JPH0936490A - 光電子装置 - Google Patents
光電子装置Info
- Publication number
- JPH0936490A JPH0936490A JP7186736A JP18673695A JPH0936490A JP H0936490 A JPH0936490 A JP H0936490A JP 7186736 A JP7186736 A JP 7186736A JP 18673695 A JP18673695 A JP 18673695A JP H0936490 A JPH0936490 A JP H0936490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected
- optoelectronic device
- laser diode
- receiving element
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確なモニターが達成できる光電子装置の提
供。光出力の変動の少ない光電子装置の提供。 【構成】 サブマウントと、前記サブマウントの主面に
固定されるレーザダイオードと、前記サブマウントの主
面表層部分に形成され前記レーザダイオードの後方出射
光を検出する受光素子と、前記サブマウント,レーザダ
イオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有する光電子
装置であって、前記後方出射光が反射する透明樹脂面は
前記透明樹脂面で反射した反射光が前記受光素子面に進
むような傾斜面となっている。また、同光電子装置にお
いて、前記後方出射光が反射する透明樹脂面は前記透明
樹脂面で反射して前方出射光側に進むことのないような
傾斜面となっている。
供。光出力の変動の少ない光電子装置の提供。 【構成】 サブマウントと、前記サブマウントの主面に
固定されるレーザダイオードと、前記サブマウントの主
面表層部分に形成され前記レーザダイオードの後方出射
光を検出する受光素子と、前記サブマウント,レーザダ
イオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有する光電子
装置であって、前記後方出射光が反射する透明樹脂面は
前記透明樹脂面で反射した反射光が前記受光素子面に進
むような傾斜面となっている。また、同光電子装置にお
いて、前記後方出射光が反射する透明樹脂面は前記透明
樹脂面で反射して前方出射光側に進むことのないような
傾斜面となっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光電子装置、特に透明樹
脂で被覆され、後方出射光を検出する受光素子がサブマ
ウントにモノリシックに形成された光電子装置に適用し
て有効な技術に関する。
脂で被覆され、後方出射光を検出する受光素子がサブマ
ウントにモノリシックに形成された光電子装置に適用し
て有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】光電子装置の使用形態として、レーザダ
イオードの後方出射光をモニタ用受光素子(ホトダイオ
ード;PD)で検出し、共振器の前端から出射される前
方出射光の光強度を制御する方法、いわゆるAPC(オ
ート・パワー・コントロール)制御が知られている。
イオードの後方出射光をモニタ用受光素子(ホトダイオ
ード;PD)で検出し、共振器の前端から出射される前
方出射光の光強度を制御する方法、いわゆるAPC(オ
ート・パワー・コントロール)制御が知られている。
【0003】また、レーザ・ビーム・プリンターの発光
源として、透明樹脂に被覆された光電子装置(半導体レ
ーザ装置)が使用されている。レーザダイオード(レー
ザダイオードチップ)はシリコンからなるサブマウント
に搭載され、前方出射光がレーザ・ビーム・プリンター
の発光源として使用される。また、後方出射光は、前記
サブマウントの表層部分に形成されたモニター用受光素
子で検出され、前方出射光の光強度が制御される。
源として、透明樹脂に被覆された光電子装置(半導体レ
ーザ装置)が使用されている。レーザダイオード(レー
ザダイオードチップ)はシリコンからなるサブマウント
に搭載され、前方出射光がレーザ・ビーム・プリンター
の発光源として使用される。また、後方出射光は、前記
サブマウントの表層部分に形成されたモニター用受光素
子で検出され、前方出射光の光強度が制御される。
【0004】レーザダイオード(レーザダイオードチッ
プ)およびホトダイオード等を透明樹脂で被覆した構造
については、たとえば、富士電機株式会社発売「モール
ドタイプLD」が知られている。
プ)およびホトダイオード等を透明樹脂で被覆した構造
については、たとえば、富士電機株式会社発売「モール
ドタイプLD」が知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】透明樹脂でレーザダイ
オード(レーザダイオードチップ)を覆い、レーザダイ
オードの後方出射光をホトダイオードでモニターする構
造の光電子装置では、モニター電流が小さくAPC動作
がし難いという問題があることが本発明者によってあき
らかにされた。
オード(レーザダイオードチップ)を覆い、レーザダイ
オードの後方出射光をホトダイオードでモニターする構
造の光電子装置では、モニター電流が小さくAPC動作
がし難いという問題があることが本発明者によってあき
らかにされた。
【0006】ホトダイオードは、レーザダイオードの後
方出射面から出射した光出力を検出してそれに基づいて
レーザダイオードの電流を制御して前方出射光の光出力
の強度を制御するためのものである。
方出射面から出射した光出力を検出してそれに基づいて
レーザダイオードの電流を制御して前方出射光の光出力
の強度を制御するためのものである。
【0007】前記モニター用のホトダイオードは、レー
ザダイオードチップを固定するサブマウントの主面に形
成されているため、ホトダイオード上を通過するレーザ
光の量(光量)が多い、このため、モニター電流が小さ
