JP7332650B2 - 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法 - Google Patents

光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7332650B2
JP7332650B2 JP2021055788A JP2021055788A JP7332650B2 JP 7332650 B2 JP7332650 B2 JP 7332650B2 JP 2021055788 A JP2021055788 A JP 2021055788A JP 2021055788 A JP2021055788 A JP 2021055788A JP 7332650 B2 JP7332650 B2 JP 7332650B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
pulse
timing
diffracted
optical spectrum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021055788A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022152857A (ja
Inventor
太一 村上
智英 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP2021055788A priority Critical patent/JP7332650B2/ja
Priority to US17/650,877 priority patent/US11686617B2/en
Publication of JP2022152857A publication Critical patent/JP2022152857A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7332650B2 publication Critical patent/JP7332650B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

本発明は、光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法に関する。
従来より、測定対象(DUT:Device Under Test)である被測定光に含まれる波長成分を測定するために、例えば特許文献1に示されたような光スペクトラムアナライザが用いられている。
光スペクトラムアナライザは、波長選択性が高く且つその選択波長を可変できる光学的なフィルタを用いて、被測定光に含まれる各波長成分を選択的に受光し、波長軸方向のスペクトル分布等を計測してその結果を画面上に表示することができる。
特許文献1の光スペクトラムアナライザは、装置内の光路中にあるビームスプリッタによる光損失を回避するための技術を示している。
ところで、光スペクトラムアナライザの測定対象は、一般的には連続発光(CW:Continuous Wave)の光である。しかし、レーザダイオード(LD)チップやモジュールのようなDUTを連続発光させる場合には、例えば、DUTを駆動する電流を連続的に流すことにより生じる温度変化の影響により発光波長およびレベルが時間の経過に伴って変動することが想定される。そこで、温度変化による波長およびレベルの変動を抑制するために、光源にパルス変調(発光の周期的なオンオフ)をかけ、パルス状に間欠的に発光させる手法が用いられる。
また、パルス状の光を光源から発射する場合には、対象物で反射した反射光を計測することにより、対象物の状態を検出することが可能になる。例えば、LiDAR(Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging)技術では、パルス状に発光するレーザー照射に対する散乱光を測定し、遠距離にある対象までの距離やその対象の性質を分析することができる。
このようなパルス状の光(パルス変調光)の光スペクトル測定が可能な光スペクトラムアナライザとして、特許文献2に記載された分光分析装置が提案されている。
特許第3986031号公報 実用新案登録第2564009号公報
しかしながら、特許文献2に記載された分光分析装置ではパルス変調光のパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合にそれらを検知する機能・方法を備えていないため、パルス変調光のパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合、ピークホールドの保持時間を適切に選択することができず、スペクトルを測定することができない、もしくはピークホールドの保持時間に余裕を持たせて長い時間に設定する必要が生じることにより測定時間が大幅に長くなってしまう、という問題があった。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、パルス変調光のパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合でも、パルス変調光の波長ごとのピークレベルを測定することができる光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法を提供することにある。
前述した目的を達成するために、本発明に係る光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法は、下記[1]~[4]を特徴としている。
[1]
測定対象のパルス変調光を計測するための光スペクトラムアナライザであって、
パルス変調光が入射される回折格子(3)と、
前記回折格子(3)により回折された回折光の0次光を受光する第1受光部(8)と、
