WO2023033083A1 - 光学装置、光源装置、および光ファイバレーザ - Google Patents

光学装置、光源装置、および光ファイバレーザ Download PDF

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WO2023033083A1
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WO
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optical
light
optical component
optical device
stray light
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PCT/JP2022/032873
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English (en)
French (fr)
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達也 吉崎
真也 中角
尚樹 早水
悠太 石毛
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古河電気工業株式会社
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/063Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
    • H01S3/067Fibre lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres

Definitions

  • the present invention relates to optical devices, light source devices, and optical fiber lasers.
  • one of the objects of the present invention is to obtain an optical device, a light source device, and an optical fiber laser with improved and novel configurations that can suppress the adverse effects of stray light.
  • the optical device of the present invention includes, for example, a base, a light-emitting element provided on the base for outputting laser light, and a light-emitting element provided on the base for transmitting the laser light output from the light-emitting element to an optical fiber.
  • a first optical component included in the plurality of optical components is irradiated with stray light reflected by a plurality of optical components coupled to the optical fiber and a second optical component provided on the base and included in the plurality of optical components. and a shielding part for blocking the light.
  • the second optical component may be positioned in front of the first optical component in the optical path of the laser beam from the light emitting element to the optical fiber.
  • the shielding portion may be shifted from the first optical component in the traveling direction of the laser beam passing through the first optical component.
  • the shielding section may be provided with a gap from the first optical component.
  • the shielding section may have an absorbing section that absorbs the stray light.
  • the optical device may further include a reflecting portion that is offset from the first optical component in a direction opposite to the traveling direction of the laser beam passing through the first optical component and that reflects the stray light in a predetermined direction. good.
  • the reflecting section may be provided with a gap from the first optical component.
  • the reflecting section may have an absorbing section that absorbs the stray light.
  • the optical device includes two first optical components as the first optical components arranged with a gap on the optical path of the laser beam, and the two first optical components positioned in front of the optical path.
  • a wall portion integrally including the reflecting portion for the first optical component and the shielding portion for the first optical component positioned behind the optical path of the two first optical components may be provided. good.
  • the optical device comprises: a first surface provided on the base or an intermediate member fixed to the base; and a bonding material that bonds the component, and the shielding portion may block the stray light directed toward the bonding material.
  • the bonding material may contain an organic material.
  • the shielding portion may include a first protrusion protruding from the first surface.
  • the first surface may include a bottom surface of a recess provided in the base or the intermediate member, and the shielding section may include a first side wall forming a side surface of the recess.
  • the optical device is positioned in a direction opposite to the traveling direction of the laser light passing through the first optical component with respect to the first optical component, and reflects the stray light in a direction away from the bonding material. may be provided.
  • the reflecting section may include a second projection projecting from the first surface.
  • the first surface may include a bottom surface of a recess provided in the base or the intermediate member, and the reflecting section may include a second side wall forming a side surface of the recess.
  • the first surface faces the first direction, and the stray light travels along a virtual plane along the first direction and a second direction perpendicular to the first direction, and the second surface
  • a first reflecting point on the reflecting portion on the first edge of the stray light in a direction opposite to the first direction and in a direction inclined toward the first surface with respect to the direction is on the bonding material.
  • the distance in the second direction of the first reflection point with respect to the bonding material is L1
  • the distance of the first reflection point with respect to the bonding material in the second direction is L1.
  • H1 is the distance in one direction
  • is the inclination angle of the direction of travel of the stray light with respect to the second direction
  • is the elevation angle of the normal direction of the reflecting portion at the first reflection point with respect to the direction opposite to the second direction.
  • the first surface faces the first direction, and the stray light travels along a virtual plane along the first direction and a second direction perpendicular to the first direction, and the second surface
  • the stray light travels in a direction inclined so as to approach the first surface with respect to the direction, and the second reflection point in the reflection portion of the second edge in the first direction of the stray light is directed to the bonding material.
  • the distance in the second direction of the second reflection point with respect to the bonding material is L2
  • the distance in the first direction of the second reflection point with respect to the bonding material is
  • the distance in the first direction of the second reflection point with respect to the bonding material is
  • the reflecting section travels in a direction between a direction opposite to a third direction, which is the traveling direction of the laser light in the first optical component, and a fourth direction orthogonal to the third direction. reflecting the stray light in a direction between the third direction and a direction opposite to the fourth direction, wherein the first optical component is an end opposite to the fourth direction facing the reflector
  • the distance from the third reflection point of the edge of the stray light in the fourth direction in the reflecting section to the end point L3 is the distance in the third direction
  • W is the distance from the third reflection point to the end point in the direction opposite to the fourth direction
  • the inclination of the stray light toward the reflecting portion to the direction opposite to the third direction When the angle is ⁇ w, and the inclination angle of the normal direction of the reflecting portion at the third reflection point with respect to the third direction is ⁇ , the following equation (3) W>L3 ⁇ tan(2 ⁇
  • the optical device may include the intermediate member, and the thermal expansion coefficient of the intermediate member may be a value between the thermal expansion coefficient of the base and the thermal expansion coefficient of the bonding material.
  • the optical device of the present invention includes, for example, a base, a light-emitting element provided on the base for outputting laser light, and a light-emitting element provided on the base for transmitting the laser light output from the light-emitting element to an optical fiber.
  • a plurality of optical components to be coupled to the optical fiber and a first optical component included in the plurality of optical components are shifted in a direction opposite to the traveling direction of the laser light passing through the first optical component, and a reflecting section that reflects stray light reflected by a second optical component included in the plurality of optical components in a direction away from the first optical component.
  • the optical device of the present invention includes, for example, a plurality of optical components for transmitting a laser beam to an optical fiber and coupling to the optical fiber, and a second optical component included in the plurality of optical components. and a shielding portion that blocks irradiation of the first optical component included in the component.
  • the light source device of the present invention includes, for example, the optical device.
  • the optical fiber laser of the present invention includes, for example, the light source device and an optical amplification fiber that amplifies laser light output from the light source device.
  • an optical device for example, it is possible to obtain an optical device, a light source device, and an optical fiber laser with improved and novel configurations capable of suppressing adverse effects of stray light.
  • FIG. 1 is an exemplary and schematic plan view of the optical device of the first embodiment.
  • FIG. 2 is an exemplary schematic perspective view of a base included in the optical device of the first embodiment.
  • FIG. 3 is an exemplary schematic side view of subunits included in the optical device of the first embodiment.
  • FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram showing conditions under which reflected light from a stray light reflecting portion does not hit the bonding material in the optical device of the first embodiment.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram showing conditions under which reflected light from a stray light reflecting portion does not hit the bonding material in the optical device of the second embodiment.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram showing conditions under which reflected light from a stray light reflecting portion does not hit the first optical component in the optical device of the third embodiment.
  • FIG. 9 is an exemplary and schematic perspective view of part of the optical device of the fourth embodiment.
  • FIG. 10 is an exemplary configuration diagram of the light source device of the embodiment.
  • FIG. 11 is an exemplary configuration diagram of the optical fiber laser of the embodiment.
  • FIG. 12 is an exemplary schematic side view of a subunit of a modification of the embodiment;
  • the X1 direction is indicated by an arrow X1
  • the X2 direction is indicated by an arrow X2
  • the Y direction is indicated by an arrow Y
  • the Z direction is indicated by an arrow Z.
  • the X1 direction, Y direction, and Z direction cross each other and are orthogonal to each other. Also, the X1 direction and the X2 direction are opposite to each other.
  • the optical path of the laser light L is indicated by a solid-line arrow.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the optical device 100A (100) of the first embodiment, and is a plan view of the inside of the optical device 100A viewed in the opposite direction of the Z direction.
  • the optical device 100A includes a base 101, a plurality of subunits 100a, a light combiner 108, condenser lenses 104 and 105, and an optical fiber 107.
  • the laser light output from the light emitting module 10A of each subunit 100a passes through the mirror 103, the light combiner 108, and the condensing lenses 104 and 105 of each subunit 100a to the end of the optical fiber 107 (not shown). transmitted and optically coupled to optical fiber 107 .
  • the optical device 100A can also be called a light emitting device.
  • the base 101 is made of a material with high thermal conductivity, such as a copper-based material or an aluminum-based material.
  • the base 101 may be composed of one component, or may be composed of a plurality of components.
  • the base 101 is covered with a cover (not shown).
  • the plurality of subunits 100a, the plurality of mirrors 103, the light combiner 108, the condensing lenses 104 and 105, and the ends of the optical fibers 107 are all provided on the base 101 and formed between the base 101 and the cover. It is housed in a storage chamber (not shown).
  • the storage chamber is hermetically sealed.
  • the optical fiber 107 is an output optical fiber and is fixed to the base 101 via a fiber support portion 106a that supports the end portion thereof.
  • the fiber support portion 106a may be configured integrally with the base 101 as a part of the base 101, or the fiber support portion 106a configured as a separate member from the base 101 may be attached to a fixture such as a screw. may be attached to the base 101 via the
  • Each subunit 100a has a light emitting module 10A that outputs laser light, a plurality of lenses 41A to 43A, and a mirror 103.
  • Lens 42A collimates the laser light in the fast axis and lens 42B collimates the laser light in the slow axis.
  • Lenses 41A-43A and mirror 103 are examples of optical components.
  • the optical device 100A also includes two arrays A1 and A2 in which a plurality of subunits 100a are arranged in the Y direction at predetermined intervals.
  • the light emitting module 10A outputs laser light in the X1 direction
  • the lenses 41A to 43A transmit the laser light from the light emitting module 10A in the X1 direction
  • the mirror 103 reflect the laser beam traveling in the X1 direction in the Y direction.
  • the light emitting module 10A outputs laser light in the X2 direction
  • the lenses 41A to 43A transmit the laser light from the light emitting module 10A in the X2 direction
  • the mirror 103 reflect the laser light traveling in the X2 direction in the Y direction.
  • the subunit 100a1 of the array A1 and the subunit 100a2 of the array A2 are arranged in the X1 direction (X2 direction).
  • a shielding portion 101c for shielding stray light (leakage light) is provided between the subunit 100a1 and the subunit 100a2.
  • FIG. 2 is a perspective view of the base 101.
  • the surface 101b of the base 101 is provided with a plurality of steps 101b1 that shift the position of the subunit 100a in the opposite direction of the Z direction toward the Y direction.
  • steps 101b1 that shift the position of the subunit 100a in the opposite direction of the Z direction toward the Y direction.
  • subunits 100a are arranged on respective steps 101b1.
  • the Z-direction position of the subunits 100a included in the array A1 shifts in the opposite direction to the Z-direction along the Y-direction
  • the Z-direction positions of the subunits 100a included in the array A2 also shift in the Y-direction. It shifts in the direction opposite to the Z direction as it goes.
  • the step 101b1 is shifted in the Y direction with respect to the Z direction or in a direction slanted in the direction opposite to the Y direction, so that the laser light travels from each mirror 103 in a direction having a predetermined elevation angle with respect to the Y direction.
  • the laser light from each mirror 103 is input to the light combiner 108 and combined in the light combiner 108 .
  • the light combiner 108 has a combiner 108a, a mirror 108b, and a half-wave plate 108c.
  • Combiner 108a, mirror 108b, and half-wave plate 108c are examples of optical components.
  • the mirror 108b directs the laser light from the subunit 100a of the array A1 to the combiner 108a via the half-wave plate 108c.
