JP7273379B2 - エンコーダ、駆動装置、ロボット装置、及び制御システム - Google Patents
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Description
別の態様によれば、入力軸を回転駆動するモータ部と、エンコーダと、を備え、前記エンコーダは固定部または前記モータ部の一方に設けられ、パターンが形成されたスケール部と、その固定部またはそのモータ部の他方に設けられ、そのスケール部のそのパターンに基づく検出信号を生成する検出部と、を備え、その検出信号は、その固定部からそのモータ部に加わる負荷の情報を演算する為に用いられる駆動装置が提供される。
さらに別の態様によれば、その態様の駆動装置を備えるロボット装置が提供される。
さらに別の態様によれば、固定部または回転軸を回転駆動するモータ部の一方に設けられ、パターンが形成されたスケール部と、その固定部またはそのモータ部の他方に設けられ、そのスケール部のそのパターンに基づく検出信号を生成する検出部と、を備え、その検出信号は、その固定部からそのモータ部に加わる負荷の情報を演算する為に用いられる制御システムが提供される。
第3の態様によれば、第1変位部を駆動するモータ部と、そのモータ部が固定される固定部に対してそのモータ部を変位可能に連結する弾性体と、その第1変位部の変位を変換して第2変位部を駆動する伝達部と、その第1変位部の第1変位情報を検出する第1検出器と、その第2変位部の第2変位情報を検出する第2検出器と、その固定部に対するそのモータ部の第3変位情報を検出する第3検出器と、その第1及び第2変位情報を用いて、そのモータ部の駆動量に関する情報を求め、その第3変位情報を用いてそのモータ部に対する負荷の情報を求める演算部と、その演算部で求められた情報を用いてそのモータ部を制御する制御部と、を備える駆動装置が提供される。
図1は、本実施形態に係る駆動装置10を示す。図1において、駆動装置10は、例えばロボット装置が設置された工場の床面(不図示)に不図示の支持部材(例、アームなど)を介して固定されたベース部材(固定部)30Aと、細長い棒状の第1回転軸(第1移動軸)18Aを回転駆動するモータ部14と、ベース部材30Aに対してモータ部14を変位可能に連結する弾性部材(弾性体)32と、第1回転軸18Aの回転を減速して細長い棒状の第2回転軸(第2移動軸)18Bに伝達する減速機48と、回転軸18A,18Bの回転角及び回転速度等の回転情報及びモータ部14に加わる負荷(詳細後述)を検出するエンコーダ部12とを備えている。さらに、駆動装置10は、エンコーダ部12の検出信号を処理する演算装置16と、演算装置16の処理結果を用いてモータ部14を駆動する制御装置24とを備えている。
次に、本実施形態の駆動装置10の演算装置16及び制御装置24の構成につき説明する。図2(B)は、図1の駆動装置10の力学モデルである。図2(B)において、ベース部材30Aに対して弾性部材32を介してモータ部14の保持部材30Eが連結され、モータ部14に対して第1回転軸18Aを介して減速機48が連結され、減速機48に対して第2回転軸18Bを介して被駆動部50が連結されている。ここで、弾性部材32の剛性をKB、粘性比例係数をCB、モータ部14のモーメントをJM、粘性比例係数をCM、減速機48の剛性をK、粘性比例係数をC、減速比をR、被駆動部50のモーメントをJL、駆動装置10の全体のモーメントをJall、モータ部14から第1回転軸18Aを介して減速機48に作用するトルクをτM、減速機48から第2回転軸18Bを介して被駆動部50に作用するトルクをτLとする。本実施形態では、トルクτLがモータ部14に作用する負荷である。この負荷(トルクτL)は時間の関数として変動しているため、何らかの補償を行わないとモータ部14の回転精度(被駆動部50の回転角の目標値からの誤差)に影響する。そこで、後述のように第3検出部(負荷検出用センサ)33Bの検出結果を用いてその負荷を検出する。
