JP2009204410A - 画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】同一の基本パターンが2次元方向に反復するように形成された試料上を、撮像ユニットで2次元走査して主走査方向に並んでいない複数の基本パターンを撮像し、これら基本パターンの1つを撮像した撮像画像である検査画像と、他の基本パターンを撮像した撮像画像から得られる参照画像との間を比較する際に、これら基本パターンを同じ方向に向かって走査するために生じる検査効率の低下を緩和する。
【解決手段】連続して行われる2回の主走査が互いに反対方向に行われるように試料と撮像ユニットとを相対移動させ、互いに反対方向に行われる主走査で得られる参照画像が異なる記憶領域に記憶されるように参照画像を所定の記憶回路(21a、21b)に記憶し、ある主走査で得られる検査画像をその前に同じ方向に向かって行われた他の主走査によって得られた参照画像と比較する。
【選択図】図6
【解決手段】連続して行われる2回の主走査が互いに反対方向に行われるように試料と撮像ユニットとを相対移動させ、互いに反対方向に行われる主走査で得られる参照画像が異なる記憶領域に記憶されるように参照画像を所定の記憶回路(21a、21b)に記憶し、ある主走査で得られる検査画像をその前に同じ方向に向かって行われた他の主走査によって得られた参照画像と比較する。
【選択図】図6
Description
本発明は、試料上に複数の同一パターンが反復するように配列された領域を撮像ユニットによって2次元走査し、相互に同一のパターンが形成された領域を撮像した画像同士を比較することにより、欠陥を検出する画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法に関する。
半導体ウエハや、フォトマスク用基板、並びに液晶表示パネルなどの半導体装置等の製造は多数の工数から成り立っており、最終及び途中の工程での欠陥の発生具合を検査して製造工程にフィードバックすることが歩留まり向上の上からも重要である。製造工程の途中で欠陥を検出するために、半導体ウエハ、フォトマスク用基板、液晶表示パネル用基板、液晶デバイス用基板などの試料の表面に形成されたパターンを撮像し、これにより得られた画像を検査することにより試料表面に存在する欠陥を検出するパターン欠陥検査が広く行われている。
以下の説明では、半導体ウエハ上に形成されたパターンの欠陥を検査する半導体ウエハ用欠陥検査装置を例として説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体メモリ用フォトマスク用基板や、液晶デバイス用基板、液晶表示パネル用基板などの半導体装置を検査する欠陥検査装置にも広く適用可能である。
以下の説明では、半導体ウエハ上に形成されたパターンの欠陥を検査する半導体ウエハ用欠陥検査装置を例として説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体メモリ用フォトマスク用基板や、液晶デバイス用基板、液晶表示パネル用基板などの半導体装置を検査する欠陥検査装置にも広く適用可能である。
図1に、本願の出願人が下記特許文献1にて提案するものと同様の欠陥検査装置のブロック図を示す。欠陥検査装置1には、水平なXY平面内とこれに垂直なZ軸方向からなる3次元方向に移動可能なステージ11が設けられており、ステージ11の上面には試料台(チャックステージ)12が設けられている。この試料台12の上に検査対象となる試料であるウエハ2を載置して固定する。
試料台12の上方には、ウエハ2の表面の光学像を撮像するための撮像ユニット13が設けられる。撮像ユニット13としては、1次元TDIカメラなどのイメージセンサが使用され、その受光面に結像されたウエハ2の表面の光学像を電気信号に変換する。本構成例では撮像ユニット13として1次元のTDIカメラを使用する。なお、撮像ユニット13によるウエハ2の表面の画像の撮像には、明視野照明光学系及び暗視野照明光学系のどちらを使用する場合もありうる。
図2の(A)に示すように、ウエハ2上には、互いに直交するD1方向とD2方向に沿って、複数のダイ(チップ)3a〜3d…がそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されている。ステージ11の移動により撮像ユニット13とウエハ2とを相対的に移動させることによって、ウエハ2に対して撮像ユニット13をD1方向及びD2方向に走査させてウエハ2の表面の2次元画像を得る。欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90は、撮像ユニット13によるウエハ2の走査が所定の走査経路に沿って行われるようにステージ11の動作を制御する。
例えば、図2の(A)に示す走査経路の例では、D1方向に沿って主走査を行い、D2方向に沿って副走査を行う。まず、D1方向を示す矢印と同じ方向に向かって経路P1に沿って主走査が行った後に、1回の主走査にて撮像ができる帯状の領域の幅W分だけD2方向に移動させ、経路P1に沿った主走査と逆方向に向かって経路P2に沿って次の主走査を行う。
経路P2に沿った主走査の後に幅W分だけD2方向に移動させて、経路P1に沿った主走査と同じ方向に経路P3に沿った次の主走査を行い、経路P3に沿った主走査の後に幅W分だけD2方向に移動させて、主走査P1と逆方向に経路P4に沿った主走査を行う。
経路P2に沿った主走査の後に幅W分だけD2方向に移動させて、経路P1に沿った主走査と同じ方向に経路P3に沿った次の主走査を行い、経路P3に沿った主走査の後に幅W分だけD2方向に移動させて、主走査P1と逆方向に経路P4に沿った主走査を行う。
各ダイ3a〜3dには同じパターンが形成されるので、これらのダイを撮像した画像同士は本来同一となるはずであり、各ダイの撮像画像の対応する部分同士の画素値は本来同様の値となる。したがって2つのダイの撮像画像内の本来同一となるべき対応箇所同士の画素値の差分(グレイレベル差信号)を検出すると、両方のダイに欠陥がない場合に比べて一方のダイに欠陥がある場合にグレイレベル差信号が大きくなり、このような大きなグレイレベル差を検出することによりダイ上に存在する欠陥を検出できる(ダイトゥダイ比較)。例えば、図2の(B)に示す例では、ダイ3aと3bを走査経路Pに沿って走査した幅Wの領域4a及び4bを各々撮像した画像同士を比較して、対応する画素同士のグレイレベル差が検出され、大きなグレイレベル差が検出された画素が示す位置に欠陥があると判定する。
また、1つのダイ内にメモリセルのような繰り返しパターンが形成されている場合には、この繰り返しパターン内の本来同一となるべき対応箇所を撮像した画像同士のグレイレベル差を検出しても欠陥を検出できる(セルトゥセル比較)。
