JP7339860B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等を加工する加工装置に関する。

半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置（例えば、特許文献１参照）は、カセットに収納された被加工物をロボットで保持してカセットから搬出して仮置きテーブルに仮置きし、仮置きテーブルに仮置きされた被加工物を吸引パッド等の搬送手段で保持しチャックテーブルに搬送する。そして、チャックテーブルに保持された被加工物を研削砥石等の加工具で加工し、加工後の被加工物を搬出手段でスピンナ洗浄手段のスピンナテーブルに搬送し、スピンナテーブルを回転させつつ洗浄水を被加工物に供給しながら洗浄を行い、洗浄された被加工物をロボットで保持してカセットに収納している。

特開２０１５－０３００５５号公報

上記ロボットは、被加工物を吸着保持する吸着面を備えたロボットハンドを備えている。
例えば、カセットに収納されている被加工物はゴミが付着していることがある。また、例えば、テープマウンタにおいて、保護テープを被加工物の一方の面に貼着後、テープを円形の被加工物の大きさに合わせてカットする際にテープ屑が発生し、テープマウンタから加工装置に搬送されてきた被加工物は、該テープ屑が被加工物または被加工物に貼着されたテープに付着している状態となっている場合がある。その他の例では、インゴットからワイヤーソー等でスライスしたアズスライスウェーハは、スライス面に凹凸が形成されていてスライスしたときの切断屑が付着している事がある。

加工装置においては、このようにテープ屑や切断屑といったゴミが付着した被加工物をロボットハンドで吸着保持しカセットから搬出し仮置きテーブルに仮置きすることにより、被加工物に付着していたゴミがロボットハンドの吸着面に付着してしまうことがある。そして、ロボットハンドの吸着面にゴミが付着すると、スピンナテーブルで洗浄された被加工物を再びロボットハンドで保持した際に、洗浄後の被加工物にゴミを付着させてしまうという問題がある。ゴミが付着した被加工物によって、例えば、次工程で用いられるテープマウンタ内にゴミを持ち込むことになり、テープを被加工物に貼着する際に、被加工物とテープとの間にゴミを進入させた状態でテープを貼着してしまうという問題を発生させることがある。

よって、カセットに収納されている被加工物をロボットハンドの吸着面で吸引保持してカセットから搬出し、さらに、加工後の被加工物をロボットハンドの吸着面で吸引保持してカセットに搬入する加工装置においては、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、上下方向に複数の棚を配置したカセットを載置するカセットステージと、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を吸着保持する吸着面を有するロボットハンドを装着し該カセットから被加工物を取り出すロボットと、該ロボットによって取り出された被加工物を該チャックテーブルに搬送する搬送手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該ロボットは、該ロボットハンドを水平方向に移動させるロボット水平移動手段と、該ロボットハンドを上下方向に移動させるロボット上下移動手段と、を備え、該搬送手段は、中央に開口を形成した吸引面を有する接触式の吸引パッドと、該開口を吸引源に連通する吸引管と、該吸引管を分岐する分岐部と、該分岐部とエア供給源とを連通するエア供給管と、該分岐部と該吸引源との間の該吸引管に配設される吸引バルブと、該エア供給管に配設されるエアバルブと、該吸引面に垂直な上下方向に該吸引パッドを移動させる上下移動手段と、該吸引面に平行な水平方向に該吸引パッドを移動させる水平移動手段と、を備え、上側に向けた該ロボットハンドの該吸着面を、該水平移動手段又は該ロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて該吸引パッドの該開口の直下に位置づけ、該吸引バルブを閉じ該エアバルブを開くことで該開口からエアを噴射させる制御を行う制御手段と、を備え、該開口から噴射させた該エアによって該ロボットハンドの該吸着面を清掃する加工装置である。

前記搬送手段は、接触式の前記吸引パッド、前記吸引管、前記分岐部、前記エア供給管、前記吸引バルブ、及び前記エアバルブに代えて、中央に配設されたエア噴出口から大流量のエアを噴出することで負圧を生成し非接触で被加工物を吸引する非接触式吸引パッドと、該エア噴出口と大流量エア供給源とを連通する大流量エア供給管と、該大流量エア供給管に配設される大流量エアバルブと、を備え、前記制御手段は、上側に向けた前記ロボットハンドの前記吸着面を、前記水平移動手段又は前記ロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて該非接触式吸引パッドの該エア噴出口の直下に位置づけ、該大流量エアバルブを開き該エア噴出口から大流量エアを噴射させ、該エア噴出口から噴射させた該大流量エアによって該ロボットハンドの該吸着面を清掃する制御を実施可能であると好ましい。

前記ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、前記ロボットは、該ロボットハンドの該第１吸着面と該第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、前記制御手段は、該ロボット反転手段を用いて該第１吸着面又は該第２吸着面を選択的に前記搬送手段の前記吸引パッドの前記開口に対面させ、選択された該第１吸着面、又は該第２吸着面を清掃する制御を実施可能であると好ましい。

前記ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、前記ロボットは、該ロボットハンドの該第１吸着面と該第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、前記制御手段は、該ロボット反転手段を用いて該第１吸着面または該第２吸着面を選択的に前記搬送手段の前記非接触式吸引パッドの前記エア噴出口に対面させ、選択された該第１吸着面、又は該第２吸着面を清掃する制御を実施可能であると好ましい。

前記カセットから取り出された被加工物を前記チャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、該仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、該第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、該第２吸引管を分岐する第２分岐部と、該第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、該第２分岐部と該テーブル側吸引源との間の該第２吸引管に配設される第２吸引バルブと、該第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、前記制御手段は、前記搬送手段の前記吸引パッドを該仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた該吸引パッドと該仮置きテーブルとの間に前記ロボットハンドを進入させ、前記エアバルブを開き該吸引パッドの前記開口からエアを噴射させると共に、該第２エアバルブを開き該第２開口からエアを噴射させ、前記第１吸着面と前記第２吸着面とを清掃する制御を実施可能であると好ましい。

前記カセットから取り出された被加工物を前記チャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、該仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、該第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、該第２吸引管を分岐する第２分岐部と、該第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、該第２分岐部と該テーブル側吸引源との間の該第２吸引管に配設される第２吸引バルブと、該第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、前記制御手段は、前記搬送手段の前記非接触式吸引パッドを該仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた該非接触式吸引パッドと該仮置きテーブルとの間に前記ロボットハンドを進入させ、前記大流量エアバルブを開き該非接触式吸引パッドの前記エア噴出口から大流量エアを噴射させると共に、該第２エアバルブを開き該第２開口からエアを噴射させ、前記第１吸着面と前記第２吸着面とを清掃する制御を実施可能であると好ましい。

本発明に係る加工装置は、被加工物をカセットから取り出すロボットは、ロボットハンドを水平方向に移動させるロボット水平移動手段と、ロボットハンドを上下方向に移動させるロボット上下移動手段と、を備え、搬送手段は、中央に開口を形成した吸引面を有する接触式の吸引パッドと、開口を吸引源に連通する吸引管と、吸引管を分岐する分岐部と、分岐部とエア供給源とを連通するエア供給管と、分岐部と吸引源との間の吸引管に配設される吸引バルブと、エア供給管に配設されるエアバルブと、吸引面に垂直な上下方向に吸引パッドを移動させる上下移動手段と、吸引面に平行な水平方向に吸引パッドを移動させる水平移動手段と、を備え、上側に向けたロボットハンドの吸着面を、水平移動手段又はロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて吸引パッドの開口の直下に位置づけ、吸引バルブを閉じエアバルブを開くことで開口からエアを噴射させる制御を行う制御手段と、を備えることで、開口から噴射させたエアによってロボットハンドの吸着面を清掃することが可能となる。そして、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