  • Half-wave plate 108c rotates the plane of polarization of light from array A1.
  • the laser light from subunit 100a of array A2 is directly input to combiner 108a.
  • a combiner 108a combines the laser beams from the two arrays A1 and A2.
  • Combiner 108a may also be referred to as a polarization combining element.
  • the laser light from the combiner 108a is condensed toward the end (not shown) of the optical fiber 107 by condensing lenses 104 and 105, optically coupled with the optical fiber 107, and transmitted through the optical fiber 107.
  • Condensing lenses 104 and 105 are examples of optical components.
  • the base 101 is provided with a coolant passage 109 for cooling the subunit 100a (light emitting module 10A), the fiber support portion 106a, the condensing lenses 104 and 105, the combiner 108a, and the like.
  • a coolant such as a cooling liquid, for example, flows through the coolant passage 109 .
  • the coolant passage 109 passes, for example, near, for example, directly under or in the vicinity of the mounting surface of each component of the base 101, and the inner surface of the coolant passage 109 and the coolant (not shown) in the coolant passage 109 pass through the components and portions to be cooled.
  • the subunit 100a (light emitting module 10A), the fiber support portion 106a, the condensing lenses 104 and 105, the combiner 108a, and the like. Heat is exchanged between the coolant and the parts or parts via the base 101 to cool the parts.
  • the inlet 109a and the outlet 109b of the coolant passage 109 are provided at opposite ends of the base 101 in the Y direction as an example, but may be provided at other positions.
  • FIG. 3 is a side view showing the configuration of subunit 100a1 (100a) of array A1.
  • the subunit 100a2 of the array A2 has the same configuration as the subunit 100a1, although the arrangement of the optical components and the direction of transmission of the laser light are opposite to those of the subunit 100a1.
  • the light-emitting module 10A has a chip-on-submount 30 and a case 20 that accommodates the chip-on-submount 30 .
  • the light emitting module 10A is drawn in a state in which the inside of the case 20 is seen through.
  • the case 20 is a rectangular parallelepiped box and accommodates the chip-on submount 30 .
  • the case 20 has a wall member 21 and a window member 22 .
  • the wall member 21 is made of, for example, a metal material.
  • the case 20 also has a base 21a.
  • the base 21a has a plate-like shape that intersects the Z direction.
  • the base 21a is, for example, part of the wall member 21 (bottom wall).
  • the base 21a is made of a metal material with high thermal conductivity, such as oxygen-free copper. Oxygen-free copper is an example of a copper-based material. Note that the base 21 a may be provided separately from the wall member 21 .
  • An opening 21b is provided at the end of the wall member 21 in the X1 direction.
  • a window member 22 that transmits the laser light L is attached to the opening 21b.
  • the window member 22 intersects and is orthogonal to the X1 direction.
  • Laser light L emitted from the chip-on-submount 30 in the X1 direction passes through the window member 22 and exits the light emitting module 10A.
  • Laser light L is output in the X1 direction from the light emitting module 10A.
  • the boundary portions of the plurality of members (not shown) forming the wall member 21 (case 20) and the boundary portion between the wall member 21 and the window member 22 are sealed so that gas cannot pass through. That is, the case 20 is hermetically sealed. Note that the window member 22 is also part of the wall member 21 .
  • the chip-on-submount 30 has a submount 31 and a light emitting element 32 .
  • the chip-on-submount 30 can also be called a semiconductor laser module.
  • the submount 31 has, for example, a plate-like shape that intersects and is orthogonal to the Z direction.
  • Submount 31 may be made of an insulating material with relatively high thermal conductivity, such as aluminum nitride, ceramic, or glass, for example.
  • a metallized layer 31 a is formed on the submount 31 as an electrode for supplying power to the light emitting element 32 .
  • the submount 31 is mounted on the base 21a.
  • the light emitting element 32 is mounted on the top surface of the submount 31 . That is, the light emitting element 32 is mounted on the base 21 a via the submount 31 and mounted on the base 101 via the submount 31 and the case 20 .
  • the light emitting element 32 is, for example, a semiconductor laser element having a fast axis (FA) and a slow axis (SA).
  • the light emitting element 32 has an elongated shape extending in the X1 direction.
  • the light emitting element 32 outputs laser light L in the X1 direction from an emission opening (not shown) provided at the end in the X1 direction.
  • the chip-on-submount 30 is mounted such that the fast axis of the light emitting element 32 is along the Z direction and the slow axis is along the Y direction.
  • the Z direction is an example of a fast axis direction
  • the Y direction is an example of a slow axis direction.
  • the laser light L output from the light emitting element 32 passes through the lens 41A, the lens 42A, and the lens 43A in this order, and is collimated at least in the Z direction and the Y direction.
  • Lens 41A, lens 42A, and lens 43A are all provided outside case 20 .
  • the lens 41A, the lens 42A, and the lens 43A are arranged in this order in the X1 direction.
  • Laser light L output from light emitting element 32 passes through lens 41A, lens 42A, and lens 43A in this order.
  • the optical axis of the laser light L is linear from the light emitting element 32 until it passes through the lens 41A, the lens 42A, and the lens 43A, and the fast axis direction of the laser light L is along the Z direction.
  • the slow axis direction of the laser light L is along the Y direction.
  • the lens 41A is slightly separated from the window member 22 in the X1 direction, or is in contact with the window member 22 in the X1 direction.
  • the laser light L that has passed through the window member 22 is incident on the lens 41A.
  • the lens 41A is a lens having an axially symmetrical shape with respect to the central axis Ax along the optical axis, and is configured as a rotating body around the central axis Ax.
  • the lens 41A is arranged so that the central axis Ax extends along the X1 direction and overlaps the optical axis of the laser light L.
  • the entrance surface 41a and the exit surface 41b of the lens 41A each have a surface of rotation around the central axis Ax extending in the X1 direction.
  • the exit surface 41b is a convex curved surface that is convex in the X1 direction.
  • the exit surface 41b protrudes more than the entrance surface 41a.
  • the lens 41A is a so-called convex lens.
  • the beam width of the laser light L emitted from the lens 41A becomes narrower as it travels in the X1 direction.
  • the beam width is the width of the region in the beam profile of the laser light where the light intensity is equal to or greater than a predetermined value.
  • the predetermined value is, for example, 1/e 2 of the peak light intensity. Since the lens 41A converges the laser beam L in the Z direction, the Y direction, and the direction between the Z direction and the Y direction, the effect of reducing the aberration of the laser beam L is obtained.
  • the lens 42A has a plane-symmetrical shape with respect to the imaginary central plane Vc2 as a plane that intersects and is orthogonal to the Z direction.
  • the entrance surface 42a and the exit surface 42b of the lens 42A have a cylindrical surface that has a generatrix along the Y direction and extends in the Y direction.
  • the incident surface 42a is a convex curved surface that is convex in the direction opposite to the X1 direction.
  • the exit surface 42b is a concave curved surface that is concave in the X1 direction.
  • the lens 42A collimates the laser light L in the Z direction, that is, in the fast axis, with the beam width Wzc in the Z direction being smaller than the beam width Wza in the Z direction at the entrance surface 41a to the lens 41A.
  • the lens 42A is a concave lens in a cross section perpendicular to the Y direction. Lens 42A may also be referred to as a collimating lens.
  • the lens 42A is positioned closer to the lens 41A than the focal point Pcz of the laser light L in the Z direction by the lens 41A. If the lens 42A is positioned farther from the lens 41A than the focal point Pcz in the Z direction, the focal point Pcz in the Z direction appears on the optical path of the laser light L between the lens 41A and the lens 42A. It will be. In this case, there is a possibility that an inconvenience such as accumulation of dust may occur at the converging point Pcz in the Z direction where the energy density is high.
  • the lens 42A is positioned closer to the lens 41A than the focal point Pcz in the Z direction, so the laser light L is collimated by the lens 42A before reaching the focal point Pcz. That is, according to the present embodiment, since the focal point Pcz in the Z direction does not appear on the optical path of the laser beam L, it is possible to avoid the inconvenience caused by the focal point Pcz.
  • the focal point (not shown) of the laser light L in the Y direction appears between the lens 41A and the lens 42A. no problems arise.
  • the beam width in the Y direction of the laser light L output from the light emitting element 32 and passed through the lens 41A and the lens 42A expands as it travels in the X1 direction.
  • the lens 43A is incident on the lens 42A with a widened laser beam L that spreads in the Y direction.
  • the lens 43A has a plane-symmetrical shape with respect to the virtual central plane as a plane that intersects and is orthogonal to the Y direction.
  • the entrance surface 43a and the exit surface 43b of the lens 43A have a cylindrical surface extending in the Z direction and having a generatrix along the Z direction.
  • the incident surface 43a is a plane perpendicular to the X1 direction.
  • the exit surface 43b is a convex curved surface that is convex in the X1 direction.
  • the lens 43A collimates the laser light L in the Y direction, that is, in the slow axis.
  • the lens 43A is a convex lens in a cross section perpendicular to the Z direction.
  • Lens 43A may also be referred to as a collimating lens.
  • FIG. 4 is a perspective view of a portion including the light combiner 108 of the optical device 100A (100).
  • the optical device 100A includes an intermediate member 102.
  • the intermediate member 102 is fixed to the base 101 and supports the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c of the light combiner 108.
  • FIG. Intermediate member 102 may also be referred to as a support member or an intervening member.
  • the intermediate member 102 has a thermal expansion coefficient that is the same as that of the base 101 that supports the intermediate member 102, and optical components such as the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c that the intermediate member 102 supports.
  • made of a material with a coefficient of thermal expansion between Examples of materials for the intermediate member 102 include alumina, ceramic materials such as AlN and SiC, CuW such as 10Cu-90W and 20Cu-80W, and alloy materials such as Kovar.
  • the intermediate member 102 has a plate-like shape that intersects and is orthogonal to the Z direction and extends in the X1 direction, the X2 direction, and the Y direction.
  • the intermediate member 102 has a lower surface 102a and an upper surface 102b.
  • the lower surface 102a and the upper surface 102b each intersect and are orthogonal to the Z direction, have planar shapes, and are parallel to each other.
  • the lower surface 102a is joined to the surface 101b of the base 101 by, for example, brazing, welding, or adhesion.
  • the upper surface 102b is provided with a plurality of recesses 102c that are open in the Z direction.
  • Recess 102c is provided corresponding to each of combiner 108a, mirror 108b, and half-wave plate 108c, and accommodates combiner 108a, mirror 108b, and half-wave plate 108c, respectively. That is, the intermediate member 102 is provided with three recesses 102c.
  • the concave portion 102c can also be referred to as an accommodating portion.
  • the recess 102c has a bottom surface 102c1.
  • the bottom surface 102c1 faces the Z direction, intersects and is orthogonal to the Z direction, and has a planar shape. Also, the bottom surface 102c1 is substantially parallel to the surface 101b of the base 101. As shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of a part of FIG. 4 taken along the X1 direction, X2 direction, and Z direction.
  • FIG. 5 includes intermediate member 102, combiner 108a, and half-wave plate 108c. As shown in FIG. 5, the combiner 108a and the half-wave plate 108c are each bonded to the bottom surface 102c1 via the bonding material 108e.
  • the bonding material 108e is interposed between the combiner 108a or the half-wave plate 108c and the bottom surface 102c1.
  • the bonding material 108e contains, for example, an organic material such as epoxy resin or acrylic resin.
  • the bonding material 108e may be electromagnetically curable, thermosetting, or humidity curable.
