KR101926414B1 - 로드포트모듈 직렬/무선 통신 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템 - Google Patents

로드포트모듈 직렬/무선 통신 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시 형태는 웨이퍼가 적재된 풉(FOUP)으로부터 EFEM 모듈로 이송되기 전의 웨이퍼가 안착되는 LPM 스테이지가 마련된 로드 포트 모듈; 상기 로드 포트 모듈내에 마련되어 있으며, N2 가스로 웨이퍼의 파티클을 제거하는 N2퍼지키트; 상기 LPM 스테이지에 마련되어 LPM 센싱값을 센싱하는 복수개의 LPM 스테이지 센서; 및 각 LPM 스테이지 센서를 통해 감지된 센싱값에 따라서 상기 N2퍼지키트를 제어하는 컨트롤러;를 포함하며, 상기 LPM 스테이지 센서와 컨트롤러 간에 무선 통신을 통하여 센싱된 LPM 센싱값의 송수신이 이루어짐을 특징으로 할 수 있다.

Description

로드포트모듈 직렬/무선 통신 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템{System for semiconductor cluster tool using LPM wireless}
본 발명은 반도체 클러스터 툴 시스템으로서, LPM 모듈에서 센싱 수집하여 제어하는 반도체 클러스터 툴 시스템에 관한 것이다.
반도체 기술의 발전이 가속화되면서, 반도체 생산에 필요한 웨이퍼를 처리하는 기술에 대한 연구가 발전하고 있다. 웨이퍼는 반도체 제조에 사용되는 재료로서, 실리콘 웨이퍼는 다양한 처리 공정을 통해 반도체 제조에 사용될 수 있는 소재로 공급되게 된다.
반도체 클러스터 툴 시스템(Semiconductor Cluster Tool System)은 반도체 공정장비(Process Module)와 연결되는 장치로서, EFEM(Equipment Front End Module)내 대기 로봇이 공정 챔버로 웨이퍼를 반송시키면 공정 챔버 내 진공 로봇이 공정 장비로 웨이퍼를 반송시키는 Tool Automation System이다. 6각 Vacuum Transfer Module(TM)을 시작으로 4각 Twin, In-Line 타입의 클러스터을 공급하고 있다. System은 EFEM(Equipment Front End Module), LPM(Load Port Module), 대기로봇, Aligner, EFEM Software, Load Lock Chamber, Vacuum Transfer Module 등으로 구성되어 있다.
또한 미세공정 오염원 제거를 위하여 N2 가스로 웨이퍼의 파티클을 제거하는 기능이 추가된 LPM의 NPK(LPM N2 Purge Kit)를 제어하는 컨트롤러가 구현되어 있다.
그런데 도 1에 도시한 바와 같이 컨트롤러와 LPM 스테이지 사이에 많은 전기적인 신호선이 추가로 연결된다. 기존에는 이 전기적 신호선을 컨트롤러로부터 개조되는 LPM 스테이지의 센서(Sensor)까지 개별적으로 연결하였다.
이로 인하여, 연결되는 묶음 형태로 된 신호선의 두께가 두꺼워져서, 신호선 처리가 어렵고 LPM 스테이지의 동작시 많은 이동으로 신호선이 단선될 위험이 높아지며, 신호선의 길이가 길어져 Noise로 인한 오동작이 발생할 위험이 높은 문제가 있다.
한국공개특허 10-2004-0022649
본 발명의 기술적 과제 LPM 모듈에서 센싱값을 컨트롤러에서 직렬/무선 통신으로 수집하여 제어하는 반도체 클러스터 툴 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 형태는 웨이퍼가 적재된 풉(FOUP)으로부터 EFEM 모듈로 이송되기 전의 웨이퍼가 안착되는 LPM 스테이지가 마련된 로드 포트 모듈; 상기 로드 포트 모듈내에 마련되어 있으며, N2 가스로 웨이퍼의 파티클을 제거하는 N2퍼지키트; 상기 LPM 스테이지에 마련되어 LPM 센싱값을 센싱하는 복수개의 LPM 스테이지 센서; 및 각 LPM 스테이지 센서를 통해 감지된 센싱값에 따라서 상기 N2퍼지키트를 제어하는 컨트롤러;를 포함하며, 상기 LPM 스테이지 센서와 컨트롤러 간에 직렬/무선 통신을 통하여 센싱된 LPM 센싱값의 송수신이 이루어짐을 특징으로 할 수 있다.
