JP2009188175A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハを撮像装置で走査して表面画像を取得し、ダイ毎にイメージ比較を行い欠陥を検出する外観検査において、半導体ウエハの表面上の十字形状領域における外観検査の検査速度を向上させる方法の提供。
【解決手段】外観検査装置1は、半導体ウエハ2を載置するための回転可能な試料台12と、半導体ウエハ2を少なくともX方向に移動可能なステージ11と、を備え、試料台12を90度回転させる前後のそれぞれにおいて、ステージ11をX方向へ移動させて撮像部14で半導体ウエハ2を走査することによって、半導体ウエハ2上の十字形状領域の画像を取得し、十字形状領域においてイメージ比較を行う検査モードを有する。
【選択図】図7
【解決手段】外観検査装置1は、半導体ウエハ2を載置するための回転可能な試料台12と、半導体ウエハ2を少なくともX方向に移動可能なステージ11と、を備え、試料台12を90度回転させる前後のそれぞれにおいて、ステージ11をX方向へ移動させて撮像部14で半導体ウエハ2を走査することによって、半導体ウエハ2上の十字形状領域の画像を取得し、十字形状領域においてイメージ比較を行う検査モードを有する。
【選択図】図7
Description
本発明は、半導体ウエハを撮像部で走査することにより半導体ウエハ表面の画像を取得し、ダイ毎にイメージ比較を行って半導体ウエハの欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法に関する。特にこのような外観検査装置及び外観検査方法において、検査処理時間の短縮を図る技術に関する。
半導体ウエハなどの半導体装置等の製造は多数の工数から成り立っており、最終及び途中の工程での欠陥の発生具合を検査して製造工程にフィードバックすることが歩留まり向上の上からも重要である。製造工程の途中で欠陥を検出するために、半導体ウエハなどの試料の表面に形成されたパターンを撮像し、これにより得られた画像を検査することにより試料表面に存在する欠陥を検出する外観検査が広く行われている。
図1は、従来の外観検査装置の概略構成図である。外観検査装置1は、2次元方向に自在に移動可能なステージ11が設けられており、ステージ11の上面には試料台(チャックステージ)12が設けられている。この試料台12の上に検査対象となる試料である半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と示す)2を載置して固定する。ステージ11は、X方向及びY方向の2次元方向に移動し、また試料台12をZ方向に昇降させることでウエハ2を3次元方向に移動させることが可能である。
試料台12の上方には、ウエハ2の表面の光学像を撮像するための撮像部14が設けられる。撮像部14には1次元又は2次元のCCDカメラ、好適にはTDIカメラなどのイメージセンサが使用され、対物レンズ13により投影され撮像部14の受光面に結像するウエハ2の表面の光学像を電気信号に変換する。
撮像部14として1次元のTDIカメラが採用されることがある。TDIカメラが採用される場合には、ステージ11を移動することにより撮像部14とウエハ2とが相対的に移動し、これによってウエハ2に対して撮像部14をX方向及び/又はY方向に走査されることによってウエハ2の表面の2次元画像が取得される。
撮像部14から出力される画像信号は、多値のディジタル信号(グレイレベル信号)に変換された後に画像記憶部15に記憶される。
撮像部14として1次元のTDIカメラが採用されることがある。TDIカメラが採用される場合には、ステージ11を移動することにより撮像部14とウエハ2とが相対的に移動し、これによってウエハ2に対して撮像部14をX方向及び/又はY方向に走査されることによってウエハ2の表面の2次元画像が取得される。
撮像部14から出力される画像信号は、多値のディジタル信号(グレイレベル信号)に変換された後に画像記憶部15に記憶される。
外観検査装置1は、ウエハ2を照明するための光源16を有する。光源16から生じる照明光は集光レンズ17により集光された後に、ビームスプリッタ18によって対物レンズ13の方向へ反射され、対物レンズ13を通過してウエハ2の表面へ入射する。ビームスプリッタ18は対物レンズ13の光軸上に配置されており、対物レンズ13から撮像部14へ投影されるウエハ2の表面の光学像の投影光を透過する。