前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する第2受光部(7)と、
前記第1受光部(8)により受光された前記0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定するタイミング決定部(9)と、
前記第2受光部(7)により受光された光からスペクトル測定を行う光スペクトル信号検出部(10)とを備え、
前記光スペクトル信号検出部(10)は、
決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間に、前記第2受光部(7)により受光された前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持するピークホールド回路(102)と、
決定された前記サンプリングタイミングに従って前記ピークホールド回路(102)により保持されたピークをサンプリングするサンプリング部(103)と、
有する
光スペクトラムアナライザであること。
[2]
[1]に記載の光スペクトラムアナライザにおいて、
前記サンプリング部(103)に対する入力を、前記ピークホールド回路(102)と、前記第2受光部(7)と、の間で切り替える切替部(104)を備えた、
光スペクトラムアナライザであること。
[3]
[1]又は[2]に記載の光スペクトラムアナライザにおいて、
前記回折格子(3)からの回折光が入射され再び前記回折格子(3)に向けて反射する折り返しミラー(4)をさらに備え、
前記第1受光部(8)は、最初に前記回折格子(3)で回折された前記回折光の前記0次光を受光し、
前記第2受光部(7)は、再度前記回折格子で回折された前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する、
光スペクトラムアナライザであること。
[4]
測定対象のパルス変調光の波長ごとの光ピークレベルを計測するためのパルス変調光測定方法であって、
前記パルス変調光を回折格子(3)に入射して、回折光を出射させ、前記回折光の0次光を受光し、
前記回折光の0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定し、
前記回折光の前記0次光を除く次数の回折光を受光し、
決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間における前記回折光の前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持し、
決定された前記サンプリングタイミングに従って、前記パルス変調光の波長ごとのピークをサンプリングし、
前記パルス変調光の波長ごとの光ピークレベルを測定するパルス変調光測定方法であること。
上記[1]及び[4]の構成の光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法によれば、0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングが決定される。これにより、パルス変調光のパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合でも、パルス変調光の波長ごとの光ピークレベルを測定することができる。
上記[2]の構成の光スペクトラムアナライザによれば、サンプリング部は、ピークホールド回路が保持したピークと、第2受光部が受光した0次光を除く次数の回折光と、の双方を選択的にサンプリングすることができる。
上記[3]の構成の光スペクトラムアナライザによれば、第2受光部により0次光を除く次数の回折光を受光中に、第1受光部により0次光を受光することができる。
本発明によれば、パルス変調光のパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合でも、パルス変調光の波長ごとのピークレベルを測定することができる光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法を提供することができる。
以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態(以下、「実施形態」という。)を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
図1は、本発明の実施形態に係る光スペクトラムアナライザの構成例を示す構成図である。 図2は、パルス変調光の例を示すタイムチャートである。 図3は、図1に示す光スペクトラムアナライザを構成する光スペクトル信号検出部の一例を示す構成図である。 図4は、図1に示す光スペクトラムアナライザを構成する測定タイミング信号発生部の一例を示す構成図である。
本発明に関する具体的な実施形態について、各図を参照しながら以下に説明する。
本発明の実施形態に係る光スペクトルアナライザOSAの構成例を図1に示す。本実施形態の光スペクトラムアナライザOSAには計測対象としてパルス変調光DUTを測定することができる。
本実施形態の光スペクトラムアナライザOSAが計測対象とするパルス変調光DUTは、例えば図2に示した波形のように、光パワーのオンオフが周期的に切り替わるものである。つまり、光信号がパルス状に間欠的に発生する。このようなパルス変調光DUTは、光源の発熱を抑制し、発光波長およびレベルの安定化に役立つ。
このパルス変調光DUTのパルス変調周波数については、数10Hz~数MHz程度の比較的低速な場合が想定される。すなわち、本実施形態の光スペクトラムアナライザOSAは、その動作が追従できる程度の低速な周波数でパルス変調された信号光を計測対象として扱う。
