JP7295861B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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- 基板を載置するための基板載置部と、
前記基板に対して相対的に移動して、前記基板をモニタリングするための測定部と、
第1の基板と第2の基板を含む複数枚の基板に対して一部の領域が互いに異なる位置においてモニタリングされるように前記測定部の移動経路を制御する制御部と、
前記第1の基板を基準として設定された誤差範囲内に前記第1の基板のモニタリング情報が属するか否かと、前記第2の基板を基準として設定された誤差範囲内に前記第2の基板のモニタリング情報が属するか否かと、を判断して、前記複数枚の基板の異常有無を判断する分析部と、
を備え、
前記分析部は、
前記第1の基板のモニタリング領域と前記第2の基板のモニタリング領域とが重なり合う領域のモニタリング情報間の偏差を用いて、前記第1の基板及び前記第2の基板のうちの少なくともどちらか一方に対して設定された誤差範囲を修正する基板検査装置。 - 前記複数枚の基板は、同一の所定の処理が施された基板のうちから選択される請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記基板載置部の上側に設けられる支持部をさらに備え、
前記測定部は、前記支持部の下部に一方向に移動可能なように設けられる請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記基板載置部及び支持部のうちの少なくとも一方は、前記基板の中心軸を中心として回転可能なように設けられる請求項3に記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、前記測定部が線形の移動経路を有するように制御する請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、前記測定部が前記基板の中心部を経由する移動経路を有するように制御する請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、前記測定部が前記基板の中心部において折り曲げられる移動経路を有するように制御する請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記制御部は、前記測定部の移動経路が前記基板の直径以下の長さを有するように制御する請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記測定部は、移動経路上において前記基板を間欠的にモニタリングする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記基板載置部は、
所定の処理が施される工程チャンバから送り返された前記複数枚の基板を貯えるロードロックチャンバに設けられるか、あるいは、前記ロードロックチャンバに接続されて前記複数枚の基板が払い出されるフロントエンドモジュール(EFEM)内に設けられる請求項1に記載の基板検査装置。 - 複数枚の基板のうち第1の基板及び第2の基板を選択するステップと、
前記第1の基板の一部の領域をモニタリングするステップと、
前記第1の基板のモニタリング領域とは位置が異なる前記第2の基板の一部の領域をモニタリングするステップと、
前記第1の基板を基準として設定された誤差範囲内に前記第1の基板のモニタリング情報が属するか否かと、前記第2の基板を基準として設定された誤差範囲内に前記第2の基板のモニタリング情報が属するか否かと、を判断して、前記複数枚の基板の異常有無を判断するステップと、
を含み、
前記異常有無を判断するステップにおいては、
前記第1の基板のモニタリング領域と第2の基板のモニタリング領域とが重なり合う領域のモニタリング情報間の偏差を用いて、前記第1の基板及び前記第2の基板のうちの少なくともどちらか一方に対して設定された誤差範囲を修正する基板検査方法。 - 前記第1の基板及び第2の基板を選択するステップにおいては、
ある一つのロットに含まれる複数枚の基板のうちから前記第1の基板及び第2の基板を選択する請求項11に記載の基板検査方法。 - 前記第1の基板及び第2の基板を選択するステップにおいては、
同一のチャンバ内において所定の処理が施される複数枚の基板のうちから前記第1の基板及び第2の基板を選択する請求項11に記載の基板検査方法。 - 前記第1の基板の一部の領域をモニタリングするステップは、
前記第1の基板をモニタリングするための測定部を、前記第1の基板に対して前記第1の基板の中心部を経由する第1の方向に相対的に移動させて行われる請求項11に記載の基板検査方法。 - 前記第2の基板の一部の領域をモニタリングするステップは、
前記第2の基板をモニタリングするための測定部を、前記第2の基板に対して前記第2の基板の中心部を経由し、前記第1の方向とは異なる第2の方向に相対的に移動させて行われる請求項14に記載の基板検査方法。 - 前記第1の基板の一部の領域をモニタリングするステップは、
前記第1の基板をモニタリングするための測定部が移動中に前記第1の基板を間欠的にモニタリングして行われ、
前記第2の基板の一部の領域をモニタリングするステップは、
前記第2の基板をモニタリングするための測定部が移動中に前記第2の基板を間欠的にモニタリングして行われる請求項14に記載の基板検査方法。 - 前記異常有無を判断するステップにおいては、
前記第1の基板のモニタリング情報及び前記第2の基板のモニタリング情報が両方とも誤差範囲内に属する場合に処理状態を良好と判定する請求項11に記載の基板検査方法。
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