ウエハ2上には、図2に示すように複数のダイ(チップ)3がX方向とY方向にそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されている。各ダイには同じパターンが形成されるので、これらのダイを撮像した画像同士は本来同一となるはずであり、各ダイの撮像画像の対応する部分同士の画素値は本来同様の値となる。
したがって2つのダイ(例えば3a及び3b)の撮像画像内の本来同一となるべき対応箇所同士の画素値の差分(グレイレベル差信号)を検出すると、両方のダイに欠陥がない場合に比べて一方のダイに欠陥がある場合にグレイレベル差信号が大きくなり、このような大きなグレイレベル差を検出することによりダイ上に存在する欠陥を検出できる。
したがって2つのダイ(例えば3a及び3b)の撮像画像内の本来同一となるべき対応箇所同士の画素値の差分(グレイレベル差信号)を検出すると、両方のダイに欠陥がない場合に比べて一方のダイに欠陥がある場合にグレイレベル差信号が大きくなり、このような大きなグレイレベル差を検出することによりダイ上に存在する欠陥を検出できる。
なお、ダイトゥダイ比較では、隣り合う2つのダイ(例えば3a及び3b)同士を撮像した画像を比較するのが一般的である(シングルティテクション)。これではどちらのダイに欠陥があるか分からない。したがって、更に異なる側に隣接するダイ(例えばダイ3c)との比較を行い、再び同じ部分のグレイレベル差が閾値より大きくなった場合にそのダイに欠陥があると判定する(ダブルディテクション)。
図1に戻り、外観検査装置1は、画像記憶部15に記憶されたウエハ2の画像において、2つのダイの撮像画像の対応箇所同士のグレイレベル差を算出するための差分検出部21を備える。
ステージ11がX方向へ移動することによって、1次元TDIカメラである撮像部14でウエハ2を、図2に示す走査経路101及び102に沿って連続的に走査する間に、撮像部14の出力信号を取り込むと、画像記憶部15にウエハ2の2次元画像が蓄積される。差分検出部21は、ステージ11の位置情報に基づいて、隣接する2つのダイの対応箇所の部分画像を画像記憶部15から取り出し、その一つを検査画像とし他方を参照画像とする。そして検査画像と参照画像との間の対応箇所の画素同士のグレイレベル差信号を算出して欠陥検出部22に出力する。
ステージ11がX方向へ移動することによって、1次元TDIカメラである撮像部14でウエハ2を、図2に示す走査経路101及び102に沿って連続的に走査する間に、撮像部14の出力信号を取り込むと、画像記憶部15にウエハ2の2次元画像が蓄積される。差分検出部21は、ステージ11の位置情報に基づいて、隣接する2つのダイの対応箇所の部分画像を画像記憶部15から取り出し、その一つを検査画像とし他方を参照画像とする。そして検査画像と参照画像との間の対応箇所の画素同士のグレイレベル差信号を算出して欠陥検出部22に出力する。
欠陥検出部22は、差分検出部21から入力したグレイレベル差と所定の検出閾値とを比較して、検査画像に含まれる欠陥を検出する。すなわち欠陥検出部22は、グレイレベル差信号が検出閾値を超える場合には、このようなグレイレベル差信号を算出した画素の位置に、検査画像が欠陥を含んでいると判断する。
そして欠陥検出部22は、検出した欠陥の位置、大きさ、検査画像と参照画像との間のグレイレベル差、これらの画像のグレイレベル値等の情報を含む欠陥情報を検出した欠陥毎に作成し、出力する。
そして欠陥検出部22は、検出した欠陥の位置、大きさ、検査画像と参照画像との間のグレイレベル差、これらの画像のグレイレベル値等の情報を含む欠陥情報を検出した欠陥毎に作成し、出力する。
半導体の製造工程の複雑化と工期短縮の要求のため、半導体デバイス生産工場にて実施される外観検査には検査処理時間の短縮が要求される。従来、外観検査におけるスループットを向上させるために、各画素間の比較速度を向上することで検査処理能力の向上を図り、これによってウエハの処理枚数を増大させるアプローチが試みられてきた。
一方で、半導体生産ラインに外観検査を導入する目的は、予想されるウエハ表面の問題とその傾向の分析、ならびにこの分析により判明した発生原因への対応を、迅速に生産ラインに展開することにある。
そして外観検査では、ウエハ上の欠陥の分布の大局的な傾向を知ることで、またはウエハ上の特定の領域において行った検査を行い特定領域内の各箇所でそれぞれ検出される欠陥数同士の間の大小を知ることで、欠陥の発生原因を特定できることも多い。したがって、必ずしもウエハ全面において外観検査を実施しなくとも、特に大量生産を行う半導体装置製造工場における外観検査の導入目的を達成できることが多い。