  • the mirror 108b is also joined to the bottom surface 102c1 of the corresponding recess 102c via a joining material 108e.
  • the bottom surface 102c1 is an example of a first surface.
  • the bonding material 108e is an adhesive containing an organic material
  • the bonding material 108e may be damaged if stray light is applied to the bonding material 108e.
  • Stray light originates, for example, from laser light that deviates from a predetermined optical path due to unintentional reflection or transmission at each optical component.
  • the stray light is laser light unintentionally reflected off the end face 106b1 of the end cap 106b, as shown in FIG.
  • the end cap 106b is optically coupled to the input end of the optical fiber 107 by being fused or the like. has a function of suppressing damage to the input end by lowering the .
  • Laser light is coupled to end cap 106b via mirror 108b, half-wave plate 108c, and combiner 108a. That is, end cap 106b is positioned in front of mirror 108b, half-wave plate 108c, and combiner 108a in the optical path of the laser light.
  • mirror 108b, half-wave plate 108c, and combiner 108a are an example of a first optical component
  • end cap 106b is an example of a second optical component.
  • the optical device 100A (100) includes a shielding portion 102d.
  • the shielding portion 102d prevents stray light, such as unintentionally reflected light from the end cap 106b, coming from the front of the original optical path of the laser light in the opposite direction, through the bonding material 108e, the combiner 108a, the mirror 108b, and the The area adjacent to or in the vicinity of the bonding material 108e on the half-wave plate 108c is blocked from being irradiated.
  • the shielding portion 102d provided shifted in the Y direction with respect to the combiner 108a blocks the stray light coming toward the combiner 108a in the direction opposite to the Y direction or in a direction inclined with respect to the opposite direction. It suppresses irradiation of the bonding material 108e that bonds the combiner 108a and the bottom surface 102c1.
  • the shielding portion 102d provided shifted in the X1 direction with respect to the mirror 108b and the half-wave plate 108c is input to the combiner 108a in the direction opposite to the Y direction or in a direction inclined with respect to the opposite direction, and the combiner 108a , the stray light reflected in the X2 direction or in a direction inclined with respect to the X2 direction is reflected by the mirror 108b, the half-wave plate 108c, and the bonding material 108e that bonds the mirror 108b or the half-wave plate 108c to the bottom surface 102c1. It suppresses being irradiated to
  • the shielding portion 102d is provided on the intermediate member 102.
  • the shielding portion 102d is configured as a projection projecting from the bottom surface 102c1.
  • the shielding part 102d is an example of a first projection.
  • the shielding portion 102d is configured as a side wall that forms the side surface 102d1 of the recess 102c.
  • the shielding portion 102d is an example of a first side wall.
  • a gap is provided between the shielding portion 102d, the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c. This prevents the shielding portion 102d from interfering with the positional adjustment of the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c in the X1 direction or the X2 direction. Further, according to such a configuration, when the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c are attached via the bonding material 108e as in the present embodiment, the bonding material 108e is If the bonding material is electromagnetic-curing, thermosetting, or humidity-curing, electromagnetic waves, heat, or steam can more easily act on the bonding material 108e through the gap.
  • the shielding part 102d may have an absorbing part that absorbs stray light.
  • the absorbing portion is, for example, a paint that converts laser beam energy into heat energy, such as black paint applied to the side surface 102d1 of the shielding portion 102d as an end face in the laser beam traveling direction (X1 direction).
  • the absorbing portion may be provided on the upper surface 102b, for example. The absorbing portion can suppress the adverse effect of reflected light from the shielding portion 102d.
  • the optical device 100A includes a reflecting surface 102r that reflects the stray light in a predetermined direction in order to suppress the adverse effect of the reflected stray light.
  • the reflecting surface 102r is an example of a reflecting section.
  • the reflecting surface 102r is shifted in the X2 direction, which is the direction opposite to the traveling direction of the laser light, with respect to the combiner 108a, the half-wave plate 108c, and the bonding material 108e. , reflect in a predetermined direction stray light arriving in the X2 direction, which is the direction opposite to the traveling direction of the laser light, or in a direction inclined to the X2 direction. This suppresses the adverse effect of reflected stray light.
  • the reflecting surface 102r is provided on the intermediate member 102.
  • the reflecting surface 102r is configured as a side surface 102d1 of the shielding portion 102d as a projection protruding from the bottom surface 102c1.
  • a shielding portion 102d having a reflecting surface 102r is an example of a second projection.
  • the reflective surface 102r is configured as a side surface 102d1 of the recess 102c.
  • the shielding portion 102d having the reflective surface 102r is an example of the second side wall.
  • a gap is provided between the shielding portion 102d having the reflecting surface 102r, the combiner 108a, and the half-wave plate 108c. This prevents the reflecting surface 102r (shielding portion 102d) from interfering with the position adjustment in the X1 direction or the X2 direction of the combiner 108a and the half-wave plate 108c. Further, according to such a configuration, when the combiner 108a and the half-wave plate 108c are attached via the bonding material 108e as in the present embodiment, the bonding material 108e can In the case of a thermosetting or humidity-curing bonding material, electromagnetic waves, heat, or steam can more easily act on the bonding material 108e through the gap.
  • the reflecting surface 102r may have an absorbing portion that absorbs stray light.
  • the absorbing portion can suppress adverse effects of reflected light on the reflecting surface 102r.
  • the shielding portion 102d provided between the half-wave plate 108c and the combiner 108a which are spaced apart on the optical path of the laser beam is located behind the optical path. It may have a reflecting surface 102r for the combiner 108a located in front of the optical path while functioning as a shield for the two-wave plate 108c. According to such a configuration, for example, the configuration can be made more compact or simpler than the configuration in which the shielding portion and the reflecting surface 102r are provided separately, thereby making it easier to manufacture the optical device 100A. Advantages such as reduced labor and costs can be obtained.
  • the shielding portion 102d provided between the half-wave plate 108c and the combiner 108a is an example of a wall portion.
  • the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c may be directly attached to the base 101 instead of indirectly attached to the base 101 via the intermediate member 102.
  • the shielding portion, the reflecting portion, the recess, the bottom and side surfaces of the recess, the first projection, the second projection, the first side wall, the second side wall, and the wall portion may be provided on the base 101 .
  • FIG. 6 is an explanatory diagram showing an example of conditions under which light reflected by the reflecting surface 102r does not hit the bonding material 108e in the optical device 100A (100). Note that FIG. 6 shows a case where the inclination angle ⁇ of the stray light Ls of the laser beam with respect to the X2 direction is considerably larger than it actually is.
  • the bottom surface 102c1 faces the Z direction, and the stray light Ls approaches the bottom surface 102c1 with respect to the X2 direction along a virtual plane along the Z direction and the X2 direction (that is, the direction along the paper surface of FIG. 6). It is assumed that the vehicle travels in a direction inclined to Further, in FIG. 6, the reflection point P1 on the reflection surface 102r of the edge Lsb in the direction opposite to the Z direction of the stray light Ls is separated from the bonding material 108e by the distance L1 in the X2 direction and in the Z direction. are spaced apart by a distance H1.
  • the X2 direction is an example of the second direction.
  • the normal direction N of the reflecting surface 102r has a positive elevation angle ⁇ with respect to the Dl direction (X1 direction).
  • the edge Lrb of the reflected light Lr in the direction opposite to the Z direction with respect to the edge Lsb of the stray light Ls should reach a position away from the bonding material 108e in the Z direction. Then, since the entire reflected light Lr with respect to the stray light Ls is shifted in the Z direction from the edge Lrb, the reflected light Lr does not irradiate the bonding material 108e as a whole.
  • FIG. 6 shows a state in which the edge Lrb of the reflected light Lr has just reached the end of the bonding material 108e in the Z direction.
  • the shielding portion 102d is configured so that the stray light reflected by the second optical component such as the end cap 106b is blocked by the combiner 108a, the mirror 108b, and the half-wave plate 108c.
  • One optical component and the bonding material 108e are blocked from being irradiated.
  • the stray light reflected by the second optical component is suppressed from interfering with the laser light transmitted by the first optical component, and the stray light damages the bonding material 108e.
  • the occurrence of inconvenient events can be suppressed.
  • the reflecting surface 102r (reflecting portion) reflects stray light reflected by the second optical component in a predetermined direction.
  • the reflected light of the stray light reflected by the second optical component is suppressed from interfering with the laser light transmitted by the first optical component, and the reflected light damages the bonding material 108e. , can be suppressed from occurring.
  • the above effects are particularly effective when the output of the laser light is relatively high, when the wavelength of the laser light is relatively short, or when the device is used for a relatively long period of time.
  • the shielding portion 102d and the reflecting surface 102r may be provided on the intermediate member 102 fixed to the base 101.
  • the shielding portion 102d and the reflecting surface 102r can be provided more easily or with higher accuracy. As a result, the labor and cost of manufacturing the optical device 100A may be further reduced.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of conditions under which the reflected light from the reflecting surface 102r does not strike the bonding material 108e in the optical device 100B (100) of the second embodiment.
  • the bottom surface 102c1 faces the Z direction, and the stray light Ls approaches the bottom surface 102c1 with respect to the X2 direction along a virtual plane along the Z direction and the X2 direction (that is, the direction along the paper surface of FIG. 7). It is assumed that the vehicle travels in a direction inclined to In FIG. 7, the reflection point P2 on the reflection surface 102r of the Z-direction edge Lsu of the stray light Ls is separated from the bonding material 108e by a distance L2 in the X2 direction and by a distance H2 in the Z direction. It shows the case where they are spaced apart.
  • the normal direction N of the reflecting surface 102r has a positive depression angle ⁇ with respect to the Dl direction (X1 direction).
  • the edge Lru of the reflected light Lr in the Z direction with respect to the edge Lsu of the stray light Ls is located at a position away from the bonding material 108e in the opposite direction in the Z direction, or from the bonding material 108e in the X2 direction on the bottom surface 102c1. It is only necessary to reach a position separated by .
  • the reflected light Lr does not irradiate the bonding material 108e as a whole.
  • FIG. 7 shows a state in which the edge Lru of the reflected light Lr has just reached the end of the bonding material 108e in the Z direction.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of conditions under which reflected light from the reflecting surface 102r does not hit the optical component 108f as the first optical component in the optical device 100C (100) of the third embodiment.
  • FIG. 8 shows that the stray light Ls that is reflected by the second optical component and travels in a direction between the direction opposite to the Dl direction (Y direction) in which the original laser light, not the stray light Ls, travels and the X2 direction is reflected on the reflecting surface 102r.
  • Y direction Dl direction
  • the X1-direction end 108f1 of the optical component 108f is spaced apart in the Y direction by a distance L3 from the reflection point P3 on the reflection surface 102r of the X2-direction edge Lsw of the stray light Ls.
  • FIG. 8 is a plan view when viewed in the direction opposite to the Z direction.
  • the normal direction N of the reflecting surface 102r is inclined at an inclination angle ⁇ with respect to the Dl direction (Y direction).
  • the edge Lrw of the reflected light Lr in the X2 direction with respect to the edge Lsw of the stray light Ls in the X2 direction should reach a position farther in the X1 direction than the end 108f1 of the bonding material 108e in the X1 direction. Then, since the entire reflected light Lr with respect to the stray light Ls is shifted in the X1 direction from the edge Lrw, the reflected light Lr does not irradiate the optical component 108f as a whole.
