ｇ ゲートブレイク装置
１ 下ブレイク盤
１０ 保持台盤
１１ パッケージ載置部
１１０ 底部
１１１ 壁部
１１２ 案内孔
１１４ 壁部
１２ 排出口
１３ ワークレシーバ
１３０ エアシリンダー
１４ ガイドピン
１５ 通し穴
２ 上ブレイク盤
２０ 押圧盤
２０１ 取付具
２０２ 連結部材
２１ 製品クランパー
２１０ 先端面
２１１ コイルバネ
２２ 製品クランパーガイド
２４ ランナーパンチ
２６ ゲートパンチ
２６０ 切断刃
２７ パッケージガイド
２８ カルプッシャー
８ 樹脂封止成形品
８０ リードフレーム
８１ カル
８２ ランナー
８３ パッケージ
８３０、８３１ 側面
８４ ゲート
８９ 切欠溝
１１ａ パッケージ載置部
１１０ａ 底部
１１３ 角度設定面
２３ 第１製品クランパー
２３ａ 第２製品クランパー
２５ 製品クランパーガイド

Claims (6)

1. 基材に載置された半導体素子を樹脂封止したパッケージを有する樹脂封止成形品から、カルとランナー及びゲートを打ち抜くゲートブレイク方法であって、
   前記パッケージをパッケージ載置部に載置する工程と、
   前記パッケージに、前記ランナーに対し所定の角度で傾斜した姿勢を取らせて、前記ゲートにクラックを生じさせる工程と、
   前記パッケージが前記傾斜した姿勢の状態で、前記クラックを境に前記ゲートに繋がる前記ランナーを前記カルと共に打ち抜く工程と、
   前記パッケージに前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向に対して略直角な姿勢をとらせた状態で、前記ゲートの残部を打ち抜く工程とを備え、
   前記ゲートにクラックを生じさせる工程、前記ゲートに繋がるランナーを前記カルと共に打ち抜く工程、及び前記ゲートの残部を打ち抜く工程は、
   前記パッケージ載置部に載置した前記パッケージの厚み方向の一方の面をクランパーで所定の弾性を以て前記パッケージ載置部に押し付ける方向へ押さえると共に、
   前記パッケージを、前記パッケージの厚み方向の一方の面と他方の面を前記クランパーと前記パッケージ載置部で挟んで略固定した状態で各工程を行う
   ゲートブレイク方法。
2. 前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向において、前記パッケージの前記ゲートに近い方の側面を、前記ランナーが打ち抜かれる際の軌跡から離れる方向に前記パッケージを傾斜させた状態で前記ランナーを打ち抜く
   請求項１記載のゲートブレイク方法。
3. 前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向において、前記パッケージの前記ゲートに近い方の側面を、前記ランナーが打ち抜かれる際の軌跡から離れる方向に前記パッケージを傾斜させた状態で前記ランナーを打ち抜いた後、下降したパッケージガイドによってパッケージの位置決めを行い、前記パッケージガイドと共に下降するゲートパンチによってゲートを打ち抜く
   請求項１記載のゲートブレイク方法。
4. 基材に載置された半導体素子を樹脂封止したパッケージを有する樹脂封止成形品から、カルとランナー及びゲートを打ち抜き部で打ち抜くゲートブレイク装置であって、
   前記パッケージを載置して前記パッケージに前記カルと前記ランナー及び前記ゲートを打ち抜く方向に対して略直角な姿勢をとらせることができるパッケージ載置部と、
   該パッケージ載置部に載置した前記パッケージを、前記パッケージの厚み方向の一方の面を所定の弾性を以て前記パッケージ載置部に押し付ける方向へ押さえることができるクランパーと、
   前記パッケージを前記クランパーが押し付ける方向とは逆向きに押圧して、前記クランパーと協働して、前記パッケージに、前記ランナーに対し所定の角度で傾斜した姿勢をとらせることができるワークレシーバとを備え、
   前記パッケージを前記クランパーと前記パッケージ載置部で挟んだ状態、及び前記パッケージを前記クランパーと前記パッケージ載置部及び前記ワークレシーバで挟んだ状態で、前記パッケージを略固定することが可能である
   ゲートブレイク装置。
5. 前記クランパーの先端面は、前記パッケージの前記傾斜した姿勢の傾斜と同じ方向に所定の角度で傾斜させてある
   請求項４記載のゲートブレイク装置。
6. 前記パッケージ載置部は、前記パッケージ載置部に対向する前記パッケージの面を沿わせて、前記パッケージを傾斜させる角度設定部を備える
   請求項４又は５記載のゲートブレイク装置。

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