JP2011232204A - カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 - Google Patents
カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011232204A JP2011232204A JP2010103367A JP2010103367A JP2011232204A JP 2011232204 A JP2011232204 A JP 2011232204A JP 2010103367 A JP2010103367 A JP 2010103367A JP 2010103367 A JP2010103367 A JP 2010103367A JP 2011232204 A JP2011232204 A JP 2011232204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- substrate
- ray
- foreign
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136222—Colour filters incorporated in the active matrix substrate
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136254—Checking; Testing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光X線スペクトルと、前記基板の異物が付着した1或は複数箇所の蛍光X線スペクトルを測定して、複数のX線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。
【選択図】図1
Description
また、特許文献3は、液晶表示装置を組み立てた後、その電極同士の短絡の有無を検査する方法を記載しているが、この方法では、短絡した液晶表示装置全体を不良品として扱うことになる。
また、併せて、本発明はこの検査方法に適用される検査装置を提供するものである。
図1は、蛍光X線検査を実行するカラーフィルタの検査装置10を上面から見たときの模式図である。なお、以下では検査対象物をカラーフィルタとした場合について説明しているが、検査対象物はカラーフィルタに限らず、ガラス板を基材とし液晶表示装置に利用される基板を検査対象物とすることが可能である。
n=(N1−N0)/ (√N1+√N0) ・・・・・・・・・・・(1)
例として、測定点1、測定点K、測定点L、測定点Mの4点が異物33に金属元素無しと判定した場合、
N0={Int(m=1)+Int(m=K)+Int(m=L)+Int(m=M)}/4
σ(N0)=√{(Int(m=1)−N0)2+(Int(m=K)−N0)2+(Int(m=L)−N0)2+(Int(m=M)−N0)2}/4・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(2)
ここで、4点のIntの測定ばらつきが同様な放射線計測ばらつきである場合、統計的に下記式(3)の値に近い数値となる。
σ(N0)=√(4N0)/4=0.5*√N0・・・・・・・・・(3)
従って、背景ノイズデータの精度が向上して、前記した(1)式の√N0が小さくなることにより、n値が大きくなり、計測下限値が向上するという効果がある。また、基準となる基板からの蛍光X線スペクトルを測定する回数が減り、異物33の検査速度が向上する。また、必要に応じて測定されたX線強度(Int)から標準サンプルを用いて異物33の重量を推定することが可能である。
S13)。
Claims (2)
- 液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、
前記基板の異物が付着した箇所の蛍光X線スペクトルを測定して、
前記比較用スペクトルと比較した上で、
前記異物が金属元素を含有するか否かを判定するとともに、金属異物を含有しないと判別される箇所の単独あるいは複数のデータについて前記比較用スペクトルとを用いて処理することにより、基板固有の蛍光X線スペクトルを高精度化し、
金属異物の検査精度と検査速度を向上したことを特徴とする検査方法。 - 液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物を検出する装置であって、
前記液晶表示装置用の基板を把持する把持機構と、
蛍光X線分析ユニットを搭載した検査ヘッドと、
前記検査ヘッドを前記基板の所定位置に位置合わせする移動機構と、
異物のある箇所とない箇所の蛍光X線スペクトルを比較して、前記異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する検査手段と、
これら把持機構、検査ヘッド、移動機構及び検査手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010103367A JP2011232204A (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 |
TW100113742A TW201213794A (en) | 2010-04-28 | 2011-04-20 | Inspection method and inspection apparatus of color filter substrate |
CN2011101060699A CN102297874A (zh) | 2010-04-28 | 2011-04-27 | 滤色片基板检查方法及检查装置 |
KR1020110039470A KR20110120239A (ko) | 2010-04-28 | 2011-04-27 | 컬러 필터 기판 검사 방법 및 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010103367A JP2011232204A (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011232204A true JP2011232204A (ja) | 2011-11-17 |
Family
ID=45321656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010103367A Pending JP2011232204A (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011232204A (ja) |
KR (1) | KR20110120239A (ja) |
CN (1) | CN102297874A (ja) |
TW (1) | TW201213794A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105572924A (zh) * | 2015-12-17 | 2016-05-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩膜基板的彩色层脱落率的测试方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048182A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Sharp Corp | 膜厚測定装置 |
KR20190079560A (ko) | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주성엔지니어링(주) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002257756A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス製品の製造方法及び製造装置 |
JP2006189281A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置及び表面検査方法 |