  • FIG. 8 shows a state in which the edge Lrw of the reflected light Lr has just reached the end 108f1 of the optical component 108f in the X1 direction.
  • FIG. 9 is a perspective view of part of the optical device 100D (100) of the fourth embodiment.
  • the structure having the shielding portion 102d and the reflecting surface 102r can also be applied to the portion where the condensing lenses 104 and 105 are provided.
  • the fiber support portion 106aD is configured as a member separate from the base 101, and the fiber support portion 106aD includes the condenser lens 104 as well as the condenser lens 105. 108e.
  • the fiber support portion 106aD functions as the intermediate member 102.
  • FIG. Condenser lenses 104 and 105 are an example of a first optical component.
  • the reflecting surface 102r provided corresponding to the condensing lens 104 reflects the stray light Ls in a direction between the Y direction and the Z direction or the direction opposite to the Z direction.
  • a reflecting surface 102r provided corresponding to the lens 105 reflects the stray light Ls in a direction between the Y direction and the X1 or X2 direction.
  • it is not limited to such a configuration and arrangement. Any configuration and arrangement may be employed as long as the reflected light Lr of the stray light Ls can be suppressed from hitting the bonding material 108e.
  • FIG. 10 is a configuration diagram of a light source device 110 according to a fifth embodiment in which the optical device 100 (light emitting device) according to any one of the first to third embodiments is mounted.
  • the light source device 110 includes a plurality of optical devices 100 as excitation light sources.
  • the laser beams output from the plurality of optical devices 100 are transmitted through the optical fiber 107 to the combiner 90 as an optical coupling section.
  • the output ends of the optical fibers 107 are respectively coupled to a plurality of input ports of a multiple-input single-output combiner 90 .
  • the light source device 110 is not limited to having a plurality of optical devices 100 as long as it has at least one optical device 100 .
  • FIG. 11 is a configuration diagram of an optical fiber laser 200 in which the light source device 110 of FIG. 10 is mounted.
  • the optical fiber laser 200 includes the light source device 110 and the combiner 90 shown in FIG. 10, the rare earth-doped optical fiber 130, and the output side optical fiber 140.
  • FIG. Highly reflective FBGs 120 and 121 are provided at the input end and the output end of the rare-earth-doped optical fiber 130, respectively.
  • the output end of the combiner 90 is connected to the input end of the rare-earth-doped optical fiber 130 , and the output end of the rare-earth-doped optical fiber 130 is connected to the input end of the output-side optical fiber 140 .
  • the combiner 90 may be replaced with another configuration for the input unit that inputs the laser beams output from the plurality of optical devices 100 to the rare-earth-doped optical fiber 130 .
  • the optical fibers 107 of the output section of the plurality of optical devices 100 are arranged side by side, and the laser light output from the plurality of optical fibers 107 is passed through the rare earth-doped optical fiber 130 using an input section such as an optical system including a lens.
  • an input section such as an optical system including a lens.
  • the light source device 110 of the fifth embodiment or the optical fiber laser 200 of the sixth embodiment by including the optical device 100 of the first to fourth embodiments, the same as the first to fourth embodiments. effect is obtained.
  • FIG. 12 is a side view showing another example (modification) of the subunit 100a1 (100a).
  • the subunit 100a of the optical device 100A of FIG. 1 can be replaced with the subunit 100a of FIG. 12 to configure the optical device 100 of the modified example of the embodiment.
  • the subunit 100a1 of this modified example has a chip-on submount 30, a lens 42B, a lens 43B, and a mirror 103 (not shown in FIG. 12, see FIG. 1). are doing.
  • Lens 42B collimates the laser light in the fast axis and lens 43B collimates the laser light in the slow axis.
  • the lens 42B is integrated with the chip-on-submount 30 while facing the end surface 32a of the light emitting element 32. As shown in FIG. That is, in this example, the light-emitting module 10B integrally has the chip-on-submount 30 and the lens 42B. Lenses 42B and 43B are examples of optical components. The same effect as that of the above-described embodiment can be obtained even in a configuration having such a subunit 100a1 (100a).
  • optical components are not limited to those disclosed in the embodiments and variations, and may be other optical elements that reflect, refract, or diffract light, such as prisms and diffractive optical elements. good.
  • the diffractive optical element is, for example, integrally configured by combining a plurality of diffraction gratings with different periods.
  • the configuration, arrangement, and combination of subunits, light-emitting modules, optical components, projecting portions, shielding portions, and the like are not limited to the above embodiments and modifications.
  • the traveling direction of the stray light is not limited to the directions described above.
  • the present invention can be used for optical devices, light source devices, and optical fiber lasers.

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Abstract

光学装置は、例えば、ベースと、ベース上に設けられ、レーザ光を出力する発光素子と、ベース上に設けられ、発光素子から出力されたレーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、ベース上に設けられ、複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光が複数の光学部品に含まれる第一光学部品に照射されるのを遮る遮蔽部と、を備える。第二光学部品は、レーザ光の光路において当該第一光学部品の前方に位置してもよい。また、遮蔽部は、第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由するレーザ光の進行方向にずれて位置してもよい。

Description

光学装置、光源装置、および光ファイバレーザ
 本発明は、光学装置、光源装置、および光ファイバレーザに関する。
 従来、所定の光路から外れた光である迷光(漏洩光)を処理する処理部を備えた光学装置が知られている(例えば、特許文献1)。
国際公開第2017/134911号
 特許文献1の光学装置のように、この種の光学装置にあっては、迷光による悪影響を抑制することは重要である。
 そこで、本発明の課題の一つは、迷光による悪影響を抑制することが可能な、より改善された新規な構成を備えた光学装置、光源装置、および光ファイバレーザを得ること、である。
 本発明の光学装置は、例えば、ベースと、前記ベース上に設けられ、レーザ光を出力する発光素子と、前記ベース上に設けられ、前記発光素子から出力されたレーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、前記ベース上に設けられ、前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光が前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に照射されるのを遮る遮蔽部と、を備える。