なお、ダイトゥダイ比較では、隣り合う2つのダイ同士を撮像した画像を比較するのが一般的である(シングルティテクション)。これではどちらのダイに欠陥があるか分からない。したがって、更に異なる側に隣接するダイとの比較を行い、再び同じ部分のグレイレベル差が閾値より大きくなった場合にそのダイに欠陥があると判定する(ダブルディテクション)。セルトゥセル比較でも同様である。
例えば、図2の(B)に示す例では、ダイ3bと3cを走査経路Pに沿って走査した幅Wの領域4b及び4cを各々撮像した画像同士をさらに比較して、対応する画素同士のグレイレベル差を検出する。そして領域4a及び4b間の比較により検出された欠陥の位置に、領域4b及び4c間の比較で欠陥が検出されたされたとき、この欠陥が領域4bに存在すると決定する。
図1に戻り、撮像ユニット13から出力される画像信号は、多値のディジタル信号(グレイレベル信号)に変換された後に画像処理回路20に入力される。画像処理回路20は、記憶部21、差分検出部22、検出閾値決定部23及び欠陥検出部24を備える。
撮像ユニット13から出力される画像信号は、記憶部21に記憶される。差分検出部22には、記憶部21に記憶された撮像画像において本来互いに同一となる箇所のグレイレベル信号が入力され、差分検出部22はこれらのグレイレベル信号同士の差信号(グレイレベル差)を算出する。
撮像ユニット13から出力される画像信号は、記憶部21に記憶される。差分検出部22には、記憶部21に記憶された撮像画像において本来互いに同一となる箇所のグレイレベル信号が入力され、差分検出部22はこれらのグレイレベル信号同士の差信号(グレイレベル差)を算出する。
ダイトゥダイ比較を行う場合には、2つのダイの互いに対応する部分の各々の画像の各画素が記憶部21から取り出されて差分検出部22に入力される。以下、これら2つの画像の一方を「検査画像」と呼び他方を「参照画像」と呼ぶ。差分検出部22は、検査画像と参照画像との間の対応箇所の画素同士のグレイレベル差信号を各々算出する。グレイレベル差信号は検出閾値決定部23と欠陥検出部24に入力される。
セルトゥセル比較を行う場合には、検査画像及び参照画像として、2つのセルの互いに対応する部分の各々の画像が使用される。差分検出部22は、これら検査画像と参照画像との間の対応箇所の画素同士のグレイレベル差信号を各々算出する。
セルトゥセル比較を行う場合には、検査画像及び参照画像として、2つのセルの互いに対応する部分の各々の画像が使用される。差分検出部22は、これら検査画像と参照画像との間の対応箇所の画素同士のグレイレベル差信号を各々算出する。
検出閾値決定部23は、差分検出部22が検出したグレイレベル差の統計に基づいて、所定の演算処理により検出閾値を決定して欠陥検出部24に出力する。
欠陥検出部24は、差分検出部22から入力したグレイレベル差と検出閾値決定部23が決定した検出閾値とを比較して、検査画像に含まれる欠陥を検出する。すなわち欠陥検出部24は、グレイレベル差信号が検出閾値を超える場合には、検査画像及び参照画像のうちどちらかが、このようなグレイレベル差信号を算出した画素の位置に欠陥を含んでいると判断する。
そして欠陥検出部24は、検出した欠陥の位置、大きさ、検査画像と参照画像との間のグレイレベル差、これらの画像のグレイレベル値等の情報を含む欠陥情報を検出した欠陥毎に作成する。
欠陥検出部24は、差分検出部22から入力したグレイレベル差と検出閾値決定部23が決定した検出閾値とを比較して、検査画像に含まれる欠陥を検出する。すなわち欠陥検出部24は、グレイレベル差信号が検出閾値を超える場合には、検査画像及び参照画像のうちどちらかが、このようなグレイレベル差信号を算出した画素の位置に欠陥を含んでいると判断する。
そして欠陥検出部24は、検出した欠陥の位置、大きさ、検査画像と参照画像との間のグレイレベル差、これらの画像のグレイレベル値等の情報を含む欠陥情報を検出した欠陥毎に作成する。
図3はウエハ2の周辺部分におけるダイトゥダイ処理を説明する図である。ウエハ2の周辺にあるダイ3cは、ダイ3a、3b、3c…を含むD1方向に並ぶダイの列に含まれるダイのうち最もウエハ2の縁に近いダイであり、D1方向に隣接するダイを1つしか有しない。すなわちダイ3cにとってダイ3bのみがD1方向に隣接する唯一のダイであり、ダイ3bが存在側と反対側には隣接ダイを持たない。したがって、ダイ3cに関しては、ダイ3c内を撮像した画像とその両側のダイ内を撮像した各画像とを各々比較する上記のダブルディテクションを行うことができない。
したがってこの場合は、ダイ3c内を撮像した画像とその隣のダイ3b内を撮像した画像とを比較するとともに、ダイ3cと反対側にあるダイ3bの隣のダイ3aを撮像した画像とダイ3c内を撮像した画像とを比較することによりダブルディテクションを行う。このような処理は「エッジダイ処理」と呼ばれる。
さらにウエハ2上には、1列に1〜2個しかダイが形成されない領域があることもある。このような領域は例えばウエハ2の周辺領域である。
例えば、図2の(A)に示すダイの配置例では、かつダイ3dを含んだD1方向に沿うダイの列には1個のダイ(3d)しか含まれない。このため、D1方向に沿って主走査が行われる場合には、ダイ3dに対してダイトゥダイ比較を行うには、ダイ3dを含むダイの列とは異なる列(例えばダイ3a〜3cを含むダイの列)に含まれるいずれかのダイとダイ3dとの間で比較が行われる必要がある。
例えば、図2の(A)に示すダイの配置例では、かつダイ3dを含んだD1方向に沿うダイの列には1個のダイ(3d)しか含まれない。このため、D1方向に沿って主走査が行われる場合には、ダイ3dに対してダイトゥダイ比較を行うには、ダイ3dを含むダイの列とは異なる列(例えばダイ3a〜3cを含むダイの列)に含まれるいずれかのダイとダイ3dとの間で比較が行われる必要がある。
下記特許文献2は、このように異なるダイの列に含まれるダイ同士の間でダイトゥダイを行う走査順序を開示する。図4の(A)及び(B)は、下記特許文献2にて開示される走査順序の説明図である。
図4の(A)に示す第1の走査順序によれば、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってある列のダイ3a〜3cのそれぞれの領域4a〜4cを走査し、その後に経路P11に沿ってウエハに対して撮像ユニット13を相対移動させて撮像ユニット13のD1方向位置を元に戻し、経路P1の方向と同じ方向に向かって経路P2に沿って次の列のダイ3d〜3fのそれぞれの領域4d〜4fを走査する。そして経路P1に沿う走査で撮像した領域4cの画像と経路P2に沿う走査で撮像した領域4dの画像との間で比較を行う。
図4の(A)に示す第1の走査順序によれば、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってある列のダイ3a〜3cのそれぞれの領域4a〜4cを走査し、その後に経路P11に沿ってウエハに対して撮像ユニット13を相対移動させて撮像ユニット13のD1方向位置を元に戻し、経路P1の方向と同じ方向に向かって経路P2に沿って次の列のダイ3d〜3fのそれぞれの領域4d〜4fを走査する。そして経路P1に沿う走査で撮像した領域4cの画像と経路P2に沿う走査で撮像した領域4dの画像との間で比較を行う。
