JP5332632B2 - 分光検出方法及びその装置並びにそれを用いた欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
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Description
この手法では、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いと検出感度が高くなることが知られている。
ことができる。まず、有効媒質近似について説明する。検出対象が2つの媒質a(パターン)およびb(空気)で構成されている場合を考える。この場合、それぞれの媒質の領域の大きさが、検出に用いる光の波長の10分の1程度以下の場合には、もはやそれぞれの媒質を区別する必要がなく、一つの層として考えることができる。このとき、それぞれの媒質の誘電率をεaおよびεbとし、パターンの占有率をfaとすると、近似した層の誘電率εcは式1で表される。
ングによる膜厚算出は、有効媒質近似を用いて近似した膜の場合にも適用できる。また、
有効媒質近似の際の占有率faが未知の場合には、これもフィッティングの際のパラメー
タとすることで同時に求めることも可能である。
出する方法を説明した。しかし、実際の製品検査においては、必ずしも形状を検出する必
要がない場合が考えられる。すなわち、検査によって対象が良品であるか否かのみを判定
できればよい場合が考えられる。
パターンの形状が異なると、表面の分光反射率も異なったものとなる。ここで、例えば本来同一形状に形成された二つのパターン群のうち一方のパターン群の分光波形が正常であると仮定すると、他方のパターン群から求めた分光波形との違いを検出することにより、他方のパターン群に異常が含まれているかを判定することができる。
Deltaは基準となる波形と検出した波形の差を表しており、この判定指標値と予め設
定したしきい値とを比較することにより、パターンの形状が異常であるかを判定すること
ができる。すなわち判定指標値がしきい値以上であれば不良と判定し、以下であれば良品
と判定する。
射率を採取しておき、その内正常と判定すべき場合の分光反射率同士と及び異常とすべき
場合の分光反射率との間で上記判定指標を算出し、正常と異常とを分離できるように
しきい値を設定する方法がある。この閾値を設定することにより、正常と判定すべき場合の分光反射率同士での判定指標値と異常と判定すべき場合の分光反射率とを区別して、正常と異常とを分離することができる。
しいが、光学シミュレーションを用いて作成した分光反射率を用いることでもできる。
波長200nm程度以上の光を検出することが現実的である。もちろん200nm以下の
波長帯域を検出すれば、形状や異常の検出感度の観点でより有利となる。
以下に、対象パターンの形状又は欠陥を検出するために必要な、検出対象表面の分光反射率を検出するための構成及びその分光反射率を検出する手段を備えた対象パターンの欠陥検査装置の構成について説明する。
また、瞳内での位置によって仰角と方位角が異なることがわかる。
前述したように、角度や方向を制限することにより、検出感度が向上する場合がある。これら条件は、検査対照によって最適な条件が異なる。そこで、開口形状を固定ではなく可変とすることで、検査対象に対して最適な条件を選択することができる。
可変方法は、固定の開口絞りを交換することでも良いし、形状を可変できる構造とすることでもよい。
は限られたものとなる。光源1701には、波長200nm付近以上の光を射出するキセノンランプや重水素ランプ等を用いることができる。ただし、検査対象によっては波長400nm程度以上でも十分性能を発揮できる場合もあり、その場合はハロゲンランプ等の可視光から赤外光の光を射出する光源を用いてもよい。