搬送手段は、接触式の吸引パッド、吸引管、分岐部、エア供給管、吸引バルブ、及びエアバルブに代えて、中央に配設されたエア噴出口から大流量のエアを噴出することで負圧を生成し非接触で被加工物を吸引する非接触式吸引パッドと、エア噴出口と大流量エア供給源とを連通する大流量エア供給管と、大流量エア供給管に配設される大流量エアバルブと、を備え、制御手段は、上側に向けたロボットハンドの吸着面を、水平移動手段又はロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて非接触式吸引パッドのエア噴出口の直下に位置づけ、大流量エアバルブを開きエア噴出口から大流量エアを噴射させ、エア噴出口から噴射させた大流量エアによってロボットハンドの吸着面を清掃する制御を実施可能であることで、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、ロボットは、ロボットハンドの第１吸着面と第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、制御手段は、ロボット反転手段を用いて第１吸着面又は第２吸着面を選択的に搬送手段の吸引パッドの開口に対面させ、選択された第１吸着面、又は第２吸着面を清掃する制御を実施可能であることで、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、ロボットは、ロボットハンドの第１吸着面と第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、制御手段は、ロボット反転手段を用いて第１吸着面又は第２吸着面を選択的に搬送手段の非接触式吸引パッドのエア噴出口に対面させ、選択された第１吸着面、又は第２吸着面を清掃する制御を実施可能であることで、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

カセットから取り出された被加工物をチャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、第２吸引管を分岐する第２分岐部と、第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、第２分岐部とテーブル側吸引源との間の２吸引管に配設される第２吸引バルブと、第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、制御手段は、搬送手段の吸引パッドを仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた吸引パッドと仮置きテーブルとの間にロボットハンドを進入させ、エアバルブを開き吸引パッドの開口からエアを噴射させると共に、第２エアバルブを開き第２開口からエアを噴射させ、第１吸着面と第２吸着面とを清掃する制御を実施可能であることで、第１吸着面と第２吸着面とを同時に清掃できるため、清掃時間を短縮できるとともに、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの第１吸着面及び第２吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

カセットから取り出された被加工物をチャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、第２吸引管を分岐する第２分岐部と、第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、第２分岐部とテーブル側吸引源との間の第２吸引管に配設される第２吸引バルブと、第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、制御手段は、搬送手段の非接触式吸引パッドを仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた非接触式吸引パッドと仮置きテーブルとの間にロボットハンドを進入させ、大流量エアバルブを開き非接触式吸引パッドのエア噴出口から大流量エアを噴射させると共に、第２エアバルブを開き第２開口からエアを噴射させ、第１吸着面と第２吸着面とを清掃する制御を実施可能であることで、第１吸着面と第２吸着面とを同時に清掃できるため、清掃時間を短縮できるとともに、加工後の被加工物を保持する前にロボットハンドの第１吸着面及び第２吸着面をゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物をロボットハンドの第１吸着面又は第２吸着面で吸着保持した際に、被加工物にゴミを付着させる事が無い。

加工装置の一例を示す斜視図である。 第１のカセット及びロボットの一例を示す斜視図である。 実施形態１の搬送手段から下方にエアを噴射させ、また、仮置きテーブルから上方にエアを噴射させて、ロボットのロボットハンドの第１吸着面と第２吸着面とをエア清掃する場合を説明する側面図である。 実施形態２の搬送手段から下方に大流量エアを噴射させ、また、仮置きテーブルから上方にエアを噴射させて、ロボットのロボットハンドの第１吸着面と第２吸着面とをエア清掃する場合を説明する側面図である

図１に示す加工装置１は、チャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗを加工手段１６によって研削加工する装置であり、加工装置１の装置ベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３０に対して被加工物Ｗの着脱が行われる着脱領域Ａであり、装置ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、加工手段１６によってチャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗの研削加工が行われる加工領域Ｂである。
なお、本発明に係る加工装置は、加工装置１のような加工手段１６が１軸の研削装置に限定されるものではなく、粗研削手段と仕上げ研削手段とを備え、回転するターンテーブルで被加工物Ｗを各研削手段の下方に位置づけ可能な２軸の研削装置等であってもよい。また、加工装置は、研磨パッドを備える加工手段で被加工物Ｗに研磨加工を施す研磨装置であってもよい。

被加工物Ｗは、例えば、シリコン母材等からなる円形の半導体ウェーハであるが、これに限定されず、ガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよい。
被加工物Ｗの上側（＋Ｚ方向側）を向いている上面Ｗｂは、研削が施される被研削面となる。上面Ｗｂの反対面である下面Ｗａには、格子状に区画された各領域にＩＣ等の図示しないデバイスがそれぞれ形成されている。下面Ｗａは、例えば、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。なお、被加工物Ｗは、デバイスが形成されていないウェーハであってもよい。

装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、第１のカセットステージ１５０及び第２のカセットステージ１５１が設けられており、第１のカセットステージ１５０には加工前の被加工物Ｗが収容される第１のカセット１５０ａが載置され、第２のカセットステージ１５１には加工後の被加工物Ｗが収容される第２のカセット１５１ａが載置される。
第１のカセット１５０ａと第２のカセット１５１ａとは、同様の構成となっており、図２に示すように、内部に上下方向に等間隔を空けて複数の棚１５３が配置されており、該棚１５３に被加工物Ｗを一枚ずつ収容可能となっている。

図１に示すように、第１のカセット１５０ａの開口の前方には、第１のカセット１５０ａから加工前の被加工物Ｗを搬出するとともに加工後の被加工物Ｗを第２のカセット１５１ａに搬入するロボット８が配設されている。ロボット８に隣接する位置には、例えば仮置き手段２が配設されている。

図２に詳しく説明するロボット８は、多関節ロボットであり、被加工物Ｗを吸着保持する第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂを有するロボットハンド８８を装着し第１のカセット１５０ａから図１に示す仮置き手段２の仮置きテーブル２０に被加工物Ｗを搬送する。
ロボット８は、被加工物Ｗを吸着保持する第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂを有するロボットハンド８８と、ロボットハンド８８を水平方向に移動させるロボット水平移動手段８１と、ロボットハンド８８を上下方向に移動させるロボット上下移動手段８２と、例えばロボットハンド８８の第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂを上下反転させるロボット反転手段８３と、を備えている。

ロボット水平移動手段８１は、例えば、複数の板状アーム等で構成され内部にプーリ機構を備える旋回アーム部８１１と、旋回アーム部８１１を水平方向に旋回させる駆動力を生み出し該プーリ機構を介して旋回アーム部８１１に伝える旋回モータ８１２とを備えている。そして、旋回アーム部８１１の下端側は、ロボット上下移動手段８２を構成する上下動軸ケーシング８２０の内部に回転可能に収容された上下動軸８２１に連結されている。

ロボット水平移動手段８１は、旋回モータ８１２が生み出す回転力により、旋回アーム部８１１を軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である上下動軸８２１を軸に旋回させることで、ロボットハンド８８を水平面内（Ｘ軸Ｙ軸平面内）において旋回移動させることができるとともに、旋回アーム部８１１を構成する複数の板状アームを互いが交差した状態から互いが直線状となる状態等に変形させることができる。