そして外観検査では、ウエハ上の欠陥の分布の大局的な傾向を知ることで、またはウエハ上の特定の領域において行った検査を行い特定領域内の各箇所でそれぞれ検出される欠陥数同士の間の大小を知ることで、欠陥の発生原因を特定できることも多い。したがって、必ずしもウエハ全面において外観検査を実施しなくとも、特に大量生産を行う半導体装置製造工場における外観検査の導入目的を達成できることが多い。
このため外観検査では、大局的な傾向だけを調べること、若しくは特定領域内の欠陥発生量だけを調べることにより検査すべき面積を従来よりも減少させ、1枚当たりのウエハの処理時間を減少させ、ウエハの処理枚数を増大させることができる。そして、ウエハ上の欠陥の分布傾向を知るためには、図3に示すようなウエハ2上の十字形状領域103を、検査領域とすることが1つの手法として採りうる。
しかしながら、検査領域を十字形状領域103に限定しても、検査面積の減少量に比例する程の処理速度の短縮は得られない。その理由を以下に述べる。
図3に示す十字形状領域103においてイメージ比較を行うためには、撮像部14によりウエハ2を走査する主走査方向(X方向)に延びるX方向伸長領域103xと、この主走査方向と直交する副走査方向(Y方向)に延びるY方向伸長領域103yの画像を取得する必要がある。
ここで、X方向伸長領域103xにおけるイメージ比較においては、1回の主走査方向での走査だけで対比するべきダイ3a〜3cの画像を取得できる。また、あるダイについて検査された画像が、隣接ダイの検査用の参照画像として使用することができるため、検査の効率がよい。
図3に示す十字形状領域103においてイメージ比較を行うためには、撮像部14によりウエハ2を走査する主走査方向(X方向)に延びるX方向伸長領域103xと、この主走査方向と直交する副走査方向(Y方向)に延びるY方向伸長領域103yの画像を取得する必要がある。
ここで、X方向伸長領域103xにおけるイメージ比較においては、1回の主走査方向での走査だけで対比するべきダイ3a〜3cの画像を取得できる。また、あるダイについて検査された画像が、隣接ダイの検査用の参照画像として使用することができるため、検査の効率がよい。
図4は、Y方向伸長領域103yの検査のための走査経路の第1例を示す図である。図4に示す走査経路105では、1回の主走査の長さは1つのダイの長さとほぼ同じであり、Y方向へ位置をずらしながら主走査を連続して行うことにより、Y方向へ伸長するダイ1列分の幅のY方向伸長領域103yの画像を得る。このような走査は次の理由により実際には困難である。
第1に本方法では、異なる主走査において取得された画像間においてイメージ比較を行う必要がある。しかし外観検査で行われるイメージ比較には非常に高い位置精度が要求されるため、Y方向へのステージ移動の前後で行われた複数の主走査で得た画像間のイメージ比較を正確に行うのは実際には困難である。
第2に、外観検査装置により実行されるイメージ比較処理のアルゴリズムは、通常、主走査方向に並んだダイ同士を対比するように考えられている。したがって、本方法のように異なる主走査で得た画像同士を比較するように外観検査装置を動作させるには、ソフトウエアの大幅な変更を伴うため、多大なコストと労力を要する。
第2に、外観検査装置により実行されるイメージ比較処理のアルゴリズムは、通常、主走査方向に並んだダイ同士を対比するように考えられている。したがって、本方法のように異なる主走査で得た画像同士を比較するように外観検査装置を動作させるには、ソフトウエアの大幅な変更を伴うため、多大なコストと労力を要する。
図5は、Y方向伸長領域103yの検査のための走査経路の第2例を示す図である。図4に示す走査経路107では、1回の主走査の長さを3つのダイの長さとほぼ同じにしている。このような走査経路107を採用することによって、Y方向伸長領域103y内のX方向に並ぶ3つのダイ間でイメージ比較を行うことができ、図4に示す経路の問題点を解消することができる。例えば図5の例では検査対象のダイ3dの画像を、参照画像となるダイ3e及び3fの画像と比較することができる。
しかし、図5に示すY方向伸長領域103yは、1列のダイ3を検査するために両側2列のダイの画像を必要とし、X方向伸長領域103xにおいてイメージ比較を行う場合と比べて画像取得に3倍の時間を要する。このため、検査領域を十字形状領域103に限定しても、検査面積の減少量に比例する程の処理速度の短縮は得られない。