図4の(B)に示す第2の走査順序によれば、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってある列のダイ3a〜3cのそれぞれの領域4a〜4cを走査し、その後に経路P11に沿って撮像ユニット13をD2方向に相対移動させて撮像ユニット13のD2方向位置を次の列のダイの位置に移動させ、経路P1の方向と反対の方向に向かって経路P2に沿って次の列のダイ3f〜3dのそれぞれの領域4f〜4dを走査する。そして経路P1に沿う走査で撮像した領域4cの画像と経路P2に沿う走査で撮像した領域4fの画像との間で比較を行う。
しかしながら、図4の(A)の走査順序に従って走査を行おうとすると、経路P1及びP2に沿う連続する2回の主走査を同じ方向に向かって行うために、これら2回の主走査の間に、主走査の方向と反対方向に撮像ユニット13の相対位置を移動させて撮像ユニット13を走査開始位置に戻さなければならない。このため、2回の主走査間の間に行う撮像ユニット13とウエハ2との移動時間が長くなり検査効率が悪くなるという問題がある。
また図4の(B)の走査順序に従って走査を行おうとすると、比較される2つの画像(図4の(B)に示す例では領域4c及び4fの画像)は、互いに反対方向の走査により取得された画像となる。
このように比較される2画像を反対方向の走査によって取得すると、撮像条件の相違に起因してダイトゥダイ比較に影響を及ぼす恐れがある。例えば、走査方向によって特性が変化する撮像素子が撮像ユニット13に使用されると、走査方向による特性の差がグレイレベル差となって現れ欠陥検出感度が低下するおそれがある。このような撮像素子にTDIカメラがある。
このように比較される2画像を反対方向の走査によって取得すると、撮像条件の相違に起因してダイトゥダイ比較に影響を及ぼす恐れがある。例えば、走査方向によって特性が変化する撮像素子が撮像ユニット13に使用されると、走査方向による特性の差がグレイレベル差となって現れ欠陥検出感度が低下するおそれがある。このような撮像素子にTDIカメラがある。
上記問題点に鑑み、本発明は、同一の基本パターンが2次元方向に反復するように形成された試料上を、撮像ユニットで2次元走査して主走査方向に並んでいない複数の基本パターンを撮像し、これら基本パターンの1つを撮像した撮像画像である検査画像と、他の基本パターンを撮像した撮像画像から得られる参照画像との間を比較する際に、これら基本パターンを同じ方向に向かって走査することができ、かつこのような走査のために生じる検査効率の低下を緩和することができる画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本方法では、連続して行われる2回の主走査が互いに反対方向に行われるように試料と撮像ユニットとを相対移動させ、互いに反対方向に行われる主走査で得られる参照画像が異なる記憶領域に記憶されるように参照画像を所定の記憶回路に記憶する。そして、ある主走査で得られる検査画像の少なくとも一部をその前に同じ方向に向かって行われた他の主走査によって得られた参照画像と比較する。
異なる方向に向かって行われた主走査にて得られた参照画像をそれぞれ方向別に異なる記憶領域に記憶するために、これら参照画像に、同一の記憶素子内の異なるアドレスの記憶領域を方向別に各々割り当ててよい。または、これら異なる方向に行われた参照画像を記憶するために、異なる記憶素子を方向別に各々割り当ててもよい。さらに、これら異なる方向に行われた参照画像を方向別に記憶する異なる記憶素子は、異なる画像処理回路に各々内蔵された画像保持用のメモリであってもよい。
図5は、本発明による走査順序の概略説明図である。試料2の上には、複数の同一パターン3a〜3dがD1及びD2方向に沿って2次元方向に配列されている。本明細書において各パターン3a〜3dの各々を「基本パターン」と示すことがある。
また以下の説明において、以下に使用する表現「同じ列に属する基本パターン」、「異なる列に属する基本パターン」、「同じ行に属する基本パターン」及び「異なる行に属する基本パターン」の意味を明確にするために、D1方向に並ぶ基本パターンを同じ列に属する基本パターンであると定義する。同様に、D2方向に並ぶ基本パターンを同じ行に属する基本パターンであると定義する。
また、説明の簡単のため、2次元に配列された基本パターンの配列中のうち1つの基本パターンしか含まない列があったとしてもこれを列と呼ぶこととし、同様に配列中のうち1つの基本パターンしか含まない行があったとしてもこれを行と呼ぶ。
例えば図5の例において、基本パターン3a〜3cは同じ列に属しており、基本パターン3a〜3cと3dとは異なる列に属している。
また以下の説明において、以下に使用する表現「同じ列に属する基本パターン」、「異なる列に属する基本パターン」、「同じ行に属する基本パターン」及び「異なる行に属する基本パターン」の意味を明確にするために、D1方向に並ぶ基本パターンを同じ列に属する基本パターンであると定義する。同様に、D2方向に並ぶ基本パターンを同じ行に属する基本パターンであると定義する。
また、説明の簡単のため、2次元に配列された基本パターンの配列中のうち1つの基本パターンしか含まない列があったとしてもこれを列と呼ぶこととし、同様に配列中のうち1つの基本パターンしか含まない行があったとしてもこれを行と呼ぶ。
例えば図5の例において、基本パターン3a〜3cは同じ列に属しており、基本パターン3a〜3cと3dとは異なる列に属している。
図示のP1、P2及びP3は、試料2上を撮像ユニットで走査する際の走査経路を示している。まず、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿って基本パターン3a〜3cを主走査し、走査中に撮像ユニットで撮像した画像を用いて上述の欠陥検査を行う。
次に、1回の主走査により撮像ユニットで撮像できる幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、今度は、経路P1に沿う主走査とは逆の方向に向かって経路P2に沿って基本パターン3a〜3cを主走査し、走査中に撮像ユニットで撮像した画像を用いて上述の欠陥検査を行う。
このように本方法では往復の主走査の両方で撮像を行う。このため、従来の第1の走査順序に比べて撮像ユニットと試料との間の相対移動長が短くて済み、検査効率の低下が緩和される。
このように本方法では往復の主走査の両方で撮像を行う。このため、従来の第1の走査順序に比べて撮像ユニットと試料との間の相対移動長が短くて済み、検査効率の低下が緩和される。