ロボット上下移動手段８２は、例えば、円筒状の上下動軸ケーシング８２０と、上下動軸ケーシング８２０内に回転可能かつ上下動可能に収容された上下動軸８２１と、上下動軸８２１を介してロボットハンド８８をＺ軸方向に移動させる駆動力を生み出す図示しない上下動モータと、を備えている。

旋回アーム部８１１の上端側には、柱状のアーム連結部８３５を介して、図１においては鉛直方向（Ｚ軸方向）に直交するＸ軸方向の軸心を有するロボット反転手段８３のスピンドル８３０を回転可能に支持するハウジング８３１が固定されている。例えばハウジング８３１の内部には、スピンドル８３０を回転駆動する反転モータ８３２が収容されている。

スピンドル８３０の先端側はハウジング８３１から＋Ｘ方向に突出しており、この先端側に、ロボットハンド８８の根元側が装着されるホルダ８６が配設されている。反転モータ８３２がスピンドル８３０を回転させることに伴って、スピンドル８３０にホルダ８６を介して接続されているロボットハンド８８が回転して、ロボットハンド８８の第１吸着面８８ａと第１吸着面８８ａの反対面である第２吸着面８８ｂとを上下に反転させて切換えることができる。

被加工物Ｗを吸着保持する板状のロボットハンド８８は、例えば、全体として平面視しゃもじ状の外形を備えており、ホルダ８６に装着される矩形平板状の基部８８０と、基部８８０に一体的に形成された吸着部８８１とを備えている。なお、ロボットハンド８８は、本実施形態における形状に限定されるものではなく、全体として平面視略Ｕ字形状の外形を備えていてもよい。

本実施形態においては、ロボットハンド８８は、一方の面（図２においては、上側を向いている面）を第１吸着面８８ａとし、他方の面（図２においては、下側を向いている面）を第２吸着面８８ｂとしている。なお、ロボットハンド８８は、第１吸着面８８ａのみを備える構成となっていてもよい。

第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂは平滑に仕上げられており、また、被加工物Ｗに接触した場合に、被加工物Ｗを傷付けないように第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂの端部（稜線）には面取りが施されていてもよい。

第１吸着面８８ａには、複数の第１吸引孔８８３が開口している。第１吸引孔８８３は、例えば、第１吸着面８８ａの外周側の領域に略等間隔空けて、５箇所にそれぞれ３つずつ又は４つずつ開口している。なお、第１吸引孔８８３の数や配設箇所は本例に限定されるものではない。なお、第１吸引孔８８３には、変形可能なゴム吸盤等が配設されていてもよい。
各第１吸引孔８８３には、図示しない樹脂チューブや継手等を介して真空発生装置、又はエジェクター機構等のロボット吸引源８８９に接続されている。

第２吸着面８８ｂには、複数の第２吸引孔８８６が開口している。第２吸引孔８８６は、例えば、第２吸着面８８ｂの外周側の領域に略等間隔空けて、５箇所にそれぞれ３つずつ又は４つずつ開口している。なお、第２吸引孔８８６の数や配設箇所は本例に限定されるものではない。なお、第２吸引孔８８６には、変形可能なゴム吸盤等が配設されていてもよい。
各第２吸引孔８８６には、図示しない樹脂チューブや継手等を介してロボット吸引源８８９に接続されている。

図１に示すように、仮置き手段２は、例えば被加工物Ｗよりも小径の仮置きテーブル２０を備えており、仮置きテーブル２０の平坦な上面は被加工物Ｗを仮置きする仮置き面２００となる。第１のカセット１５０ａからロボット８により取り出された被加工物Ｗをチャックテーブル３０に載置する前に仮置きする仮置きテーブル２０の周囲には、仮置きテーブル２０の径方向に縮径、又は拡径するように移動可能な位置合わせピン２１が複数円環状に等間隔を空けて配設されており、仮置きテーブル２０に仮置きされた被加工物Ｗが、縮径する位置合わせピン２１で所定の位置に位置合わせ（センタリング）される。

本実施形態において、図３に示す仮置きテーブル２０は、被加工物Ｗを仮置きする仮置き面２００に形成される第２開口２００ａと、第２開口２００ａをテーブル側吸引源２９に連通する第２吸引管２２と、第２吸引管２２を分岐する第２分岐部２２０と、第２分岐部２２０とテーブル側エア供給源２８とを連通する第２エア供給管２３と、第２分岐部２２０とテーブル側吸引源２９との間の第２吸引管２２に配設される第２吸引バルブ２２１と、第２エア供給管２３に配設される第２エアバルブ２３２と、を備えている。

仮置きテーブル２０の下面側には、図３に示すように、モータ及びスピンドル等からなる回転手段２４が接続されており、仮置きテーブル２０はＺ軸を回転軸として回転可能となっている。仮置きテーブル２０及び回転手段２４の内部には、上端側が仮置き面２００の第２開口２００ａに連通する流路２００ｂが形成されており、流路２００ｂの下端側は、図示しないロータリージョイント等を介して第２吸引管２２に連通している。

可撓性を有する樹脂チューブ又は金属配管等からなる第２吸引管２２の途中には、例えば三方管等の第２分岐部２２０が配設されている。第２分岐部２２０には、第２吸引管２２から分岐した流路としての第２エア供給管２３の一端が連通しており、第２エア供給管２３の他端にはコンプレッサー等からなるテーブル側エア供給源２８が連通している。

図３に示すように、第２吸引管２２の第２分岐部２２０とテーブル側吸引源２９との間には、第２吸引バルブ２２１が配設されている。第２吸引バルブ２２１は、例えば、ソレノイドバルブであり、第２吸引バルブ２２１に通電が行われて開閉が切り換えられる。なお、第２吸引バルブ２２１は、ソレノイドバルブに限定されるものではない。

第２エア供給管２３とテーブル側エア供給源２８との間には、第２エアバルブ２３２が配設されている。第２エアバルブ２３２は、例えば、ソレノイドバルブであり、第２エアバルブ２３２に通電が行われることで開閉が切り換えられる。なお、第２エアバルブ２３２は、ソレノイドバルブに限定されるものではない。

（実施形態１の搬送手段）
図１、３に示す加工装置１は、ロボット８によって第１のカセット１５０ａから取り出され仮置きテーブル２０に仮置きされた被加工物Ｗをチャックテーブル３０に接触式の吸引パッド４１で保持して搬送する搬送手段４を備えている。以下、搬送手段４を、実施形態１の搬送手段とする。
仮置き手段２の近傍に配設された搬送手段４は、例えば、中央に開口４１０ｂを形成した吸引面４１０ａを有する接触式の吸引パッド４１と、開口４１０ｂを吸引源４８に連通する吸引管４２と、吸引管４２を分岐する分岐部４２２と、分岐部４２２とエア供給源４９とを連通するエア供給管４９０と、分岐部４２２と吸引源４８との間の吸引管４２に配設される吸引バルブ４２５と、エア供給管４９０に配設されるエアバルブ４９３と、吸引面４１０ａに垂直な上下方向に吸引パッド４１を移動させる上下移動手段４４と、吸引面に平行な水平方向に吸引パッド４１を移動させる水平移動手段４６と、を備えている。

