JP7378903B2 - 伝達線固定用部材 - Google Patents

Description

本発明は、リード線やチューブ等の伝達線を固定する際に用いられる伝達線固定用部材に関する。

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削加工する際には、例えば、環状の切削ブレードが装着されるスピンドルを備えた切削ユニットと、切削加工の際に被加工物を保持できるように構成されたチャックテーブルと、を含む切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードをチャックテーブル上の被加工物に切り込ませながら、切削ユニットとチャックテーブルとを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物を切削加工できる。

ところで、上述した切削ユニットやチャックテーブルには、その機能を実現できるように、気体又は液体を流すチューブや、電力又は電気信号を伝送するリード線等の伝達線が接続されている。各伝達線は、切削ユニットやチャックテーブルの移動に追従できる程度の長さを有しており、これらの移動を妨げないように、屈曲自在に構成された伝達線収容容器の内部に収容されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２－１７６２７４号公報

ところで、上述のような切削装置に別の伝達線を追加する際には、この追加される伝達線が切削ユニットやチャックテーブルの移動を妨げないように、伝達線収容容器に対して追加の伝達線をまとめる必要がある。しかしながら、切削装置の内部には、必ずしも広いスペースが存在しないので、例えば、追加の伝達線を伝達線収容容器の内部に収容しようとすると、その作業に長い時間を要することがあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、伝達線収容容器に対して追加の伝達線を簡単にまとめることができる伝達線固定用部材を提供することである。

本発明の一態様によれば、屈曲自在な伝達線収容容器を構成する複数の伝達線収容部材のそれぞれに対して伝達線を固定する際に用いられる伝達線固定用部材であって、隙間を形成するように間隔を空けて配置された第１側壁部及び第２側壁部と、該第１側壁部の一端側と該第２側壁部の一端側とを連結する連結壁部と、を有し、該第１側壁部、該第２側壁部、及び該連結壁部によって囲まれた空間に該伝達線を収容できる収容部と、該第１側壁部の他端側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該伝達線収容部材が有する板状の被固定部の表面に接触する第１表面を有する第１接触部と、該第２側壁部の他端側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該被固定部の該表面に接触する第２表面を有する第２接触部と、該第１接触部の該第１表面側又は該第２接触部の該第２表面側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該被固定部の裏面に係合する係合部と、を含み、該第１接触部と該第２接触部との間には、該収容部の該空間に対する該伝達線の挿入を許容する隙間が設けられている伝達線固定用部材が提供される。

本発明の一態様において、該第１側壁部の他端側及び該第２側壁部の他端側には、それぞれ、結束用部材が挿入される貫通孔が設けられており、該空間に収容された該伝達線は、該貫通孔に挿入される該結束用部材によって該収容部に固定されることがある。

本発明の一態様にかかる伝達線固定用部材は、第１側壁部、第２側壁部、及び連結壁部によって囲まれた空間に伝達線を収容できる収容部と、伝達線収容部材に対して伝達線を固定する際に、伝達線収容部材が有する被固定部の表面に接触する第１接触部及び第２接触部と、被固定部の裏面に係合する係合部と、を含み、第１接触部と第２接触部との間には、収容部の空間に対する伝達線の挿入を許容する隙間が設けられている。

そのため、第１接触部と第２接触部とを被固定部の表面に接触させて、係合部を被固定部の裏面に係合させるだけで、伝達線収容部材に対して伝達線固定用部材を固定することができる。つまり、追加したい伝達線を第１接触部と第２接触部との間の隙間から収容部の空間に挿入した上で、被固定部の裏面に係合部を係合させるだけで、この伝達線を、既存の伝達線が収容される伝達線収容容器に対して固定できる。

このように、本発明の一態様にかかる伝達線固定用部材によれば、伝達線収容容器に対して追加の伝達線を簡単にまとめることができる。

図１は、切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、切削装置に使用される伝達線収容容器の一部を示す斜視図である。 図３は、実施形態にかかる伝達線固定用部材の構成例を示す斜視図である。 図４は、伝達線固定用部材に伝達線が挿入された状態を示す斜視図である。 図５は、伝達線収容部材に対して伝達線固定用部材が固定された状態を示す斜視図である。 図６は、変形例にかかる伝達線固定用部材の構成例を示す斜視図である。 図７は、変形例にかかる伝達線固定用部材に伝達線が固定された状態を示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、切削装置（加工装置）２の構成例を示す斜視図である。なお、以下の説明で用いられるＸ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）、及びＺ軸方向（鉛直方向）は、互いに垂直である。

図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の上面には、ボールネジ式の第１移動機構（加工送り機構）６が配置されている。第１移動機構６は、例えば、基台４の上面に固定されＸ軸方向に対して概ね平行な一対のＸ軸ガイドレール８を備えている。Ｘ軸ガイドレール８には、Ｘ軸移動部１０がＸ軸方向にスライドできる態様で取り付けられている。

Ｘ軸移動部１０の下面側には、ボールネジを構成するナット（不図示）が設けられている。このナットには、Ｘ軸ガイドレール８に対して概ね平行なネジ軸１２が回転できる態様でねじ込まれている。ネジ軸１２の一端部には、Ｘ軸パルスモーター１４が連結されている。

そのため、Ｘ軸パルスモーター１４でネジ軸１２を回転させれば、Ｘ軸移動部１０は、Ｘ軸ガイドレール８に沿ってＸ軸方向に移動する。なお、Ｘ軸ガイドレール８の傍には位置センサー（不図示）が設けられており、この位置センサーによって、Ｘ軸移動部１０のＸ軸方向の位置が検出される。

Ｘ軸移動部１０の上面側には、板状の被加工物１１を保持できるように構成されたチャックテーブル１６が配置されている。チャックテーブル１６は、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、回転駆動源から伝わる動力によってＺ軸方向に対して概ね平行な回転軸の周りに回転する。なお、この回転駆動源には、電源（不図示）の電力を伝送するリード線（不図示）が接続されている。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体を用いて形成される円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面１１ａ（図１の上面）側は、互いに交差する複数の加工予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１３が形成されている。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体を用いて形成される円盤状のウェーハを被加工物１１として示しているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。

同様に、被加工物１１に形成されるデバイス１３の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイス１３が形成されていなくても良い。また、被加工物１１は、裏面にダイシングテープが貼付された状態や、このダイシングテープを介して被加工物１１を囲む環状のフレームに支持された状態で加工されることもある。

チャックテーブル１６は、例えば、ステンレスに代表される金属を用いて形成された円筒状の枠体１８を含む。枠体１８の内部には、被加工物１１の吸引に使用される負圧を伝達する流路（不図示）が設けられている。枠体１８の上部には、セラミックス等を用いて多孔質状に形成された円盤状の保持板２０が固定されており、枠体１８の流路を介して伝達される負圧は、この保持板２０に作用する。

枠体１８の流路には、空気（気体）を流すチューブ（不図示）が接続されている。このチューブには、バルブ等を介して真空ポンプ等の吸引源（不図示）が接続されている。そのため、吸引源を動作させた状態でバルブを開けば、この吸引源で発生する負圧を、チューブ及び枠体１８の流路を介して保持板２０に作用させることができる。

チャックテーブル１６は、上述した第１移動機構６によって、Ｘ軸移動部１０等とともにＸ軸方向に移動する（加工送り）。基台４とＸ軸移動部１０とは、Ｘ軸移動部１０の移動に合わせて屈曲できるように構成された伝達線収容容器２２を介して互いに連結されている。上述したリード線やチューブ等の伝達線は、Ｘ軸移動部１０の移動の妨げとならないように伝達線収容容器２２の内部に収容される。

基台４の上面には、第１移動機構６を跨ぐ門型の支持構造２４が配置されている。支持構造２４の前面の上部には、２組の第２移動機構（割り出し送り機構、切り込み送り機構）２６が配置されている。各第２移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に対して概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。一対のＹ軸ガイドレール２８には、各第２移動機構２６のＹ軸移動部３０がスライドできる態様で取り付けられている。

各Ｙ軸移動部３０の裏面側（後面側）には、ボールネジを構成するナット（不図示）が設けられている。このナットには、Ｙ軸ガイドレール２８に対して概ね平行なネジ軸３２が回転できる態様でねじ込まれている。ネジ軸３２の一端部には、Ｙ軸パルスモーター３４が連結されている。

Ｙ軸パルスモーター３４でネジ軸３２を回転させれば、Ｙ軸移動部３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。なお、Ｙ軸ガイドレール２８の傍には位置センサー３６が設けられており、この位置センサー３６によって、Ｙ軸移動部３０のＹ軸方向の位置が検出される。

各Ｙ軸移動部３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に対して概ね平行な一対のＺ軸ガイドレール（不図示）が配置されている。各Ｙ軸移動部３０に配置されたＺ軸ガイドレールには、第２移動機構２６のＺ軸移動部３８がスライドできる態様で取り付けられている。各Ｚ軸移動部３８の裏面側（後面側）には、ボールネジを構成するナット（不図示）が設けられている。

このナットには、Ｚ軸ガイドレールに対して概ね平行なネジ軸（不図示）が回転できる態様でねじ込まれている。各ネジ軸の一端部には、Ｚ軸パルスモーター４０が連結されている。Ｚ軸パルスモーター４０でネジ軸を回転させれば、Ｚ軸移動部３８は、Ｚ軸ガイドレールに沿ってＺ軸方向に移動する。なお、Ｚ軸ガイドレールの傍には位置センサー（不図示）が設けられており、この位置センサーによって、Ｚ軸移動部３８のＺ軸方向の位置が検出される。

各Ｚ軸移動部３８の下部には、切削ユニット（加工ユニット）４２が固定されている。この切削ユニット４２は、Ｙ軸方向に対して概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。スピンドルの一端側には、ダイヤモンド等の砥粒を樹脂や金属等の結合剤で固定して形成される環状の切削ブレード４４が装着される。スピンドルの他端側には、モーター等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドルの一端側に装着された切削ブレード４４は、回転駆動源が生じる力によって回転する。

各Ｚ軸移動部３８の下部には、チャックテーブル１６によって保持された被加工物１１等を撮像する際に用いられるカメラ４６が固定されている。各第２移動機構２６によってＹ軸移動部３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット４２及びカメラ４６は、Ｙ軸方向に移動する（割り出し送り）。また、各第２移動機構２６によってＺ軸移動部３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット４２及びカメラ４６は、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。

基台４（又は支持構造２４）と第２移動機構２６とは、Ｙ軸移動部３０やＺ軸移動部３８の移動に合わせて屈曲できるように構成された伝達線収容容器（不図示）を介して互いに連結されている。第２移動機構２６や、切削ユニット４２、カメラ４６等に接続される伝達線は、Ｙ軸移動部３０やＺ軸移動部３８の移動の妨げとならないように伝達線収容容器の内部に収容される。

図２は、切削装置２に使用される伝達線収容容器２２の一部を示す斜視図である。図２に示すように、伝達線収容容器２２は、それぞれが伝達線を収容できる複数の伝達線収容部材５０を連結することによって屈曲自在に構成されている。各伝達線収容部材５０は、所定の長さを持つ一対の側板５２を含んでいる。一対の側板５２は、それぞれの長さ方向が互いに平行になり、かつ、それぞれの長さ方向に対して垂直な厚み方向が互いに平行になるように、この厚み方向に間隔を空けて配置されている。

一対の側板５２の中央部５２ａには、それぞれ、側板５２の長さ方向及び厚み方向に対して垂直な幅方向に間隔を空けて配置された一対の連結板（板状の被固定部）５４の端部が固定されている。すなわち、一対の側板５２は、一対の連結板５４によって互いに連結されている。

一対の側板５２と一対の連結板５４とによって囲まれた空間５０ａには、空気（気体）又は水（液体）を流すチューブや、電力又は電気信号を伝送するリード線等の伝達線が収容される。なお、以下の説明では、連結板５４の外側（空間５０ａとは反対側）の面を表面５４ａと呼び、連結板５４の内側（空間５０ａ側）の面を裏面５４ｂと呼ぶ。

各側板５２の長さ方向の一方の端部５２ｂは、円弧状の輪郭を有する半円形の板状に形成されており、その厚みは、中央部５２ａの厚みに比べて小さくなっている。端部５２ｂの厚みは、例えば、中央部５２ａの厚みの１／２程度である。端部５２ｂは、中央部５２ａに対して、その厚み方向の外側（空間５０ａとは反対側）の部分に接続されている。また、端部５２ｂには、この端部５２ｂを厚み方向に貫く円形の開口５２ｃが形成されている。

各側板５２の長さ方向の他方の端部５２ｄは、円弧状の輪郭を有する半円形の板状に形成されており、その厚みは、中央部５２ａの厚みに比べて小さくなっている。端部５２ｄの厚みは、例えば、中央部５２ａの厚みの１／２程度である。端部５２ｄは、中央部５２ａに対して、その厚み方向の内側（空間５０ａ側）の部分に接続されている。また、端部５２ｄには、各側板５２の厚み方向に沿って外向きに突出する円柱状の突起５２ｅが設けられている。

中央部５２ａの端部５２ｂに隣接する部分５２ｆは、端部５２ｄが係合できるように構成されており、また、中央部５２ａの端部５２ｄに隣接する部分５２ｇは、端部５２ｂが係合できるように構成されている。具体的には、端部５２ｂに隣接する領域では、中央部５２ａの厚み方向の内側の部分が、端部５２ｄの形状に合わせて抉られている。端部５２ｄに隣接する領域では、中央部５２ａの厚み方向の外側の部分が、端部５２ｂの形状に合わせて抉られている。

更に、端部５２ｄに設けられた突起５２ｅは、端部５２ｂに設けられた開口５２ｃに挿入できる大きさに形成されている。つまり、端部５２ｂに設けられた開口５２ｃは、端部５２ｄに設けられた突起５２ｅを挿入できる大きさに形成されている。

そのため、ある伝達線収容部材５０の端部５２ｂの内側に別の伝達線収容部材５０の端部５２ｄを配置して、端部５２ｂの開口５２ｃに端部５２ｄの突起５２ｅを挿入すれば、２個の伝達線収容部材５０を互いに連結できる。また、同じ要領で複数の伝達線収容部材５０を連結すると、図１や図２に示される伝達線収容容器２２が得られる。伝達線収容容器２２の内部には、各伝達線収容部材５０が持つ複数の空間５０ａによって、伝達線の収容領域が形成される。

なお、側板５２の端部５２ｂ及び端部５２ｄは、円弧状の輪郭を有する半円形の板状に形成されている。また、中央部５２ａの一部は、端部５２ｂや端部５２ｄの形状に合わせて抉られている。よって、例えば、互いに連結された２個の伝達線収容部材５０の一方を固定した状態で、その他方に対して側板５２の幅方向に力を加えると、他方の伝達線収容部材５０は、一方の伝達線収容部材５０に対して回転する。

より具体的には、他方の伝達線収容部材５０は、一方の伝達線収容部材５０との連結を実現する２つの開口５２ｃ又は２つの突起５２ｅを通る軸の周りに回転する。そのため、複数の伝達線収容部材５０が互いに連結された伝達線収容容器２２の状態では、この伝達線収容容器２２が屈曲することになる。

ところで、上述のような切削装置２に対して別の伝達線を加える際には、この追加される伝達線が、Ｘ軸移動部１０や、Ｙ軸移動部３０、Ｚ軸移動部３８の移動を妨げないように、伝達線収容容器２２に対して追加の伝達線をまとめる必要がある。しかしながら、追加の伝達線を伝達線収容容器２２の内部に収容しようとすると、その作業に長い時間を要することがあった。

そこで、本実施形態では、伝達線収容容器２２（伝達線収容部材５０）の内部に追加の伝達線を収容するのではなく、伝達線収容容器２２（伝達線収容部材５０）の外部に追加の伝達線を固定する。図３は、伝達線収容容器２２の外部に伝達線を固定する際に用いられる伝達線固定用部材６０の構成例を示す斜視図である。

図３に示すように、伝達線固定用部材６０は、固定の対象となる伝達線を収容できるように構成された収容部６２を有している。この収容部６２は、ともに所定の長さを持つ第１側壁部６４と第２側壁部６６とを含んでいる。第１側壁部６４と第２側壁部６６との長さは、例えば、側板５２の長さ方向に沿う方向での連結板５４の長さより僅かに長い。

第１側壁部６４と第２側壁部６６とは、それぞれの長さ方向が互いに平行になり、かつ、それぞれの長さ方向に対して垂直な厚み方向が互いに平行になるように、この厚み方向に間隔を空けて配置されている。第１側壁部６４と第２側壁部６６との間隔は、対象となる伝達線の幅（太さ）よりも広い。

第１側壁部６４の、長さ方向及び厚み方向に対して垂直な幅方向の一端側（図３の上端側）には、平面視で矩形の平板状に形成された連結壁部６８の第１辺に相当する部分が接続されている。また、第２側壁部６６の、長さ方向及び厚み方向に対して垂直な幅方向の一端側（図３の上端側）には、連結壁部６８の第１辺に対向する第２辺に相当する部分が接続されている。

すなわち、第１側壁部６４と第２側壁部６６とは、連結壁部６８によって互いに連結されている。また、第１側壁部６４（又は第２側壁部６６）の厚み方向に沿う方向での連結壁部６８の長さは、対象となる伝達線の幅（太さ）よりも長くなっている。この収容部６２では、第１側壁部６４、第２側壁部６６、及び連結壁部６８によって三方を囲まれた空間６２ａに対象の伝達線が収容される。

第１側壁部６４の幅方向の他端には、第１側壁部６４の長さ方向に沿う方向での長さが第１側壁部６４の長さ以上の平板状に形成された第１接触部７０の一方の表面７０ａが接続されている。また、第２側壁部６６の幅方向の他端には、第２側壁部６６の長さ方向に沿う方向での長さが第２側壁部６６の長さ以上の平板状に形成された第２接触部７２の一方の表面７２ａが接続されている。第１接触部７０と第２接触部７２との間には、収容部６２の空間６２ａへの伝達線の挿入を許容する隙間が形成されている。

伝達線収容部材５０に対して対象の伝達線を固定する際には、この伝達線収容部材５０が有する連結板５４の表面５４ａに、第１接触部７０の他方の表面（第１表面）７０ｂの少なくとも一部が接触する。同様に、伝達線収容部材５０に対して対象の伝達線を固定する際には、この伝達線収容部材５０が有する連結板５４の表面５４ａに、第２接触部７２の他方の表面（第２表面）７２ｂの少なくとも一部が接触する。

更に、第１接触部７０の、第１側壁部６４の長さ方向に沿う方向での両端には、第１接触部７０の表面７０ｂから突出する一対の係合部７４が設けられている。同様に、第２接触部７２の、第２側壁部６６の長さ方向に沿う方向での両端には、第２接触部７２の表面７２ｂから突出する一対の係合部７４が設けられている。

