JP7394332B2 - 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット - Google Patents
鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット Download PDFInfo
- Publication number
- JP7394332B2 JP7394332B2 JP2019059338A JP2019059338A JP7394332B2 JP 7394332 B2 JP7394332 B2 JP 7394332B2 JP 2019059338 A JP2019059338 A JP 2019059338A JP 2019059338 A JP2019059338 A JP 2019059338A JP 7394332 B2 JP7394332 B2 JP 7394332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- iron
- gallium alloy
- crystal ingot
- ingot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 324
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 144
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 125
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 122
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 title claims description 61
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 29
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 6
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 11
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 10
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 8
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012364 cultivation method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 230000000474 nursing effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007712 rapid solidification Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
(鉄ガリウム合金単結晶)
本発明の一実施形態に係る鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法について説明する。磁歪特性を有する鉄ガリウム合金単結晶インゴットは、例えば、坩堝の底部に種結晶を設置し、鉄とガリウムの原料粉末と種結晶の一部を溶解し、この融解物を坩堝中で種結晶の上部より徐々に固化させて育成することができる。具体的には、VB法やVGF法に代表される、一方向凝固結晶成長法により育成することができる。ここで、鉄ガリウム合金は、体心立方格子構造を有しており、ミラー指数における方向指数のうち第1~第3の<100>軸が等価であり、ミラー指数における面指数のうち第1~第3の{100}面が等価(すなわち、(100)、(010)および(001)は等価)であることを基本とするものである。
本発明の一実施形態に係る鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法をより具体的に説明するべく、当該方法に用いる育成装置の一例として、まずは図1に示す単結晶育成装置について説明する。
次に、単結晶育成装置を用いた、VB法による鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法について、図1を参照しつつ説明する。まず、単結晶育成用坩堝10の下部に主面方位が<100>方位の鉄ガリウム合金種結晶16を配置する。そして、鉄ガリウム合金種結晶16の上には、原料である鉄とガリウムの混合物17を必要量配置する。
次に、チャンバー19内にアルゴンや窒素等の不活性ガスを流し、チャンバー19内を不活性雰囲気に調整する。不活性ガスとしては、窒化ガリウム等が生成する恐れがない、アルゴンガスを導入することが好ましい。チャンバー19内が不活性雰囲気となった後、単結晶育成用坩堝10を囲むように配置された上段ヒーター12a、中段ヒーター12bおよび下段ヒーター12cを作動して、昇温し、鉄とガリウムの混合物17の融解を開始する。
次に、単結晶育成用坩堝10の内部で鉄ガリウム合金の単結晶インゴットを育成する。具体的には、抵抗加熱ヒーター12を用いて、鉄ガリウム合金種結晶16および融解物(鉄とガリウムの混合物17)が収納された単結晶育成用坩堝10を、高さ方向の上方の温度が高く、下方の温度が低い温度分布となるように加熱する。この状態で、チャンバー19内の温度を、鉄ガリウム合金種結晶16が高さ方向の上半分位まで融解するまで昇温し、シーディングを行う。
ここで従来技術として、円柱形状の単結晶インゴットの育成用坩堝および種結晶を、図2を用いて説明する。図2は、比較例に係る円柱形状の単結晶インゴットを育成するための、坩堝および種結晶の形状例を示す斜視図である。図2に示すような円柱形状の坩堝および円柱形状の種結晶を使用することにより、上述の単結晶育成装置にて坩堝形状に倣った円柱形状の単結晶インゴットを育成する。なお円柱形状の単結晶インゴットに限れば、例えばVB法、VGF法の他に、Cz法等の引き上げ法を採用することもできる。種結晶は上下面のみ(100)面になる種結晶を使用する。なお種結晶の形状は円柱形状に限られず、角柱形状であっても良い。また、この育成方法では、単結晶インゴットは上面の<100>方向を成長軸として育成される。
本発明の一実施形態に係る単結晶インゴットの育成用坩堝および種結晶を、図3を用いて説明する。図3は、本発明の一実施形態に係る角柱形状の単結晶インゴットを育成するための、坩堝10および種結晶16の形状例を示す斜視図である。図3に示すような角型坩堝10および角柱形状の種結晶16を使用することにより、上述の単結晶育成装置にて坩堝形状に倣った角柱形状の単結晶インゴットを育成する。このとき、角柱形状の単結晶は、成長軸方向の面が<100>であり、かつ角柱形状の単結晶の側面が全て(100)面であるように育成される。
次に、本発明の一実施形態に係る鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法について説明する。本加工方法では、1本のワイヤーソー又はマルチワイヤーソーを用いて、鉄ガリウム合金の単結晶インゴットを成長軸と平行方向に切断し、板状に加工する。以下詳細に説明する。
従来技術として、上述した円柱形状の単結晶インゴットをマルチワイヤーソーで切断加工する例について説明する。円柱形状の単結晶インゴットは、VB法、VGF法、Cz法等により、上下面を(100)面にして育成される。