くなり、正確な光検出が出来難い。
ザダイオードチップを固定するサブマウントの主面に形
成されているため、ホトダイオード上を通過するレーザ
光の量(光量)が多い、このため、モニター電流が小さ
くなり、正確な光検出が出来難い。
【0008】また、後方出射光が当たる透明樹脂の面
(後方面)は、レーザダイオードチップの共振器の延長
線に直交する方向に延在している。このため、後方出射
光は前記後方面で反射して、前方出射光側に進み、レー
ザダイオードのノイズ発生を引き起こす原因となる。
(後方面)は、レーザダイオードチップの共振器の延長
線に直交する方向に延在している。このため、後方出射
光は前記後方面で反射して、前方出射光側に進み、レー
ザダイオードのノイズ発生を引き起こす原因となる。
【0009】本発明の目的は、正確なモニターが達成で
きる光電子装置を提供することにある。
きる光電子装置を提供することにある。
【0010】本発明の他の目的は、光出力の変動の少な
い光電子装置を提供することにある。
い光電子装置を提供することにある。
【0011】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
【0012】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0013】(1)サブマウントと、前記サブマウント
の主面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウ
ントの主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの
後方出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,
レーザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有す
る光電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明
樹脂面は前記透明樹脂面で反射した反射光が前記受光素
子面に進むような面、たとえば傾斜面となっている。
の主面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウ
ントの主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの
後方出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,
レーザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有す
る光電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明
樹脂面は前記透明樹脂面で反射した反射光が前記受光素
子面に進むような面、たとえば傾斜面となっている。
【0014】(2)サブマウントと、前記サブマウント
の主面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウ
ントの主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの
後方出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,
レーザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有す
る光電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明
樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前方出射光側に進む
ことのないような面となっていることを特徴とする光電
子装置。
の主面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウ
ントの主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの
後方出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,
レーザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有す
る光電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明
樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前方出射光側に進む
ことのないような面となっていることを特徴とする光電
子装置。
【0015】(3)前記手段(1)および手段(2)に
おいて、後方出射光が当たる面は多面となっている。
おいて、後方出射光が当たる面は多面となっている。
【0016】(4)前記手段(1)および手段(2)に
おいて、後方出射光が当たる面は曲面となっている。
おいて、後方出射光が当たる面は曲面となっている。
【0017】
【作用】前記(1)の手段によれば、前記後方出射光が
反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前記受
光素子面に進むような傾斜面となっていることから、後
方出射光の多くが受光素子面に到達しモニター電流が大
きくなり、正確なモニターが達成できる。
反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前記受
光素子面に進むような傾斜面となっていることから、後
方出射光の多くが受光素子面に到達しモニター電流が大
きくなり、正確なモニターが達成できる。
【0018】前記(2)の手段によれば、前記後方出射
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
方出射光側に進むことのないような傾斜面となっている
ことから、光出力の変動が小さくなり、安定した動作を
する光電子装置を提供することができる。