 前記光学装置にあっては、前記第二光学部品は、前記発光素子から前記光ファイバへの前記レーザ光の光路において当該第一光学部品の前方に位置してもよい。
 前記光学装置にあっては、前記遮蔽部は、前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向にずれて位置してもよい。
 前記光学装置にあっては、前記遮蔽部は、前記第一光学部品と隙間をあけて設けられてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記遮蔽部は、前記迷光を吸収する吸収部を有してもよい。
 前記光学装置は、前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記迷光を所定方向に反射する反射部を備えてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記反射部は、前記第一光学部品と隙間をあけて設けられてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記反射部は、前記迷光を吸収する吸収部を有してもよい。
 前記光学装置は、前記レーザ光の光路上に間隔をあけて並んだ前記第一光学部品としての二つの第一光学部品と、前記二つの第一光学部品のうち前記光路の前方に位置する前記第一光学部品に対する前記反射部と、前記二つの第一光学部品のうち前記光路の後方に位置する前記第一光学部品に対する前記遮蔽部と、を一体に有した壁部と、を備えてもよい。
 前記光学装置は、前記ベースまたは当該ベースに固定された中間部材に設けられた第一面と、前記第一面と前記第一光学部品との間に介在し前記第一面と前記第一光学部品とを接合する接合材と、を備え、前記遮蔽部は、前記接合材に向かう前記迷光を遮ってもよい。
 前記光学装置にあっては、前記接合材は、有機系材料を含んでもよい。
 前記光学装置にあっては、前記遮蔽部は、前記第一面から突出した第一突起を含んでもよい。
 前記光学装置にあっては、前記第一面は、前記ベースまたは前記中間部材に設けられた凹部の底面を含み、前記遮蔽部は、前記凹部の側面を形成する第一側壁を含んでもよい。
 前記光学装置は、前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記迷光を前記接合材から逸れる方向に反射する反射部を備えてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記反射部は、前記第一面から突出した第二突起を含んでもよい。
 前記光学装置にあっては、前記第一面は、前記ベースまたは前記中間部材に設けられた凹部の底面を含み、前記反射部は、前記凹部の側面を形成する第二側壁を含んでもよい。
 前記光学装置にあっては、前記第一面が、第一方向を向き、前記迷光が、前記第一方向および前記第一方向と直交した第二方向に沿う仮想平面に沿って、前記第二方向に対して前記第一面に近付くように傾斜した方向に進み、かつ、前記迷光の前記第一方向の反対方向の第一端縁の前記反射部における第一反射点が、前記接合材に対して前記第一方向および前記第二方向に離間している構成において、前記接合材に対する前記第一反射点の前記第二方向における距離をL1、前記接合材に対する前記第一反射点の前記第一方向における距離をH1、前記迷光の進行方向の前記第二方向に対する傾斜角度をθ、前記第一反射点における前記反射部の法線方向の前記第二方向の反対方向に対する仰角をα、としたとき、次の式(1)
 H1<L1・tan(θ-2α) ・・・(1)
を満たしてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記第一面が、第一方向を向き、前記迷光が、前記第一方向および前記第一方向と直交した第二方向に沿う仮想平面に沿って、前記第二方向に対して前記第一面に近付くように傾斜した方向に進み、かつ、前記迷光の前記第一方向の第二端縁の前記反射部における第二反射点が、前記接合材に対して前記第一方向および前記第二方向に離間している構成において、前記接合材に対する前記第二反射点の前記第二方向における距離をL2、前記接合材に対する前記第二反射点の前記第一方向における距離をH2、前記迷光の進行方向の前記第二方向に対する傾斜角度をθ、前記第二反射点における前記反射部の法線方向の前記第二方向の反対方向に対する俯角をβ、としたとき、次の式(2)
 H2>L2・tan(θ+2β) ・・・(2)
を満たしてもよい。
 前記光学装置にあっては、前記反射部が、前記第一光学部品におけるレーザ光の進行方向である第三方向の反対方向と前記第三方向と直交した第四方向との間の方向へ進む前記迷光を、前記第三方向と前記第四方向の反対方向との間の方向へ反射し、前記第一光学部品が、前記反射部と面した前記第四方向の反対方向の端部である端点を有した構成を、前記第三方向および前記第四方向と直交した方向に見た場合に、前記反射部における前記迷光の前記第四方向の端縁の第三反射点から前記端点までの前記第三方向の距離をL3、前記第三反射点から前記端点までの前記第四方向の反対方向への距離をW、前記反射部へ向かう前記迷光の、前記第三方向の反対方向に対する傾斜角度をθw、前記第三反射点における前記反射部の法線方向の、前記第三方向に対する傾斜角度をγとした場合に、次の式(3)
 W>L3・tan(2γ-θw) ・・・(3)
を満たしてもよい。
 前記光学装置は、前記中間部材を備え、前記中間部材の熱膨張係数は、前記ベースの熱膨張係数と、前記接合材の熱膨張係数との間の値であってもよい。
 本発明の光学装置は、例えば、ベースと、前記ベース上に設けられ、レーザ光を出力する発光素子と、前記ベース上に設けられ、前記発光素子から出力されたレーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光を前記第一光学部品から逸れる方向に反射する反射部と、を備える。
 本発明の光学装置は、例えば、レーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光が前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に照射されるのを遮る遮蔽部と、を備えてもよい。
 また、本発明の光源装置は、例えば、前記光学装置を備える。
 また、本発明の光ファイバレーザは、例えば、前記光源装置と、前記光源装置から出力されたレーザ光を増幅する光増幅ファイバと、を備える。
 本発明によれば、例えば、迷光による悪影響を抑制することが可能な、より改善された新規な構成を備えた光学装置、光源装置、および光ファイバレーザを得ることができる。
図1は、第1実施形態の光学装置の例示的かつ模式的な平面図である。 図2は、第1実施形態の光学装置に含まれるベースの例示的かつ模式的な斜視図である。 図3は、第1実施形態の光学装置に含まれるサブユニットの例示的かつ模式的な側面図である。 図4は、第1実施形態の光学装置の遮蔽部を含む部位の例示的かつ模式的な斜視図である。 図5は、図4に示された部位の一部の例示的かつ模式的な断面図である。 図6は、第1実施形態の光学装置において、迷光の反射部における反射光が接合材に当たらない条件を示す説明図である。 図7は、第2実施形態の光学装置において、迷光の反射部における反射光が接合材に当たらない条件を示す説明図である。 図8は、第3実施形態の光学装置において、迷光の反射部における反射光が第一光学部品に当たらない条件を示す説明図である。 図9は、第4実施形態の光学装置の一部の例示的かつ模式的な斜視図である。 図10は、実施形態の光源装置の例示的な構成図である。 図11は、実施形態の光ファイバレーザの例示的な構成図である。 図12は、実施形態の変形例のサブユニットの例示的かつ模式的な側面図である。
 以下、本発明の例示的な実施形態および変形例が開示される。以下に示される実施形態および変形例の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果(効果)は、一例である。本発明は、以下の実施形態および変形例に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果(派生的な効果も含む)のうち少なくとも一つを得ることが可能である。
 以下に示される複数の実施形態および変形例は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態および変形例の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。
 本明細書において、序数は、部品や、部位、方向等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではない。
 また、各図において、X1方向を矢印X1で表し、X2方向を矢印X2で表し、Y方向を矢印Yで表し、Z方向を矢印Zで表す。X1方向、Y方向、およびZ方向は、互いに交差するとともに互いに直交している。また、X1方向とX2方向とは互いに逆方向である。
 なお、図1,3において、レーザ光Lの光路は、実線の矢印で示されている。
[第1実施形態]
 図1は、第1実施形態の光学装置100A(100)の概略構成図であって、光学装置100Aの内部をZ方向の反対方向に見た平面図である。
 図1に示されるように、光学装置100Aは、ベース101と、複数のサブユニット100aと、光合成部108と、集光レンズ104,105と、光ファイバ107と、を備えている。各サブユニット100aの発光モジュール10Aから出力されたレーザ光は、各サブユニット100aのミラー103、光合成部108、および集光レンズ104,105を経由して光ファイバ107の端部(不図示)に伝送され、光ファイバ107と光学的に結合される。光学装置100Aは、発光装置とも称されうる。
 ベース101は、例えば、銅系材料やアルミニウム系材料のような、熱伝導率が高い材料で作られる。ベース101は、一つの部品で構成されてもよいし、複数の部品で構成されてもよい。また、ベース101は、カバー(不図示)で覆われている。複数のサブユニット100a、複数のミラー103、光合成部108、集光レンズ104,105、および光ファイバ107の端部は、いずれもベース101上に設けられ、ベース101とカバーとの間に形成された収容室(不図示)内に収容されている。収容室は、気密封止されている。
 光ファイバ107は、出力光ファイバであって、その端部を支持するファイバ支持部106aを介して、ベース101と固定されている。
 ファイバ支持部106aは、ベース101の一部として当該ベース101と一体的に構成されてもよいし、ベース101とは別部材として構成されたファイバ支持部106aが、例えばねじのような固定具を介してベース101に取り付けられてもよい。
 サブユニット100aは、それぞれ、レーザ光を出力する発光モジュール10Aと、複数のレンズ41A~43Aと、ミラー103と、を有している。レンズ42Aは、速軸においてレーザ光をコリメートし、レンズ42Bは、遅軸においてレーザ光をコリメートする。レンズ41A~43Aおよびミラー103は、光学部品の一例である。
 また、光学装置100Aは、複数のサブユニット100aがY方向に所定間隔で並ぶ二つのアレイA1,A2を備えている。アレイA1のサブユニット100a1(100a)においては、発光モジュール10Aは、レーザ光をX1方向に出力し、レンズ41A~43Aは、当該発光モジュール10Aからのレーザ光をX1方向に伝送し、ミラー103は、X1方向へ進むレーザ光をY方向へ反射する。アレイA2のサブユニット100a1(100a)においては、発光モジュール10Aは、レーザ光をX2方向に出力し、レンズ41A~43Aは、当該発光モジュール10Aからのレーザ光をX2方向に伝送し、ミラー103は、X2方向へ進むレーザ光をY方向へ反射する。
 本実施形態では、アレイA1のサブユニット100a1とアレイA2のサブユニット100a2とが、X1方向(X2方向)に並んでいる。なお、サブユニット100a1とサブユニット100a2との間には、迷光(漏洩光)を遮蔽する遮蔽部101cが設けられている。このように、サブユニット100a1とサブユニット100a2とがX1方向に並んだ場合、例えば、光学装置100AのY方向のサイズがより小さくなるという利点が得られる。ただし、これには限定されず、サブユニット100a1とサブユニット100a2とは、互いにずれていてもよい。例えば、各サブユニット100a2は、Y方向に隣り合う二つのサブユニット100a1の間の隙間に対してX1方向に並んでもよい。
 図2は、ベース101の斜視図である。図2に示されるように、ベース101の表面101bには、Y方向に向かうにつれてサブユニット100aの位置がZ方向の反対方向にずれる複数の段差101b1が設けられている。複数のサブユニット100aがY方向に所定間隔(例えば一定間隔)で並ぶアレイA1,A2のそれぞれについて、サブユニット100aは、各段差101b1上に配置されている。これにより、アレイA1に含まれるサブユニット100aのZ方向の位置は、Y方向に向かうにつれてZ方向の反対方向にずれるとともに、アレイA2に含まれるサブユニット100aのZ方向の位置も、Y方向に向かうにつれてZ方向の反対方向にずれる。このような構成により、各アレイA1,A2において、複数のミラー103から、光合成部108に、Y方向に進むZ方向に並んだ互いに平行なレーザ光を、入力することができる。なお、段差101b1は、Z方向に対してY方向またはY方向の反対方向に傾斜した方向にずれ、各ミラー103から、Y方向に対して所定の仰角をもつ方向にレーザ光が進むよう構成されてもよい。
 図1に示されるように、各ミラー103からのレーザ光は、光合成部108に入力され、当該光合成部108において合成される。
 光合成部108は、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cを有している。コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cは、光学部品の一例である。
 ミラー108bは、アレイA1のサブユニット100aからのレーザ光を1/2波長板108cを介してコンバイナ108aに向かわせる。1/2波長板108cは、アレイA1からの光の偏波面を回転させる。
 アレイA2のサブユニット100aからのレーザ光は、コンバイナ108aに直接入力される。