本発明の一実施形態に係る角柱形状の単結晶インゴットの加工方法を、図4(A)から図4(D)を用いて説明する。図4(A)から図4(D)は、本発明の一実施形態に係る鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法の概略図である。角柱形状の単結晶インゴットは、VB法、VGF法等により、上下面及び側面全てを(100)面にして育成される。なおCz法では単結晶を回転させながら引き上げて育成するため、角柱形状の単結晶インゴットを育成することはできない。
上述した育成方法により得られた単結晶インゴットについて図を用いて説明する。図4(A)は単結晶インゴットを示す斜視図である。図4(A)に示すように、角柱形状の単結晶インゴット20は、種結晶部20a、増径部20bおよび定径部20cを有する。種結晶部20a、増径部20bおよび定径部20cは、上述した単結晶育成用坩堝の細径部、増径部および定径部で育成された単結晶インゴットに該当する。単結晶インゴット20から種結晶部20aおよび増径部20bを切断し、定径部20cを得る。種結晶部20aおよび増径部20bの切断方法は特に限定されない。
単結晶インゴット20から第1の(100)面を得る工程について、図を用いて説明する。図4(B)は定径部から第1の(100)面を得る工程の説明図である。まず、得られた定径部20cについて、成長軸と垂直な(100)面を特定する。(100)面を特定することができれば特定方法は特に限定されないが、特定の簡便さの観点からX線回折装置を用いることが好ましい。そして、成長軸に垂直な(100)面になるように、定径部20cの上下面を平面研削により加工して、第1の(100)平面を得る。
第2の(100)面を得る工程について、図を用いて説明する。図4(C)は定径部から第2の(100)面を得る工程の説明図である。第1の(100)面を得た後に、定径部20cの成長軸に水平な(100)面を同様の方法により特定する。そして、成長軸に水平になるように、定径部20cの側面を平面研削により加工して、第2の(100)平面を得る。
ワイヤーソーによる単結晶インゴットの加工方法について、図を用いて説明する。図4(D)はマルチワイヤーソーによる単結晶インゴットの加工方法の概略図である。定径部20cの第1の(100)面および第2の(100)面を得た後に、切断面が第2の(100)平面に平行となるよう、成長軸に沿って、定径部20cをマルチワイヤーソー30で切断し板状に加工する。この場合には定径部20cは角柱状態であるので、ワイヤーが定径部20cに接触する面は、第1の(100)面および第2の(100)面に垂直な第3の平面となる。複数のワイヤーと第3の平面との接触面は平坦であるため、安定して定径部20cを切断することができる。単結晶インゴットが円柱形状結晶の場合、上述したように定径部を板状に加工するにはワイヤーと接触する面を曲面から平面に加工する必要があるが、角柱形状の単結晶インゴットではこの工程を省略することができる。
(単結晶の育成)
まず、大気中、室温20℃の環境下で、化学量論比で鉄とガリウムの比率が80:20になるように、すなわちガリウム含有量が原子量%で20%となるように、鉄原料とガリウム原料を秤量した。湯煎により融解したガリウム原料へ鉄原料を投入し、容器内で攪拌を行った後、室温まで冷却し、原料である鉄とガリウムの混合物を作製した。
得られた単結晶インゴットの種結晶部および増径部を外周刃切断装置にて切断した。そして、X線回折装置を用いて、成長軸と垂直な{100}面を特定し、平面研削により定径部と増径部の切断面近傍に第1の(100)平面1面を加工した。
(単結晶の育成)
単結晶育成用坩堝として、厚さ3mm、細径部を内径5.2mm、高さ30mmの下端が閉じた円筒状、増径部を半頂角45°の円錐形状、定径部を内径52mmの円筒状、全体の高さ200mmの緻密質アルミナ製坩堝を準備した。鉄ガリウム合金種結晶は、直径5mm、高さ30mmの円柱形状で上下面となる円部分を(100)面として加工した。上記以外は実施例1と同様の方法で単結晶インゴットを育成した。
得られた単結晶インゴットの種結晶部および増径部を外周刃にて切断した。そして、X線回折装置を用いて、成長軸と垂直な{100}面を特定し、平面研削により定径部と増径部の切断面近傍に第1の(100)平面1面を加工した。
Claims (7)
- 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法であって、
前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットは、角型坩堝と角柱形状の種結晶を用いて角柱形状に形状制御され、
前記角柱形状の種結晶は側面が全て{100}面である鉄ガリウム合金の単結晶であることを特徴とする鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法。 - 前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットは、垂直ブリッジマン法、垂直温度勾配凝固法、ゾーンメルト法のいずれかを用いて角柱形状に形状制御されることを特徴とする、請求項1に記載の鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法。
- 前記鉄ガリウム合金は、ガリウムを17at%以上20at%以下含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法により育成された鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法であって、
前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットは角柱形状を有し、側面が全て{100}面であり、
前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットを結晶成長軸方向に沿って、かつ該結晶成長軸方向に平行な{100}面に平行に、ワイヤーソーを用いて切断することを特徴とする、鉄ガリウム合金単の単結晶インゴットの加工方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法により育成された鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法であって、
前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットは角柱形状を有し、側面が全て{100}面であり、
前記鉄ガリウム合金の単結晶インゴットを結晶成長軸方向と垂直な方向に沿って、ワイヤーソーを用いて切断することを特徴とする、鉄ガリウム合金単の単結晶インゴットの加工方法。 - 前記ワイヤーソーはマルチワイヤーソーであることを特徴とする、請求項4又は5に記載の鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法。
- 角柱形状を有し、前記角柱形状の側面が全て{100}面の結晶成長面であることを特徴とする鉄ガリウム合金の単結晶インゴット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059338A JP7394332B2 (ja) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059338A JP7394332B2 (ja) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020158346A JP2020158346A (ja) | 2020-10-01 |
