KR20150008724A - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20150008724A KR1020130083043A KR20130083043A KR20150008724A KR 20150008724 A KR20150008724 A KR 20150008724A KR 1020130083043 A KR1020130083043 A KR 1020130083043A KR 20130083043 A KR20130083043 A KR 20130083043A KR 20150008724 A KR20150008724 A KR 20150008724A
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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 기판 처리 장치는 기판 처리 장치는 기판들이 수납된 캐리어가 놓이는 로드 포트; 기판들에 대해 공정 처리를 수행하는 공정 처리 유닛; 상기 캐리어에 수납된 기판을 인출하여 상기 공정 처리 유닛으로 제공하고, 상기 공정 처리 유닛에서 공정 처리를 수행한 기판을 상기 캐리어에 수납하는 기판 반송 유닛; 및 상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되고 공정 처리 완료 후 상기 캐리어에 수납되기까지의 공정 시간을 측정하고, 상기 공정 시간과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 처리 공정에는 에칭, 성막 처리, 애싱 및 스퍼터링 등 여러 가지의 처리가 있으며, 이들에 대응한 여러 가지 반도체 처리 장치가 이용되고 있다. 종래의 처리 장치로서는, 예컨대, 하나의 장치 내에서 복수의 처리를 행할 수 있는, 소위 클러스터 장치화된 멀티 챔버형 처리 장치가 널리 이용되고 있다.
이와 같은 반도체 처리 장치는 일단 고장나면, 수리하기 위해서 장치를 긴 시간에 걸쳐 정지시켜야 하므로 스루풋의 악화를 초래한다. 장치의 고장을 미연에 방지하고, 처리되는 반도체의 제품 비율의 향상 및 소정의 스루풋을 유지하기 위해서는 처리 장치의 부품의 유지 보수가 중요하게 된다.
일반적으로 반도체 처리 장치의 점검은 제조사에서 명기한 주기에 따라 이루어지며, 작업자는 명기된 주기에 따라 장치 부품을 교체한다. 이러한 유지 보수 방법은 장치의 주변 환경이나 외부 유틸리티에 의해 영향이 반영되지 않을 뿐 아니라, 정확한 데이터에 근거하지 못한다. 때문에 갑작스런 에러 발생 시 부품 수급 문제 및 유지 보수 시간의 증가로 기판 처리 생산량이 감소한다.
한국등록특허 제10-0793453호
본 발명은 유지 보수를 용이하게 할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치의 상태를 실시간으로 확인할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 기판 처리 생산량 감소를 예방할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판들이 수납된 캐리어가 놓이는 로드 포트; 기판들에 대해 공정 처리를 수행하는 공정 처리 유닛; 상기 캐리어에 수납된 기판을 인출하여 상기 공정 처리 유닛으로 제공하고, 상기 공정 처리 유닛에서 공정 처리를 수행한 기판을 상기 캐리어에 수납하는 기판 반송 유닛; 및 상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되고 공정 처리 완료 후 상기 캐리어에 수납되기까지의 공정 시간을 측정하고, 상기 공정 시간과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.
또한, 상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며, 상기 제어부는 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 해당하는 경우 외부에 알람을 발생할 수 있다.
또한, 상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며, 상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 포함되는 기판의 수가 기 설정된 수보다 많은 경우 외부에 알람을 발생할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 캐리어에서 기판이 픽업되는 시점으로부터 공정 처리를 수행한 기판이 상기 캐리어에 안착되는 시점까지를 상기 공정 시간으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 기판 반송 유닛은 기판이 놓이는 핸드를 가지며, 기판을 이송하는 반송 로봇을 가지며, 상기 제어부는 상기 핸드가 기판을 픽업하기 위해 상기 캐리어 내로 진입하는 시점으로부터 상기 핸드가 공정 처리를 수행한 기판을 적재한 상태에서 상기 캐리어 내로 진입하는 시점까지를 상기 공정 시간으로 판단할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 방법은 서셉터에 수납된 기판들을 공정 처리 유닛으로 제공하여 공정 처리를 수행하고, 공정 처리가 완료된 기판을 상기 서셉트에 수납하되, 상기 서셉터 단위로 상기 기판들의 공정 시간 패턴을 형성하고, 상기 공정 시간 패턴과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 유무를 판단한다.
또한, 상기 공정 시간 패턴은 상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되는 시점과 상기 기판이 상기 캐리어에 수납되는 시점을 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정 시간 패턴은 상기 캐리어에 놓인 기판이 픽업되는 시점과 공정 처리가 완료된 기판이 상기 캐리어에 안착되는 시점을 포함할 수 있다.
또한, 상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며,상기 공정 시간 패턴이 상기 알람 구간에 포함되는 경우 외부에 알람을 발생할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 방법은 서셉터에 수납된 기판들을 공정 처리 유닛으로 제공하여 공정 처리를 수행하고, 공정 처리가 완료된 기판을 상기 서셉트에 수납하되, 상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되고 공정 처리 완료 후, 상기 캐리어에 수납되기까지의 공정 시간을 측정하고, 상기 공정 시간과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며, 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 포함되는 기판의 수가 기 설정된 수보다 많은 경우 상기 공정 처리 유닛에 이상 발생으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 기판 처리 장치에 이상이 발생하기 전에 유지 보수를 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 공정 시간 패턴을 통해 기판 처리 장치의 상태를 실시간으로 확인할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 기판 처리 장치에 이상이 발생하기 전에 예방 조치를 취할 수 있으므로 기판 처리 생산량 감소가 예방된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 간략하게 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 카세트와 핸드를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 제어부가 공정 처리 유닛의 상태를 판단하는 과정을 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 간략하게 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 로드 포트(10), 기판 반송 유닛(20), 그리고 공정 처리 유닛(30)을 포함한다. 로드 포트(10), 기판 반송 유닛(20), 그리고 공정 처리 유닛(30)은 순차적으로 일 방향으로 배치된다. 이하, 로드 포트(10), 기판 반송 유닛(20), 그리고 공정 처리 유닛(30)이 배치된 방향을 제1방향(2)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(2)에 수직한 방향을 제2방향(3)이라 정의한다.
로드 포트(10)는 기판 반송 유닛(20)의 전방에 위치하며, 복수 개가 제2방향(3)을 따라 서로 이격하여 일렬 배치된다. 로드 포트(10)에는 캐리어(예를 들어, 카세트, FOUP 등, 100)가 각각 안착된다. 캐리어(100)에는 공정에 제공될 기판(W) 및 공정 처리가 완료된 기판(W)들이 수납된다. 캐리어(100)의 내측면에는 슬롯(미도시)들이 제공된다. 슬롯은 캐리어(100)에 수납가능한 기판(W)들에 대응하는 개수로 제공되며, 각각에는 기판(W)이 안착될 수 있다. 실시예에 의하면, 캐리어(100)에는 25매의 기판(W)이 수납될 수 있다.
기판 반송 유닛(20)은 캐리어(100)와 기판 처리 유닛(30)간에 기판(W)을 반송한다. 기판 반송 유닛(20)은 프레임(210), 제1반송 로봇(220), 로드락 챔버(230), 트랜스퍼 챔버(240), 그리고 제2반송 로봇(250)을 포함한다.
프레임(210)은 로드 포트(10)와 로드락 챔버(230) 사이에 배치된다. 프레임(210)의 내부에는 제1반송 로봇(220)이 배치된다. 제1반송 로봇(220)은 캐리어(100)와 로드락 챔버(230) 간에 기판(W)을 이송한다.
제1반송 로봇(220)은 복수의 아암(221, 222)이 서로에 대해 회동가능한 구조를 가지며, 상단에는 핸드(223)가 제공된다. 핸드(223)는 캐리어(100)의 내측으로 이동하여 기판(W)을 픽업하고, 기판(W)을 유지한다. 또한, 핸드(223)은 공정 처리가 완료된 기판(W)을 유지한 상태에서 캐리어(100) 내측으로 이동하며, 캐리어(100)의 슬롯에 기판(W)을 안착시킨다.
로드락 챔버(230)는 트랜스퍼 챔버(240)와 프레임(210) 사이에 배치된다. 로드락 챔버(230) 내부에는 기판(W)들이 적층된다. 로드락 챔버(230)는 미처리 기판(W)이 공정 처리 유닛(30)으로 이송되기 전, 또는 공정 처리가 완료된 기판(W)이 캐리어(100)로 이송되기 전에 대기하는 공간을 제공한다. 로드락 챔버(230)는 하나 또는 복수 개 제공될 수 있다. 실시예에 의하면, 로드락 챔버(230)는 두 개 제공된다. 하나의 로드락 챔버(230)에는 공정 처리 유닛(30)으로 제공되는 미처리 기판(W)이 수납되고, 다른 하나의 로드락 챔버(230)에는 공정 처리 유닛(30)에서 공정이 완료된 기판(W)이 수납될 수 있다.
트랜스퍼 챔버(240)는 제1방향(2)을 따라 로드락 챔버(230)의 후방에 배치되며, 상부에서 바라볼 때 다각형의 몸체를 갖는다. 몸체(240)의 외측에는 로드락 챔버(230)들과 복수 개의 공정 처리 유닛(30)들이 몸체(240)의 둘레를 따라 배치된다. 실시예에 의하면, 트랜스퍼 챔버(240)는 상부에서 바라볼 때, 오각형의 몸체를 갖는다. 프레임(210)과 인접한 두 측벽에는 로드락 챔버(230)가 각각 배치되고, 나머지 측벽에는 공정 처리 유닛(30)들이 배치된다. 몸체(240)의 각 측벽에는 기판(W)이 출입하는 통로(미도시)가 형성된다. 통로는 트랜스퍼 챔버(240)와 로드락 챔버(230) 간에, 또는 트랜스퍼 챔버(240)와 공정 챔버(30) 간에 기판(W)이 출입하는 공간을 제공한다. 각 통로에는 통로를 개폐하는 도어(미도시)가 제공된다. 트랜스퍼 챔버(240)는 요구되는 공정모듈에 따라 다양한 형상으로 제공될 수 있다.
트랜스퍼 챔버(240)의 내부에는 제2반송로봇(250)이 배치된다. 제2반송로봇(250)은 로드락 챔버(230)에서 대기하는 미처리 기판(W)을 공정 처리 유닛(30)으로 이송하거나, 공정 처리 유닛(30)에서 공정처리가 완료된 기판(W)을 로드락 챔버(230)로 이송한다. 제2반송 로봇(250)은 공정 처리 유닛(30)들에 순차적으로 기판(W)을 제공할 수 있다.
공정 처리 유닛(30)은 기판(W)에 대한 공정 처리를 수행한다. 공정 처리 유닛(30)은 반도체 소자 제조를 위한 다양한 공정을 수행할 수 있다. 실시예에 의하면, 공정 처리 유닛(30)은 플라스마 상태의 가스를 기판으로 공급하여 공정 처리를 수행한다. 공정 처리 유닛(30)은 애싱(Ashing) 공정, 에칭(etching) 공정, 증착(deposition) 공정 등을 수행할 수 있다. 공정 처리 유닛(30)의 일 예로, 한국 등록특허 제10-1234595호에 개시된 공정 처리 장치와 동일한 구조로 제공될 수 있다.
이하, 기판(W)을 처리하는 과정을 설명한다. 캐리어(100)가 로드 포트(10)에 놓이면, 제1반송 로봇(220)의 핸드(223)가 캐리어(100)의 내측으로 진입한다. 핸드(223)는 캐리어(100)의 슬롯에 놓인 기판(W)을 픽업한 후 캐리어(100)의 외부로 후퇴한다. 제1반송 로봇(220)은 핸드(223)가 기판(W)을 유지한 상태에서 이동하며, 로드락 챔버(230)에 기판(W)을 수납한다.
제2반송 로봇(250)은 핸드(251)가 이동하여 로드락 챔버(230)에 수납된 기판(W)을 픽업한다. 제2반송 로봇(250)은 기판(W)을 유지한 상태에서 이동하며, 기판(W)을 공정 처리 유닛(30)으로 제공한다. 기판(W)은 공정 처리 유닛(30)에서 공정 처리에 제공된다.
공정 처리가 완료되면, 제2반송 로봇(250)이 공정 처리 유닛(30)에서 기판(W)을 전달받은 후 이동하여 기판(W)을 로드락 챔버(230)에 수납한다.
제1반송 로봇(220)은 로드락 챔버(230)에 수납된 기판(W)을 픽업하고, 기판(W)을 캐리어(100) 측으로 이송한다. 제1반송 로봇(220)의 핸드(223)는 기판(W)을 유지한 상태에서 캐리어(200) 내측으로 이동하며, 캐리어(200)의 슬롯에 기판(W)을 안착시킨다.
캐리어(100)에 수납된 기판(W)들 각각에 대하여 상술한 공정이 수행된다.
캐리어(100)에 수납된 기판(W)이 공정 처리 유닛(30)에 제공되고, 공정 처리를 수행 후 캐리어(100)에 다시 수납되기까지는 소정 시간이 소요된다. 기판(W)이 캐리어(100)에서 인출된 후 다시 캐리어(100)에 수납되기까지의 시간을 공정시간이라 한다.
제어부(300)는 공정시간을 측정한다. 그리고 제어부(300)는 공정시간과 기준 시간을 비교하여 공정 처리 유닛(30)의 이상 여부를 판단한다. 제어부(300)는 캐리어(100) 단위로 기판(W) 모두에 대해 공정시간을 측정하고, 공정 처리 유닛(30)의 이상 여부를 캐리어(100) 단위로 판단할 수 있다.
공정 시간은 다양한 방법으로 측정될 수 있다. 도 2를 참조하면, 공정 시간은 제1반송 로봇의 핸드(223)가 미처리 기판(W)을 유지한 상태로 캐리어(100)의 외부로 후퇴하는 시점부터, 공정 처리된 기판(W)을 유지한 상태로 캐리어(100) 내부로 진입하는 시점까지일 수 있다. 이 경우, 캐리어(100)의 입구부에는 발신 센서(121)와 수신 센서(1220)가 제공되어 핸드(223)의 출입을 센싱한다.
이와 달리, 캐리어(100)의 슬롯(110)에 센서(131)가 제공될 수 있다. 센서(131)는 슬롯(110)에 기판(W)의 안착 유무를 센싱한다. 이 경우, 공정 시간은 미처리 기판(W)이 슬롯(110)에서 픽업되는 시점부터 공정 처리가 완료된 기판(W)이 슬롯(110)에 안착되는 시점까지 일 수 있다.
기준 시간이란 제어부(300)에 미리 설정된 시간으로, 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가진다. 정상 구간은 공정 처리 유닛(30)이 정상적으로 운영되는 경우 캐리어(100)에서 인출된 기판(W)이 공정 처리 후 캐리어(100)에 수납되기까지 통상적으로 걸리는 시간으로, 소정 시간 구간으로 설정될 수 있다.
위험 구간은 정상 구간에 해당하지 않으나 공정 처리 유닛(30)의 유지 보수가 당장 필요하지 않은 상태로, 소정 시간 구간으로 설정될 수 있다. 일반적으로, 위험 구간은 공정 시간이 정상 구간보다 짧다.
알람 구간은 공정 처리 유닛(30)의 유지 보수가 당장 필요한 상태로, 소정 시간 구간으로 설정될 수 있다. 일반적으로 알람 구간은 위험 구간보다 공정시간이 짧다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 제어부가 공정 처리 유닛의 상태를 판단하는 과정을 나타내는 그래프이다.
도 3을 참조하면, 가로축은 공정 처리에 제공되는 캐리어(100a, 100b, 100c)의 수를 나타내고, 세로축은 개별 기판(W)에 대한 공정 시간을 나타낸다. 실시예에 의하면, 3개의 캐리어(100a, 100b, 100c)가 공정 처리에 제공되고, 각 캐리어(100a, 100b, 100c)에는 25매의 기판(W)들이 수납된다. 그래프에는 카세트(100a, 100b, 100c) 단위로 25매 기판(W)들 각각에 대한 공정 시간이 나타난다. 기판(W)들의 공정 시간은 캐리어(100a, 100b, 100c) 단위로 특정 패턴을 형성한다. 패턴은 기준 시간(I, Ⅱ, Ⅲ) 대역에서 형성된다.
제1카세트(100a)에 수납된 기판(W)들의 경우, 기판(W)들의 공정 시간은 정상 구간(I)에서 나타난다. 제어부(300)는 제1카세트(100a)의 공정 시간 패턴으로부터 공정 처리 유닛(30)이 정상 운용되는 것으로 판단한다.
제2카세트(100b)에 수납된 기판(W)들의 경우, 기판(W)들의 공정 시간은 위험 구간(Ⅱ)에서 나타난다. 제어부(300)는 제2카세트(100b)의 공정 시간 패턴을 통해 공정 처리 유닛(30)이 정상 상태는 아니나, 당장 유지 보수가 필요하지않은 것으로 판단한다.
제3카세트(100c)에 수납된 기판(W)들의 경우, 기판(W)들의 공정 시간은 알람 구간(Ⅲ)에서 나타난다. 제어부(300)는 제3카세트(100c)의 공정 시간 패턴을 통해 공정 처리 유닛(30)의 유지 보수가 필요한 것으로 판단하며, 사용자가 인지할 수 있도록 알람을 발생시킬 수 있다.
경우에 따라서, 카세트(100a, 100b, 100c)에 수납된 기판(W)들 중 일부 기판들의 공정 시간은 정상 구간(I) 또는 위험 구간(Ⅱ)에서 나타나고, 다른 기판들의 공정 시간은 알람 구간(Ⅲ)에서 나타날 수 있다. 제어부(400)는 공정 시간이 알람 구간(Ⅲ)에 나타나는 기판(W)들의 개수에 따라 알람 발생 여부를 판단할 수 있다. 이 경우, 제어부(300)에는 알람 발생에 요구되는 기판(W)들의 개수가 미리 설정되고, 공정 시간이 알람 구간(Ⅲ)에 나타나는 기판(W)들의 개수가 설정 개수를 초과할 경우 알람을 발생한다.
본 발명에 의할 경우, 기판 처리 설비(1)에서 공정 처리되는 기판(W)들의 스루풋(throughput)을 실시간으로 측정함으로써 공정 시간 패턴을 통해 공정 처리 유닛(30)의 상태를 작업자가 쉽게 알 수 있다. 작업자는 공정 처리 유닛(30)에 이상이 발생하기 전에 예방 조치를 취할 수 있으므로 이상 발생으로 인한 유지 보수 시간을 늘어나는 문제 및 이로 인한 기판 처리 생산량 감소를 예방할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나태 내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
1: 기판 처리 장치 10: 로드 포트
20: 기판 반송 유닛 30: 공정 처리 유닛
210: 프레임 220: 제1반송 로봇
223: 핸드 230: 로드락 챔버
240: 트랜스퍼 챔버 250: 제2반송 로봇
Ⅰ: 정상 구간 Ⅱ: 위험 구간
Ⅲ: 알람 구간

Claims (14)

  1. 기판들이 수납된 캐리어가 놓이는 로드 포트;
    기판들에 대해 공정 처리를 수행하는 공정 처리 유닛;
    상기 캐리어에 수납된 기판을 인출하여 상기 공정 처리 유닛으로 제공하고, 상기 공정 처리 유닛에서 공정 처리를 수행한 기판을 상기 캐리어에 수납하는 기판 반송 유닛; 및
    상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되고 공정 처리 완료 후 상기 캐리어에 수납되기까지의 공정 시간을 측정하고, 상기 공정 시간과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며,
    상기 제어부는 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 해당하는 경우 외부에 알람을 발생하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며,
    상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 포함되는 기판의 수가 기 설정된 수보다 많은 경우 외부에 알람을 발생하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단하는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 캐리어에서 기판이 픽업되는 시점으로부터 공정 처리를 수행한 기판이 상기 캐리어에 안착되는 시점까지를 상기 공정 시간으로 판단하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 반송 유닛은
    기판이 놓이는 핸드를 가지며, 기판을 이송하는 반송 로봇을 가지며,
    상기 제어부는 상기 핸드가 기판을 픽업하기 위해 상기 캐리어 내로 진입하는 시점으로부터 상기 핸드가 공정 처리를 수행한 기판을 적재한 상태에서 상기 캐리어 내로 진입하는 시점까지를 상기 공정 시간으로 판단하는 기판 처리 장치.
  7. 서셉터에 수납된 기판들을 공정 처리 유닛으로 제공하여 공정 처리를 수행하고, 공정 처리가 완료된 기판을 상기 서셉트에 수납하되,
    상기 서셉터 단위로 상기 기판들의 공정 시간 패턴을 형성하고, 상기 공정 시간 패턴과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 유무를 판단하는 기판 처리 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 공정 시간 패턴은 상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되는 시점과 상기 기판이 상기 캐리어에 수납되는 시점을 포함하는 기판 처리 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 공정 시간 패턴은 상기 캐리어에 놓인 기판이 픽업되는 시점과 공정 처리가 완료된 기판이 상기 캐리어에 안착되는 시점을 포함하는 기판 처리 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며,
    상기 공정 시간 패턴이 상기 알람 구간에 포함되는 경우 외부에 알람을 발생하는 기판 처리 방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단하는 기판 처리 방법.
  12. 서셉터에 수납된 기판들을 공정 처리 유닛으로 제공하여 공정 처리를 수행하고, 공정 처리가 완료된 기판을 상기 서셉트에 수납하되,
    상기 기판이 상기 캐리어에서 인출되고 공정 처리 완료 후, 상기 캐리어에 수납되기까지의 공정 시간을 측정하고, 상기 공정 시간과 기준 시간을 비교하여 상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 판단하는 기판 처리 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 기준 시간은 정상 구간, 위험 구간, 그리고 알람 구간을 가지며,
    상기 캐리어에 수납된 기판 모두에 대해 상기 공정 시간을 개별적으로 측정하고, 상기 공정 시간이 상기 알람 구간에 포함되는 기판의 수가 기 설정된 수보다 많은 경우 상기 공정 처리 유닛에 이상 발생으로 판단하는 기판 처리 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 공정 처리 유닛의 이상 여부를 상기 캐리어 단위로 판단하는 기판 처리 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20220028236A (ko) * 2020-08-28 2022-03-08 세메스 주식회사 기판 처리 장치 모니터링 방법 및 기판 처리 장치

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