 コンバイナ108aは、二つのアレイA1,A2からのレーザ光を合成する。コンバイナ108aは、偏波合成素子とも称されうる。
 コンバイナ108aからのレーザ光は、集光レンズ104,105によって光ファイバ107の端部(不図示)に向けて集光され、光ファイバ107と光学的に結合され、光ファイバ107内を伝送される。集光レンズ104,105は、光学部品の一例である。
 また、ベース101には、サブユニット100a(発光モジュール10A)や、ファイバ支持部106a、集光レンズ104,105、コンバイナ108a等を冷却する冷媒通路109が設けられている。冷媒通路109では、例えば、冷却液のような冷媒が流れる。冷媒通路109は、例えば、ベース101の各部品の実装面の近く、例えば直下またはその近傍を通り、冷媒通路109の内面および冷媒通路109内の冷媒(不図示)は、冷却対象の部品や部位、すなわち、サブユニット100a(発光モジュール10A)や、ファイバ支持部106a、集光レンズ104,105、コンバイナ108a等と、熱的に接続されている。ベース101を介して冷媒と部品や部位との間で熱交換が行われ、部品が冷却される。なお、冷媒通路109の入口109aおよび出口109bは、一例として、ベース101のY方向の反対方向の端部に設けられているが、他の位置に設けられてもよい。
[サブユニット]
 図3は、アレイA1のサブユニット100a1(100a)の構成を示す側面図である。なお、アレイA2のサブユニット100a2は、光学部品の配置およびレーザ光の伝送方向がサブユニット100a1とは逆であるが、サブユニット100a1と同様の構成を有している。
 発光モジュール10Aは、チップオンサブマウント30と、当該チップオンサブマウント30を収容したケース20と、を有している。なお、図3において、発光モジュール10Aは、ケース20の内部が透視された状態で描かれている。
 ケース20は、直方体状の箱であり、チップオンサブマウント30を収容している。ケース20は、壁部材21と、窓部材22と、を有している。壁部材21は、例えば金属材料で作られている。
 また、ケース20は、ベース21aを有している。ベース21aは、Z方向と交差した板状の形状を有している。ベース21aは、例えば、壁部材21の一部(底壁)である。ベース21aは、例えば、無酸素銅のような、熱伝導率が高い金属材料で作られている。無酸素銅は、銅系材料の一例である。なお、ベース21aは、壁部材21とは別に設けられてもよい。
 壁部材21のX1方向の端部には、開口部21bが設けられている。開口部21bには、レーザ光Lを透過する窓部材22が取り付けられている。窓部材22は、X1方向と交差しかつ直交している。チップオンサブマウント30からX1方向に出力されたレーザ光Lは、窓部材22を通過して、発光モジュール10Aの外へ出る。レーザ光Lは、発光モジュール10AからX1方向に出力される。
 壁部材21(ケース20)を構成する複数の部材(不図示)の境界部分、ならびに壁部材21と窓部材22との間の境界部分などは、気体が通過できないようにシールされている。すなわち、ケース20は、気密封止されている。なお、窓部材22は、壁部材21の一部でもある。
 チップオンサブマウント30は、サブマウント31と、発光素子32と、を有している。チップオンサブマウント30は、半導体レーザモジュールとも称されうる。
 サブマウント31は、例えば、Z方向と交差するとともに直交した板状の形状を有している。サブマウント31は、例えば、窒化アルミニウムや、セラミック、ガラスのような、熱伝導率が比較的高い絶縁材料で作られうる。サブマウント31上には、発光素子32に電力を供給する電極として、メタライズ層31aが形成されている。
 サブマウント31は、ベース21a上に実装されている。発光素子32は、サブマウント31の頂面上に実装されている。すなわち、発光素子32は、サブマウント31を介してベース21a上に実装されるとともに、サブマウント31およびケース20を介して、ベース101上に実装されている。
 発光素子32は、例えば、速軸(FA)と遅軸(SA)とを有した半導体レーザ素子である。発光素子32は、X1方向に延びた細長い形状を有している。発光素子32は、X1方向の端部に設けられた出射開口(不図示)から、X1方向に、レーザ光Lを出力する。チップオンサブマウント30は、発光素子32の速軸がZ方向に沿い、かつ遅軸がY方向に沿うよう、実装される。Z方向は速軸方向の一例であり、Y方向は、遅軸方向の一例である。
 発光素子32から出力されたレーザ光Lは、レンズ41A、レンズ42A、およびレンズ43Aをこの順に経由し、少なくともZ方向およびY方向でコリメートされる。レンズ41A、レンズ42A、およびレンズ43Aは、いずれもケース20外に設けられている。
 本実施形態では、レンズ41A、レンズ42A、およびレンズ43Aは、X1方向にこの順に並んでいる。発光素子32から出力されたレーザ光Lは、レンズ41A、レンズ42A、およびレンズ43Aを、この順に通過する。また、発光素子32から出て、レンズ41A、レンズ42A、およびレンズ43Aを通過する迄の間、レーザ光Lの光軸は直線状であり、レーザ光Lの速軸方向はZ方向に沿い、かつレーザ光Lの遅軸方向はY方向に沿う。
 レンズ41Aは、窓部材22からX1方向に僅かに離間するか、あるいは窓部材22に対してX1方向に接している。
 レンズ41Aには、窓部材22を通過したレーザ光Lが入射する。レンズ41Aは、光軸に沿う中心軸Axに対する軸対称形状を有したレンズであり、中心軸Ax周りの回転体として構成されている。レンズ41Aは、中心軸AxがX1方向に沿うとともにレーザ光Lの光軸と重なるように配置される。レンズ41Aの入射面41aおよび出射面41bは、それぞれ、X1方向に延びた中心軸Ax周りの回転面を有している。出射面41bは、X1方向に凸の凸曲面である。出射面41bは、入射面41aよりも大きく突出している。レンズ41Aは、所謂凸レンズである。
 レンズ41Aを出たレーザ光Lのビーム幅は、X1方向に進むにつれて狭くなる。なお、ビーム幅は、レーザ光のビームプロファイルにおいて、光強度が所定値以上となる領域の幅である。所定値は、例えば、ピークの光強度の1/eである。レンズ41Aは、レーザ光Lを、Z方向、Y方向、およびZ方向とY方向との間の方向において集束するため、レーザ光Lの収差が小さくなるという効果が得られる。
 レンズ42Aは、Z方向と交差しかつ直交した平面としての仮想中心面Vc2に対する面対称形状を有している。レンズ42Aの入射面42aおよび出射面42bは、Y方向に沿う母線を有しY方向に延びた柱面を有している。入射面42aは、X1方向の反対方向に凸の凸曲面である。また、出射面42bは、X1方向に凹の凹曲面である。
 レンズ42Aは、レーザ光Lを、Z方向におけるビーム幅Wzcが、レンズ41Aへの入射面41aでのZ方向におけるビーム幅Wzaよりも小さい状態で、Z方向において、すなわち速軸においてコリメートする。レンズ42Aは、Y方向と直交する断面において凹レンズである。レンズ42Aは、コリメートレンズとも称されうる。
 また、レンズ42Aは、レンズ41Aによるレーザ光LのZ方向の集束点Pczよりもレンズ41Aの近くに位置されている。仮に、レンズ42Aが、Z方向の集束点Pczよりもレンズ41Aの遠くに位置された場合、レンズ41Aとレンズ42Aとの間のレーザ光Lの光路上に、Z方向の集束点Pczが出現することになる。この場合、エネルギ密度の高いZ方向の集束点Pczにおいて塵芥が集積するなどの不都合が生じる虞がある。この点、本実施形態では、レンズ42AがZ方向の集束点Pczよりもレンズ41Aの近くに位置されているため、レーザ光Lが集束点Pczに到達する前にレンズ42Aによってコリメートされる。すなわち、本実施形態によれば、レーザ光Lの光路上にZ方向の集束点Pczが出現しないため、当該集束点Pczによる不都合が生じるのを、回避することができる。
 なお、レーザ光LのY方向における集束点(不図示)は、レンズ41Aとレンズ42Aとの間に出現するが、Y方向における集束点でのエネルギ密度はそれほど高くないため、塵芥の集積のような問題は生じ無い。
 発光素子32から出力されレンズ41Aおよびレンズ42Aを経由したレーザ光LのY方向のビーム幅は、X1方向に進むにつれて拡がる。レンズ43Aには、レンズ42Aを経由してY方向において拡がっている先太りのレーザ光Lが入射する。
 レンズ43Aは、Y方向と交差しかつ直交した平面としての仮想中心面に対する面対称形状を有している。レンズ43Aの入射面43aおよび出射面43bは、Z方向に沿う母線を有しZ方向に延びた柱面を有している。入射面43aは、X1方向と直交する平面である。また、出射面43bは、X1方向に凸の凸曲面である。
 レンズ43Aは、レーザ光Lを、Y方向において、すなわち遅軸においてコリメートする。レンズ43Aは、Z方向と直交する断面において凸レンズである。レンズ43Aは、コリメートレンズとも称されうる。
[中間部材および遮蔽部]
 図4は、光学装置100A(100)の光合成部108を含む部分の斜視図である。図4に示されるように、光学装置100Aは、中間部材102を備えている。中間部材102は、ベース101に固定され、光合成部108のコンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cを支持している。中間部材102は、支持部材や、介在部材とも称されうる。
 中間部材102は、熱膨張係数が、当該中間部材102を支持するベース101の熱膨張係数と、当該中間部材102が支持するコンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cのような光学部品の熱膨張係数の間の値となる材料で、作られる。このような中間部材102の材料としては、例えば、アルミナや、AlN、SiC等のセラミック材料、あるいは、10Cu-90W、20Cu-80WといったCuWや、コバール等の合金材料が挙げられる。
 中間部材102は、Z方向と交差するとともに直交し、X1方向、X2方向、およびY方向に延びた板状の形状を有している。中間部材102は、下面102aと、上面102bと、を有している。下面102aおよび上面102bは、それぞれ、Z方向と交差するとともに直交し、平面状の形状を有し、互いに平行である。
 下面102aは、例えば、ろう付けや、溶接、接着等により、ベース101の表面101bと接合されている。
 また、上面102bには、Z方向に開口した複数の凹部102cが設けられている。凹部102cは、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cのそれぞれに対応して設けられており、それぞれ、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cを収容している。すなわち、中間部材102には、三つの凹部102cが設けられている。凹部102cは、収容部とも称されうる。
 凹部102cは、底面102c1を有している。底面102c1は、Z方向を向き、Z方向と交差するとともに直交し、平面状の形状を有している。また、底面102c1は、ベース101の表面101bと略平行である。
 図5は、図4の一部の、X1方向、X2方向、およびZ方向に沿った断面での断面図である。図5には、中間部材102、コンバイナ108a、および1/2波長板108cが含まれている。図5に示されるように、コンバイナ108a、および1/2波長板108cは、それぞれ、底面102c1に、接合材108eを介して接合されている。接合材108eは、コンバイナ108aまたは1/2波長板108cと底面102c1との間に介在している。接合材108eは、例えば、エポキシ樹脂や、アクリル樹脂のような有機系材料を含んでいる。接合材108eは、電磁波硬化性、熱硬化性、あるいは湿度硬化性を有してもよい。なお、図示されないが、ミラー108bも、対応する凹部102cの底面102c1と、接合材108eを介して接合されている。底面102c1は、第一面の一例である。
 接合材108eが有機系材料を含む接着剤であるような場合、当該接合材108eに迷光が照射されると、当該接合材108eが損傷してしまう虞がある。迷光は、例えば、各光学部品において不本意に反射したり透過したりすることにより所定の光路から外れたレーザ光に由来する。一例として、迷光は、図4に示されるような、エンドキャップ106bの端面106b1で不本意に反射されたレーザ光である。エンドキャップ106bは、光ファイバ107の入力端部に融着等されることにより光学的に結合されており、レーザ光が光ファイバ107に入力される場合に比べてレーザ光の入力端におけるエネルギ密度を低くすることにより、当該入力端の損傷を抑制するという機能を有している。エンドキャップ106bには、ミラー108b、1/2波長板108c、およびコンバイナ108aを経由したレーザ光が結合される。すなわち、エンドキャップ106bは、レーザ光の光路において、ミラー108b、1/2波長板108c、およびコンバイナ108aの前方に位置している。このような構成において、ミラー108b、1/2波長板108c、およびコンバイナ108aは、第一光学部品の一例であり、エンドキャップ106bは、第二光学部品の一例である。
 このような迷光による悪影響を抑制するため、光学装置100A(100)は、遮蔽部102dを備えている。遮蔽部102dは、例えば、エンドキャップ106bでの不本意な反射光のような、レーザ光の本来の光路の前方から逆方向に到来する迷光が、接合材108e、ならびにコンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cにおける当該接合材108eの隣接領域や近傍に照射されるのを、遮る。
 コンバイナ108aに対してY方向にずれて設けられた遮蔽部102dは、コンバイナ108aに向けてY方向の反対方向または当該反対方向に対して傾斜した方向に到来する迷光が、コンバイナ108aの一部および当該コンバイナ108aと底面102c1とを接合する接合材108eに照射されるのを、抑制している。
 ミラー108bおよび1/2波長板108cに対してX1方向にずれて設けられた遮蔽部102dは、コンバイナ108aにY方向の反対方向または当該反対方向に対して傾斜した方向に入力され、当該コンバイナ108aにおいてX2方向または当該X2方向に対して傾斜した方向に反射した迷光が、ミラー108b、1/2波長板108c、および当該ミラー108bまたは1/2波長板108cと底面102c1とを接合する接合材108eに照射されるのを、抑制している。