と方向とを検出(アライメント)した検査対象であるハードディスクメディア1505をステージ1502上に設置する(S1900)。次にステージ制御部1503でステージ1502の高さ方向の位置を制御して、検査対象であるハードディスクメディア1505を分光検出光学系1501のフォーカス位置に移動する(S1902)。続いてハードディスクメディア1505の検査位置が分光検出光学系1501の直下となるようにステージ制御部1503で制御してハードディスクメディア1505を移動する(S1904)。ここで、ハードディスクメディア1505の表面の分光反射強度を検出し(S1906)、上記データ処理部1504にてパターン形状・欠陥を検出する(S1908)。
Claims (8)
- 紫外光を含む波長の光を出射する光源と、前記光源から出射した光を透過させる照明系ファイバーと、前記照明系ファイバーを透過した光を試料の表面に集光して照射する反射型対物レンズ手段と、前記試料からの反射光を透過する検出系ファイバーと、該反射型対物レンズ手段により前記試料表面に照射された光による前記試料からの反射光で前記反射型対物レンズ手段で集光されて前記検出系ファイバーを透過した反射光を分光して検出する分光検出手段とを備え、前記照明系ファイバーと前記検出系ファイバーとを前記反射型対物レンズ手段の中心に対して点対称に配置したことを特徴とする分光検出光学系。
- 前記照明系ファイバーおよび前記検出系ファイバーを前記反射型対物レンズ手段の瞳の近傍に配置したことを特徴とする請求項1記載の分光検出光学系。
- 試料を載置するステージ手段と、該ステージ手段に載置した試料に光を照射して前記試料からの反射光を分光して検出する分光検出光学系手段と、該分光検出光学系手段で分光検出した結果に基づいて前記ステージ手段に載置した試料上の形状欠陥を検出するデータ処理手段と、前記ステージ手段の動作を制御するステージ制御部とを備え、前記分光検出系は、紫外光を含む波長の光を出射する光源部と、前記光源部から出射した光を透過させる照明系ファイバーと、前記照明系ファイバーを透過した光を試料の表面に集光して照射する反射型対物レンズ部と、前記試料からの反射光を透過する検出系ファイバーと、該反射型対物レンズ部により前記試料表面に照射された光による前記試料からの反射光で前記反射型対物レンズ部で集光されて前記検出系ファイバーを透過した反射光を分光して検出する分光検出部とを備え、前記照明系ファイバーと前記検出系ファイバーとを前記反射型対物レンズ部の中心に対して点対称に配置したことを特徴とする欠陥検査装置。
- 前記照明系ファイバーおよび前記検出系ファイバーを前記反射型対物レンズ部の瞳の近傍に配置したことを特徴とする請求項3記載の欠陥検査装置。
- 光源から発射された紫外光を含む波長の光を照明系ファイバーを透過させて反射型対物レンズに入射させ、該反射型対物レンズに入射した光を集光して試料の表面に照射し、該光が照射された前記試料からの反射光を前記反射型対物レンズで集光し、該集光された反射光を検出系ファイバーを透過させ、該透過した反射光を分光させて検出し、前記照明系ファイバーと前記検出系ファイバーとを前記反射型対物レンズの中心に対して点対称に配置することを特徴とする分光検出方法。
- 前記照明系ファイバーおよび前記検出系ファイバーを前記反射型対物レンズの瞳の近傍に配置したことを特徴とする請求項5記載の分光検出方法。
- ステージ上に載置された試料に光を照射し、該照射による前記試料からの反射光を分光して検出し、該分光して検出した結果に基づいて前記試料上の欠陥を検出する方法であって、前記ステージ上に載置された試料に光を照射することを、光源から発射された紫外光を含む波長の光を照明系ファイバーを透過させて反射型対物レンズに入射させ、該反射型対物レンズに入射した光を集光して試料の表面に照射することにより行い、前記照射による前記試料からの反射光を分光して検出することを、前記光が照射された前記試料からの反射光を前記反射型対物レンズで集光し、該集光された反射光を検出系ファイバーを透過させ、該透過した反射光を分光させて検出し、前記照明系ファイバーと前記検出系ファイバーとを前記反射型対物レンズの中心に対して点対称に配置することにより行うことを特徴とする欠陥検査方法。
- 前記照明系ファイバーおよび前記検出系ファイバーを前記反射型対物レンズの瞳の近傍に配置したことを特徴とする請求項7記載の欠陥検査方法。
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