図１、３に示す水平移動手段４６は、例えば、ロータリーアクチュエータ等であり、水平方向に平行に延在しその先端の下面側に吸引パッド４１が装着されたアーム部４６０と、軸方向がＺ軸方向でありアーム部４６０を水平方向に旋回移動させる旋回軸部４６１と、旋回軸部４６１に接続された図示しない旋回モータと、を備えている。

例えば、上下移動手段４４は、ロッド及びモータ等を備え旋回軸部４６１に連結された電動シリンダである。上下移動手段４４は、旋回軸部４６１を昇降させることで吸引パッド４１を鉛直方向（Ｚ軸方向）の所定の高さ位置まで移動させて位置づけることができる。なお、上下移動手段４４は電動シリンダに限定されるものではなく、エアシリンダ等であってもよい。

吸引パッド４１は、例えば、変形可能なゴム等の弾性材を平面視円形状に形成した接触部４１０と、接触部４１０に連結しＺ軸方向に延在するパイプ部４１１と、パイプ部４１１と一体的に形成されアーム部４６０に固定された連結部４１２とを備えている。接触部４１０は、例えば、下方に向かって徐々に拡径しており、その下面が被加工物Ｗを吸引する吸引面４１０ａとなる。吸引面４１０ａは、例えば、僅かに凹みが設けられており、接触部４１０が被加工物Ｗに接触した際に径方向外側に広がる変形を許容する。

吸引面４１０ａの中央には、吸引パッド４１をＺ軸方向に貫通するように開口４１０ｂが形成されている。開口４１０ｂの上端側には、図示しない継手等を介して吸引管４２が連通している。吸引パッド４１の旋回移動を妨げないように、吸引管４２は可撓性を有する樹脂チューブ等で構成されており、吸引管４２の途中には、吸引管４２を分岐する三方管等の分岐部４２２が配設されている。分岐部４２２には、吸引管４２から分岐した流路としてのエア供給管４９０の一端が連通しており、エア供給管４９０の他端にはコンプレッサー等からなるエア供給源４９が連通している。

図３に示すように、吸引管４２の分岐部４２２と真空発生装置等の吸引源４８との間には、吸引バルブ４２５が配設されている。吸引バルブ４２５は、例えば、ソレノイドバルブであり、吸引バルブ４２５に通電が行われて開閉が切り換えられる。

エア供給管４９０とエア供給源４９との間には、エアバルブ４９３が配設されている。エアバルブ４９３は、例えば、ソレノイドバルブであり、エアバルブ４９３に通電が行われることで開閉が切り換えられる。なお、吸引バルブ４２５及びエアバルブ４９３は、ソレノイドバルブに限定されるものではない。

図１に示すように、搬送手段４の隣には、加工後の被加工物Ｗを吸引保持した状態で旋回移動する搬出手段１５７が設けられている。搬出手段１５７と近接する位置には、搬出手段１５７により搬送されてきた加工後の被加工物Ｗを洗浄する枚葉式の洗浄手段１５６が配置されている。洗浄手段１５６は、スピンナテーブル１５６ａで被加工物Ｗの下側を向いた下面Ｗａを保持し、保持された被加工物Ｗの上方を移動する洗浄ノズル１５６ｂから、洗浄水を被加工物Ｗの上面Ｗｂに噴射して上面Ｗｂの洗浄を行う。

図１に示すように、搬送手段４の移動範囲内には、被加工物Ｗの下面Ｗａを吸引保持するチャックテーブル３０が配設されている。チャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸引保持する保持面３００を備えている。チャックテーブル３０は、軸方向がＺ軸方向（鉛直方向）である回転軸を軸に回転可能であると共に、カバー３９によって周囲を囲まれており、カバー３９及びカバー３９に連結されＹ軸方向に伸縮する蛇腹カバー３９ａの下に配設された図示しないＹ軸方向移動手段によって、装置ベース１０上をＹ軸方向に往復移動可能である。

図１に示すように、装置ベース１０上の後方側（＋Ｙ方向側）には、コラム１００が立設されており、コラム１００の前面には、チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗを加工する加工手段１６を、Ｚ軸方向に加工送りするボールネジ機構等からなる加工送り手段１７が配設されている。

加工手段１６は、軸方向がチャックテーブル３０の保持面３００に直交するＺ軸方向でありモータ１６２によって回転される回転軸１６０の下端側に、加工具１６４が取り付けられている。加工具１６４は、研削ホイールであり、ホイール基台と、略直方体形状の外形を備えホイール基台の下面に複数環状に配設された研削砥石とを備えている。

例えば、回転軸１６０の内部には、Ｚ軸方向に延びる図示しない研削水流路が形成されている。この研削水流路に連通する図示しない研削水供給手段から回転軸１６０に対して供給される研削水は、研削水流路の下端の開口から加工具１６４に向かって下方に噴出し、加工具１６４と被加工物Ｗとの接触部位に到達する。

加工手段１６の下方に位置づけられたチャックテーブル３０に隣接する位置には、例えば、被加工物Ｗの厚みを接触式にて測定する厚み測定手段３８が配設されている。

図１に示すように、加工装置１は、例えば、装置全体の制御を行う制御手段９を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等で構成される制御手段９は、先に説明した本発明の各発明構成要素に電気的に接続されている。制御手段９は、例えば、加工送り手段１７、及び加工手段１６に電気的に接続されており、制御手段９による制御の下で、加工送り手段１７による加工手段１６の昇降動作、及び加工手段１６における加工具１６４の回転動作等が実施される。

例えば、制御手段９は、図２に示すロボット８のロボット水平移動手段８１の旋回モータ８１２、ロボット上下移動手段８２の図示しない上下動モータ、及びロボット反転手段８３の反転モータ８３２に電気的に接続されている。
例えば、ロボット８の上記各モータがサーボモータである場合には、各サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段９に接続されており、制御手段９の出力インターフェイスからサーボモータに対して動作信号が供給された後、各サーボモータの回転数をエンコーダ信号として制御手段９の入力インターフェイスに対して出力する。そして、旋回モータ８１２の回転数をエンコーダ信号として受け取った制御手段９は、上下動軸８２１の回転角度を逐次認識し、旋回アーム部８１１の旋回角度や形状を逐次認識しつつ、ロボットハンド８８を所望の位置に位置づける制御を行う。また、図示しない上下動モータの回転数をエンコーダ信号として受け取った制御手段９は、図１に示す上下動軸８２１のＺ軸方向における移動量を逐次認識しつつ、ロボットハンド８８を所望の高さ位置に位置づける制御を実施する。また、反転モータ８３２の回転数をエンコーダ信号として受け取った制御手段９は、スピンドル８３０の回転角度を逐次認識することで、第１吸着面８８ａと第２吸着面８８ｂとを所望の方向に向ける制御を行うことができる。

なお、旋回モータ８１２、図示しない上下動モータ、及び反転モータ８３２は、例えば、パルスモータ（ステッピングモータ）であってもよく、制御手段９は、図示しないパルス発振器から各パルスモータに送出されるパルス信号数をカウントすることで、ロボットハンド８８の水平面内における位置、高さ位置、及び第１吸着面８８ａと第２吸着面８８ｂとの向きを逐次認識してもよい。