次に、経路P2に沿った走査の後にD2方向に沿って副走査を行い、経路P1に沿った主走査と同じ方向に向かって経路P3に沿って、基本パターン3a〜3cとは異なる列に属する基本パターン3dを走査する。経路P3のD2方向位置は、経路P1に沿う走査で撮像される基本パターン3c内の領域4cに対応する基本パターン3d内の領域4dを撮像するように定められる。そして、経路P3に沿う主走査を行って得た領域4dの画像を検査画像とし、経路P1に沿って得た領域3a〜3cを撮像して得た画像から生成した参照画像とを比較し、上述の欠陥検査を行う。
本方法によれば、経路P1に沿う主走査により得られる参照画像と、これと反対方向に行った経路P2に沿う主走査により得られる参照画像とを、方向別に記憶領域を異ならせて記憶回路に記憶する。したがって経路P1に沿う主走査により得られる参照画像を経路P1に沿う主走査の方向用に用意された記憶領域内に保存したまま、経路P2に沿う主走査を行うことができる。そして経路P2に沿う主走査が終了した後に、経路P1に沿う主走査より得られる参照画像を、経路P1に沿う主走査と同じ方向に向かって行う経路P3の主走査で得た検査画像と比較することができる。
例えば図5の例において、経路P1に沿う主走査の最後に得た領域4cの撮像画像を参照画像として使用する場合には、経路P1に沿う主走査の方向用に用意された記憶領域に領域4cの撮像画像をずっと保持したまま経路P2に沿う主走査を行い、経路P3に沿う主走査を行う際に、領域4dを撮像した検査画像と領域4cを撮像した参照画像とを比較する。
同一の基本パターンが2次元方向に反復するように形成された試料上を、撮像ユニットで2次元走査して主走査方向に並んでいない複数の基本パターンを撮像し、これら基本パターンの1つを撮像した撮像画像である検査画像と、他の基本パターンを撮像した撮像画像から得られる参照画像との間を比較する際に、これら基本パターンを同じ方向に向かって走査することができ、かつこのような走査のために生じる検査効率の低下を緩和することができる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図6は、本発明の第1実施例による欠陥検査装置のブロック図である。図6に示す欠陥検査装置は、図1を参照して説明した欠陥検査装置1に類似する構成を有しており、同一の構成要素に対して同一の参照符号を付する。また、図6に示す各構成要素は、図1において同じ参照符号を付して示された各構成要素と同一機能を少なくとも有しており、既に説明した機能については記載の重複を避けるために説明を省略する。
図6に示す欠陥検査装置1は、図1に示す画像処理回路20と同様の画像処理回路を2つ備えており、それぞれを第1及び第2画像処理回路20a及び20bと記す。第1画像処理回路20aは、図1に示す記憶部21、差分検出部22、検出閾値検出部23及び欠陥検出部24と同様の記憶部21a、差分検出部22a、検出閾値検出部23a及び欠陥検出部24aを備える。同様に、第2画像処理回路20bは、図1に示す記憶部21、差分検出部22、検出閾値検出部23及び欠陥検出部24と同様の記憶部21b、差分検出部22b、検出閾値検出部23b及び欠陥検出部24bを備える。
ウエハ2上には、図2の(A)の例と同様に、互いに直交するD1方向とD2方向に沿って、複数のダイ(チップ)3a〜3d…がそれぞれ繰返しマトリクス状に配列されている。したがって、試料であるウエハ2上には、個々のダイのパターンを基本パターンとして同一の基本パターンが2次元方向に反復するように形成されているものと考えることができる。
また以下の説明において、以下に使用する表現「同じ列に属するダイ」、「異なる列に属するダイ」、「同じ行に属するダイ」及び「異なる行に属するダイ」の意味を明確にするために、D1方向に並ぶダイを同じ列に属するダイであると定義する。同様に、D2方向に並ぶダイを同じ行に属するダイであると定義する。また2次元に配列されたダイの配列中のうち1つのダイしか含まない列があったとしてもこれを列と呼ぶこととし、同様に配列中のうち1つのダイしか含まない行があったとしてもこれを行と呼ぶ。例えば図2の(A)の例において、ダイ3a〜3cは同じ列に属しており、ダイ3a〜3cと3dとは異なる列に属している。
また以下の説明において、以下に使用する表現「同じ列に属するダイ」、「異なる列に属するダイ」、「同じ行に属するダイ」及び「異なる行に属するダイ」の意味を明確にするために、D1方向に並ぶダイを同じ列に属するダイであると定義する。同様に、D2方向に並ぶダイを同じ行に属するダイであると定義する。また2次元に配列されたダイの配列中のうち1つのダイしか含まない列があったとしてもこれを列と呼ぶこととし、同様に配列中のうち1つのダイしか含まない行があったとしてもこれを行と呼ぶ。例えば図2の(A)の例において、ダイ3a〜3cは同じ列に属しており、ダイ3a〜3cと3dとは異なる列に属している。
図1に示す欠陥検査装置1の場合と同様に 、図6に示す欠陥検査装置1においても、図2の(A)に示すD1方向に沿う方向を主走査として定め、D2方向に沿う方向を副走査方向として定める。欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向であるか、それとも逆方向であるかに従って、第1及び第2画像処理回路20a及び20bのうちいずれの画像処理回路に撮像ユニット13から出力される画像を入力するかを切り替える第1切替部30を備える。
主走査方向の向きを第1切替部30に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号を第1切替部30に与えることとしてよい。
主走査方向の向きを第1切替部30に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号を第1切替部30に与えることとしてよい。
このために撮像ユニット13から出力される画像を第1画像処理回路20a内の記憶部21aに記憶するか、それとも第2画像処理回路20b内の記憶部21bに記憶するかが、主走査方向の向きに応じて定められる。本例では、主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているとき、撮像ユニット13から出力される画像を第1画像処理回路20aに入力され、この矢印の向きと逆方向に向かって主走査が行われているとき、撮像ユニット13から出力される画像を第2画像処理回路20bに入力されることとする。
図7の(A)及び(B)は、本発明の実施例による画像比較方法の第1例の説明図である。本例では、ウエハ2の周辺部に1つのダイ3dのみを含む列が形成された場合における画像比較方法を説明する。
まず、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってダイ3a〜3cの領域4a〜4cを主走査し、走査中に撮像ユニットで撮像した画像を用いて、第1画像処理回路20aにおいて上述の欠陥検査を行う。