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
方出射光側に進むことのないような傾斜面となっている
ことから、光出力の変動が小さくなり、安定した動作を
する光電子装置を提供することができる。
【0019】前記(3)の手段によれば、前記後方出射
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
記受光素子面に進むような多面となっていることから、
モニター電流が大きくなり正確なモニターが達成でき
る。また、前記多面によって、前記後方出射光が反射し
て前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動が
小さい安定動作可能な光電子装置を提供することができ
る。
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
記受光素子面に進むような多面となっていることから、
モニター電流が大きくなり正確なモニターが達成でき
る。また、前記多面によって、前記後方出射光が反射し
て前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動が
小さい安定動作可能な光電子装置を提供することができ
る。
【0020】前記(4)の手段によれば、前記後方出射
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
記受光素子面に進むような曲面となっていることから、
モニター電流が大きくなり正確なモニターが達成でき
る。また、前記曲面によって、前記後方出射光が反射し
て前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動が
小さい安定動作可能な光電子装置を提供することができ
る。
光が反射する透明樹脂面は前記透明樹脂面で反射して前
記受光素子面に進むような曲面となっていることから、
モニター電流が大きくなり正確なモニターが達成でき
る。また、前記曲面によって、前記後方出射光が反射し
て前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動が
小さい安定動作可能な光電子装置を提供することができ
る。
【0021】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【0022】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【0023】
(実施例1)図1は、本発明の一実施例(実施例1)で
ある光電子装置の要部の構成断面図、図2は本実施例1
の全体を示す透視斜視図である。
ある光電子装置の要部の構成断面図、図2は本実施例1
の全体を示す透視斜視図である。
【0024】図1および図2に示すように、本実施例1
の光電子装置1は、外観的には矩形体状の透明樹脂から
なるパッケージ2と、前記パッケージ2の1面から突出
する3本のリード3,4,5とからなっている。
の光電子装置1は、外観的には矩形体状の透明樹脂から
なるパッケージ2と、前記パッケージ2の1面から突出
する3本のリード3,4,5とからなっている。
【0025】3本のリード3,4,5のうち、中央のリ
ード4は幅が広くなっている。この幅広のリード4のパ
ッケージ2内に入る内端部分には、シリコンからなるサ
ブマウント6が固定されている。このサブマウント6
は、たとえば、n導電型となり、内端側主面には、レー
ザダイオード(レーザダイオードチップ)7が導電性接
着剤8を介して固定されている。
ード4は幅が広くなっている。この幅広のリード4のパ
ッケージ2内に入る内端部分には、シリコンからなるサ
ブマウント6が固定されている。このサブマウント6
は、たとえば、n導電型となり、内端側主面には、レー
ザダイオード(レーザダイオードチップ)7が導電性接
着剤8を介して固定されている。
【0026】図1および図2において点線で示す部分が
レーザ光10を発光する共振器11である。レーザダイ
オードチップ7の上面には、図示はしないがp型電極が
形成されている。そして、このp型電極と横の細いリー
ド5とが、導電性のワイヤ12によって電気的に接続さ
れている。
レーザ光10を発光する共振器11である。レーザダイ
オードチップ7の上面には、図示はしないがp型電極が
形成されている。そして、このp型電極と横の細いリー
ド5とが、導電性のワイヤ12によって電気的に接続さ
れている。
【0027】レーザダイオードチップ7は、前方出射面
15および後方出射面16からレーザ光10(前方出射
光17,後方出射光18)を出射する。
15および後方出射面16からレーザ光10(前方出射
光17,後方出射光18)を出射する。
【0028】一方、前記サブマウント6の主面の表層部
分には、図1に示すように、p型領域20が形成され、
pn接合による受光素子21が形成されている。また、
図2に示すように、p型領域20にのみ導通する電極2
2とリード3は導電性のワイヤ23によって接続されて
いる。したがって、前記リード4とリード5間に所定の
電圧を印加すると、レーザダイオード7の共振器11の
両端からレーザ光10(前方出射光17,後方出射光1
8)を発光する。そして、リード3とリード4間に前記
後方出射光18に起因して電流(モニター電流)が流れ
る。
分には、図1に示すように、p型領域20が形成され、
pn接合による受光素子21が形成されている。また、
図2に示すように、p型領域20にのみ導通する電極2
2とリード3は導電性のワイヤ23によって接続されて
いる。したがって、前記リード4とリード5間に所定の
電圧を印加すると、レーザダイオード7の共振器11の
両端からレーザ光10(前方出射光17,後方出射光1
8)を発光する。そして、リード3とリード4間に前記
後方出射光18に起因して電流(モニター電流)が流れ
る。
【0029】他方、これが本発明の特徴の一つである
が、前記後方出射光18が直接あるいは受光素子21の
表面で反射した光をも含めて到達するパッケージ2の面