例えば、制御手段９は、搬送手段４の水平移動手段４６の図示しない旋回モータ、及び上下移動手段４４の図示しないモータに電気的に接続されている。
例えば、搬送手段４の上記該各モータがサーボモータである場合には、各サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段９に接続されており、制御手段９からサーボモータに対して動作信号が供給された後、各サーボモータの回転数をエンコーダ信号として制御手段９に対してフィードバックする。そして、図示しない旋回モータの回転数をエンコーダ信号として受け取った制御手段９は、図１に示す旋回軸部４６１の回転角度を逐次認識することで、吸引パッド４１を水平面内の所望の位置に位置づける制御を実施できる。また、上下移動手段４４の図示しないモータの回転数をエンコーダ信号として受け取った制御手段９は、図１に示す旋回軸部４６１のＺ軸方向における移動量を逐次認識しつつ、吸引パッド４１を所望の高さ位置に位置づける制御を実施できる。
なお、搬送手段４の該各モータは、パルスモータ（ステッピングモータ）であってもよく、制御手段９は、図示しないパルス発振器から各パルスモータに送出されるパルス信号数をカウントすることで、吸引パッド４１の水平面内における位置、及び高さ位置を制御してもよい。

例えば、図１に示す制御手段９は、図３に示す搬送手段４の吸引バルブ４２５及びエアバルブ４９３に有線又は無線の通信経路を介して接続されており、吸引バルブ４２５又はエアバルブ４９３に通電を行い、その開閉を制御することが可能である。

例えば、図１に示す制御手段９は、図３に示す仮置きテーブル２０の第２吸引バルブ２２１及び第２エアバルブ２３２に有線又は無線の通信経路を介して接続されており、第２吸引バルブ２２１又は第２エアバルブ２３２に通電を行い、その開閉を制御することが可能である。

以下に、図１に示す被加工物Ｗが加工装置１において研削加工される場合について説明する。
例えば、まず、被加工物Ｗが第１のカセット１５０ａからロボット８により例えば第１吸着面８８ａで吸引保持された状態で搬出され、ロボット８が被加工物Ｗを例えば仮置き手段２に搬送する。

仮置きテーブル２０に載置された状態で、位置合わせピン２１によって被加工物Ｗが所定の位置に位置合わせ（センタリング）される。次いで、搬送手段４の吸引パッド４１が、水平移動手段４６によって旋回移動されて被加工物Ｗの上方に位置づけられ、上下移動手段４４によって降下して被加工物Ｗに接触して、吸引源４８（図３参照）が生み出す吸引力が伝達された吸引面４１０ａによって被加工物Ｗを吸引保持し、さらに、仮置き手段２からチャックテーブル３０に被加工物Ｗを搬送する。そして、チャックテーブル３０の中心と被加工物Ｗの中心とが略合致するように、被加工物Ｗが上面Ｗｂを上に向けた状態で保持面３００上に載置され、さらに、保持面３００で吸引保持される。

次いで、被加工物Ｗを保持した図１に示すチャックテーブル３０が、加工手段１６の下まで＋Ｙ方向へ移動する。加工手段１６が加工送り手段１７により－Ｚ方向へと送られ、回転軸１６０の回転に伴って回転する加工具１６４が被加工物Ｗの上面Ｗｂに当接することで研削が行われる。研削中は、チャックテーブル３０が回転するのに伴って、保持面３００上に保持された被加工物Ｗも回転するので、加工具１６４が被加工物Ｗの上面Ｗｂの全面の研削加工を行う。また、研削水が加工具１６４と被加工物Ｗとの接触部位に対して供給され、接触部位が冷却されるとともに、接触部位に発生する研削屑が洗浄除去される。

被加工物Ｗを所望の厚みになるまで研削した後、加工送り手段１７により加工手段１６を上昇させて被加工物Ｗから離間させ、さらにチャックテーブル３０を－Ｙ方向に移動させて搬出手段１５７の近傍に位置づける。次いで、搬出手段１５７によって上面Ｗｂを吸引保持された被加工物Ｗが、洗浄手段１５６に搬送される。洗浄手段１５６によって被加工物Ｗの上面Ｗｂがスピンナ洗浄された後、例えば、洗浄ノズル１５６ｂからエアを噴出させて被加工物Ｗを乾燥する。

加工装置１においては、第１のカセット１５０ａに棚状に複数枚収容されている被加工物Ｗに対する研削のスループットを向上させるために、例えば、一枚の被加工物Ｗがチャックテーブル３０によって保持されて研削されている最中に、新たな被加工物Ｗが第１のカセット１５０ａからロボット８により引き出され、研削を行うための被加工物Ｗのセンタリング等が先に説明したのと同様に行われる。

しかし、先に説明した加工後の被加工物Ｗがロボット８によって第２のカセット１５１ａに収容される前の段階であって、かつ、搬送手段４が被加工物Ｗを搬送しておらず、また、仮置きテーブル２０に被加工物Ｗが仮置きされておらず、また、ロボット８が被加工物Ｗを吸引保持していないタイミングは存在するので、例えばこのタイミングで、ロボット８のロボットハンド８８のエア清掃が実施される。

以下に、加工装置１において、ロボット８のロボットハンド８８をエア清掃する場合の、加工装置１の各構成要素の動作について説明する。本エア清掃を行うために、図１に示す制御手段９は、図３に示すように、ロボット反転手段８３を用いて上側に向けたロボットハンド８８の例えば第１吸着面８８ａ、即ち、先に被加工物Ｗを第１のカセット１５０ａから吸引保持して搬出したことによってゴミが付着した可能性のある第１吸着面８８ａを、搬送手段４の水平移動手段４６又はロボット８のロボット水平移動手段８１の少なくともいずれか一方を用いて吸引パッド４１の開口４１０ｂの直下に位置づけ、吸引バルブ４２５を閉じエアバルブ４９３を開くことで開口４１０ｂからエアを噴射させる制御を行う。制御手段９による該制御について、以下に説明していく。

本実施形態においては、制御手段９によるロボット反転手段８３の制御の下で、ロボット反転手段８３によって、例えば、ロボット８のロボットハンド８８の先に被加工物Ｗを保持した第１吸着面８８ａが、上側（＋Ｚ方向側）を向いた状態にセットされる。即ち、第１吸着面８８ａが選択的に搬送手段４の吸引パッド４１の開口４１０ｂにＺ軸方向において対面する＋Ｚ方向側（上側）に向けられる。

一方、図３に示すように、本実施形態においては、制御手段９による制御の下で、水平移動手段４６によって被加工物Ｗを保持していない吸引パッド４１が水平移動（旋回移動）され、また、上下移動手段４４によって吸引パッド４１の高さ位置が調整されて、仮置きテーブル２０の仮置き面２００よりも所定距離の上方の高さ位置で吸引パッド４１が仮置きテーブル２０の直上に位置づけられる。図３に示すように、Ｚ軸方向において対向させた吸引パッド４１と仮置きテーブル２０との間には、ロボットハンド８８が進入可能な空間が形成される。

また、制御手段９による制御の下で、ロボット水平移動手段８１によって被加工物Ｗを保持していないロボットハンド８８が水平移動（旋回移動）され、また、ロボット上下移動手段８２によってロボットハンド８８の高さ位置が調整されつつ、ロボットハンド８８が仮置きテーブル２０の上方に移動され、吸引パッド４１の開口４１０ｂの直下に位置づけられる。即ち、本実施形態においては、吸引パッド４１と仮置きテーブル２０との間にロボットハンド８８が進入して、仮置きテーブル２０の直上にロボットハンド８８が位置づけられる。