 遮蔽部102dは、中間部材102に設けられている。遮蔽部102dは、底面102c1から突出した突起として構成されている。遮蔽部102dは、第一突起の一例である。
 遮蔽部102dは、凹部102cの側面102d1を形成する側壁として構成されている。遮蔽部102dは、第一側壁の一例である。
 また、遮蔽部102dと、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cとの間には、隙間が設けられている。これにより、遮蔽部102dが、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cのそれぞれのX1方向またはX2方向の位置調整に支障を来すのを防止できる。また、このような構成によれば、本実施形態のように、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cが、接合材108eを介して取り付けられている場合において、当該接合材108eが電磁波硬化性、熱硬化性、あるいは湿度硬化性の接合材である場合には、当該隙間から接合材108eに、電磁波、熱、あるいは蒸気をより容易に作用させることができる。
 さらに、遮蔽部102dは、迷光を吸収する吸収部を有してもよい。吸収部は、例えば、遮蔽部102dのレーザ光の進行方向(X1方向)の端面としての側面102d1に塗布された、黒色塗料のような、レーザ光のエネルギを熱エネルギに変換する塗料である。また、吸収部は、例えば、上面102bに設けられてもよい。吸収部により、遮蔽部102dでの反射光による悪影響を抑制できる。
[反射部]
 また、光学部品に対してレーザ光の進行方向の前方から到来した迷光が、当該光学部品の後方で反射して、悪影響を及ぼす虞もある。そこで、本実施形態では、このような迷光の反射光による悪影響を抑制するため、光学装置100A(100)は、迷光を所定方向に反射する反射面102rを備えている。反射面102rは、反射部の一例である。
 図5に示されるように、反射面102rは、コンバイナ108a、1/2波長板108c、および接合材108eのそれぞれに対して、レーザ光の進行方向の反対方向であるX2方向にずれて位置され、レーザ光の進行方向の反対方向であるX2方向または当該X2方向と傾斜した方向に到来する迷光を、所定方向に反射する。これにより、迷光の反射光による悪影響を抑制している。
 反射面102rは、中間部材102に設けられている。反射面102rは、底面102c1から突出した突起としての遮蔽部102dの側面102d1として構成されている。反射面102rを有した遮蔽部102dは、第二突起の一例である。
 反射面102rは、凹部102cの側面102d1として構成されている。反射面102rを有した遮蔽部102dは、第二側壁の一例である。
 また、反射面102rを有した遮蔽部102dと、コンバイナ108a、および1/2波長板108cとの間には、隙間が設けられている。これにより、反射面102r(遮蔽部102d)が、コンバイナ108a、および1/2波長板108cのそれぞれのX1方向またはX2方向の位置調整に支障を来すのを防止できる。また、このような構成によれば、本実施形態のように、コンバイナ108a、および1/2波長板108cが、接合材108eを介して取り付けられている場合において、当該接合材108eが電磁波硬化性、熱硬化性、あるいは湿度硬化性の接合材である場合には、当該隙間から接合材108eに、電磁波、熱、あるいは蒸気をより容易に作用させることができる。
 さらに、反射面102rは、迷光を吸収する吸収部を有してもよい。吸収部により、反射面102rでの反射光による悪影響を抑制できる。
 また、図5に示されるように、レーザ光の光路上に間隔をあけて並ぶ1/2波長板108cとコンバイナ108aとの間に設けられた遮蔽部102dが、光路の後方に位置する1/2波長板108cに対しては遮蔽部として機能するとともに、光路の前方に位置するコンバイナ108aに対する反射面102rを有してもよい。このような構成によれば、遮蔽部と反射面102rとを別個に備えた構成に比べて、例えば、構成がよりコンパクトになったり、構成がより簡素化されることにより光学装置100Aの製造の手間やコストを低減できたり、といった利点が得られる。1/2波長板108cとコンバイナ108aとの間に設けられた遮蔽部102dは、壁部の一例である。
 なお、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cは、中間部材102を介してベース101に間接的に取り付けられるのではなく、ベース101に直接取り付けられてもよい。また、遮蔽部や、反射部、凹部、当該凹部の底面および側面、第一突起、第二突起、第一側壁、第二側壁、および壁部は、ベース101に設けられてもよい。
[反射面の反射方向]
 図6は、光学装置100A(100)において、反射面102rにおける反射光が、接合材108eに当たらない条件の一例を示す説明図である。なお、図6では、わかりやすくするため、レーザ光の迷光Lsの、X2方向に対する傾斜角度θが、実際よりもかなり大きい場合を示している。
 図6は、底面102c1がZ方向を向き、迷光Lsが、Z方向およびX2方向に沿う仮想平面(すなわち図6の紙面に沿う方向)に沿って、当該X2方向に対して底面102c1に近付く方向に傾斜した方向に進む場合を想定している。また、図6では、迷光LsのZ方向とは反対方向の端縁Lsbの、反射面102r上の反射点P1が、接合材108eに対して、X2方向に距離L1だけ離間するとともに、Z方向に距離H1だけ離間している場合を示している。X2方向は、第二方向の一例である。
 また、図6の例では、反射面102rの法線方向Nは、Dl方向(X1方向)に対して、正の仰角αを有している。この場合、迷光Lsの端縁Lsbに対する、反射光LrのZ方向とは反対方向の端縁Lrbが、接合材108eよりもZ方向に離れた位置に到達すればよい。そうすると、迷光Lsに対する反射光Lrの全体は、端縁LrbよりもZ方向にずれて位置するため、反射光Lrは、全体的に接合材108eには照射されない。
 ここで、図6には、反射光Lrの端縁Lrbが、接合材108eのZ方向の端部に丁度到達した状態を示している。この場合において、図6に示されるように、X2方向の反対方向であるDl方向と、端縁Lrb(反射光Lr)とのなす角は、θ-2αであるから、H1=L1・tan(θ-2α)が成り立つ。したがって、次の式(1)
 H1<L1・tan(θ-2α) ・・・(1)
が満たされた場合には、反射光LrのZ方向とは反対方向の端縁Lrbが、接合材108eよりもZ方向に離れた位置に到達し、反射光Lrが、接合材108eに照射されないことになる。
 以上、説明したように、本実施形態では、遮蔽部102dは、エンドキャップ106bのような第二光学部品で反射した迷光が、コンバイナ108a、ミラー108b、および1/2波長板108cのような第一光学部品および、接合材108eに照射されるのを遮る。
 このような構成によれば、例えば、第二光学部品で反射した迷光が第一光学部品で伝送されるレーザ光と干渉するのを抑制したり、当該迷光によって接合材108eが損傷したり、といった不都合な事象が生じるのを、抑制することができる。
 また、本実施形態では、反射面102r(反射部)は、第二光学部品で反射した迷光を所定方向に反射する。
 このような構成によれば、第二光学部品で反射した迷光の反射光が第一光学部品で伝送されるレーザ光と干渉するのを抑制したり、当該反射光によって接合材108eが損傷したり、といった不都合な事象が生じるのを、抑制することができる。
 また、上述した効果は、レーザ光の出力が比較的高い場合や、レーザ光の波長が比較的短い場合、装置の使用期間が比較的長期に渡る場合等に、特に効果的である。
 さらに、本実施形態のように、遮蔽部102dや、反射面102r(反射部)は、ベース101に固定された中間部材102に設けられてもよい。
 このような構成によれば、例えば、遮蔽部102dや反射面102rがベース101に直接設けられる場合に比べて、当該遮蔽部102dや反射面102rをより容易にあるいはより精度良く設けることができ、ひいては光学装置100Aの製造の手間やコストをより低減できる場合がある。
[第2実施形態]
 図7は、第2実施形態の光学装置100B(100)において、反射面102rにおける反射光が、接合材108eに当たらない条件の一例を示す説明図である。
 図7は、底面102c1がZ方向を向き、迷光Lsが、Z方向およびX2方向に沿う仮想平面(すなわち図7の紙面に沿う方向)に沿って、当該X2方向に対して底面102c1に近付く方向に傾斜した方向に進む場合を想定している。また、図7では、迷光LsのZ方向の端縁Lsuの、反射面102r上の反射点P2が、接合材108eに対して、X2方向に距離L2だけ離間するとともに、Z方向に距離H2だけ離間している場合を示している。
 また、図7の例では、反射面102rの法線方向Nは、Dl方向(X1方向)に対して、正の俯角βを有している。この場合、迷光Lsの端縁Lsuに対する、反射光LrのZ方向の端縁Lruが、接合材108eよりもZ方向の反対方向に離れた位置、あるいは、底面102c1上で接合材108eからX2方向に離れた位置に到達すればよい。そうすると、迷光Lsに対する反射光Lrの全体は、端縁LruよりもZ方向の反対方向にずれて位置するため、反射光Lrは、全体的に接合材108eには照射されない。
 ここで、図7には、反射光Lrの端縁Lruが、接合材108eのZ方向の端部に丁度到達した状態を示している。この場合において、図7に示されるように、X2方向の反対方向であるDl方向と、端縁Lru(反射光Lr)とのなす角は、θ+2βであるから、H2=L2・tan(θ+2β)が成り立つ。したがって、次の式(2)
 H2>L2・tan(θ+2β) ・・・(2)
が満たされた場合には、反射光LrのZ方向の端縁Lruが、接合材108eよりもZ方向の反対方向に離れた位置、言い換えると底面102c1上で接合材108eからX2方向に離れた位置に到達し、反射光Lrが、接合材108eに照射されないことになる。
 このような本実施形態によっても、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。
[第3実施形態]
 図8は、第3実施形態の光学装置100C(100)において、反射面102rにおける反射光が、第一光学部品としての光学部品108fに当たらない条件の一例を示す説明図である。
 図8は、第二光学部品で反射され、迷光Lsではない本来のレーザ光が進むDl方向(Y方向)の反対方向とX2方向との間の方向に進む迷光Lsが、反射面102rにおいて、Y方向とX1方向との間の方向に反射される場合を示している。また、図8では、光学部品108fのX1方向の端部108f1が、迷光LsのX2方向の端縁Lswの反射面102r上の反射点P3に対して、Y方向に距離L3だけ離間するとともに、X1方向に距離Wだけ離間している場合を示している。また、迷光Lsは、Y方向の反対方向に対して角度θwだけ傾斜した角度で反射面102rへ進む。Y方向は、第三方向の一例であり、X2方向は、第四方向の一例である。図8は、Z方向の反対方向に見た場合の平面図である。
 また、図8の例では、反射面102rの法線方向Nは、Dl方向(Y方向)に対して傾斜角度γで傾斜している。この場合、迷光LsのX2方向の端縁Lswに対する、反射光LrのX2方向の端縁Lrwが、接合材108eのX1方向の端部108f1よりもX1方向に離れた位置に到達すればよい。そうすると、迷光Lsに対する反射光Lrの全体は、端縁LrwよりもX1方向にずれて位置するため、反射光Lrは、全体的に光学部品108fには照射されない。
 ここで、図8には、反射光Lrの端縁Lrwが、光学部品108fのX1方向の端部108f1に丁度到達した状態を示している。この場合において、図8に示されるように、Y方向であるDl方向と、端縁Lrw(反射光Lr)とのなす角は、2γ-θwであるから、H3=L3・tan(2γ-θw)が成り立つ。したがって、次の式(3)
 H3>L3・tan(2γ-θw) ・・・(3)
が満たされた場合には、反射光LrのX2方向の端縁Lrwが、光学部品108fの端部108f1よりもX1方向に離れた位置に到達し、反射光Lrは、光学部品108fに照射されないことになる。
 このような本実施形態によっても、上記第1実施形態または上記第2実施形態と同様の効果が得られる。
[第4実施形態]
 図9は、第4実施形態の光学装置100D(100)の一部の斜視図である。図9に示されるように、遮蔽部102dおよび反射面102rを有した構造は、集光レンズ104,105が設けられた部位にも適用可能である。本実施形態では、一例として、ファイバ支持部106aDは、ベース101とは別の部材として構成されるとともに、当該ファイバ支持部106aDには、集光レンズ105に加えて集光レンズ104も、接合材108eを介して接合されている。ファイバ支持部106aDは、中間部材102として機能する。集光レンズ104,105は、第一光学部品の一例である。
 図9の例では、集光レンズ104に対応して設けられた反射面102rは、迷光Lsを、Y方向とZ方向またはZ方向の反対方向との間の方向に反射し、他方、集光レンズ105に対応して設けられた反射面102rは、迷光Lsを、Y方向とX1方向またはX2方向との間の方向に反射する。ただし、このような構成および配置には限定されず、遮蔽部102dによって集光レンズ104,105における接合材108eの隣接領域や近傍に迷光Lsが当たるのを遮ることができたり、反射面102rによる迷光Lsの反射光Lrが接合材108eへ当たるのを抑制することができたりすれば、どのような構成および配置であってもよい。
[第5実施形態]
[光源装置、光ファイバレーザの構成]
 図10は、上記第1~第3実施形態のいずれかの光学装置100(発光装置)が実装された第5実施形態の光源装置110の構成図である。光源装置110は、励起光源として、複数の光学装置100を備えている。複数の光学装置100から出力されたレーザ光は、光ファイバ107を介して光結合部としてのコンバイナ90に伝送される。光ファイバ107の出力端は、複数入力1出力のコンバイナ90の複数の入力ポートにそれぞれ結合されている。なお、光源装置110は、複数の光学装置100を有するものに限定されるものではなく、少なくとも1つの光学装置100を有していればよい。
[第6実施形態]