は、透明樹脂面からなる傾斜面25となっている。換言
するならば、前記レーザダイオード7の共振器11の延
長線に直交する後方面24は途中から傾斜面25とな
る。
が、前記後方出射光18が直接あるいは受光素子21の
表面で反射した光をも含めて到達するパッケージ2の面
は、透明樹脂面からなる傾斜面25となっている。換言
するならば、前記レーザダイオード7の共振器11の延
長線に直交する後方面24は途中から傾斜面25とな
る。
【0030】後方出射光18は前記傾斜面25で反射す
るが、傾斜面25の角度によって反射光26のその多く
が、前記受光素子21の表面(受光面等)に戻るように
なっている。このため、モニター電流が大きくなり、モ
ニターが容易となる。また、レーザダイオード7から出
射する前方出射光17の光出力の制御も正確となる。
るが、傾斜面25の角度によって反射光26のその多く
が、前記受光素子21の表面(受光面等)に戻るように
なっている。このため、モニター電流が大きくなり、モ
ニターが容易となる。また、レーザダイオード7から出
射する前方出射光17の光出力の制御も正確となる。
【0031】また、前記反射光26は、傾斜面25の傾
斜角度を選択し、前方出射光側に進むことのないように
なっていることから、光出力の変動が小さくなる。した
がって、光電子装置1は安定した動作をすることにな
る。
斜角度を選択し、前方出射光側に進むことのないように
なっていることから、光出力の変動が小さくなる。した
がって、光電子装置1は安定した動作をすることにな
る。
【0032】(実施例2)図3は、本発明の他の実施例
(実施例2)である光電子装置の要部の構成断面図であ
る。
(実施例2)である光電子装置の要部の構成断面図であ
る。
【0033】本実施例2の光電子装置1は、前記傾斜面
部分を多面30(たとえば傾斜面30a,30b,30
c)とし、前記反射光26が受光素子21の表面(受光
面等)に向かうようになっている。これによって、モニ
ター電流の増大から正確なモニターが達成できる。ま
た、前記多面30によって、前記後方出射光18が反射
して前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動
が小さい安定動作可能な光電子装置1を提供することが
できる。
部分を多面30(たとえば傾斜面30a,30b,30
c)とし、前記反射光26が受光素子21の表面(受光
面等)に向かうようになっている。これによって、モニ
ター電流の増大から正確なモニターが達成できる。ま
た、前記多面30によって、前記後方出射光18が反射
して前方出射光側に進むことがないため、光出力の変動
が小さい安定動作可能な光電子装置1を提供することが
できる。
【0034】なお、前記多面30は帯状以外のものであ
っても前記実施例同様な効果が得られる。
っても前記実施例同様な効果が得られる。
【0035】(実施例3)図4は、本発明の他の実施例
(実施例3)である光電子装置の要部の構成断面図であ
る。
(実施例3)である光電子装置の要部の構成断面図であ
る。
【0036】本実施例3の光電子装置1は、前記後方出
射光18が当たる面を所望の曲率を有する曲面40とし
てある。この結果、後方出射光18は前記曲面40によ
って反射し、その多くの反射光26は、受光素子21の
表面(受光面等)に到達する。したがって、光電子装置
1において、モニター電流が大きくなり正確なモニター
が達成できる。また、前記曲面40によって、前記後方
出射光18が反射して前方出射光側に進むことがないた
め、光出力の変動が小さい安定動作可能な光電子装置1
となる。
射光18が当たる面を所望の曲率を有する曲面40とし
てある。この結果、後方出射光18は前記曲面40によ
って反射し、その多くの反射光26は、受光素子21の
表面(受光面等)に到達する。したがって、光電子装置
1において、モニター電流が大きくなり正確なモニター
が達成できる。また、前記曲面40によって、前記後方
出射光18が反射して前方出射光側に進むことがないた
め、光出力の変動が小さい安定動作可能な光電子装置1
となる。
【0037】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。本発明は少
なくともレーザダイオードとレーザダイオードの後方出
射光をモニターする受光素子とを有するOEICには適
用できる。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。本発明は少
なくともレーザダイオードとレーザダイオードの後方出
射光をモニターする受光素子とを有するOEICには適
用できる。
【0038】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0039】(1)後方出射光が反射する透明樹脂面は
前記透明樹脂面で反射して前記受光素子面に進むような
傾斜面となっていることから、後方出射光の多くが受光
素子面に到達しモニター電流が大きくなり、正確なモニ
ターが達成できる。
前記透明樹脂面で反射して前記受光素子面に進むような
傾斜面となっていることから、後方出射光の多くが受光
素子面に到達しモニター電流が大きくなり、正確なモニ
ターが達成できる。
【0040】(2)後方出射光が反射する透明樹脂面は
前記透明樹脂面で反射して前方出射光側に進むことのな
いような傾斜面となっていることから、光出力の変動が
小さくなり、安定した動作をする光電子装置を提供する
ことができる。
前記透明樹脂面で反射して前方出射光側に進むことのな
いような傾斜面となっていることから、光出力の変動が
小さくなり、安定した動作をする光電子装置を提供する
ことができる。
【図1】本発明の一実施例(実施例1)である光電子装
置の要部の構成断面図である。
置の要部の構成断面図である。
【図2】本実施例1の全体を示す透視斜視図である。
【図3】本実施例本発明の他の実施例(実施例2)であ
る光電子装置の要部の構成断面図である。
る光電子装置の要部の構成断面図である。
【図4】本実施例本発明の他の実施例(実施例3)であ
る光電子装置の要部の構成断面図である。
る光電子装置の要部の構成断面図である。