図1に示したように、本実施形態の光スペクトラムアナライザOSAは、入射スリット1と、コリメータ2と、回折格子3と、コーナーミラー(折り返しミラー)4と、集光器5と、出射スリット6と、受光部7(第2受光部)と、受光部8(第1受光部)と、測定タイミング信号発生部9(タイミング決定部)と、光スペクトル信号検出部10と、を備えている。入射スリット1は、測定対象であるパルス変調光DUTが入射される。コリメータ2は、入射スリット1を通って入射されたパルス変調光DUTを平行光とするレンズである。
回折格子3には、コリメータ2からの平行光が入射される。回折格子3は、刻線方向D1に沿った微細な溝が複数並べて形成され、コリメータ2からの平行光が入射されると、回折現象によって、全ての波長が同じ方向に向かう0次光と、波長ごとに異なる方向に強められたn次光(nは0を除く整数)と、を含む回折光を発生する。
コーナーミラー4は、n次光が入射され、入射されたn次光を再び回折格子3に向けて反射する。集光器5は、回折格子3で再度回折されたn次光のうち特定方向に出射された光を集光する。出射スリット6は、集光器5の集光位置に設けられ、特定方向に出射された波長の光を出射する。コーナーミラー4を刻線方向D1に沿った回転軸回りに回転させることにより、回折格子3から特定方向に出射される(即ち集光器5に向かって出射される)光の波長を調整して、集光器5に入射される光の波長を選択することができる。
受光部7は、出射スリット6を通ったn次光を受光して光電変換する。受光部8は、最初に回折格子3で回折された0次光を受光して光電変換する。
測定タイミング信号発生部9は、例えばマイクロコンピュータから構成され、受光部8により受光された0次光に基づいて、後述するピークホールド回路102のホールドタイミング、リセットタイミング、A/D変換器103のサンプリングタイミングを決定するホールド信号、リセット信号、サンプリング信号を生成して、後述する光スペクトル信号検出部10に送信する。測定タイミング信号発生部9の詳細については後述する。
光スペクトル信号検出部10は、受光部7により受光されたn次光からスペクトル測定を行う。光スペクトル信号検出部10は、図3に示すように、信号増幅器101と、ピークホールド回路102と、A/D変換器103(サンプリング部)と、スイッチ104(切替部)と、を有している。信号増幅器101は、受光部7により受光され光電変換されたn次光の信号を増幅する。ピークホールド回路102は、ホールド信号を入力してからリセット信号を入力するまでの間において、n次光の信号のピークを保持する回路である。A/D変換器103は、サンプリング信号が入力される毎に、ピークホールド回路102が保持しているピークの信号又はn次光の信号をサンプリングしてアナログ-デジタル変換する。スイッチ104は、A/D変換器103に対する入力を、ピークホールド回路102により保持されたピークの信号と、受光部7により光電変換されたn次光の信号と、の間で切り替える。
次に、上述した測定タイミング信号発生部9の詳細について説明する。測定タイミング信号発生部9は、図4に示すように、信号増幅器91と、波形測定部92と、波形解析部93と、信号発生部94と、を有している。信号増幅器91は、受光部8により受光され光電変換された0次光の信号を増幅する。波形測定部92は、増幅された0次光の信号を一定周期で繰り返しサンプリングして時間毎の光パワー計測値を順次に取得する。この場合のサンプリング周波数は、例えば1MHzとする。すなわち、波形測定部92内のサンプリング回路で1μsec毎に受光部8が光電変換した0次光の信号レベルをサンプリングし、その信号レベルを波形測定部92内のA/D変換器で変換したデジタル値を波形解析部93に入力する。したがって、例えば1μsec周期でサンプリングを1000回繰り返すことにより、時間軸方向の1000点の光パワー計測値のデータD2を波形解析部93に入力することができる。
波形解析部93は、時間毎の光パワー計測値のデータに基づいて、パルス変調光DUTのオフからオンの立ち上がりタイミング、オンからオフの立ち下がりタイミング、パルスオン時間Ton、パルス周期Tpを求める。即ち、波形測定部92で得られる時間毎の光パワー測定値のデータD2は、例えば、図2に示したようなパルス変調光DUTの波形を表すので、この波形に基づいて、パルス変調光DUTの立ち上がりタイミング、立ち下がりタイミング、パルスオン時間Ton、パルス変調光のパルス周期Tpなどを検出できる。
次に、信号発生部94は、ピーク測定モードと、通常測定モードと、に切り替えることができる。信号発生部94は、ピーク測定モードにおいて、波形解析部93が検出した立ち上がりタイミング、立ち下がりタイミング、パルスオン時間Ton、パルス周期Tpなどに基づいてホールド信号、リセット信号、サンプリング信号を発生する。ホールド信号、リセット信号は、ピークホールド回路102が1パルスごとにピークを保持できるようなに設定される。具体的には、信号発生部94は、パルス変調光DUTの立ち上がりタイミングに同期して一定時間だけHiレベルとなるホールド信号を発生する。
また、信号発生部94は、パルス変調光DUTの立ち上がり直前のタイミングでHiレベルとなるリセット信号を発生する。立ち上がり直前のタイミングは、検出された立ち上がりタイミング、立ち下がりタイミング、パルスオン時間Ton、パルス周期Tpから求めることができる。また、信号発生部94は、立ち下がりタイミング後、リセット信号が出力されるまでの間に一定時間だけHiレベルとなるサンプリング信号を発生する。
信号発生部94は、通常測定モードにおいて、一定の周期でHiレベルとなるサンプリング信号を発生する。
次に、上述した構成の光スペクトラムアナライザOSAの動作について説明する。まず、ピーク測定モードにおいて、光スペクトル信号検出部10は、スイッチ104を制御してピークホールド回路102を信号増幅器101とA/D変換器103との間に接続する。これにより、A/D変換器103には、ピークホールド回路102が保持したピークの信号が入力される。また、ピーク測定モードにおいて、測定タイミング信号発生部9は、上述したホールド信号、リセット信号、サンプリング信号を発生する。これにより、A/D変換器103によってパルス変調光DUTがオンしている間におけるn次光の信号の光ピークレベルを検出することができる。ピーク測定モードにおいて、コーナーミラー4を回転させて集光器5に入射される波長を順次切り替えると、光スペクトル信号検出部10は、波長ごとの光ピークレベルを検出することができる。