 図11は、図10の光源装置110が実装された光ファイバレーザ200の構成図である。光ファイバレーザ200は、図10に示された光源装置110およびコンバイナ90と、希土類添加光ファイバ130と、出力側光ファイバ140と、を備える。希土類添加光ファイバ130の入力端及び出力端には、それぞれ高反射FBG120,121(fiber Bragg grating)が設けられている。
 コンバイナ90の出力端には、希土類添加光ファイバ130の入力端が接続され、希土類添加光ファイバ130の出力端には、出力側光ファイバ140の入力端が接続されている。なお、複数の光学装置100から出力されるレーザ光を希土類添加光ファイバ130に入力する入力部は、コンバイナ90に換えて他の構成を使用してもよい。例えば、複数の光学装置100における出力部の光ファイバ107を並べて配置し、複数の光ファイバ107から出力されたレーザ光を、レンズを含む光学系等の入力部を用いて、希土類添加光ファイバ130の入力端に入力するように構成してもよい。希土類添加光ファイバ130は、光増幅ファイバの一例である。
 第5実施形態の光源装置110、あるいは第6実施形態の光ファイバレーザ200によれば、上記第1~第4実施形態の光学装置100を備えることにより、上記第1~第4実施形態と同様の効果が得られる。
[サブユニットの変形例]
 図12は、サブユニット100a1(100a)の別の一例(変形例)を示す側面図である。図1の光学装置100Aのサブユニット100aを、図12のサブユニット100aに入れ替えて、実施形態の変形例の光学装置100を構成することができる。図12に示されるように、本変形例のサブユニット100a1は、チップオンサブマウント30と、レンズ42Bと、レンズ43Bと、ミラー103(図12には不図示、図1参照)と、を有している。レンズ42Bは、速軸においてレーザ光をコリメートし、レンズ43Bは、遅軸においてレーザ光をコリメートする。レンズ42Bは、発光素子32の端面32aと面した状態でチップオンサブマウント30と一体化されている。すなわち、この例では、発光モジュール10Bは、チップオンサブマウント30とレンズ42Bとを一体に有している。レンズ42B,43Bは、光学部品の一例である。このようなサブユニット100a1(100a)を有した構成においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
 以上、本発明の実施形態および変形例が例示されたが、上記実施形態および変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック(構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等)は、適宜に変更して実施することができる。
 例えば、光学部品は、実施形態および変形例に開示されたものには限定されず、例えば、プリズムや回折光学素子のような、光を反射、屈折、または回折させる他の光学素子であってもよい。なお、回折光学素子は、例えば、周期の異なる複数の回折格子を複合して一体に構成したものである。
 また、サブユニットや、発光モジュール、各光学部品、突出部、遮蔽部等の、構成や、配置、組み合わせは、上記実施形態および変形例には限定されない。また、迷光の進行方向も、上述した方向には限定されない。
 本発明は、光学装置、光源装置、および光ファイバレーザに、利用することができる。
10A,10B…発光モジュール(突出部)
20…ケース
21…壁部材
21a…ベース
21b…開口部
22…窓部材
30…チップオンサブマウント
31…サブマウント
31a…メタライズ層
32…発光素子
32a…端面
41A…レンズ(光学部品)
41a…入射面
41b…出射面
42A,42B…レンズ(光学部品)
42a…入射面
42b…出射面
43A,43B…レンズ(光学部品)
43a…入射面
43b…出射面
90…コンバイナ
100,100A~100D…光学装置
100a…サブユニット
100a1…サブユニット
100a2…サブユニット
101…ベース
101b…表面
101b1…段差
101c…遮蔽部
102…中間部材
102a…下面
102b…上面
102c…凹部
102c1…底面(第一面)
102d…遮蔽部(壁部、第一突起、第一側壁、第二突起、第二側壁)
102d1…側面
102r…反射面(反射部)
103…ミラー(光学部品)
104,105…集光レンズ(第一光学部品、光学部品)
106a,106aD…ファイバ支持部
106b…エンドキャップ(第二光学部品、光学部品)
106b1…端面
107…光ファイバ
108…光合成部
108a…コンバイナ(第一光学部品、光学部品)
108b…ミラー(第一光学部品、光学部品)
108c…1/2波長板(第一光学部品、光学部品)
108e…接合材
108f…光学部品
108f1…端部
109…冷媒通路
109a…入口
109b…出口
110…光源装置
120,121…高反射FBG
130…希土類添加光ファイバ
140…出力側光ファイバ
200…光ファイバレーザ
Ax…中心軸
A1,A2…アレイ
H1…距離
H2…距離
L…レーザ光
L1…距離
L2…距離
L3…距離
Ls…迷光
Lsb…端縁
Lsu…端縁
Lsw…端縁
Lr…反射光
Lrb…端縁
Lru…端縁
Lrw…端縁
N…法線方向
P1…反射点
P2…反射点
P3…反射点
Pcz…集束点
Vc2…仮想中心面
W…距離
Wza…(Z方向における)ビーム幅
Wzc…(Z方向におけるコリメートされた)ビーム幅
X1…方向
X2…方向(第二方向、第四方向)
Y…方向(第三方向)
Z…方向(第一方向)
θ…傾斜角度
α…仰角
β…俯角
γ…傾斜角度
θw…角度(傾斜角度)

Claims (24)

  1.  ベースと、
     前記ベース上に設けられ、レーザ光を出力する発光素子と、
     前記ベース上に設けられ、前記発光素子から出力されたレーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、
     前記ベース上に設けられ、前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光が前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に照射されるのを遮る遮蔽部と、
     を備えた、光学装置。
  2.  前記第二光学部品は、前記発光素子から前記光ファイバへの前記レーザ光の光路において当該第一光学部品の前方に位置した、請求項1に記載の光学装置。
  3.  前記遮蔽部は、前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向にずれて位置した、請求項1または2に記載の光学装置。
  4.  前記遮蔽部は、前記第一光学部品と隙間をあけて設けられた、請求項1~3のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  5.  前記遮蔽部は、前記迷光を吸収する吸収部を有した、請求項1~4のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  6.  前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記迷光を所定方向に反射する反射部を備えた、請求項1~5のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  7.  前記反射部は、前記第一光学部品と隙間をあけて設けられた、請求項6に記載の光学装置。
  8.  前記反射部は、前記迷光を吸収する吸収部を有した、請求項6または7に記載の光学装置。
  9.  前記レーザ光の光路上に間隔をあけて並んだ前記第一光学部品としての二つの第一光学部品と、
     前記二つの第一光学部品のうち前記光路の前方に位置する前記第一光学部品に対する前記反射部と、前記二つの第一光学部品のうち前記光路の後方に位置する前記第一光学部品に対する前記遮蔽部と、を一体に有した壁部と、
     を備えた、請求項6~8のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  10.  前記ベースまたは当該ベースに固定された中間部材に設けられた第一面と、
     前記第一面と前記第一光学部品との間に介在し前記第一面と前記第一光学部品とを接合する接合材と、
     を備え、
     前記遮蔽部は、前記接合材に向かう前記迷光を遮る、請求項1~9のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  11.  前記接合材は、有機系材料を含む、請求項10に記載の光学装置。
  12.  前記遮蔽部は、前記第一面から突出した第一突起を含む、請求項10または11に記載の光学装置。
  13.  前記第一面は、前記ベースまたは前記中間部材に設けられた凹部の底面を含み、
     前記遮蔽部は、前記凹部の側面を形成する第一側壁を含む、請求項10~12のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  14.  前記第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記迷光を前記接合材から逸れる方向に反射する反射部を備えた、請求項10~13のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  15.  前記反射部は、前記第一面から突出した第二突起を含む、請求項14に記載の光学装置。
  16.  前記第一面は、前記ベースまたは前記中間部材に設けられた凹部の底面を含み、
     前記反射部は、前記凹部の側面を形成する第二側壁を含む、請求項14または15に記載の光学装置。
  17.  前記第一面が、第一方向を向き、
     前記迷光が、前記第一方向および前記第一方向と直交した第二方向に沿う仮想平面に沿って、前記第二方向に対して前記第一面に近付くように傾斜した方向に進み、かつ、
     前記迷光の前記第一方向の反対方向の第一端縁の前記反射部における第一反射点が、前記接合材に対して前記第一方向および前記第二方向に離間している構成において、
     前記接合材に対する前記第一反射点の前記第二方向における距離をL1、
     前記接合材に対する前記第一反射点の前記第一方向における距離をH1、
     前記迷光の進行方向の前記第二方向に対する傾斜角度をθ、
     前記第一反射点における前記反射部の法線方向の前記第二方向の反対方向に対する仰角をα、としたとき、
     次の式(1)
     H1<L1・tan(θ-2α) ・・・(1)
     を満たす、請求項14~16のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  18.  前記第一面が、第一方向を向き、
     前記迷光が、前記第一方向および前記第一方向と直交した第二方向に沿う仮想平面に沿って、前記第二方向に対して前記第一面に近付くように傾斜した方向に進み、かつ、
     前記迷光の前記第一方向の第二端縁の前記反射部における第二反射点が、前記接合材に対して前記第一方向および前記第二方向に離間している構成において、
     前記接合材に対する前記第二反射点の前記第二方向における距離をL2、
     前記接合材に対する前記第二反射点の前記第一方向における距離をH2、
     前記迷光の進行方向の前記第二方向に対する傾斜角度をθ、
     前記第二反射点における前記反射部の法線方向の前記第二方向の反対方向に対する俯角をβ、としたとき、
     次の式(2)
     H2>L2・tan(θ+2β) ・・・(2)
     を満たす、請求項14~16のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  19.  前記反射部が、前記第一光学部品におけるレーザ光の進行方向である第三方向の反対方向と前記第三方向と直交した第四方向との間の方向へ進む前記迷光を、前記第三方向と前記第四方向の反対方向との間の方向へ反射し、
     前記第一光学部品が、前記反射部と面した前記第四方向の反対方向の端部である端点を有した構成を、
     前記第三方向および前記第四方向と直交した方向に見た場合に、
     前記反射部における前記迷光の前記第四方向の端縁の第三反射点から前記端点までの前記第三方向の距離をL3、
     前記第三反射点から前記端点までの前記第四方向の反対方向への距離をW、
     前記反射部へ向かう前記迷光の、前記第三方向の反対方向に対する傾斜角度をθw、
     前記第三反射点における前記反射部の法線方向の、前記第三方向に対する傾斜角度をγとした場合に、
     次の式(3)
     W>L3・tan(2γ-θw) ・・・(3)
     を満たす、請求項14~18のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  20.  前記中間部材を備え、
     前記中間部材の熱膨張係数は、前記ベースの熱膨張係数と、前記接合材の熱膨張係数との間の値である、請求項10~19のうちいずれか一つに記載の光学装置。
  21.  ベースと、
     前記ベース上に設けられ、レーザ光を出力する発光素子と、
     前記ベース上に設けられ、前記発光素子から出力されたレーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、
     前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に対して当該第一光学部品を経由する前記レーザ光の進行方向の反対方向にずれて位置され、前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光を前記第一光学部品から逸れる方向に反射する反射部と、
     を備えた、光学装置。
  22.  レーザ光を光ファイバに伝送し当該光ファイバに結合する複数の光学部品と、
     前記複数の光学部品に含まれる第二光学部品で反射した迷光が前記複数の光学部品に含まれる第一光学部品に照射されるのを遮る遮蔽部と、
     を備えた、光学装置。
  23.  請求項1~22のうちいずれか一つに記載の光学装置を備えた、光源装置。
  24.  請求項23に記載の光源装置と、
     前記光源装置から出力されたレーザ光を増幅する光増幅ファイバと、
     を備えた、光ファイバレーザ。
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