しかし、図5に示すY方向伸長領域103yは、1列のダイ3を検査するために両側2列のダイの画像を必要とし、X方向伸長領域103xにおいてイメージ比較を行う場合と比べて画像取得に3倍の時間を要する。このため、検査領域を十字形状領域103に限定しても、検査面積の減少量に比例する程の処理速度の短縮は得られない。
なおY方向伸長領域103yを検査する際に、図6に示すように撮像部14によるウエハ2上の主走査方向をY方向にすることも考えられる。図6に示す例では、主走査経路108はY方向に沿っている。
しかし、撮像部14が1次元TDIカメラである場合には、撮像素子の配置方向によって主走査方向が定まることから、X方向伸長領域103x及びY方向伸長領域103yのいずれかを撮像するかに応じて主走査方向を切り替えられるような構成とするのは、大幅な装置の変更を伴う。
しかし、撮像部14が1次元TDIカメラである場合には、撮像素子の配置方向によって主走査方向が定まることから、X方向伸長領域103x及びY方向伸長領域103yのいずれかを撮像するかに応じて主走査方向を切り替えられるような構成とするのは、大幅な装置の変更を伴う。
上記の問題点に鑑み、本発明は、半導体ウエハの表面上の十字形状領域における外観検査の検査速度を向上させることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、半導体ウエハ上の十字形状領域を撮像する際に、半導体ウエハを90度回転させる。半導体ウエハを90度回転させる前後において半導体ウエハを同じ方向へ移動させて撮像装置で半導体ウエハを走査することによって、半導体ウエハ上の十字形状領域の画像を取得する。
このように画像を取得することによって、ウエハ上にて直交する2方向のいずれの方向においても、それぞれの方向に沿って撮像装置で半導体ウエハを走査し、かつそれぞれの方向へ並んで配列されたダイ同士の間でイメージ比較を行うことが可能となる。
したがって、これら2方向へそれぞれ沿って行われるイメージ比較処理の所要時間を、従来の主走査方向に沿って行われるイメージ比較処理の所要時間と等しくすることが可能となり、十字形状領域における外観検査の検査速度を向上させることが可能となる。
このように画像を取得することによって、ウエハ上にて直交する2方向のいずれの方向においても、それぞれの方向に沿って撮像装置で半導体ウエハを走査し、かつそれぞれの方向へ並んで配列されたダイ同士の間でイメージ比較を行うことが可能となる。
したがって、これら2方向へそれぞれ沿って行われるイメージ比較処理の所要時間を、従来の主走査方向に沿って行われるイメージ比較処理の所要時間と等しくすることが可能となり、十字形状領域における外観検査の検査速度を向上させることが可能となる。
外観検査では、半導体ウエハを照明する照明光に偏光された光を用いることがある。ここで外観検査の対象となる半導体ウエハの表面のパターンは非常に微細であり、半導体ウエハに入射する照明光の偏光方向と、半導体ウエハ表面のパターンの方向との相対的な方向関係が違うと撮像装置で取得できる画像が変化することがある。
このため、撮像装置で走査される半導体ウエハの向きに応じて、半導体ウエハを照明する照明光の偏光方向を調整してもよい。
このため、撮像装置で走査される半導体ウエハの向きに応じて、半導体ウエハを照明する照明光の偏光方向を調整してもよい。
本発明によって、半導体ウエハの表面上の十字形状領域における外観検査の検査速度が向上する。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図7は、本発明の実施例による外観検査装置の概略構成図である。図7に示す外観検査装置1は、図1を参照して説明した外観検査装置に類似する構成を有しており、同一の構成要素に対して同一の参照符号を付する。また、図7に示す各構成要素は、図1において同じ参照符号を付して示された各構成要素と同じ機能を少なくとも有しており、既に説明した機能については記載の重複を避けるために、詳しい説明を省略する。
外観検査装置1は、X−Y方向に自在に移動可能なステージ11が設けられており、ステージ11の上面には試料台12が設けられており、ステージ11はZ軸を回転軸として試料台12を回転させることができる。この試料台12の上にはウエハ2を載置して固定する。
試料台12の上方には、1次元のTDIカメラである撮像部14が設けられる。撮像部14は、対物レンズ13により投影され撮像部14の受光面に結像するウエハ2の表面の光学像を電気信号に変換する。撮像部14から出力される画像信号は、多値のディジタル信号(グレイレベル信号)に変換された後に画像記憶部15に記憶される。