また、通常測定モードにおいて、光スペクトル信号検出部10は、スイッチ104を制御してピークホールド回路102を信号増幅器101とA/D変換器103とから切り離し、信号増幅器101とA/D変換器103とを直接接続する。これにより、A/D変換器103には受光部7が光電変換したn次光の信号が入力される。また、通常測定モードにおいて、測定タイミング信号発生部9は、上述したサンプリング信号のみを発生する。これにより、A/D変換器103によってDUTのn次光の光レベルを検出することができる。通常測定モードにおいて、コーナーミラー4を回転させて集光器5に入射される波長を順次切り替えると、光スペクトル信号検出部10は、周波数軸の光パワー分布のデータを取得することができる。また、光スペクトル信号検出部10は、この光パワー分布からDUTの発光波長やスペクトル幅を取得することができる。
上述した実施形態によれば、測定タイミング信号発生部9が、0次光に基づいてホールド信号、リセット信号及びサンプリング信号を発生する。これにより、パルス変調光DUTのパルスオンの時間やパルス周期が不明な場合でも、パルス変調光DUTの波長ごとの光ピークレベルを測定することができる。
上述した実施形態によれば、スイッチ104により、A/D変換器103に対する入力を、ピークホールド回路102が保持したピークと、受光部7が受光したn次光と、の間で切り替えることができる。これにより、A/D変換器103が、ピークホールド回路102が保持したピークと、受光部7が受光したn次光と、の双方を選択的にサンプリングすることができる。
上述した実施形態によれば、受光部7は、回折格子3により再度回折されたn次光が入射され、受光部8は、最初に回折格子3により回折された0次光が入射される。これにより、受光部7によりn次光を受光中に、受光部8により0次光を受光することができる。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
上述した実施形態によれば、受光部8は、最初に回折格子3により回折された0次光が入射されていたが、これに限ったものではない。受光部7を第1受光部、第2受光部として機能させ、受光部7に0次光を入射するようにしてもよい。この場合、最初に0次光を受光部7に入射して、パルスオン時間Ton、パルス周期Tpを求めた後、n次光を受光部7に入射する。
ここで、上述した本発明に係る光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法の実施形態の特徴をそれぞれ以下[1]~[4]に簡潔に纏めて列記する。
[1]
測定対象のパルス変調光(DUT)を計測するための光スペクトラムアナライザ(OSA)であって、
パルス変調光(DUT)が入射される回折格子(3)と、
前記回折格子(3)により回折された回折光の0次光を受光する第1受光部(8)と、
前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する第2受光部(7)と、
前記第1受光部により受光された前記0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定するタイミング決定部(9)と、
決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間に、前記第2受光部により受光された前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持するピークホールド回路(102)と、
決定された前記サンプリングタイミングに従って前記ピークホールド回路(102)により保持されたピークをサンプリングするサンプリング部(130)と、
を備えた、
光スペクトラムアナライザ(OSA)。
[2]
[1]に記載の光スペクトラムアナライザ(OSA)において、
前記サンプリング部(130)に対する入力を、前記ピークホールド回路(102)と、前記第2受光部(7)と、の間で切り替える切替部(104)を備えた、
光スペクトラムアナライザ(OSA)。
[3]
[1]又は[2]に記載の光スペクトラムアナライザ(OSA)において、
前記回折格子(3)からの回折光が入射され再び前記回折格子(3)に向けて反射する折り返しミラー(4)をさらに備え、
前記第1受光部(8)は、最初に前記回折格子(3)で回折された前記回折光の前記0次光を受光し、
前記第2受光部(7)は、再度前記回折格子で回折された前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する、
光スペクトラムアナライザ(OSA)。
[4]
測定対象のパルス変調光(DUT)を計測するためのパルス変調光測定方法であって、
前記パルス変調光(DUT)を回折格子(3)に入射して、回折光を出射させ、
前記回折光の0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定し、
決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間における前記回折光の前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持し、
決定された前記サンプリングタイミングに従って、前記ピークをサンプリングする、
パルス変調光測定方法。
3 回折格子
4 コーナーミラー(折り返しミラー)
8 受光部(第1受光部)
9 測定タイミング信号発生部(タイミング決定部)
102 ピークホールド回路
103 A/D変換器(サンプリング部)
104 スイッチ(切替部)
DUT パルス変調光
OSA 光スペクトラムアナライザ