さらに、制御手段９によって、エアバルブ４９３に通電がなされ、吸引バルブ４２５が閉じられた状態でエアバルブ４９３が開かれた状態になり、エア供給源４９とエア供給管４９０と分岐部４２２より下流側の吸引管４２とが連通する。そして、エア供給源４９が送出するエアが、エア供給管４９０、及び吸引管４２を通り吸引パッド４１の開口４１０ｂからロボットハンド８８の第１吸着面８８ａに向かって噴射される。そして、該エアによって、第１吸着面８８ａに付着していた加工屑等のゴミが吹き飛ばされて、第１吸着面８８ａが清掃される。なお、制御手段９による制御の下で、吸引パッド４１からエアを下方に向かって噴射させつつ、水平移動手段４６によって吸引パッド４１をロボットハンド８８の第１吸着面８８ａ上で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。または、ロボット水平移動手段８１によってロボットハンド８８を吸引パッド４１の下方で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。

このように、本発明に係る加工装置１は、加工後の被加工物Ｗを保持する前にロボットハンド８８の例えば第１吸着面８８ａをゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物Ｗをロボットハンド８８の第１吸着面８８ａで吸着保持した際に、被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

また、制御手段９は、ロボット反転手段８３を用いて第１吸着面８８ａまたは第２吸着面８８ｂを選択的に搬送手段４の吸引パッド４１の開口４１０ｂに対面する方向に向け、選択された例えば第１吸着面８８ａを清掃する制御を実施可能であることで、加工後の被加工物Ｗを保持する前にロボットハンド８８の第１吸着面８８ａをゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物Ｗをロボットハンドの第１吸着面８８ａで吸着保持した際に、被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

また、本実施形態においては、上記第１吸着面８８ａのエア清掃と共に、仮置きテーブル２０によって第２吸着面８８ｂのエア清掃も実施される。
即ち、制御手段９によって、第２エアバルブ２３２に通電がなされ、第２吸引バルブ２２１が閉じられた状態で第２エアバルブ２３２が開かれた状態になり、テーブル側エア供給源２８と第２エア供給管２３と第２分岐部２２０より下流側の第２吸引管２２とが連通する。そして、テーブル側エア供給源２８が送出するエアが、第２エア供給管２３、及び第２吸引管２２を通り仮置きテーブル２０の第２開口２００ａからロボットハンド８８の第２吸着面８８ｂに向かって噴射される。そして、該エアによって、第２吸着面８８ｂに付着していた加工屑等のゴミが吹き飛ばされて、第２吸着面８８ｂが清掃される。なお、制御手段９による制御の下で、ロボット水平移動手段８１によってロボットハンド８８を、エアを上方に向かって噴射させている仮置きテーブル２０の上方で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。

上記のように、制御手段９による制御の下で、第１吸着面８８ａと第２吸着面８８ｂとを同時に清掃できるため、清掃時間を短縮できるとともに、加工後の被加工物Ｗを保持する前にロボットハンド８８の第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂをゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物Ｗを第１吸着面８８ａ又は第２吸着面８８ｂで吸着保持した際に、被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

所定時間第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂのエア清掃が行われると、制御手段９による制御の下で、エアバルブ４９３への通電が遮断され、エアバルブ４９３が閉じられ、エア供給源４９によるエアの吸引パッド４１への供給が停止される。また、例えば、吸引バルブ４２５に通電がされ、吸引バルブ４２５が開かれた状態になり、吸引パッド４１が次の被加工物Ｗを吸引保持できる状態にセットされる。
制御手段９による制御の下で、第２エアバルブ２３２への通電が遮断され、第２エアバルブ２３２が閉じられるとともに、例えば、第２吸引バルブ２２１に通電がされ、第２吸引バルブ２２１が開かれた状態になり、仮置きテーブル２０が次の被加工物Ｗを吸引保持できる状態にセットされる。

洗浄手段１５６により洗浄・乾燥された加工後の被加工物Ｗは、ロボット８により第２のカセット１５１ａに搬入される。ここで、ロボット８は、第１吸着面８８ａと第２吸着面８８ｂとが上記のように清掃されて汚れが付着していない状態になっているため、例えば、第１吸着面８８ａで吸着保持された加工後の被加工物Ｗにゴミが付着してしまうことが無い。

（実施形態２の搬送手段）
図１に示す加工装置１は、例えば、実施形態１の搬送手段４に代えて、以下に説明する図４に示す実施形態２の搬送手段５を備えていてもよい。
ロボット８によって第１のカセット１５０ａから取り出され、例えば、仮置きテーブル２０に仮置きされた被加工物Ｗをチャックテーブル３０に搬送する搬送手段５は、図３に示す搬送手段４の接触式の吸引パッド４１、吸引管４２、分岐部４２２、エア供給管４９０、吸引バルブ４２５、及びエアバルブ４９３に代えて、中央に配設されたエア噴出口５００ａから大流量のエアを噴出することで負圧を生成し非接触で被加工物Ｗを吸引する非接触式吸引パッド５０と、エア噴出口５００ａと大流量エア供給源５３とを連通する大流量エア供給管５３０と、大流量エア供給管５３０に配設される大流量エアバルブ５３１と、を備えている。

非接触式吸引パッド５０は、例えば、図１、４に示すアーム部４６０の下面側に支持部材４６７を介して装着されており、例えば、非接触式吸引パッド５０の中央に配設されエア噴出口５００ａから大流量エアを噴出することで負圧を生成し非接触で被加工物Ｗを吸引する吸引生成部５００と、吸引生成部５００により吸引される被加工物Ｗの外周領域に接触して被加工物Ｗが水平方向に移動することを規制する規制部５０１と、吸引生成部５００と規制部５０１とが配設される平面視円形の基板部５０２とを備えている。

非接触で被加工物Ｗを吸引する吸引生成部５００は、例えば、基板部５０２の下面の中央領域に１つ配設されている。例えば、外形が円盤状の吸引生成部５００の内部には、エア供給路５００ｂが形成されており、エア供給路５００ｂは、吸引生成部５００の底面に形成された円環状のエア噴出口５００ａに連通している。また、エア供給路５００ｂには、コンプレッサー等からなる大流量エア供給源５３に連通する樹脂チューブ等で構成される大流量エア供給管５３０の一端が接続されている。なお、例えば、エア供給路５００ｂには、大流量エア供給源５３から吸引生成部５００に供給された大流量エアを加速させる環状オリフィス等が形成されていてもよい。

大流量エア供給管５３０に配設される大流量エアバルブ５３１は、例えば、ソレノイドバルブであり、図１に示す制御手段９から大流量エアバルブ５３１に通電が行われて開閉が切り換えられる。なお、大流量エアバルブ５３１は、ソレノイドバルブに限定されるものではない。

被加工物Ｗが水平方向に移動することを規制する規制部５０１は、例えば、ゴム又はスポンジ等を柱状に形成したものであり、基板部５０２の下面の外周部に、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば９０度間隔で４つ、図４においては、２つのみ図示）固定されている。