図4は、回転角θL及びθMに対応する信号から第2回転軸18Bの正確な回転角に対応する信号を求める合成部52の一例を示す。図4において、回転角θLに対応する信号は、所定のカットオフ周波数よりも低い周波数域F1の信号を通過させるローパスフィルタ部68D及び所定のゲインαの乗算部68Aに供給され、回転角θMに対応する信号は、所定のゲインβの乗算部68Bに供給される。また、乗算部68A及び68Bの出力信号が加算点68Cで加算され、加算された信号が所定のカットオフ周波数よりも高い周波数域F2の信号を通過させるハイパスフィルタ部68Eに供給され、フィルタ部68D及び68Eの出力信号を加算点68Fで加算した信号(以下、信号yFS-SRCという)が図3の制御装置24に供給される。合成部52を使用することによって、2つの回転角θL及びθMから第2回転軸18B(被駆動部50)の実際の回転角(減速機48におけるバックラッシュの影響等を含めた正確な回転角)に対応する信号yFS-SRC(位置情報又はモータ部14の駆動量に関する情報)が高精度に求められる。
また、減速機48を弾性部材とみなすことも可能であるため、駆動装置10(もしくはエンコーダ部12)は上記した2つの回転角θL及びθMの差分を用いて、被駆動部50から減速機48に作用する負荷のトルクを求めることもできる。この負荷のトルクを求める回路を演算装置16内に設けてもよい。
図3において、被駆動部50からモータ部14への負荷を表すトルクτLは、仮想的に弾性部材32の伝達関数(-1/(Jalls2+CBs+KB))を表すブロック62Aによって、ベース部材30Aに対するモータ部14の回転角θBに変換され、この回転角θBが第3検出部33Cによって検出されて演算装置16に供給されている。演算装置16において、回転角θBに対応する信号は、実質的にブロック62Aと逆の伝達関数(Jalls2+CBs+KB/D(s))(関数D(s)は例えば実測等に基づいて定められる補正用の関数)の特性を持つトルク復元部62B及びローパスフィルタ部62Cに供給される。ローパスフィルタ部62Cの出力信号は減算点62Fに供給され、トルク復元部62Bで復元されたトルクτLBに対応する信号は減算点62Dに供給される。減算点62Dで、予め設定されているトルクの参照値τL refに対応する信号から復元されたトルクτLBに対応する信号を減算して得られる信号(トルクの差分Δτに対応する信号)が、次の伝達関数Gimp(s)で表される特性を持つブロック(以下、インピーダンス部という)62Eを介して減算点62Fに供給される。なお、式(1)において、係数Jimpはモーメント、係数Cimpは粘性比例係数、係数Kimpは剛性を示す。これらの係数は演算装置16内でソフトウェア的に変更することができる。
インピーダンス部62Eは、負荷のトルクτLの変動に対してモータ部14の回転角θBの変化(ひいては第2回転軸18B(被駆動部50)の回転角の目標値からの変化)を抑制するために使用される。例えば係数Kimpを大きく設定すると、負荷トルクτLの変動に対してモータ部14が固くなり、回転角θBの変化が小さくなる。一方、係数Kimpを小さく設定すると、負荷トルクτLの変動に対してモータ部14が柔らかくなり、回転角θBの変化が大きくなる。それらの係数は駆動装置10の用途等に応じて最適な値に設定される。
また、弾性部材32は、図2(A)のような構成の他に、例えば第1回転軸18Aの中心軸を通る直線の回りに巻回されたスプリングのような任意の形状の弾性部材やゴムのような弾性を有する高分子物質の弾性部材を使用できる。
図10は、この変形例の駆動装置10Dを示し、図11は、図10中の弾性部材32Eを示す。図10において、駆動装置10Dは、例えばロボット装置が設置された工場の床面(不図示)に不図示の支持部材(例、アームなど)を介して固定されたベース部材(固定部)30B1と、ベース部材30B1に対して回転軸受28Dを介して回転可能に指示された第2回転軸18B(出力軸又は第2移動軸)と、第2回転軸18Bに対して減速機48Bを介して連結された第1回転軸18A(第1移動軸)と、ベース部材30B1に連結された保持部材30E1に支持されて第1回転軸18Aを回転駆動するモータ部14Cと、ベース部材30B1に対してモータ部14C(保持部材30E1)を変位可能に連結する弾性部材(弾性体)32Eと、第1回転軸18Aの回転を停止させるためのブレーキ48Cと、回転軸18A,18Bの回転角及び回転速度等の回転情報及びモータ部14Cに加わる上述の負荷を検出するエンコーダ部とを備えている。