Claims (4)

  1. 測定対象のパルス変調光を計測するための光スペクトラムアナライザであって、
    パルス変調光が入射される回折格子(3)と、
    前記回折格子(3)により回折された回折光の0次光を受光する第1受光部(8)と、
    前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する第2受光部(7)と、
    前記第1受光部(8)により受光された前記0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定するタイミング決定部(9)と、
    前記第2受光部(7)により受光された光からスペクトル測定を行う光スペクトル信号検出部(10)とを備え、
    前記光スペクトル信号検出部(10)は、
    決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間に、前記第2受光部(7)により受光された前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持するピークホールド回路(102)と、
    決定された前記サンプリングタイミングに従って前記ピークホールド回路(102)により保持されたピークをサンプリングするサンプリング部(103)と、
    有する
    光スペクトラムアナライザ。
  2. 請求項1に記載の光スペクトラムアナライザにおいて、
    前記サンプリング部(103)に対する入力を、前記ピークホールド回路(102)と、前記第2受光部(7)と、の間で切り替える切替部(104)を備えた、
    光スペクトラムアナライザ。
  3. 請求項1又は2に記載の光スペクトラムアナライザにおいて、
    前記回折格子(3)からの回折光が入射され再び前記回折格子(3)に向けて反射する折り返しミラー(4)をさらに備え、
    前記第1受光部(8)は、最初に前記回折格子(3)で回折された前記回折光の前記0次光を受光し、
    前記第2受光部(7)は、再度前記回折格子で回折された前記0次光を除く次数の前記回折光を受光する、
    光スペクトラムアナライザ。
  4. 測定対象のパルス変調光の波長ごとの光ピークレベルを計測するためのパルス変調光測定方法であって、
    前記パルス変調光を回折格子(3)に入射して、回折光を出射させ、前記回折光の0次光を受光し、
    前記回折光の0次光に基づいてホールドタイミング、リセットタイミング及びサンプリングタイミングを決定し、
    前記回折光の前記0次光を除く次数の回折光を受光し、
    決定された前記ホールドタイミングから前記リセットタイミングまでの間における前記回折光の前記0次光を除く次数の前記回折光のピークを保持し、
    決定された前記サンプリングタイミングに従って、前記パルス変調光の波長ごとのピークをサンプリングし、
    前記パルス変調光の波長ごとの光ピークレベルを測定するパルス変調光測定方法。
JP2021055788A 2021-03-29 2021-03-29 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法 Active JP7332650B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021055788A JP7332650B2 (ja) 2021-03-29 2021-03-29 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法
US17/650,877 US11686617B2 (en) 2021-03-29 2022-02-14 Optical spectrum analyzer and pulse-modulated light measurement method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021055788A JP7332650B2 (ja) 2021-03-29 2021-03-29 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022152857A JP2022152857A (ja) 2022-10-12
JP7332650B2 true JP7332650B2 (ja) 2023-08-23