試料台12の上方には、1次元のTDIカメラである撮像部14が設けられる。撮像部14は、対物レンズ13により投影され撮像部14の受光面に結像するウエハ2の表面の光学像を電気信号に変換する。撮像部14から出力される画像信号は、多値のディジタル信号(グレイレベル信号)に変換された後に画像記憶部15に記憶される。
外観検査装置1は、ウエハ2を照明するための光源16を有する。光源16から生じる照明光は集光レンズ17により集光された後に、偏光ビームスプリッタ19により対物レンズ13の方向へ反射され、対物レンズ13を通過してウエハ2の表面へ入射する。偏光ビームスプリッタ19は、対物レンズ13の光軸上に配置されており、対物レンズ13から撮像部14へ投影されるウエハ2の表面の光学像の投影光を透過する。
また、外観検査装置1は、画像記憶部15に記憶されたウエハ2の画像において、2つのダイの撮像画像の対応箇所同士のグレイレベル差を算出する差分検出部21と、差分検出部21から入力したグレイレベル差と所定の検出閾値とを比較して、グレイレベル差信号が検出閾値を超える画素の位置を欠陥として検出する欠陥検出部22を備える。
外観検査装置1は、従来の外観検査と同様にウエハ2上のほぼ全面を検査する通常検査モードと、図3に示す十字形状領域103でのみ検査を行う十字検査モードの、2種類の動作モードを少なくとも有する。外観検査装置1は、その動作モードを通常検査モード及び十字検査モードのいずれかに設定する動作モード設定部30を備える。動作モード設定部30は、入力部31によって入力された検査レシピにおいて指定されている動作モードの指定を読み取り、外観検査装置1の動作モードを設定する。
外観検査装置1は、上記2つの動作モードの各々に応じたステージ11や試料台12の動作を記憶する動作シーケンス記憶部32と、動作シーケンス記憶部32に記憶されたデータに従って、上記2つの動作モードの各々に応じた一連の動作をステージ11や試料台12に行わせるように、これらを駆動するステージ制御部33を有する。
また外観検査装置1は、ウエハ2上に指定された検査領域(ケアエリア)を指定するケアエリア情報や、ステージ11の位置情報に基づいて決定したウエハ2と撮像部14との相対位置と、撮像画像から決定したウエハ2と撮像部14との相対位置とのずれ量を補正するアライメント情報を変換する検査情報変換部34を備える。検査情報変換部34は、十字検査モードにおいて、試料台12の向きを変えて撮像部14でウエハ2を走査するときに、試料台12の向きに応じてケアエリア情報やアライメント情報の座標情報を変換する。
これらケアエリア情報やアライメント情報は差分検出部21に供給され、差分検出部21はケアエリア情報によってグレイレベル差を求めるべき画像領域を決定し、アライメント情報によってウエハ2の画像中のどこに各ダイがあるかを正確に決定することができる。
これらケアエリア情報やアライメント情報は差分検出部21に供給され、差分検出部21はケアエリア情報によってグレイレベル差を求めるべき画像領域を決定し、アライメント情報によってウエハ2の画像中のどこに各ダイがあるかを正確に決定することができる。
また外観検査装置1は、偏光ビームスプリッタ19で反射して直線偏光された照明光が通過するλ/2波長板35と、λ/2波長板35を通過した照明光を円偏光にするλ/4波長板36と、を備えている。
回転機構37は、例えばモータ等を有しており、λ/2波長板35とλ/4波長板36を同時に回転させることにより、ウエハ2へ入射する照明光の偏光面の向きを変える。
外観検査装置1は、回転機構37によりλ/2波長板35とλ/4波長板36を回転させることにより、撮像部14の受光面に結像するウエハ2の光学像の状態を変化させ、撮像部14により取得されるウエハ2の画像信号のS/N比を調整するS/N比調整部38を有している。
欠陥選別部39については後述する。
回転機構37は、例えばモータ等を有しており、λ/2波長板35とλ/4波長板36を同時に回転させることにより、ウエハ2へ入射する照明光の偏光面の向きを変える。
外観検査装置1は、回転機構37によりλ/2波長板35とλ/4波長板36を回転させることにより、撮像部14の受光面に結像するウエハ2の光学像の状態を変化させ、撮像部14により取得されるウエハ2の画像信号のS/N比を調整するS/N比調整部38を有している。
欠陥選別部39については後述する。