1…光電子装置、2…パッケージ、3,4,5…リー
ド、6…サブマウント、7…レーザダイオード(レーザ
ダイオード)、8…導電性接着剤、10…レーザ光、1
1…共振器、12…ワイヤ、15…前方出射面、16…
後方出射面、17…前方出射光、18…後方出射光、2
0…p型領域、21…受光素子、22…電極、23…ワ
イヤ、24…後方面、25…傾斜面、26…反射光、3
0…多面、30a,30b,30c…傾斜面、40…曲
面。
ド、6…サブマウント、7…レーザダイオード(レーザ
ダイオード)、8…導電性接着剤、10…レーザ光、1
1…共振器、12…ワイヤ、15…前方出射面、16…
後方出射面、17…前方出射光、18…後方出射光、2
0…p型領域、21…受光素子、22…電極、23…ワ
イヤ、24…後方面、25…傾斜面、26…反射光、3
0…多面、30a,30b,30c…傾斜面、40…曲
面。
Claims (5)
- 【請求項1】 サブマウントと、前記サブマウントの主
面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウント
の主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの後方
出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,レー
ザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有する光
電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明樹脂
面は前記透明樹脂面で反射した反射光が前記受光素子面
に進むような面となっていることを特徴とする請求項1
記載の光電子装置。 - 【請求項2】 サブマウントと、前記サブマウントの主
面に固定されるレーザダイオードと、前記サブマウント
の主面表層部分に形成され前記レーザダイオードの後方
出射光を検出する受光素子と、前記サブマウント,レー
ザダイオード,受光素子等を覆う透明樹脂とを有する光
電子装置であって、前記後方出射光が反射する透明樹脂
面は前記透明樹脂面で反射して前方出射光側に進むこと
のないような面となっていることを特徴とする光電子装
置。 - 【請求項3】 前記後方出射光が当たる面は傾斜面とな
っていることを特徴とする請求項1または請求項2記載
の光電子装置。 - 【請求項4】 前記後方出射光が当たる面は多面となっ
ていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の
光電子装置。 - 【請求項5】 前記後方出射光が当たる面は曲面となっ
ていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の
光電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7186736A JPH0936490A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 光電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7186736A JPH0936490A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 光電子装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0936490A true JPH0936490A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16193757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7186736A Pending JPH0936490A (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 光電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0936490A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6956883B2 (en) | 2001-07-19 | 2005-10-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor laser device including light receiving element for receiving monitoring laser beam |
WO2021039907A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 京セラ株式会社 | 光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュール |
-
1995
- 1995-07-24 JP JP7186736A patent/JPH0936490A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6956883B2 (en) | 2001-07-19 | 2005-10-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor laser device including light receiving element for receiving monitoring laser beam |
WO2021039907A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 京セラ株式会社 | 光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュール |
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