JP7394332B2 true JP7394332B2 (ja) | 2023-12-08 |
Family
ID=72641727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019059338A Active JP7394332B2 (ja) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7394332B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022172876A1 (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 磁歪部材及び磁歪部材の製造方法 |
WO2022172875A1 (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 磁歪部材及び磁歪部材の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030010405A1 (en) | 2000-01-28 | 2003-01-16 | Clark Arthur E | Magnetostrictive devices and methods using high magnetostriction, high strength fega alloys |
JP2016138028A (ja) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 日本高周波鋼業株式会社 | 磁歪部材およびその製造方法 |
JP2018203563A (ja) | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 一般財団法人電力中央研究所 | 磁歪材料の製造方法 |
-
2019
- 2019-03-26 JP JP2019059338A patent/JP7394332B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030010405A1 (en) | 2000-01-28 | 2003-01-16 | Clark Arthur E | Magnetostrictive devices and methods using high magnetostriction, high strength fega alloys |
JP2016138028A (ja) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 日本高周波鋼業株式会社 | 磁歪部材およびその製造方法 |
US20170317266A1 (en) | 2015-01-29 | 2017-11-02 | NIPPON KOSHUHA STEEL Co., Ltd | Magnetostrictive member and manufacturing method thereof |
JP2018203563A (ja) | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 一般財団法人電力中央研究所 | 磁歪材料の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020158346A (ja) | 2020-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4203603B2 (ja) | 半導体バルク多結晶の作製方法 | |
JP5702931B2 (ja) | 単結晶c−面サファイア材料の形成方法 | |
JP5633732B2 (ja) | サファイア単結晶の製造方法およびサファイア単結晶の製造装置 | |
JP7394332B2 (ja) | 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの育成方法およびその加工方法、鉄ガリウム合金の単結晶インゴット | |
JP5729135B2 (ja) | サファイアシードおよびその製造方法、ならびにサファイア単結晶の製造方法 | |
TWI580825B (zh) | 藉由定向固化作用製備鑄態矽之方法 | |
JP7072146B2 (ja) | 鉄ガリウム合金の単結晶育成方法 | |
JP4060106B2 (ja) | 一方向凝固シリコンインゴット及びこの製造方法並びにシリコン板及び太陽電池用基板及びスパッタリング用ターゲット素材 | |
JP2006347865A (ja) | 化合物半導体単結晶成長用容器、化合物半導体単結晶、および化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP6719718B2 (ja) | Siインゴット結晶の製造方法及びその製造装置 | |
US7264750B2 (en) | Rare earth silicate single crystal and process for production of rare earth silicate single crystals | |
JP2022045089A (ja) | 鉄ガリウム合金の単結晶インゴットの加工方法 | |
JP4292300B2 (ja) | 半導体バルク結晶の作製方法 | |
JP7125711B2 (ja) | 鉄ガリウム合金の単結晶育成用種結晶の製造方法および鉄ガリウム合金の単結晶育成方法 | |
JP4923253B2 (ja) | Siバルク多結晶の作製方法 | |
CN214694462U (zh) | 一种ycob晶体生长用生长装置 | |
JP7318884B2 (ja) | 鉄ガリウム合金の単結晶育成方法 | |
JP5721207B2 (ja) | Si多結晶インゴットの製造装置、Si多結晶インゴットおよびSi多結晶ウェハー | |
KR20190075411A (ko) | 리니지 결함을 제거할 수 있는 도가니부재, 이를 이용한 고품질 사파이어 단결정 성장장치 및 그 방법 | |
Kusuma et al. | The Growth and Growth Mechanism of Congruent LiNbO 3 Single Crystals by Czochralski Method | |
JPH0782088A (ja) | 単結晶の育成方法 | |
TW202302935A (zh) | GaO系單晶基板及GaO系單晶基板的製造方法 | |
JPH08319195A (ja) | 硼酸リチウム単結晶の製造方法 | |
CN114561701A (zh) | 一种铸造法生长氧化镓单晶的方法及包含氧化镓单晶的半导体器件 | |
JP2018193275A (ja) | 高性能・高品質Fe−Ga基合金単結晶基板及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231017 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7394332 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |