JP7368460B2 - ピンリフトデバイス - Google Patents
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Description
本発明は、少なくとも1つの支持ピンによってプロセスチャンバ内で基板を移動及び配置するピンリフトデバイスに関する。
Claims (14)
- 真空プロセスチャンバ(4)によって提供され得るプロセス雰囲気領域(P)内で、処理される基板(1)、特に、ウェーハを移動及び配置するように設計されたピンリフトデバイス(10)であって、調整軸(A)に沿って延びるハウジング(31)と、前記ハウジング(31)の第1の端部領域に配列され、ハウジング開口部(34)を有する前部ハウジング端部(33)と、前記ハウジング(31)の第2の端部領域に配列される駆動部(11)と、前記調整軸(A)の方向に前記ハウジング内で可動な部分(21)を有する調整デバイス(15)と、前記前部ハウジング端部(33)における第1のストップ(17a)とそこから離れた第2のストップ(17b)との間に前記ハウジング(31)の内部に形成された前記調整デバイス(15)のガイドセクション(17)と、支持ピン(59)を運ぶように前記調整デバイス(15)から前記ハウジング開口部(34)を通って導くカップリング(32)と、を有し、
緊密接続デバイス(55)は、前記ハウジング(31)の内側の前記前部ハウジング端部(33)と前記調整デバイス(15)との間に形成され、
前部緊密接続デバイス(55)は、前記ハウジング開口部(34)を介したアクセスが、前記緊密接続デバイス(55)及び前記調整デバイス(15)によって閉鎖される第1の内部領域にのみ通じる方法で、形成され、前記前部ハウジング端部(33)及び前記調整デバイス(15)に固定され、
接続チャネル(18)は、前記ガイドセクション(17)において前記第1のストップ(17a)から前記第2のストップ(17b)まで延び、前記ハウジング(31)、前記前部ハウジング端部(33)、前記緊密接続デバイス(55)、前記調整デバイス(15)、及び前記駆動部(11)の間の第2の内部領域での接続を確保することを特徴とする、ピンリフトデバイス(10)。 - 前記調整デバイス(15)が、ガイドスリーブ(16)によって前記ガイドセクション(17)上で調整可能に案内されることを特徴とする、
請求項1に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記ガイドスリーブ(16)及び前記ガイドセクション(17)が円柱状の接触領域を有することを特徴とする、
請求項2に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記緊密接続デバイス(55)が、ベローズ形のシール要素を含むことを特徴とする、
請求項1から3のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 接続チャネル(18)が、前記ハウジング(31)の内側に長手方向の溝として形成されることを特徴とする、
請求項1から4のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 長手方向の溝に案内されるフェザーキー(38)が可動部分(21)上に配列され、前記フェザーキーが前記接続チャネル(18)の前記長手方向の溝内の通路を空けることを特徴とする、
請求項5に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 補償開口部(35)が、隣接する第2の内部領域に近接していることを特徴とする、
請求項1から6のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記補償開口部(35)が、前記接続チャネル(18)に近接していることを特徴とする、
請求項7に記載のピンリフトデバイス(10)。 - フィルタ(36)が前記補償開口部(35)に配置され、粒子の環境への漏出を低減することを特徴とする、
請求項7又は8に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記補償開口部(35)が、好ましくは調整可能な弁(V)を介して、補償コンテナ(37)又は真空ポンプ(P)に接続されていることを特徴とする、
請求項7から9のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記駆動部(11)がねじ付きロッド(13)を含み、前記調整デバイス(15)がスライド(14)を含み、前記スライド(14)が、前記ねじ付きロッド(13)に結合され、前記ねじ付きロッド(13)に沿って直線的に可動であることを特徴とする、
請求項1から10のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記駆動部(11)が、前記ねじ付きロッド(13)に結合され、動作中に前記ねじ付きロッド(13)の回転を提供する制御可能な電気モーターを有することを特徴とする、
請求項11に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記駆動部(11)が、前記調整デバイス(15)に結合された駆動シリンダを含むことを特徴とする、
請求項1から12のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。 - 前記緊密接続デバイス(55)が、特に気密の方法で、前記第1の内部領域を前記第2の内部領域から分離することを特徴とする、
請求項1から13のいずれか一項に記載のピンリフトデバイス(10)。
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