まず、D1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってダイ3a〜3cの領域4a〜4cを主走査し、走査中に撮像ユニットで撮像した画像を用いて、第1画像処理回路20aにおいて上述の欠陥検査を行う。
次に、1回の主走査により撮像ユニットで撮像できる幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、今度は、経路P1に沿う主走査とは逆の方向に向かって経路P2に沿ってダイ3a〜3cの領域5a〜5cを主走査し、走査中に撮像ユニットで撮像した画像を用いて、第2画像処理回路20bにおいて上述の欠陥検査を行う。この間、経路P1に沿った主走査にて撮像した最後の2つのダイ3b及び3cの領域4b及び4cを撮像した画像を、参照画像として第1画像処理回路20a内の記憶部21aに記憶しておく。
経路P2に沿った走査の後にD2方向に沿って副走査を行い、経路P1に沿った主走査と同じ方向に向かって経路P3に沿って、ダイ3a〜3cとは異なる列に属するダイ3dを走査する。経路P3のD2方向位置は、経路P1に沿う走査で撮像されるダイ3b内の領域4bや3c内の領域4cに対応する、ダイ3d内の領域4dを撮像するように定められる。
そして、経路P3に沿う主走査を行って得た最初のダイ3dの領域4dの画像を検査画像とし、経路P1に沿って得た領域4b、4cを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とし、領域4dの画像と領域4bの画像、領域4dの画像と領域4cの画像を比較することにより、上述のダブルディテクションを行う。この間、経路P2に沿った主走査にて撮像した最後の2つのダイ3a及び3bの領域5a及び5bを撮像した画像を、参照画像として第2画像処理回路20b内の記憶部21bに記憶しておく。
そして、経路P3に沿う主走査を行って得た最初のダイ3dの領域4dの画像を検査画像とし、経路P1に沿って得た領域4b、4cを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とし、領域4dの画像と領域4bの画像、領域4dの画像と領域4cの画像を比較することにより、上述のダブルディテクションを行う。この間、経路P2に沿った主走査にて撮像した最後の2つのダイ3a及び3bの領域5a及び5bを撮像した画像を、参照画像として第2画像処理回路20b内の記憶部21bに記憶しておく。
その後、さらに幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P2に沿う主走査とは同じ方向に向かって経路P4に沿ってダイ3dの領域5dを主走査する。そして、経路P3に沿う主走査を行って得た最初のダイ3dの領域5dの画像を検査画像とし、経路P2に沿う走査で得た領域5a、5bを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とて上述のダブルディテクションを行う。
次に、図のD2方向を示す矢印の向きと反対方向に副走査を行った後、経路P2に沿う主走査によって走査される領域5a〜5cの隣の領域6a〜6cを走査するように、経路P5に沿って主走査を行う。経路P5に沿う主走査の方向は経路P1に沿う主走査の方向と同じである。
次に、幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、今度は、経路P5に沿う主走査とは逆の方向に向かって経路P6に沿ってダイ3a〜3cの領域7a〜7cを主走査する。この間、領域6b及び6cを撮像した画像は、参照画像として第1画像処理回路20a内の記憶部21aに記憶しておく。
次に、幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、今度は、経路P5に沿う主走査とは逆の方向に向かって経路P6に沿ってダイ3a〜3cの領域7a〜7cを主走査する。この間、領域6b及び6cを撮像した画像は、参照画像として第1画像処理回路20a内の記憶部21aに記憶しておく。
経路P6に沿った走査の後にD2方向に沿って副走査を行い、経路P5に沿った主走査と同じ方向に向かって経路P7に沿ってダイ3dを走査する。経路P7のD2方向位置は、経路P3に沿う走査で撮像されるダイ3b内の領域6bや3c内の領域6cに対応する、ダイ3d内の領域6dを撮像するように定められる。
そして、領域6dの画像を検査画像とし、領域6b、6cを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とてダブルディテクションを行う。
その後、さらに幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P6に沿う主走査とは同じ方向に向かって経路P8に沿ってダイ3dの領域7dを主走査する。そして領域7dの画像を検査画像とし、経路P6に沿う走査で得た領域7a、7bを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とて上述のダブルディテクションを行う。
そして、領域6dの画像を検査画像とし、領域6b、6cを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とてダブルディテクションを行う。
その後、さらに幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P6に沿う主走査とは同じ方向に向かって経路P8に沿ってダイ3dの領域7dを主走査する。そして領域7dの画像を検査画像とし、経路P6に沿う走査で得た領域7a、7bを撮像して得た画像をそれぞれ参照画像とて上述のダブルディテクションを行う。
主走査が順方向又は逆方向のいずれに向かって行われるかに応じて、それぞれの方向の主走査で得られた画像を記憶する記憶部を記憶部21a及び21bの間で切り替えることにより、順方向及び逆方向の主走査を交互に行っても、異なる列に属するダイ3c及び3dを連続しない2回の同一方向の主走査で走査する際に、先の主走査で得られたダイ3cの画像を、先の主走査と同一方向に行う後の主走査でダイ3dの走査を行うまで参照画像として記憶し、後の主走査で使用することができる。
このため、画像処理回路20a及び20bは、ダイ3dの検査画像とダイ3b及びダイ3cを撮像した参照画像とを比較する際に、ダイ3b及びダイ3cがあたかもダイ3dと同じ列に属しているのと同様に、ダイ3b及びダイ3cを撮像した参照画像を記憶部21aから読み出す処理を行うことが可能となる。このため異なる列に属するダイ3dとダイ3b及び3cとの間で撮像画像の比較処理を、同じ列に属するダイ間における比較処理と同様に行うことができ、画像処理回路20a及び20bが行う処理が簡略化される。