第１接触部７０に設けられた一対の係合部７４の間隔と、第２接触部７２に設けられた一対の係合部７４の間隔とは、ともに、側板５２の長さ方向に沿う方向での連結板５４の長さと同程度である。また、各係合部７４は、伝達線収容部材５０に対して対象の伝達線を固定する際に、連結板５４の裏面５４ｂに係合する爪７４ａを有している。

図４は、伝達線固定用部材６０に伝達線８０が挿入された状態を示す斜視図であり、図５は、伝達線収容部材５０に対して伝達線固定用部材６０が固定された状態を示す斜視図である。伝達線収容部材５０に対して対象の伝達線８０を固定する際には、まず、図４に示すように、第１接触部７０と第２接触部７２との間の隙間を通じて、収容部６２の空間６２ａに伝達線８０を挿入する。

そして、収容部６２に伝達線８０が収容された状態で、図５に示すように、伝達線固定用部材６０を伝達線収容部材５０に固定する。具体的には、第１接触部７０に設けられた一対の係合部７４で伝達線収容部材５０の連結板５４を挟み込んで、第１接触部７０の表面７０ｂの少なくとも一部を連結板５４の表面５４ａに接触させる。

同時に、第２接触部７２に設けられた一対の係合部７４で伝達線収容部材５０の連結板５４を挟み込んで、第２接触部７２の表面７２ｂの少なくとも一部を連結板５４の表面５４ａに接触させる。更に、各係合部７４の爪７４ａを、連結板５４の裏面５４ｂに係合させる。

これにより、伝達線８０を収容した状態の伝達線固定用部材６０を伝達線収容部材５０に固定できる。つまり、複数の伝達線収容部材５０によって構成される伝達線収容容器２２に対して伝達線８０を固定できる。

以上のように、本実施形態にかかる伝達線固定用部材６０は、第１側壁部６４、第２側壁部６６、及び連結壁部６８によって囲まれた空間６２ａに伝達線８０を収容できる収容部６２と、伝達線収容部材５０に対して伝達線８０を固定する際に、伝達線収容部材５０が有する連結板（板状の被固定部）５４の表面５４ａに接触する第１接触部７０及び第２接触部７２と、連結板５４の裏面５４ｂに係合する係合部７４と、を含み、第１接触部７０と第２接触部７２との間には、収容部６２の空間６２ａに対する伝達線８０の挿入を許容する隙間が設けられている。

そのため、第１接触部７０と第２接触部７２とを連結板５４の表面５４ａに接触させて、係合部７４を連結板５４の裏面５４ｂに係合させるだけで、伝達線収容部材５０に対して伝達線固定用部材６０を固定することができる。つまり、追加したい伝達線８０を第１接触部７０と第２接触部７２との間の隙間から収容部６２の空間６２ａに挿入した上で、連結板５４の裏面５４ｂに係合部７４を係合させるだけで、この伝達線８０を、既存の伝達線が収容される伝達線収容容器２２に対して固定できる。

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、伝達線収容部材５０に対して伝達線８０を固定していないが、伝達線収容部材に対して伝達線８０を固定しても良い。図６は、変形例にかかる伝達線固定用部材９０の構成例を示す斜視図であり、図７は、変形例にかかる伝達線固定用部材９０に伝達線８０が固定された状態を示す斜視図である。

なお、変形例にかかる伝達線固定用部材９０の構成要素の多くは、上述した実施形態にかかる伝達線固定用部材６０の構成要素と共通している。よって、上述した伝達線固定用部材６０と共通する構成要素には同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。図６に示すように、変形例にかかる伝達線固定用部材９０の第１側壁部６４の他端側及び第２側壁部６６の他端側には、それぞれ、第１側壁部６４及び第２側壁部６６を厚み方向に貫通する貫通孔９０ａが設けられている。

伝達線固定用部材９０を用いて伝達線８０を伝達線収容部材５０（伝達線収容容器２２）に固定する際には、まず、第１接触部７０と第２接触部７２との間の隙間を通じて、伝達線固定用部材９０が備える収容部６２の空間６２ａに伝達線８０を挿入する。次に、図７に示すように、結束用部材９２を貫通孔９０ａに挿入し、この結束用部材９２で収容部６２に伝達線８０を固定する。その後、上述した実施形態と同様の方法で、伝達線固定用部材９０を伝達線収容部材５０に固定すれば良い。

また、上述した実施形態では、切削装置２に使用される伝達線収容容器２２（伝達線収容部材５０）に対して伝達線８０を固定する場合を例に挙げて説明したが、本発明の伝達線固定用部材は、可動部を有する任意の装置に使用される伝達線収容容器（伝達線収容部材）に対して伝達線を固定する際にも使用できる。

その他、上述した実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ：切削装置（加工装置）
４ ：基台
６ ：第１移動機構（加工送り機構）
８ ：Ｘ軸ガイドレール
１０ ：Ｘ軸移動部
１２ ：ネジ軸
１４ ：Ｘ軸パルスモーター
１６ ：チャックテーブル
１８ ：枠体
２０ ：保持板
２２ ：伝達線収容容器
２４ ：支持構造
２６ ：第２移動機構（割り出し送り機構、切り込み送り機構）
２８ ：Ｙ軸ガイドレール
３０ ：Ｙ軸移動部
３２ ：ネジ軸
３４ ：Ｙ軸パルスモーター
３６ ：位置センサー
３８ ：Ｚ軸移動部
４０ ：Ｚ軸パルスモーター
４２ ：切削ユニット（加工ユニット）
４４ ：切削ブレード
４６ ：カメラ
５０ ：伝達線収容部材
５０ａ ：空間
５２ ：側板
５２ａ ：中央部
５２ｂ ：端部
５２ｃ ：開口
５２ｄ ：端部
５２ｅ ：突起
５２ｆ ：部分
５２ｇ ：部分
５４ ：連結板（板状の被固定部）
５４ａ ：表面
５４ｂ ：裏面
６０ ：伝達線固定用部材
６２ ：収容部
６２ａ ：空間
６４ ：第１側壁部
６６ ：第２側壁部
６８ ：連結壁部
７０ ：第１接触部
７０ａ ：表面
７０ｂ ：表面（第１表面）
７２ ：第２接触部
７２ａ ：表面
７２ｂ ：表面（第２表面）
７４ ：係合部
７４ａ ：爪
８０ ：伝達線
９０ ：伝達線固定用部材
９０ａ ：貫通孔
９２ ：結束用部材
１１ ：被加工物
１１ａ ：表面
１３ ：デバイス

Claims (2)

1. 屈曲自在な伝達線収容容器を構成する複数の伝達線収容部材のそれぞれに対して伝達線を固定する際に用いられる伝達線固定用部材であって、
   隙間を形成するように間隔を空けて配置された第１側壁部及び第２側壁部と、該第１側壁部の一端側と該第２側壁部の一端側とを連結する連結壁部と、を有し、該第１側壁部、該第２側壁部、及び該連結壁部によって囲まれた空間に該伝達線を収容できる収容部と、
   該第１側壁部の他端側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該伝達線収容部材が有する板状の被固定部の表面に接触する第１表面を有する第１接触部と、
   該第２側壁部の他端側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該被固定部の該表面に接触する第２表面を有する第２接触部と、
   該第１接触部の該第１表面側又は該第２接触部の該第２表面側に設けられ、該伝達線収容部材に対して該伝達線を固定する際に該被固定部の裏面に係合する係合部と、を含み、
   該第１接触部と該第２接触部との間には、該収容部の該空間に対する該伝達線の挿入を許容する隙間が設けられていることを特徴とする伝達線固定用部材。
2. 該第１側壁部の他端側及び該第２側壁部の他端側には、それぞれ、結束用部材が挿入される貫通孔が設けられており、
   該空間に収容された該伝達線は、該貫通孔に挿入される該結束用部材によって該収容部に固定されることを特徴とする請求項１に記載の伝達線固定用部材。

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