상기 반도체 클러스터 툴 시스템은, 상기 LPM 스테이지에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서로부터 LPM 센싱값을 수집하여, 직렬 통신 또는 근거리 무선 통신을 통하여 상기 컨트롤러로 수집한 LPM 센싱값을 직렬 또는 무선 전송하는 무선 중계 보드;를 포함할 수 있다.
상기 직렬 통신은 RS-232, RS-485, RS-422, 이더넷, 캔(CAN) 통신 중 어느 하나를 사용하고, 근거리 무선 통신은, 블루투스 통신, 무선 RF 통신, 적외선 통신 중 어느 하나의 근거리 무선 통신임을 특징으로 할 수 있다.
상기 무선 중계 보드는, 각 LPM 스테이지 센서와 유선 통신으로 연결되어 있어, 유선 통신을 통하여 LPM 센싱값을 수집함을 특징으로 할 수 있다.
상기 유선 통신은, 이더넷(Ethernet), 범용 직렬 버스(Universal Serial Bus), IEEE 1394, 직렬통신(serial communication) 및 병렬 통신(parallel communication) 중 어느 하나의 유선 통신임을 특징으로 할 수 있다.
상기 무선 중계 보드는 상기 LPM 스테이지에 마련된 커넥터 포트에 매립되어 탈착 가능하며, 상기 커넥터 포트는, 각 LPM 스테이지 센서와 중계 신호선을 통해 연결된 복수개의 커넥터핀을 가짐을 특징으로 할 수 있다.
상기 반도체 클러스터 툴 시스템은, 상기 무선 중계 보드에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서로부터 수집되는 LPM 센싱값에 따른 발광을 수행하는 상태 알림 램프;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면 중계보드에서 각 센서(Sensor)는 짧은 신호선을 사용하여 연결되므로 선처리 및 노이즈에 강하고, LPM 스테이지의 동작시 컨트롤러와 중계보드 사이의 통신선만 이동하므로 단선 위험이 적고, 문제 발생시 교체등의 작업에 유리하다. 또한 중계보드에 동작 램프가 설치되어 문제확인에도 좋다.
도 1은 기존의 기존의 반도체 클러스터 툴 시스템에서 LPM에서 센싱값을 유선으로 수집하는 모습을 도시한 그림.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템을 도시한 그림.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 NPK 컨트롤러로 LPM 센싱값을 무선 전송하는 모습을 도시한 그림.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 무선 중계 보드와 NPK 컨트롤러간의 무선 통신 모습을 도시한 그림.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 커넥터 포트로 탈부착이 이루어지는 무선 중계 보드를 도시한 그림.
이하, 본 발명의 장점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은, 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템을 도시한 그림이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 NPK 컨트롤러로 LPM 센싱값을 무선 전송하는 모습을 도시한 그림이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 무선 중계 보드와 NPK 컨트롤러간의 무선 통신 모습을 도시한 그림이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 따라 커넥터 포트로 탈부착이 이루어지는 무선 중계 보드를 도시한 그림이다.
본 발명의 반도체 클러스터 장치는, 웨이퍼가 적재된 풉(FOUP)으로부터 EFEM 모듈(200)로 이송되기 전의 웨이퍼가 안착되는 LPM 스테이지(111)가 그 내부에 마련된 로드 포트 모듈(100)과, 로드 포트 모듈(100) 내에 마련되어 있으며 N2 가스로 웨이퍼의 파티클을 제거하는 N2퍼지키트(NPK;N2 Purge Kit)와, 로드 포트 모듈(100)로부터의 웨이퍼를 프로세스 모듈(300)로 이송시키거나, 프로세스 모듈(300)에서 공정 처리된 웨이퍼를 로드포트 모듈로 이송시키는 EFEM 모듈(200)과, LPM 스테이지(111)에 마련되어 LPM 센싱값을 센싱하는 복수개의 LPM 스테이지 센서(112)와, 각 LPM 스테이지 센서(112)를 통해 감지된 센싱값에 따라서 상기 N2퍼지키트를 제어하는 컨트롤러(410)를 포함한다. 특히 본 발명의 반도체 클러스터 장치는 LPM 스테이지 센서(112)와 컨트롤러(410) 간에 무선 통신을 통하여 센싱된 LPM 상태값의 송수신이 이루어지도록 한다. 이하 상술한다.
로드 포트 모듈(100)(LPM;Load Port Module)은, 설비 전방 단부 모듈(EFEM;Equipment Front End Module)이라고도 불리는 웨이퍼 이송 모듈 전면에 배치된다. 로드 포트 모듈(100)은, 웨이퍼가 적재된 풉(FOUP)으로부터 EFEM 모듈(200)로 이송되기 전의 웨이퍼가 안착되거나, 또는 공정 처리된 웨이퍼가 EFEM 모듈(200)을 거쳐 로드 포트 모듈(100)로 이송되어 안착되는 LPM 스테이지(111)가 그 내부에 마련된다.
로드 포트 모듈(100)은 웨이퍼(wafer)들이 적재된 풉(FOUP;일명 캐리어)이 안착되는 그리고 풉(FOUP)의 덮개를 개폐하는 풉 오프너(FOUP opener)라고도 불리는 로드 포트(110)들을 포함한다. 풉(FOUP)은 생산을 위한 일반적인 로트(lot)용 캐리어로써, 물류 자동화 시스템 (예를 들어 OHT, AGV, RGV 등)에 의하여 로드 포트(110)에 안착된다. 로드 포트(110)는 풉(FOUP)이 올려지는 스테이지(도번 미도시)가 구비된다. 로드 포트(110)는 풉(FOUP)을 열고, 풉(FOUP) 내부에 적재 된 웨이퍼(미도시)를 EFEM 모듈(200)의 내부로 반출하는 기능을 수행한다.
로드 포트(110)는 복수 개가 설치되어 있으며, 웨이퍼가 수납된 풉(FOUP)이 로딩 및 언로딩될 수 있다. 즉, 하나 이상은 풉(FOUP)에 저장된 미처리된 웨이퍼를 가공 처리하기 위한 프로세스 모듈(300)로 공급하고, 나머지는 프로세스 모듈(300)에서 가공 처리된 웨이퍼를 풉(FOUP)에 보관할 수 있다. 풉(FOUP)은 외부에서 웨이퍼(w)를 로드 포트 모듈(100)로 이송할 때, 가공 처리된 웨이퍼를 다른 공정으로 반송할 때, 웨이퍼와 산소의 접촉을 차단하고 이송을 편리하게 하기 위한 장치이다. 풉(FOUP)은 케이스 형태를 이루며 일면에 도어가 구비되어 개폐될 수 있다. 풉(FOUP)의 내벽에는 웨이퍼의 적재를 위한 다수개의 슬롯이 형성되어 복수개의 웨이퍼가 서로 접촉되지 않는 상태로 적재된다.
N2퍼지키트(NPK;N2 Purge Kit)는, 도시되어 있지는 않지만 로드 포트 모듈(100)내에 마련되어 있으며, N2 가스로 웨이퍼의 파티클을 제거한다. FOUP에서 이송되어온 웨이퍼의 미세 오염 물질을 제거하기 위하여 N2가스를 퍼지 분사하여 제거한 후 프로세스 모듈(300)로 공급한다. 따라서 N2퍼지키트가 적용되는 로드 포트 모듈(100)은 기존 로드 포트 모듈(100)에 질소 충전을 추가해 불순물이 쌓이는 것을 제거해 주는 역할을 할 수 있다.
EFEM 모듈(200)(Equipment Front End Module)은, 로드 포트 모듈(100)로부터의 웨이퍼를 프로세스 모듈(300)로 이송시키거나, 프로세스 모듈(300)에서 공정 처리된 웨이퍼를 로드포트 모듈로 이송시키는 모듈이다. 이를 위해 EFEM 모듈(200)은, 내부에 로드 포트(110))에 안착된 풉(FOUP) 및 프로세스 모듈(300) 사이에서 기판(W)을 이송하기 위해 동작할 수 있는 이송로봇(미도시됨)이 제공될 수 있다. 이 이송로봇은 풉(FOUP)과 프로세스 모듈(300) 사이에서 기판을 이송시킨다. 즉, 이 이송로봇은 로드 포트(110)에 놓여진 풉(FOUP)으로부터 기판을 1회 동작에 적어도 1장씩 반출하여 프로세스 모듈(300)로 각각 반입시킨다. 웨이퍼 이송 모듈(200)에 설치되는 이송로봇은 통상적으로 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다.
참고로, EFEM 모듈(200)의 종류는 Load Port Module의 수량과 대기로봇의 주행 타입에 따라 구분되며, Load Port Module 수량은 일반적으로 Process Module의 Process time 및 고객 사양에 따라서 정해진다. 2-port용 EFEM의 경우 주행축이 없는 Trackle 타입이 사용되고 3-port, 4-port용 EFEM에는 주행축이 있는 Track 타입이 사용된다. 그리고 EFEM 내부 고정정도를 유지하기 위해 차압 유지 기능이 적용된다. 이는 EFFM 모듈의 내부 압력이 외기 압력보다 작게 설정되어 외부로부터 Particle(먼지입자)유입을 차단하는 기능을 가진다.
프로세스 모듈(300)은 트랜스퍼 챔버(미도시)와 공정 챔버(미도시)로 이루어질 수 있다.
트랜스퍼 챔버(미도시)는 EFEM 모듈(200)과 공정 챔버 사이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 트랜스퍼 챔버는 다각형 형상으로 형성될 수 있다. 이러한 다각형 형상의 측면에는 복수의 공정 챔버들 및 세정 챔버가 연결될 수 있다. 트랜스퍼 챔버에는 공정 챔버 사이에서 기판을 이송하거나 공정 챔버와 로드 포트 모듈 사이에서 기판을 이송하는 이송모듈이 설치될 수 있다. 이때의 이송모듈은 진공의 환경에서 기판을 이송할 수 있는 장치일 수 있다.
공정 챔버(미도시)는 상술한 바와 같이 트랜스퍼 챔버(미도시)에 연결될 수 있다. 이러한 공정 챔버(미도시)는, 웨이퍼의 가공 처리를 위한 열처리, 박막, 증착, 식각 등의 실제 공정이 진행되는 영역이다. 여기서, 공정 챔버(미도시)는 다양한 기판 프로세싱 작동들을 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버(미도시)는 포토 레지스트를 제거하기 위해서 플라즈마를 이용하여 포토 레지스트를 제거하는 애싱(ashing) 챔버일 수 있고, 공정 챔버(미도시)는 절연막을 증착시키도록 구성된 CVD 챔버일 수 있고, 공정 챔버(미도시)는은 인터커넥트 구조들을 형성하기 위해 절연막에 애퍼쳐(aperture)들이나 개구들을 에치하도록 구성된 에치 챔버일 수 있고, 공정 챔버(미도시)는 기판을 예열 또는 쿨링하는 챔버일 수 있다.
컨트롤 패널부(400)는, 로드 포트 모듈(100)의 일측에 설치된다. 컨트롤 패널부(400)는 컨트롤러(410)를 통하여 전달되는 공정 수행 진행 상황을 가시적으로 확인하기 위한 디스플레이 장치, 디스플레이 장치가 위치되는 패널 몸체, 웨이퍼의 이송 제어를 수행하는 컨트롤러(410)를 구비한다.
컨트롤러(410)는, 웨이퍼를 담아두는 FOUP(Front Opening Universal Pod) 도어를 열거나 닫으면서 웨이퍼가 반송될 수 있도록 제어하며, 아울러 EFEM,모듈에서 웨이퍼 이송 제어를 수행한다. 이를 위해, stage, door trans, Z-Axis 동작으로 이루어지며, FOUP 내부에 웨이퍼 정보(개수, 틀어짐, 겹침)를 확인하기 위해서 FOUP 도어를 개방하면서 Mapping을 실시한다. 동작 반복 정밀도는 0.01mm로 웨이퍼의 미세 틀어짐까지 감지할 수 있다. 그리고 맵핑 광량이 저하될 경우 맵핑 NG를 최소화하기 위해서 광량 자동 보정 기능이 추가될 수 있다. 나아가 컨트롤러(410)는, 또한 FOUP 내부 오염을 방지하는 N2 Purge를 LPM 스테이지(111) 상에 분사하도록 제어할 수 이다.
이와 같이 컨트롤러(410)는 로드 포트 모듈(100)의 LPM 스테이지(111)의 센싱값을 감지하고 다양한 제어를 수행하는데, LPM 스테이지(111)의 센싱값을 감지하기 위하여, LPM 스테이지(111)에 마련되어 LPM 센싱값을 센싱하는 복수개의 LPM 스테이지 센서(112)가 구비된다.
따라서 컨트롤러(410)는 각 LPM 스테이지 센서(112)를 통해 감지된 센싱값에 따라서 N2퍼지키트를 제어하게 된다.
그런데 기존에는 컨트롤러(410)와 LPM 스테이지(111) 사이에 많은 전기적인 유선 형태의 신호선이 추가로 연결되어야 하는 문제가 있다.
이러한 문제를 개선하고자, 본 발명은, LPM 스테이지 센서(112)와 컨트롤러(410) 간에 무선 통신을 통하여 센싱된 LPM 센싱값의 송수신이 이루어지도록 한다. 이를 위하여 도 3에 도시한 바와 같이 LPM 스테이지(111)에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서(112)로부터 LPM 센싱값을 수집하여, 근거리 무선 통신을 통하여 컨트롤러(410)로 수집한 LPM 센싱값을 무선 전송하는 무선 중계 보드(113)를 구비한다. 여기서, 근거리 무선 통신은, 블루투스 통신, 무선 RF 통신, 적외선 통신 중 어느 하나의 근거리 무선 통신일 수 있다.
좀 더 상술하면, 본 발명은 도 4에 도시한 바와 같이 LPM 스테이지(111)에 무선 중계 보드(113)를 설치하고, 컨트롤러(410)에서 무선 중계 보드(113)까지는 통신을 이용하고, 무선 중계 보드(113)에서 각 센서는 짧은 신호선을 사용하여 연결한다. 즉, 각 LPM 스테이지 센서(112)와 유선 통신으로 연결되어 있어, 유선 통신을 통하여 LPM 센싱값을 수집하도록 한다. 여기서 이더넷(Ethernet), 범용 직렬 버스(Universal Serial Bus), IEEE 1394, 직렬통신(serial communication) 및 병렬 통신(parallel communication) 중 어느 하나의 유선 통신일 수 이Te
따라서 무선 중계 보드(113)에서 각 센서(Sensor)는 짧은 신호선을 사용하여 연결되므로 선처리 및 Noise에 강하고, LPM 스테이지(111)의 동작시 컨트롤러(410)와 중계보드 사이의 통신선만 이동하므로 단선 위험이 적게 된다.
나아가 본 발명은, 무선 중계 보드(113)의 문제 발생 시에 교체 등의 작업에 유리하도록 하기 위하여, 무선 중계 보드(113)는, 도 5에 도시한 바와 같이 LPM 스테이지(111)에 마련된 커넥터 포트(114)에 매립되어 탈착 가능하도록 구현한다. 커넥터 포트(114)는, 각 LPM 스테이지 센서(112)와 중계 신호선을 통해 연결된 복수개의 커넥터핀을 가지도록 한다. 따라서 무선 중계 보드(113)의 고장 등이 발생할 시에 작업자는 손쉽게 교체 등의 작업을 수행할 수 있다.
나아가, 본 발명은, 무선 중계 보드(113)에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서(112)로부터 수집되는 LPM 센싱값에 따른 발광을 수행하는 상태 알림 램프를 추가로 더 구비할 수 있다. 따라서 무선 중계 보드(113)에 동작 램프(Lamp)가 설치되어 문제 확인에도 좋다.
상술한 본 발명의 설명에서의 실시예는 여러가지 실시가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 예를 선정하여 제시한 것으로, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 변경 및 균등한 타의 실시예가 가능한 것이다.
111:LPM 스테이지
112:LPM 스테이지 pts서
113:무선 중계 보드
410:컨트롤러

Claims (7)

  1. 웨이퍼가 적재된 풉(FOUP)으로부터 EFEM 모듈로 이송되기 전의 웨이퍼가 안착되는 LPM 스테이지가 그 내부에 마련된 로드 포트 모듈;
    상기 로드 포트 모듈내에 마련되어 있으며, 상기 풉에서 이송된 웨이퍼에 N2 가스를 퍼지 분사하여 파티클을 포함하는 미세 오염 물질을 제거하는 N2퍼지키트;
    상기 LPM 스테이지에 마련되어 LPM 센싱값을 센싱하는 복수개의 LPM 스테이지 센서;
    각 LPM 스테이지 센서를 통해 감지된 센싱값에 따라서 상기 N2퍼지키트를 제어하되, 풉 내부에서 이송되어온 웨이퍼의 오염을 방지하기 위한 N2 가스를 LPM 스테이지에 퍼지 분사하도록 제어하는 컨트롤러;
    상기 로드 포트 모듈로부터의 웨이퍼를 프로세스 모듈로 이송시키거나, 상기 프로세스 모듈에서 공정 처리된 웨이퍼를 로드 포트 모듈로 이송시키는 EFEM 모듈; 및
    트랜스퍼 챔버와 상기 트랜스퍼 챔버에 연결되는 공정 챔버를 포함하되, 상기 트랜스퍼 챔버는 EFEM 모듈과 공정 챔버 사이에 배치되고, 상기 공정 챔버는 포토 레지스트를 제거하기 위하여 플라즈마를 이용하여 포토 레지스트를 제거하는 애싱 챔버, 절연막을 증착시키도록 구성된 CVD 챔버, 인터케넥트 구조들을 형성하기 위해 절연막에 애퍼쳐나 개구들을 에치하도록 구성된 에치 챔버, 기판을 예열 또는 쿨링하는 챔버 중 어느 하나 이상으로 이루어지는 프로세스 모듈; 을 포함하며,
    상기 LPM 스테이지 센서와 컨트롤러 간에 무선 통신을 통하여 센싱된 LPM 센싱값의 송수신이 이루어지고,
    상기 로드 포트 모듈은 풉의 덮개를 개폐하는 로드 포트와 상기 로드 포트에 풉이 올려지는 스테이지를 포함하며, 상기 로드 포트는 복수 개가 설치되되, 하니 이상의 풉에 저장된 미처리된 웨이퍼를 가공 처리하기 위한 프로세스 모듈로 공급하고, 나머지 프로세스 모듈에서 가공 처리된 웨이퍼를 풉에서 보관하고,
    상기 LPM 스테이지에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서로부터 LPM 센싱값을 수집하여, 근거리 무선 통신을 통하여 상기 컨트롤러로 수집한 LPM 센싱값을 무선 전송하는 무선 중계 보드;
    를 포함하고,
    상기 근거리 무선 통신은,
    무선 RF 통신, 적외선 통신 중 어느 하나의 근거리 무선 통신이며,
    상기 무선 중계 보드는,
    각 LPM 스테이지 센서와 짧은 신호선을 사용하여 유선 통신으로 연결되어 있어, 유선 통신을 통하여 LPM 센싱값을 수집함을 특징으로 하는 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 유선 통신은,
    이더넷(Ethernet), 범용 직렬 버스(Universal Serial Bus), IEEE 1394, 직렬통신(serial communication) 및 병렬 통신(parallel communication) 중 어느 하나의 유선 통신임을 특징으로 하는 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 무선 중계 보드는 상기 LPM 스테이지에 마련된 커넥터 포트에 매립되어 탈착 가능하며,
    상기 커넥터 포트는, 각 LPM 스테이지 센서와 중계 신호선을 통해 연결된 복수개의 커넥터핀을 가짐을 특징으로 하는 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 반도체 클러스터 툴 시스템은,
    상기 무선 중계 보드에 마련되어, 각 LPM 스테이지 센서로부터 수집되는 LPM 센싱값에 따른 발광을 수행하는 상태 알림 램프;
    를 포함하는 LPM 무선 센싱 반도체 클러스터 툴 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102088747B1 (ko) * 2019-03-25 2020-03-13 주식회사 싸이맥스 인체를 감지하는 웨이퍼 이송 자동화모듈
KR20200111044A (ko) * 2019-03-18 2020-09-28 유근재 이더캣을 이용한 반도체 스토커 시스템의 풉 제어보드 고장 검출 방법 및 장치와, 이를 구비한 풉 제어보드

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