このため、画像処理回路20a及び20bは、ダイ3dの検査画像とダイ3b及びダイ3cを撮像した参照画像とを比較する際に、ダイ3b及びダイ3cがあたかもダイ3dと同じ列に属しているのと同様に、ダイ3b及びダイ3cを撮像した参照画像を記憶部21aから読み出す処理を行うことが可能となる。このため異なる列に属するダイ3dとダイ3b及び3cとの間で撮像画像の比較処理を、同じ列に属するダイ間における比較処理と同様に行うことができ、画像処理回路20a及び20bが行う処理が簡略化される。
図8の(A)及び(B)は、本発明の実施例による画像比較方法の第2例の説明図である。本例では、ウエハ2の周辺部に2つのダイ3e、3fのみを含む列が形成された場合における画像比較方法を説明する。各経路P1〜P8に沿って行われる走査の順序や副走査方向の位置の決定方法は、図7の(A)及び(B)を参照して説明したものと同様である。
この例では、領域4e内の検査において、領域4eと4d、領域4eと4fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また、領域4f内の検査ではエッジダイ処理のために、領域4fと4e、領域4fと4dの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
また、領域5e内の検査において、領域5eと5a、領域5eと5fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また領域5f内の検査において、領域5fと5e、領域5fと5aの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
この例では、領域4e内の検査において、領域4eと4d、領域4eと4fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また、領域4f内の検査ではエッジダイ処理のために、領域4fと4e、領域4fと4dの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
また、領域5e内の検査において、領域5eと5a、領域5eと5fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また領域5f内の検査において、領域5fと5e、領域5fと5aの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
さらに、領域6e内の検査において、領域6eと6d、領域6eと6fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また、領域6f内の検査において、領域6fと6e、領域6fと6dの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
また、領域7e内の検査において、領域7eと7a、領域7eと7fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また領域7f内の検査において、領域7fと7e、領域7fと7aの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
また、領域7e内の検査において、領域7eと7a、領域7eと7fの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。また領域7f内の検査において、領域7fと7e、領域7fと7aの画像同士を比較してダブルディテクションが行われる。
図9は、第1画像処理回路20aの代替実施例を示す図である。本実施例では、検査画像が取得される主走査の前に行われた主走査で撮像された画像から得られる参照画像として、1回の主走査の経路上に並ぶ複数のダイをそれぞれ走査して得られた複数画像から作成された画像としてよい。
第1画像処理回路20aは、1回の主走査の経路上に並ぶ複数のダイをそれぞれ走査して得られた複数画像から参照画像を作成する参照画像作成部25aと、参照画像作成部25aにより作成された参照画像を記憶する参照画像記憶部26aと、撮像ユニット13から入力される検査画像を検査画像として一時記憶する検査画像記憶部27aを備える。第2画像処理回路20bも同様に構成される。
第1画像処理回路20aは、1回の主走査の経路上に並ぶ複数のダイをそれぞれ走査して得られた複数画像から参照画像を作成する参照画像作成部25aと、参照画像作成部25aにより作成された参照画像を記憶する参照画像記憶部26aと、撮像ユニット13から入力される検査画像を検査画像として一時記憶する検査画像記憶部27aを備える。第2画像処理回路20bも同様に構成される。
図10は、図9に示す画像処理回路による画像比較方法の説明図である。走査の順序は、まずD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって経路P1に沿ってダイ3a〜3dの領域4a〜4dを主走査し、1回の主走査により撮像ユニットで撮像できる幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P1に沿う主走査とは逆の方向に向かって経路P2に沿ってダイ3a〜3d内の領域5a〜5dの主走査を行う。
経路P2に沿った走査の後にD2方向に沿って副走査を行い、経路P1に沿った主走査と同じ方向に向かって経路P3に沿って、ダイ3a〜3dとは異なる列に属するダイ3e〜3hを走査する。経路P3のD2方向位置は、経路P1に沿う走査で撮像されるダイ3a〜3d内の領域4a〜4dと、経路P3に沿う走査で撮像するダイ3e〜3h内の領域4e〜4hが、同じダイ内位置の領域となるように定められる。
その後、さらに幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P2に沿う主走査とは同じ方向に向かって経路P4に沿ってダイ3e〜3h内の領域5e〜5hの主走査を行う。
その後、さらに幅Wの分だけD2方向に沿って副走査を行い、経路P2に沿う主走査とは同じ方向に向かって経路P4に沿ってダイ3e〜3h内の領域5e〜5hの主走査を行う。
第1画像処理回路20aの参照画像生成部25aは、経路P1に沿う走査において得られた領域4a〜4dの画像を用いて参照画像を作成する。この参照画像は例えば、領域4a〜4dで撮像された各画像間の平均画像、すなわちこれらの領域4a〜4dで撮像された各画像間において、画素毎に算出した対応する画素同士の平均値を画素値に有する画像としてよい。参照画像生成部25aにより算出された参照画像は、経路P2に沿う走査の間、参照画像記憶部26aに記憶される。
そして経路P3に沿う走査を行う際に、差分検出部22は、参照画像記憶部26aに記憶された参照画像と、領域4e〜4hを撮像して得た撮像画像の各々とを比較することによりグレイレベル差を算出する。