Family

ID=83555641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021055788A Active JP7332650B2 (ja) 2021-03-29 2021-03-29 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7332650B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2564009Y2 (ja) 1991-03-20 1998-03-04 株式会社アドバンテスト 分光分析装置
JP2000292260A (ja) 1999-03-31 2000-10-20 Ando Electric Co Ltd 光スペクトラムアナライザと波長可変光源の波長トラッキング方式
JP2000314661A (ja) 1999-04-30 2000-11-14 Ando Electric Co Ltd 波長特性測定装置
JP3986031B2 (ja) 1998-05-20 2007-10-03 アンリツ株式会社 光スペクトラムアナライザ
JP2017116508A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 株式会社キーエンス 共焦点変位計

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01250737A (ja) * 1988-03-31 1989-10-05 Toshiba Corp 自動化学分析装置
JP4916407B2 (ja) * 2007-09-19 2012-04-11 アンリツ株式会社 光伝送試験装置
JP7136854B2 (ja) * 2020-08-17 2022-09-13 アンリツ株式会社 パルス変調光計測方法、パルス変調光計測プログラム、及び光スペクトラムアナライザ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2564009Y2 (ja) 1991-03-20 1998-03-04 株式会社アドバンテスト 分光分析装置
JP3986031B2 (ja) 1998-05-20 2007-10-03 アンリツ株式会社 光スペクトラムアナライザ
JP2000292260A (ja) 1999-03-31 2000-10-20 Ando Electric Co Ltd 光スペクトラムアナライザと波長可変光源の波長トラッキング方式
JP2000314661A (ja) 1999-04-30 2000-11-14 Ando Electric Co Ltd 波長特性測定装置
JP2017116508A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 株式会社キーエンス 共焦点変位計

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022152857A (ja) 2022-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2371684C2 (ru) Способ и устройство для измерения спектра временной области импульсов терагерцевого излучения
EP1041373A2 (en) Method and apparatus for calibrating an optical spectrum analyzer
JP3774630B2 (ja) 光学装置及び光スペクトラム・アナライザ
EP3848677B1 (en) Optical fiber characteristic measuring device and optical fiber characteristic measuring method
EP1645854B1 (en) Method and apparatus for measurement of optical detector linearity
US20070177145A1 (en) Optical spectrum analyzer
JP2001124855A (ja) 距離計測方法およびその装置
US9057665B2 (en) System and method utilizing time-slice-eradication to eliminate the effects of wavelength non-linearities from swept-wavelength testing of optical components for sources with non-linearities
JP7136854B2 (ja) パルス変調光計測方法、パルス変調光計測プログラム、及び光スペクトラムアナライザ
CN109612601B (zh) 一种电力设备温度和局部放电一体化检测系统及方法
JP6791214B2 (ja) 分光分析装置
JP7332650B2 (ja) 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法
JP7339292B2 (ja) 光スペクトラムアナライザ及びパルス変調光測定方法
US11686617B2 (en) Optical spectrum analyzer and pulse-modulated light measurement method
JP6791213B2 (ja) 分光分析装置及び分光分析方法
JP7056627B2 (ja) 分光分析装置及び分光分析方法
US11686959B2 (en) Optical instrument and method for determining a wavelength of light generated by a light source, and optical system comprising the optical instrument
US20220365380A1 (en) Optical instrument and method for determining a wavelength of light generated by a light source, and optical system comprising the optical instrument
JPH07198328A (ja) 位置測定装置
JP7088494B2 (ja) 物質検出装置
JP3112095B2 (ja) 眼軸長測定装置
JP2006086431A (ja) 波長可変光源および波長特性測定システム
JPS6112530B2 (ja)
JPH0886816A (ja) 電圧測定装置
CN116147767A (zh) 一种瞬态光谱仪采集时间测量装置及测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220804

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230619

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230726

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230810

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7332650

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150