WO2009093341A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 検査方法及び検査装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2843529B2 (ja) * | 1994-07-06 | 1999-01-06 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光x線分析装置 |
JP3101257B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2000-10-23 | 理学電機工業株式会社 | 試料表面の検査方法およびこれを使用するx線分析装置 |
CN1699915A (zh) * | 2001-03-06 | 2005-11-23 | 东丽株式会社 | 显示板的检查方法和检查装置以及制造方法 |
JP4388270B2 (ja) * | 2002-11-18 | 2009-12-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面検査方法及び表面検査装置 |
JP4061289B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2008-03-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 画像検査方法及び装置 |
CN101558292B (zh) * | 2006-12-14 | 2013-08-28 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板的缺陷检测装置和制造方法、玻璃板制品、玻璃板的好坏判定装置和检查方法 |
CN101295001B (zh) * | 2007-04-28 | 2011-03-16 | 平成科贸股份有限公司 | 印刷电路板检测方法及其系统 |
KR101077080B1 (ko) * | 2007-11-12 | 2011-10-26 | 아주하이텍(주) | 인쇄회로기판의 광학 검사 장치 및 그 방법 |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010103367A patent/JP2011232204A/ja active Pending
-
2011
- 2011-04-20 TW TW100113742A patent/TW201213794A/zh unknown
- 2011-04-27 CN CN2011101060699A patent/CN102297874A/zh active Pending
- 2011-04-27 KR KR1020110039470A patent/KR20110120239A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002257756A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス製品の製造方法及び製造装置 |
JP2006189281A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置及び表面検査方法 |
WO2009093341A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | 検査方法及び検査装置 |
JP2009198485A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-09-03 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
JP2009258114A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-11-05 | Toppan Printing Co Ltd | 検査方法及び検査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105572924A (zh) * | 2015-12-17 | 2016-05-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩膜基板的彩色层脱落率的测试方法 |
CN105572924B (zh) * | 2015-12-17 | 2018-11-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩膜基板的彩色层脱落率的测试方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201213794A (en) | 2012-04-01 |
KR20110120239A (ko) | 2011-11-03 |
CN102297874A (zh) | 2011-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5272909B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4533306B2 (ja) | 半導体ウェハ検査方法及び欠陥レビュー装置 | |
JP5956730B2 (ja) | X線分析装置及び方法 | |
US9791392B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer and measurement position adjusting method therefore | |
US9188553B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
TW201142903A (en) | Movable detector for charged particle beam inspection or review | |
US9105445B2 (en) | Inspection system, inspection image data generation method, inspection display unit, defect determination method, and storage medium on which inspection display program is recorded | |
JPH0743320A (ja) | X線検査方法およびその装置並びにプレプレグの検査方法および多層配線基板の製造方法 | |
JP2011232204A (ja) | カラーフィルタ基板検査方法及び検査装置 | |
US10379066B2 (en) | X-ray transmission inspection apparatus | |
JP5929106B2 (ja) | 検査方法および検査装置 | |
US20150303030A1 (en) | Semiconductor inspection device, and inspection method using charged particle beam | |
JP5608208B2 (ja) | 欠陥レビュー装置 | |
JP5608209B2 (ja) | 欠陥レビュー装置 | |
JP5176142B2 (ja) | ダイボンディングフィルムの表面検査方法及び表面検査システム | |
WO2012008513A1 (ja) | 蛍光x線検出方法及び蛍光x線検出装置 | |
JP2010187024A (ja) | 欠陥レビュー装置および電子顕微鏡 | |
JPH0437122A (ja) | X線マスクの検査方法 | |
JP2002181747A (ja) | 光電子分光分析装置および光電子分光分析方法 | |
JP2007212328A (ja) | オージェ電子分光法の感度係数測定方法 | |
JPH0933460A (ja) | 半導体評価装置及びその評価方法 | |
Yeom et al. | A fast and high resolution x-ray imaging sensor for tape substrate inspection | |
JP2006338953A (ja) | 有機積層膜識別化支援方法および有機積層膜検査方法 | |
JP2004200403A (ja) | 検査装置 | |
JP2004286463A (ja) | 半導体欠陥検査装置および半導体欠陥検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130702 |