そして経路P3に沿う走査を行う際に、差分検出部22は、参照画像記憶部26aに記憶された参照画像と、領域4e〜4hを撮像して得た撮像画像の各々とを比較することによりグレイレベル差を算出する。
同様に、第2画像処理回路20bにおいても、経路P2に沿う走査において得られた領域5a〜5dの画像を用いて参照画像を作成し、経路P4に沿う走査を行う際に、領域5e〜5hを撮像して得た撮像画像の各々をこの参照画像と比較する。
図11は、本発明の第2実施例による欠陥検査装置のブロック図である。図11に示す欠陥検査装置もまた、図1を参照して説明した欠陥検査装置1に類似する構成を有しており、同一の構成要素に対して同一の参照符号を付する。また、図11に示す各構成要素は、図1において同じ参照符号を付して示された各構成要素と同一機能を少なくとも有しており、既に説明した機能については記載の重複を避けるために説明を省略する。
図11に示す欠陥検査装置1は、図1に示す記憶部21と同様の機能を果たす記憶部を2つ備えており、それぞれを第1及び第2記憶部21a及び21bと記す。
また欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2記憶部21a及び21bのうちいずれの記憶部に撮像ユニット13から出力される画像を記憶するかを切り替える第2切替部31を備える。
さらに欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2記憶部21a及び21bのうちいずれから参照画像と検査画像を差分検出部22へ取り出すかを切り替える第3切替部32を備える。
主走査方向の向きを第2及び第3切替部31及び32に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号を第2及び第3切替部31及び32に与えることとしてよい。
図11に示す欠陥検査装置1は、図1に示す記憶部21と同様の機能を果たす記憶部を2つ備えており、それぞれを第1及び第2記憶部21a及び21bと記す。
また欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2記憶部21a及び21bのうちいずれの記憶部に撮像ユニット13から出力される画像を記憶するかを切り替える第2切替部31を備える。
さらに欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2記憶部21a及び21bのうちいずれから参照画像と検査画像を差分検出部22へ取り出すかを切り替える第3切替部32を備える。
主走査方向の向きを第2及び第3切替部31及び32に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号を第2及び第3切替部31及び32に与えることとしてよい。
したがって、撮像ユニット13から出力される画像を第1記憶部21aに記憶するか、それとも第2記憶部21bに記憶するかが、主走査方向の向きに応じて定められる。本例では、主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているとき、撮像ユニット13から出力される画像を第1記憶部21aに記憶され、かつ第1記憶部21aから参照画像と検査画像が差分検出部22へ取り出され、この矢印の向きと逆方向に向かって主走査が行われているとき、撮像ユニット13から出力される画像を第2記憶部21bに記憶され、かつ第2記憶部21bから参照画像と検査画像が差分検出部22へ取り出される。
このため第2実施例によっても、上記第1実施例と同様に、ある方向(以下の説明で「順方向」と呼ぶ)に向かって主走査した際に得た参照画像を、この順方向と逆方向に向かって主走査を行っている間保持し、その後に行われる順方向に向かって行う主走査において、検査画像と比較することができる。したがって、図11に示す欠陥検査装置1も、図7の(A)及び(B)、図8の(A)及び(B)を参照して説明した上記の画像比較方法を実行することができる。
図12は、本発明の第3実施例による欠陥検査装置のブロック図である。図12に示す欠陥検査装置もまた、図1を参照して説明した欠陥検査装置1に類似する構成を有しており、同一の構成要素に対して同一の参照符号を付する。また、図12に示す各構成要素は、図1において同じ参照符号を付して示された各構成要素と同一機能を少なくとも有しており、既に説明した機能については記載の重複を避けるために説明を省略する。
また本実施例における画像処理回路20は、図9を参照して説明した第1画像処理回路20aに設けられた参照画像生成部25aと同様の参照画像生成部25と、第1画像処理回路20aに設けられた検査画像記憶部27aと同様の検査画像記憶部27と、第1画像処理回路20aに設けられた参照画像記憶部26aとそれぞれ同様の機能を果たす2つの第1及び第2参照画像記憶部26a及び26bを備える。
また本実施例における画像処理回路20は、図9を参照して説明した第1画像処理回路20aに設けられた参照画像生成部25aと同様の参照画像生成部25と、第1画像処理回路20aに設けられた検査画像記憶部27aと同様の検査画像記憶部27と、第1画像処理回路20aに設けられた参照画像記憶部26aとそれぞれ同様の機能を果たす2つの第1及び第2参照画像記憶部26a及び26bを備える。
また欠陥検査装置1は、参照画像生成部25にて作成された参照画像の元となった画像が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われた走査で取得されたか、それとも逆方向に向かって行われた走査で取得されたかに従って、第1及び第2参照画像記憶部26a及び26bのうちいずれの記憶部に、参照画像を記憶するかを切り替える第4切替部33を備える。
さらに欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2参照画像記憶部26a及び26bのうちいずれから参照画像を差分検出部22へ取り出すかを切り替える第5切替部34を備える。
主走査方向の向きを第4及び第5切替部33及び34に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号をこれら切替部に与えることとしてよい。
さらに欠陥検査装置1は、現在の主走査方向が、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われているか、それとも逆方向に向かって行われているかに従って、第1及び第2参照画像記憶部26a及び26bのうちいずれから参照画像を差分検出部22へ取り出すかを切り替える第5切替部34を備える。
主走査方向の向きを第4及び第5切替部33及び34に指示するために、例えば、欠陥検査装置1の動作を制御するコンピュータ等である制御部90が、主走査方向の向きを示す信号をこれら切替部に与えることとしてよい。
