JP7379504B2 - 光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュール - Google Patents

光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュール Download PDF

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Description

本発明は、光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュールに関する。
従来、レーザチップが搭載されたTO(Transistor Outline)-Can型の半導体レーザが知られている(特開2004-031900号公報)。
本開示の光素子搭載用パッケージは、凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、前記傾斜面は、凸曲面である。
本開示のもう一つの態様の光素子搭載用パッケージは、凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、前記第1部位を含む前記内側面は、前記凹部の中央に向かって突出した突出部を有し、該突出部における頂部は、前記第1部位よりも前記凹部の開口側に位置する。
本開示のもう一つの態様の光素子搭載用パッケージは、凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、前記第1部位と前記凹部の底面との間に窪み部を有する。
本開示の電子装置は、上記の光素子搭載用パッケージと、前記搭載部に搭載されたレーザダイオードと、を備える。
本開示の電子モジュールは、上記の電子装置と、前記電子装置を搭載したモジュール用基板と、を備える。
本開示の一実施形態に係る電子装置を示す分解斜視図である。 本開示の一実施形態に係る電子装置を示す縦断面図である。 図2の一部の詳細を示す図である 本開示の一実施形態に係る電子モジュールを示す縦断面図である。
以下、本開示の各実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本開示の一実施形態に係る電子装置を示す分解斜視図である。図2は、本実施形態に係る電子装置を示す縦断面図である。図3は、図2の一部の詳細を示す図である(但し、ボンディングワイヤを図示略)。以下では、基体2の第1面Suの側を上方、第2面Sbの側を下方として各方向の説明を行うが、説明中の各方向は電子装置10が使用される際の方向と一致している必要はない。
本実施形態に係る電子装置10は、第1面Su、第2面Sb及び第1面Suに開口した凹部3を有する基体2と、凹部3内に搭載される光素子11及び光学部品8と、凹部3の開口を閉鎖する蓋体9とを備える。蓋体9は、光を透過する材料(ガラス又は樹脂)から構成され、基体2の第1面Suに接合材を介して接合される。電子装置10から蓋体9、光素子11等を除いた構成が、光素子搭載用パッケージに相当する。
基体2は、主に絶縁材料から構成された基体上部2Aと、金属から構成された基体下部2Bと、を有する。基体上部2Aには、上下方向に貫通する貫通孔3aが設けられている。基体下部2Bには、貫通孔3aと連通する凹部3bが設けられている。基体上部2Aと基体下部2Bとは接合され、接合されたときに凹部3bと貫通孔3aとが連通し、上方に開口した凹部3が構成される。
基体上部2Aの基本的な形状部分は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス)、窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体又はガラスセラミックス焼結体等のセラミックス材料により構成される。上記の部分は、例えば焼結前のセラミックス材料であるセラミックグリーンシートを、打ち抜き加工又は金型加工などにより所定形状に成形し、焼結することで製造できる。基体上部2Aには、さらに、外部電極D1,D2と、内部電極D3,D4(図1、図2)と、外部電極D1,D2と内部電極D3,D4とを接続する内部に通された配線導体とが含まれる。上記の導体は、焼結前にセラミックグリーンシートの所定位置に導体ペーストを塗布又は充填し、セラミックグリーンシートと一緒に焼結することで形成することができる。なお、基体上部2Aの側面における角部の切欠きは無くてもよい。
基体下部2Bは、例えば銅、アルミなどの熱伝導性の高い金属材料から構成され、例えばプレス成形等により形成することができる。基体下部2Bの凹部3bには、光素子11がサブマウント12を介して搭載される第1搭載部4と、光学部品8が搭載される第2搭載部5とが含まれる。第1搭載部4は、例えば水平方向に拡がる平面状の面である。平面状とは、厳密な平面、並びに、小さな凹凸を無視すれば平面と見なせる面を含む概念である。第2搭載部5は、水平方向に対して傾斜した平面状の面である。第2搭載部5は、第1搭載部4から離れるほど上方に位置する方向に傾斜している。
光素子11は、例えばレーザダイオード(半導体レーザ)である。光素子11は、指向性を有する発光素子であればよい。光素子11はサブマウント12の上面の搭載領域6に接合材を介して接合され、サブマウント12が第1搭載部4の上面に接合材7を介して接合されている。光素子11の光の出射方向は、サブマウント12の上面に沿った方向(例えば水平方向)で、第2搭載部5の方を向く。光素子11の光軸を図3中にLAで示す。光素子11は、ボンディングワイヤW1、W2及びサブマウント12の配線導体を介して基体上部2Aの凹部3内の内部電極D3,D4と電気的に接続される。内部電極D3,D4は、凹部3外の外部電極D1,D2と、配線導体を介して接続されており、外部電極D1,D2を介して電力が入力されることで光素子11が駆動する。
光学部品8は、平板ミラーであり、光素子11から入射された光を、上方に反射する。反射された光は、蓋体9を介して電子装置10の上方へ出射される。
例えば、以上説明したように第2搭載部5に光学部品8が搭載されることで、凹部3(3b)内に光素子11の光の照射方向の先に位置する反射部が備えられる。また、凹部3(3b)の底面32に光素子11の第1搭載部4が備えられる。第1搭載部4の上にサブマウント12を有する。サブマウント12は、光素子11の搭載領域6を反射部(8)側に有する。
光素子11のレーザダイオード(半導体レーザ)としての特性により、図3に示すように光素子11から当該光素子11の光軸LAの後方への漏れ光LMが生じることがある。
しかし、以下に示す構造により、漏れ光LMが外部に放出されることを抑える。
図3に示すように凹部3(3b)の内側面30が光素子11の光の照射方向の逆方向に位置する。上記の内側面30の一部である第1部位31が凹部3(3b)の底面32に向かって傾斜面を有する。
したがって、漏れ光LMは、第1部位31で底面32側に進行するように反射する。そのため、漏れ光LMを凹部3の開口側(蓋体9側)へ反射することは抑えられ、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減されて、電子装置10の光学的品質を良好に保持することができる。
図3に示すように第1部位31の有する傾斜面は凸曲面である。そのため、第1部位31で反射した漏れ光LMは、拡散されて光強度は弱まるから、2次的な反射により漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
また図3に示すように第1部位31を含む内側面30は、凹部3(3b)の中央に向かって突出した突出部を有する。突出部における頂部33は、第1部位31よりも凹部3(3b)の開口側(蓋体9側)に位置する。そのため、頂部33より下の狭所に漏れ光LMを閉じ込めやすく、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
また図3に示すように第1部位31を含む内側面30は、第1部位31と凹部3(3b)の底面32との間に窪み部34を有する。窪み部34の底部34aは、第1部位31と凹部3の底面32との間にある。そのため、第1部位31より下の狭所が側方へ奥深くなり、漏れ光LMを閉じ込め、反射の繰り返しにより減衰させやすい。その結果、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
また図3に示すように光素子搭載用パッケージは、第1搭載部4の上にサブマウント12を有する。第1部位31で底面32側に進行するように反射する漏れ光LMがサブマウント12に当たりやすい。その結果、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
また図3に示すようにサブマウント12は、光素子11の搭載領域6を反射部側に有する。光素子11の搭載領域6は、サブマウント12の第1部位31に対向する後端12aより、反射部側に距離L1離れて位置しており、漏れ光LMがサブマウント12に当たりやすい。基体下部2Bの内側面30(銅、アルミ表面又は銅、アルミ表面の上の金メッキ等)より反射率の低いサブマウント12の絶縁材料(セラミックス等)に漏れ光LMが当たり減衰しやすい。その結果、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
また図3に示すようにサブマウント12を凹部3の底面32に接合する接合材7の一部は、サブマウント12より第1部位31側に位置する。そのため、第1部位31で反射した後の漏れ光LMがサブマウント12の後端12aより突出した接合材7に当たりやすくなる。基体下部2Bの内側面30(銅、アルミ表面又は銅、アルミ表面の上の金メッキ等)より反射率の低い接合材7(半田材料等)に漏れ光LMが当たり減衰しやすい。その結果、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減される。
以上説明したように本実施形態によれば、漏れ光LMが電子装置10の外部へ放出されることが低減されて、電子装置10の光学的品質を良好に保持することができる。
<電子モジュール>
図4は、本開示の実施形態に係る電子モジュールを示す縦断面図である。
本開示の実施形態に係る電子モジュール100は、モジュール用基板110に電子装置10を実装して構成される。モジュール用基板110には、電子装置10に加えて、他の電子装置、電子素子及び電気素子などが実装されていてもよい。モジュール用基板110には、電極パッド111、112が設けられ、電子装置10は、電極パッド111に半田等の接合材113を介して接合されている。また、電子装置10の外部電極D1、D2が、モジュール用基板110の2つの電極パッド112のそれぞれとボンディングワイヤW11、W12を介して接続され、上記を介してモジュール用基板110から電子装置10へ信号が出力されるように構成されてもよい。
以上のように、本実施形態に係る電子モジュール100によれば、電子装置10により、要求に応じたビーム特性を有する光を、少ない部品スペースにおいて出射させることができる。
以上、本開示の各実施形態について説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限られるものでない。例えば、基体又は光学部品の各部の素材、形状、大きさなど、実施形態及び図面に示された細部は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
本開示は、光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュールに利用することができる。
2 基体
2A 基体上部
2B 基体下部
3 凹部
3a 貫通孔
3b 凹部
6 搭載領域
7 接合材
8 光学部品
9 蓋体
10 電子装置
11 光素子
12 サブマウント
30 内側面
31 後方部
32 底面
33 頂部
34 窪み部
34a 窪み部の底部
100 電子モジュール
110 モジュール用基板
L1 距離
LA 光軸
LM 漏れ光