図8は本発明の実施例による外観検査方法のフローチャートである。ステップS1では外観検査装置1の動作モードが十字検査モードに設定される。動作モード設定部30は、入力部31によって入力された検査レシピにおいて、十字検査モードが指定されていることを読み取り、外観検査装置1の動作モードとして十字検査モードを設定する。設定された動作モードは、欠陥検出部22、検査情報変換部34、ステージ制御部33、S/N比調整部38及び欠陥選別部39へ通知される。
動作モードの変更が通知されたステージ制御部33は、動作シーケンス記憶部32から十字検査モード用の動作指定データを読み出し、以降では十字検査モードのための動作をステージ11や試料台12に行わせる。
動作モードの変更が通知されたステージ制御部33は、動作シーケンス記憶部32から十字検査モード用の動作指定データを読み出し、以降では十字検査モードのための動作をステージ11や試料台12に行わせる。
ステップS2では、ステージ制御部33は、試料台12のZ軸周りの回転角度のアライメントを行う。このアライメントによって、ウエハ2の上に行列状に繰り返し配置されたダイの2次元の反復方向のうちの一方の方向を、ステージ11のX方向に一致される。この様子を図9の(A)に示す。図示の例では、ウエハ2の上に行列状に繰り返し配置されたダイ3の反復方向のうち、縦線の網掛けで示したダイ3が並ぶ方向が、ステージのX方向に一致される。
ステップS3では、ステージ制御部33は、ステップS2にてウエハ2の方向を定めた状態でX方向にステージ11を移動させ、X方向に沿う走査経路110上を撮像部14でウエハ2を走査する。これによって図9の(A)の縦線の網掛けで示したダイ3を含む帯状領域の画像を取得する。そして差分検出部21は、取得した画像内の十字検査モード用に定められたケアエリア内にてイメージ比較を行い、欠陥検出部22はその比較結果と閾値とを比較して欠陥を検出する。
ステップS4では、ステージ制御部33は試料台12を回転させ、ウエハ2の向きを図9の(B)に示すように90度回転させる。ステージ11は、ステップS2にてウエハ2の回転角度のアライメントにおいて試料台12へのウエハ2の載置角度の誤差分だけ試料台12を回転させ、さらにステップS4において試料台12を90°回転させる。したがって、ステージ11が試料台12を回転させるための回転機構は、ステップS2のアライメントによって許容すべきウエハ2の載置角度の許容誤差分に90°を加えた角度分だけ、試料台12を回転できる機構が採用される。
ステップS5では、検査情報変換部34は、試料台12の回転によるウエハ2上の座標系の変換に伴う、ケアエリア情報及びアライメント情報の座標変換処理を行う。
ステップS5では、検査情報変換部34は、試料台12の回転によるウエハ2上の座標系の変換に伴う、ケアエリア情報及びアライメント情報の座標変換処理を行う。
ステップS6では、ステップS4によるウエハ2の回転に伴ってウエハ2上のパターンの方向と照明光の偏光方向との相対的な方向関係が変わり、撮像画像へ変化が生じることを回避もしくは低減するために、S/N比調整部38は、回転機構37によりλ/2波長板35とλ/4波長板36を同時に予め定められた角度だけ回転させて、ウエハ2へ入射する照明光の偏光方向を粗調整する。
ステップS7では、S/N比調整部38は、撮像部14により撮像される画像のS/N比を検出し、検出されるS/N比がステップS3にて撮像される画像のS/N比と等しくなるように、λ/2波長板35とλ/4波長板36の角度を微調整する。
ステップS7では、S/N比調整部38は、撮像部14により撮像される画像のS/N比を検出し、検出されるS/N比がステップS3にて撮像される画像のS/N比と等しくなるように、λ/2波長板35とλ/4波長板36の角度を微調整する。
ステップS8では、ステージ制御部33は、試料台12のZ軸周りの回転角度のアライメントを行う。このアライメントによって、ウエハ2上のダイの2次元の配置方向のうち、ステップS2にてステージ11のX方向に一致させた方向と異なる他の一方の方向が、ステージ11のX方向に一致される。図9の(B)の例では、ウエハ2の上に行列状に繰り返し配置されたダイ3の反復方向のうち、横線の網掛けで示したダイ3が並ぶ方向が、ステージのX方向に一致される。