したがって、各主走査で得られた画像から生成した参照画像を第1参照画像記憶部26aに記憶するか、それとも第2参照画像記憶部26bに記憶するかが、その画像を得た主走査方向の向きに応じて定められる。本例では、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと同じ方向に向かって行われた主走査で得られた画像から作成された参照画像を第1参照画像記憶部26aに記憶し、またこの方向と同じ方向で主走査が行われているときは、第1参照画像記憶部26aから参照画像が差分検出部22へ取り出される。
また、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと反対方向に向かって行われた主走査で得られた画像から作成された参照画像を第2参照画像記憶部26bに記憶し、この矢印の向きと反対方向で主走査が行われているときは、第2参照画像記憶部26bから参照画像が差分検出部22へ取り出される。
また、図2の(A)のD1方向を示す矢印の向きと反対方向に向かって行われた主走査で得られた画像から作成された参照画像を第2参照画像記憶部26bに記憶し、この矢印の向きと反対方向で主走査が行われているときは、第2参照画像記憶部26bから参照画像が差分検出部22へ取り出される。
このため第3実施例によっても、上記図9に示して説明された画像処理回路21aを備える第1実施例と同様に、ある方向(以下の説明で「順方向」と呼ぶ)に向かって主走査した際に得た画像から生成した参照画像を、この順方向と逆方向に向かって主走査を行っている間保持し、その後に行われる順方向に向かって行う主走査において、検査画像と比較することができる。したがって、図12に示す欠陥検査装置1も図10を参照して説明した上記の画像比較方法を実行することができる。
本発明は、複数の同一パターンに反復するように試料上に配列された領域を、撮像ユニットによって2次元走査し、相互に同一のパターンが形成された領域を撮像した画像同士を比較することにより、欠陥を検出する画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法に利用可能である。
1 欠陥検査装置
2 ウエハ
13 撮像ユニット
20、20a、20b 画像処理回路
21、21a、21b 記憶部
22、22a、22b 差分検出部
23、23a、23b 検出閾値決定部
24、24a、24b 欠陥検出部
30 第1切替部
31 第2切替部
32 第3切替部
33 第4切替部
34 第5切替部
2 ウエハ
13 撮像ユニット
20、20a、20b 画像処理回路
21、21a、21b 記憶部
22、22a、22b 差分検出部
23、23a、23b 検出閾値決定部
24、24a、24b 欠陥検出部
30 第1切替部
31 第2切替部
32 第3切替部
33 第4切替部
34 第5切替部
Claims (10)
- 複数の同一パターンが第1方向及びこれに直交する第2方向に反復するように試料上に配列された領域を、前記第1方向に沿う方向を主走査方向とし前記第2方向に沿う方向を副走査方向として、撮像ユニットにより2次元走査し、先に走査した領域の撮像画像から得られる参照画像と後に走査される領域の撮像画像である検査画像とを比較し、相違する部分を欠陥として検出する画像欠陥検査装置において、
前記試料と前記撮像ユニットとを相対移動させる移動機構と、
連続して行われる2回の主走査が互いに反対方向に行われるように前記移動機構を制御する制御回路と、
互いに反対方向に行われる主走査で得られる前記参照画像を、方向別に異なる記憶領域に記憶する記憶回路と、
前記記憶回路から前記参照画像を読み出して前記検査画像と比較する画像処理回路と、を備え、
前記画像処理回路は、ある主走査で得られる前記検査画像の少なくとも一部を、該主走査の前にこれと同じ方向に向かって行われた他の主走査によって得られた前記参照画像と比較する、ことを特徴とする画像欠陥検査装置。 - 複数個の前記画像処理回路を備え、
反対方向に行われる主走査で得られる画像を、方向別に異なる画像処理回路で処理することを特徴とする請求項1に記載の画像欠陥検査装置。 - 前記参照画像が、前記複数の同一パターンのうちの1回の主走査の経路上のいずれかのパターンをこの主走査で撮像した画像であることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像欠陥検査装置。
- 前記参照画像が、前記複数の同一パターンのうち1回の主走査の経路上に並ぶ複数のパターン内を1回の主走査でそれぞれ撮像した画像から生成された画像であることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像欠陥検査装置。
- 前記参照画像の各画素値が、前記複数のパターン内を1回の主走査でそれぞれ撮像した前記画像間の各画素値の平均値となるように、前記参照画像が作成されることを特徴とする請求項4に記載の画像欠陥検査装置。
- 複数の同一パターンが第1方向及びこれに直交する第2方向に反復するように試料上に配列された領域を、前記第1方向に沿う方向を主走査方向とし前記第2方向に沿う方向を副走査方向として、所定の撮像ユニットにより2次元走査し、先に走査した領域の撮像画像から得られる参照画像と後に走査される領域の撮像画像である検査画像とを比較し、相違する部分を欠陥として検出する画像欠陥検査方法において、
連続して行われる2回の主走査が互いに反対方向に行われるように前記試料と前記撮像ユニットとを相対移動させ、
互いに反対方向に行われる主走査で得られる前記参照画像が異なる記憶領域に記憶されるように、前記参照画像を所定の記憶回路に記憶し、
ある主走査で得られる前記検査画像の少なくとも一部を、該主走査の前にこれと同じ方向に向かって行われた他の主走査によって得られて前記記憶回路に記憶された前記参照画像と比較する、ことを特徴とする画像欠陥検査方法。 - 反対方向に行われる主走査で得られる画像を、方向別に異なる画像処理回路で処理することを特徴とする請求項6に記載の画像欠陥検査方法。
- 前記参照画像が、前記複数の同一パターンのうちの1回の主走査の経路上のいずれかのパターンをこの主走査で撮像した画像であることを特徴とする請求項6又は7に記載の画像欠陥検査方法。
- 前記参照画像が、前記複数の同一パターンのうち1回の主走査の経路上に並ぶ複数のパターン内を1回の主走査でそれぞれ撮像した画像から生成された画像であることを特徴とする請求項6又は7に記載の画像欠陥検査方法。
- 前記参照画像の各画素値が、前記複数のパターン内を1回の主走査でそれぞれ撮像した前記画像間の各画素値の平均値となるように、前記参照画像を作成することを特徴とする請求項9に記載の画像欠陥検査方法。
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