JP2009250958A - 分光光学系および分光測定装置 - Google Patents
分光光学系および分光測定装置Info
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Abstract
【解決手段】光源110と、視野絞り111と、リレーレンズ系140と、フィールドレンズ系150と、結像レンズ系160と、分光器170とを有し、リレーレンズ系140、フィールドレンズ系150および結像レンズ系160は、屈折型レンズおよび/または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系140と結像レンズ系160のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系150が2枚以上のレンズで構成され、そのうちの1箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。
【選択図】図1
Description
200…パターンドメディア、210〜212…データ部、220〜221…サーボ部、222…バースト信号、
300…分光光学系、310…ステージ部、311…Xステージ、312…Zステージ、313…θステージ、320…制御部、330…データ処理部、
401…物体、402…像面、403…主光線、404…周縁光線、440…リレーレンズ、450…フィールドレンズ、460…結像レンズ、
501〜502…屈折力の理論曲線、
610…屈折型レンズ、611…短波長、612…長波長、620…回折型レンズ、621…短波長、622…長波長、
810…回折型レンズ、811…球面、820…回折型レンズ、821…非球面、
910…パターン形状、920、930…分光反射率の波長依存性のグラフ、940…データベース、950…分光反射率の波形比較、
1010…斜入射照明、1011〜1012…走査対象位置、
1110…垂直落射照明、1111〜1112…走査対象位置。
Claims (8)
- 光源と、視野絞りと、該視野絞りを結像するリレーレンズ系と、該リレーレンズ系の結像面に配置されるフィールドレンズ系と、該フィールドレンズ系を試料上に結像する結像レンズ系と、前記試料からの正反射光を分光する分光器とを有し、
前記リレーレンズ系、前記フィールドレンズ系および前記結像レンズ系は、屈折型レンズおよび/または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、前記リレーレンズ系と前記結像レンズ系のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、
前記フィールドレンズ系が2枚以上のレンズで構成され、そのうちの1箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されていることを特徴とする分光光学系。 - 請求項1に記載の分光光学系において、
前記フィールドレンズ系と前記結像レンズ系は屈折型レンズで構成され、前記リレーレンズ系は屈折型レンズと回折型レンズで構成されることを特徴とする分光光学系。 - 請求項1に記載の分光光学系において、
前記光源は、200nm〜400nm領域の光を射出するものであることを特徴とする分光光学系。 - 請求項3に記載の分光光学系において、
前記所定の距離は10mm〜30mmであることを特徴とする分光光学系。 - 請求項1に記載の分光光学系と、
試料を搭載し、前記試料の位置を前記分光光学系に対して相対的に移動させることができるステージ部と、
前記分光光学系内の分光器および前記ステージ部の動作を制御する制御部と、
前記分光器において検出した分光強度分布に基づいて前記試料に形成されたパターンの形状または形状異常を検出するデータ処理部とを有する構成であることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項5に記載の分光測定装置において、
前記ステージ部は、前記分光光学系によって前記試料の全面が連続走査されるように、前記試料を移動させることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項5に記載の分光測定装置において、
前記試料は、パターンドメディアであることを特徴とする分光測定装置。 - 請求項5に記載の分光測定装置において、
前記データ処理部は、前記試料における異なるパターン形状に対して予め算出した分光反射率の波長依存性のグラフを格納するデータベースを有し、
前記分光器において検出した分光強度分布に基づいて、前記試料について測定した分光反射率の波長依存性のグラフを取得し、
前記データベースに格納されている分光反射率の波長依存性のグラフから、前記試料について測定した分光反射率の波長依存性のグラフと近似するものを、分光反射率の波形の比較により選定することによって、前記試料に形成されたパターン形状を特定することを特徴とする分光測定装置。
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