Claims (8)

  1. 凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、
    前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、
    前記傾斜面は、凸曲面である、光素子搭載用パッケージ。
  2. 凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、
    前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、
    前記第1部位を含む前記内側面は、前記凹部の中央に向かって突出した突出部を有し、
    該突出部における頂部は、前記第1部位よりも前記凹部の開口側に位置する、光素子搭載用パッケージ。
  3. 凹部を有し、該凹部の底面にレーザダイオードの搭載部および前記凹部内に前記レーザダイオードの光の照射方向の先に位置する反射部を備え、
    前記凹部は、前記照射方向の逆方向に位置する内側面の一部である第1部位が、前記凹部の底面に向かって傾斜面を有し、
    前記第1部位と前記凹部の底面との間に窪み部を有する、光素子搭載用パッケージ。
  4. 前記搭載部の上にサブマウントを有する、請求項1から請求項のうちいずれか一項に記載の光素子搭載用パッケージ。
  5. 前記サブマウントは、前記レーザダイオードの搭載領域を前記反射部側に有する、請求項に記載の光素子搭載用パッケージ。
  6. 前記サブマウントを前記凹部の底面に接合する接合材の一部は、前記サブマウントより、前記第1部位側に位置する、請求項又は請求項に記載の光素子搭載用パッケージ。
  7. 請求項1から請求項のいずれか一項に記載の光素子搭載用パッケージと、
    前記搭載部上に搭載されたレーザダイオードと、
    を備える電子装置。
  8. 請求項記載の電子装置と、
    前記電子装置を搭載したモジュール用基板と、
    を備える電子モジュール。

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