ステップS9では、ステージ制御部33は、ステップS8にてウエハ2の方向を定めた状態でX方向にステージ11を移動させ、X方向に沿う走査経路111上を撮像部14でウエハ2を走査する。これによって図9の(C)の横線の網掛けで示したダイ3を含む帯状領域の画像を取得する。そして差分検出部21は、取得した画像内の十字検査モード用に定められたケアエリア内にてイメージ比較を行い、欠陥検出部22はその比較結果と閾値とを比較して欠陥を検出する。
ステップS9では、ステージ制御部33は、ステップS8にてウエハ2の方向を定めた状態でX方向にステージ11を移動させ、X方向に沿う走査経路111上を撮像部14でウエハ2を走査する。これによって図9の(C)の横線の網掛けで示したダイ3を含む帯状領域の画像を取得する。そして差分検出部21は、取得した画像内の十字検査モード用に定められたケアエリア内にてイメージ比較を行い、欠陥検出部22はその比較結果と閾値とを比較して欠陥を検出する。
ステップS10では、欠陥選別部39は、ステップS3及びS9において欠陥検出部22が検出した欠陥のうち、これらのステップによって重複して外観検査が行われた領域(図9の(C)の領域300)において、重複して検出された欠陥のうち一方を除去して、残りの欠陥に係る欠陥情報を出力する。
本発明は、半導体ウエハを撮像部で走査することにより半導体ウエハ表面の画像を取得し、ダイ毎にイメージ比較を行って半導体ウエハの欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法に利用可能である。
1 外観検査装置
2 半導体ウエハ
3 ダイ
13 対物レンズ
16 光源
17 レンズ
19 偏向ビームスプリッタ
31 入力部
35 λ/2波長板
36 λ/4波長板
37 回転機構
2 半導体ウエハ
3 ダイ
13 対物レンズ
16 光源
17 レンズ
19 偏向ビームスプリッタ
31 入力部
35 λ/2波長板
36 λ/4波長板
37 回転機構
Claims (4)
- 半導体ウエハを撮像部で走査することにより半導体ウエハ表面の画像を取得し、ダイ毎にイメージ比較を行い前記半導体ウエハの欠陥を検出する外観検査装置であって、
前記半導体ウエハを載置するための回転可能な試料台と、
前記半導体ウエハを少なくとも1次元方向に移動可能なステージと、を備え、
前記試料台を90度回転させる前後のそれぞれにおいて、前記ステージを前記一次元方向へ移動させて前記撮像部で前記半導体ウエハを走査することによって、前記半導体ウエハ上の十字形状領域の画像を取得し、この十字形状領域において前記イメージ比較を行う検査モードを有することを特徴とする外観検査装置。 - 前記撮像部で走査される前記半導体ウエハの向きに応じて、前記半導体ウエハを照明する照明光の偏光方向を調整するための偏光方向調整部を、さらに備えることを特徴とする外観検査装置。
- 半導体ウエハを撮像装置で走査することにより半導体ウエハ表面の画像を取得し、ダイ毎にイメージ比較を行い前記半導体ウエハの欠陥を検出する外観検査方法であって、
前記半導体ウエハを90度回転させ、この回転の前後のそれぞれにおいて前記半導体ウエハを同じ方向へ移動させて前記撮像装置で前記半導体ウエハを走査することによって、前記半導体ウエハ上の十字形状領域の画像を取得し、この十字形状領域において前記イメージ比較を行うことを特徴とする外観検査方法。 - 前記撮像装置で走査される前記半導体ウエハの向きに応じて、前記半導体ウエハを照明する照明光の偏光方向を調整することを特徴とする外観検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008026402A JP2009188175A (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008026402A JP2009188175A (ja) | 2008-02-06 | 2008-02-06 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN113092496A (zh) * | 2021-04-06 | 2021-07-09 | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 | 一种检测晶圆分布范围的方法、系统及存储介质 |
-
2008
- 2008-02-06 JP JP2008026402A patent/JP2009188175A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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