図１に示す被加工物Ｗを非接触で吸引保持する場合において、非接触式吸引パッド５０がＺ軸方向の所定の位置まで降下して、被加工物Ｗの上面Ｗｂとの間に僅かな隙間を設けて位置付けられる。そして、大流量エア供給源５３が、大流量のエアを大流量エア供給管５３０を介して非接触式吸引パッド５０内部のエア供給路５００ｂに供給する。非接触式吸引パッド５０に供給された大流量エアは、エア供給路５００ｂ内で例えば図示しない環状オリフィスを通って加速され、エア噴出口５００ａから被加工物Ｗの上面Ｗｂ上に噴出する。エア噴出口５００ａから噴出した大流量エアは、非接触式吸引パッド５０と被加工物Ｗとの間を被加工物Ｗの中心から放射方向に流れて行き大気へ放出される。そのため、非接触式吸引パッド５０の下面と被加工物Ｗの上面Ｗｂとの間の僅かな隙間を大流量エアが高速で放射方向に向かって流動することで、吸引生成部５００を中心としてベルヌーイ効果による負圧が生成され、非接触式吸引パッド５０が非接触状態で被加工物Ｗを吸引保持する。
なお、吸引生成部５００は、被加工物Ｗとの間に大流量エア供給源５３から供給された大流量エアによる旋回流を形成することで被加工物Ｗを吸引する負圧を生成できるように構成されていてもよい。

以下に、図４に示す搬送手段５を備える加工装置１において、ロボット８のロボットハンド８８をエア清掃する場合の各構成要素の動作について説明する。本エア清掃のタイミングは、先に説明した実施形態１の搬送手段４によるエア清掃のタイミングと同様である。

本エア清掃を行うために、制御手段９は、ロボット反転手段８３を用いて上側に向けたロボットハンド８８の例えば第１吸着面８８ａ、即ち、被加工物Ｗを第１のカセット１５０ａから吸引保持して搬出したことによってゴミが付着した可能性のある第１吸着面８８ａを、搬送手段５の水平移動手段４６又はロボット８のロボット水平移動手段８１の少なくともいずれか一方を用いて非接触式吸引パッド５０のエア噴出口５００ａの直下に位置づけ、大流量エアバルブ５３１を開くことでエア噴出口５００ａからエアを噴射させる制御を行う。制御手段９による該制御について、以下に説明していく。

本実施形態においては、図１に示す制御手段９による図４に示すロボット反転手段８３の制御の下で、ロボット反転手段８３によって、例えば、ロボットハンド８８の先に被加工物Ｗを保持した第１吸着面８８ａが、上側（＋Ｚ方向側）を向いた状態にセットされる。即ち、第１吸着面８８ａが選択的に非接触式吸引パッド５０のエア噴出口５００ａにＺ軸方向において対面する＋Ｚ方向に向けられる。

一方、図４に示すように、本実施形態においては、制御手段９による制御の下で、水平移動手段４６によって被加工物Ｗを保持していない非接触式吸引パッド５０が水平移動（旋回移動）され、また、上下移動手段４４によって非接触式吸引パッド５０の高さ位置が調整されて、仮置きテーブル２０の仮置き面２００よりも所定距離の上方の高さ位置で非接触式吸引パッド５０が仮置きテーブル２０の直上に位置づけられる。図４に示すように、Ｚ軸方向において対向させた非接触式吸引パッド５０と仮置きテーブル２０との間には、ロボットハンド８８が進入可能な空間が形成される。

また、制御手段９による制御の下で、ロボット水平移動手段８１によってロボットハンド８８が水平移動（旋回移動）され、また、ロボット上下移動手段８２によってロボットハンド８８の高さ位置が調整されつつ、ロボットハンド８８が仮置きテーブル２０の上方に移動され、非接触式吸引パッド５０のエア噴出口５００ａの直下に位置づけられる。即ち、本実施形態においては、非接触式吸引パッド５０と仮置きテーブル２０との間にロボットハンド８８が進入して、仮置きテーブル２０の直上にロボットハンド８８が位置づけられる。なお、ロボットハンド８８と非接触式吸引パッド５０との間に設けられる空間は、非接触式吸引パッド５０が被加工物Ｗの上面Ｗｂを非接触で吸引保持する際に設けられる僅か隙間よりも大きく設定されており、大流量のエア供給によって非接触式吸引パッド５０とロボットハンド８８との間に負圧が生成されない大きさの空間である。

さらに、制御手段９によって、大流量エアバルブ５３１に通電がなされ、大流量エアバルブ５３１が開き、大流量エア供給源５３が送出する大流量のエアが、大流量エア供給管５３０、及びエア供給路５００ｂを通り非接触式吸引パッド５０のエア噴出口５００ａからロボットハンド８８の第１吸着面８８ａに向かって噴射される。そして、該大流量エアによって、第１吸着面８８ａに付着していた加工屑等のゴミが吹き飛ばされて、第１吸着面８８ａが清掃される。なお、制御手段９による制御の下で、非接触式吸引パッド５０から大流量エアを下方に向かって噴射させつつ、水平移動手段４６によって非接触式吸引パッド５０をロボットハンド８８の第１吸着面８８ａ上で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。または、ロボット水平移動手段８１によってロボットハンド８８を非接触式吸引パッド５０の下方で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。

このように、実施形態２の搬送手段５を備える本発明に係る加工装置１は、加工後の被加工物Ｗを保持する前にロボットハンド８８の例えば第１吸着面８８ａをゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物Ｗをロボットハンド８８の第１吸着面８８ａで吸着保持した際に、被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

また、制御手段９は、ロボット反転手段８３を用いて第１吸着面８８ａまたは第２吸着面８８ｂを選択的に搬送手段５の非接触式吸引パッド５０のエア噴出口５００ａに対面する方向に向け、選択された例えば第１吸着面８８ａを清掃する制御を実施可能であることで、加工後の被加工物Ｗを保持する前にロボットハンド８８の第１吸着面８８ａをゴミが付着していない清潔な状態にすることで、加工後の被加工物Ｗをロボットハンドの第１吸着面８８ａで吸着保持した際に、被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

また、本実施形態においては、上記第１吸着面８８ａのエア清掃と共に、仮置きテーブル２０によって第２吸着面８８ｂのエア清掃も実施される。即ち、制御手段９によって、第２吸引バルブ２２１が閉じられ第２エアバルブ２３２が開いた状態になる。そして、テーブル側エア供給源２８が送出するエアが、仮置きテーブル２０の第２開口２００ａからロボットハンド８８の第２吸着面８８ｂに向かって噴射され、第２吸着面８８ｂに付着していた加工屑等のゴミが吹き飛ばされる。なお、制御手段９による制御の下で、ロボット水平移動手段８１によってロボットハンド８８を、エアを噴射させている仮置きテーブル２０の上方で所定の角度で往復するように旋回移動させてもよい。

上記のように、制御手段９による制御の下で、第１吸着面８８ａと第２吸着面８８ｂとを同時に清掃できるため、清掃時間を短縮できるとともに、加工後の被加工物Ｗをロボットハンド８８の清掃された第１吸着面８８ａ又は清掃された第２吸着面８８ｂで吸着保持して被加工物Ｗにゴミを付着させる事が無い。

所定時間第１吸着面８８ａ及び第２吸着面８８ｂのエア清掃が行われると、大流量エア供給源５３による大流量エアの非接触式吸引パッド５０への供給が停止される。
また、制御手段９による制御の下で、第２エアバルブ２３２が閉じられるとともに、第２吸引バルブ２２１が開かれた状態になり、仮置きテーブル２０が次の被加工物Ｗを吸引保持できる状態にセットされる。

Ｗ：被加工物 Ｗａ：下面 Ｗｂ：上面
１：加工装置 １０：装置ベース Ａ：着脱領域 Ｂ：加工領域 １００：コラム
１５０：第１のカセットステージ １５０ａ：第１のカセット １５１：第２のカセットステージ １５１：第２のカセットステージ １５１ａ：第２のカセット １５３：棚
８：ロボット
８１：ロボット水平移動手段 ８１１：旋回アーム部 ８１２：旋回モータ
８２：ロボット上下移動手段 ８２０：上下動軸ケーシング ８２１：上下動軸
８３：ロボット反転手段 ８３０：スピンドル ８３１：ハウジング ８３２：反転モータ ８３５：アーム連結部 ８６：ホルダ
８８：ロボットハンド ８８０：基部 ８８１：吸着部 ８８ａ：第１吸着面 ８８３：第１吸引孔８８３ ８８ｂ：第２吸着面 ８８６：第２吸引孔８８６ ８８９：ロボット吸引源
２：仮置き手段
２０：仮置きテーブル ２００：仮置き面 ２００ａ：第２開口 ２２：第２吸引管
２２０：第２分岐部 ２２１：第２吸引バルブ ２３：第２エア供給管 ２３２：第２エアバルブ ２１：位置合わせピン
２４：回転手段 ２８：テーブル側エア供給源 ２９：テーブル側吸引源
４：搬送手段
４１：吸引パッド ４１０：接触部 ４１０ａ：吸引面 ４１０ｂ：開口
４２：吸引管 ４２２：分岐部 ４２５：吸引バルブ
４９：エア供給源 ４９０：エア供給管 ４９３：エアバルブ
４４：上下移動手段 ４６：水平移動手段 ４６０：アーム部 ４６１：旋回軸部
４８：吸引源
１５７：搬出手段 １５６：洗浄手段
３０：チャックテーブル ３００：保持面 ３９：カバー ３９ａ：蛇腹カバー
１７：加工送り手段 １６：加工手段 １６０：回転軸 １６４：加工具
３８：厚み測定手段
５：搬送手段 ５０：非接触式吸引パッド ５００：吸引生成部 ５００ａ：エア噴出口５０１：規制部 ５３：大流量エア供給源 ５３０：大流量エア供給管 ５３１：大流量エアバルブ

Claims (6)

1. 上下方向に複数の棚を配置したカセットを載置するカセットステージと、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物を吸着保持する吸着面を有するロボットハンドを装着し該カセットから被加工物を取り出すロボットと、該ロボットによって取り出された被加工物を該チャックテーブルに搬送する搬送手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
   該ロボットは、該ロボットハンドを水平方向に移動させるロボット水平移動手段と、該ロボットハンドを上下方向に移動させるロボット上下移動手段と、を備え、
   該搬送手段は、
   中央に開口を形成した吸引面を有する接触式の吸引パッドと、該開口を吸引源に連通する吸引管と、該吸引管を分岐する分岐部と、該分岐部とエア供給源とを連通するエア供給管と、該分岐部と該吸引源との間の該吸引管に配設される吸引バルブと、該エア供給管に配設されるエアバルブと、該吸引面に垂直な上下方向に該吸引パッドを移動させる上下移動手段と、該吸引面に平行な水平方向に該吸引パッドを移動させる水平移動手段と、を備え、
   上側に向けた該ロボットハンドの該吸着面を、該水平移動手段又は該ロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて該吸引パッドの該開口の直下に位置づけ、該吸引バルブを閉じ該エアバルブを開くことで該開口からエアを噴射させる制御を行う制御手段と、を備え、
   該開口から噴射させた該エアによって該ロボットハンドの該吸着面を清掃する加工装置。
2. 前記搬送手段は、接触式の前記吸引パッド、前記吸引管、前記分岐部、前記エア供給管、前記吸引バルブ、及び前記エアバルブに代えて、中央に配設されたエア噴出口から大流量のエアを噴出することで負圧を生成し非接触で被加工物を吸引する非接触式吸引パッドと、該エア噴出口と大流量エア供給源とを連通する大流量エア供給管と、該大流量エア供給管に配設される大流量エアバルブと、を備え、
   前記制御手段は、上側に向けた前記ロボットハンドの前記吸着面を、前記水平移動手段又は前記ロボット水平移動手段の少なくともいずれか一方を用いて該非接触式吸引パッドの該エア噴出口の直下に位置づけ、該大流量エアバルブを開き該エア噴出口から大流量エアを噴射させ、該エア噴出口から噴射させた該大流量エアによって該ロボットハンドの該吸着面を清掃する制御を実施可能な請求項１記載の加工装置。
3. 前記ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、
   前記ロボットは、該ロボットハンドの該第１吸着面と該第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、
   前記制御手段は、該ロボット反転手段を用いて該第１吸着面、又は該第２吸着面を選択的に前記搬送手段の前記吸引パッドの前記開口に対面させ、選択された該第１吸着面、又は該第２吸着面を清掃する制御を実施可能な請求項１記載の加工装置。
4. 前記ロボットハンドは、一方の面を第１吸着面とし、他方の面を第２吸着面とし、
   前記ロボットは、該ロボットハンドの該第１吸着面と該第２吸着面とを上下反転させるロボット反転手段を備え、
   前記制御手段は、該ロボット反転手段を用いて該第１吸着面、又は該第２吸着面を選択的に前記搬送手段の前記非接触式吸引パッドの前記エア噴出口に対面させ、選択された該第１吸着面、又は該第２吸着面を清掃する制御を実施可能な請求項２記載の加工装置。
5. 前記カセットから取り出された被加工物を前記チャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、
   該仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、該第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、該第２吸引管を分岐する第２分岐部と、該第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、該第２分岐部と該テーブル側吸引源との間の該第２吸引管に配設される第２吸引バルブと、該第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、
   前記制御手段は、
   前記搬送手段の前記吸引パッドを該仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた該吸引パッドと該仮置きテーブルとの間に前記ロボットハンドを進入させ、前記エアバルブを開き該吸引パッドの前記開口からエアを噴射させると共に、該第２エアバルブを開き該第２開口からエアを噴射させ、前記第１吸着面と前記第２吸着面とを清掃する制御を実施可能な請求項３記載の加工装置。
6. 前記カセットから取り出された被加工物を前記チャックテーブルに載置する前に仮置きする仮置きテーブルを備え、
   該仮置きテーブルは、被加工物を仮置きする仮置き面に形成される第２開口と、該第２開口をテーブル側吸引源に連通する第２吸引管と、該第２吸引管を分岐する第２分岐部と、該第２分岐部とテーブル側エア供給源とを連通する第２エア供給管と、該第２分岐部と該テーブル側吸引源との間の該第２吸引管に配設される第２吸引バルブと、該第２エア供給管に配設される第２エアバルブと、を備え、
   前記制御手段は、
   前記搬送手段の前記非接触式吸引パッドを該仮置きテーブルの上方に移動させたことにより対向させた該非接触式吸引パッドと該仮置きテーブルとの間に前記ロボットハンドを進入させ、前記大流量エアバルブを開き該非接触式吸引パッドの前記エア噴出口から大流量エアを噴射させると共に、該第２エアバルブを開き該第２開口からエアを噴射させ、前記第１吸着面と前記第２吸着面とを清掃する制御を実施可能な請求項４記載の加工装置。

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