本変形例のエンコーダ部も、モータ部14Cに対する第1回転板34A(第1回転軸18A)のθz方向のエンコーダ情報を求めるための第1検出部33A、モータ部14Cに対する第2回転板34B(第2回転軸18B)のθz方向のエンコーダ情報を求めるための第2検出部33B、及びベース部材30B1に対する第3回転板34C(及びモータ部14C)のθz方向のエンコーダ情報S1Cを求める第3検出部33Cを備える。第1回転板34Aは第1回転軸18Aに連結され、第2回転板34Bは第2回転軸18Bに連結されている。また、第1検出部33Aの光源及び受光素子、並びに第2検出部33Bの光源及び受光素子は、保持部材30E1に連結された基板38Aに設けられている。また、第2回転板34Bの側面(+Z方向の面)はカバー部材30Pで覆われている。
図11に示すように、弾性部材32Eは、図10の保持部材30E1に固定される内側の輪帯部(例、第1の要素)32Eaと、図10のベース部材30B1に固定される外側の輪帯部(例、第2の要素)32Ebと、内側及び外側の輪帯部を半径方向に連結する複数(例えば3個、4個、5個など)の板ばね部(例、第3の要素)32Ecとを有する。その板ばね部32Ecは中心軸(例、回転軸18A,18Bの中心軸と一致する軸)の回りに所定範囲で弾性変形が可能である。このため、弾性部材32Eによって、保持部材30E1内のモータ部14Cはベース部材30B1に対して、その中心軸(例えば回転軸18A,18Bの中心軸と一致する軸)の回り、又はZ軸に平行な軸の軸回りの回転方向(θz方向)に所定範囲で+θz方向又は-θz方向に回転可能である。また、パターンを有する第3回転板34Cは弾性部材32Eの内側の輪帯部32Eaに連結されている。弾性部材32Eの板ばね部32Ecの剛性を高めることによって、ベース部材30B1に対するモータ部14Cのθz方向の相対回転角の範囲を小さくすることができる。この他の構成等は第1の実施形態と同様である。
図6は、本実施形態に係る駆動装置10Aを示す。図6において、駆動装置10Aは、例えば駆動装置10Aが設置された工場の床面(不図示)に固定されたベース部材(固定部)31Aと、第1回転軸18Aを駆動するモータ部14Aと、ベース部材31Aに対して変位可能にモータ部14Aを連結する弾性部材32Aと、第1回転軸18Aの回転を減速して第2回転軸18Bに伝達する減速機48Aと、回転軸18A,18Bの回転情報及びモータ部14Aに加わる負荷を検出するエンコーダ部12Aとを備えている。
また、第1回転軸18Aの-Z方向の端部に固定された支持部材30K、及び第2回転軸18Bの-Z方向の端部に、それぞれ反射型で回転型の検出パターンが形成された輪帯状及び円板状の第1回転板34A及び第2回転板34Bが取り付けられている。さらに、ベース部材31Aの連結部材31Eの+Z方向の面に、反射型で回転型の検出パターンが形成された輪帯状の第3回転板34Cが取り付けられている。
図7は、本実施形態に係る駆動装置10Bを示す。図7において、駆動装置10Bのベース部材31Aの円筒状の支持部材31Bの内面に回転軸受28A,28Bを介して、モータ部14Aのモータケース30Dがθz方向に回転可能に支持されている。さらに、支持部材31Bの内面の回転軸受28A,28Bの中央の位置で、複数(例えば4個)の板ばね32B,32C(他の例えば2個の板ばねは不図示)によってモータ部14Aのモータケース30Dが支持されている。板ばね32B,32Cは、モータケース30Dの側面(外周面)側で支持部材31Bの内面側に配置されている。また、図7においては、板ばね32B,32Cは、モータケース30Dの側面と支持部材31Bの内面とに接触して固定されている。板ばね32C,32D(弾性体)によって、ベース部材31Aに対してモータ部14A(モータケース30D)は所定範囲内で+θz方向又は-θz方向に回転可能に支持されている。板ばね32C,32Dの剛性を高めることによって、ベース部材31Aに対するモータ部14Aのθz方向の相対回転角の範囲を小さくすることができる。
本実施形態においても、エンコーダ部12Aは、1つの第3検出部33Cの検出信号を用いて、モータ部14Aに対する負荷(トルク)を求めることができるとともに、第3検出部33Cは減速機48A及び第2回転軸18B(被駆動部)から離れた位置に設置されている。このため、第2の実施形態と同様の効果が得られる。
図8は、本実施形態に係る駆動装置10Cを示す。図8において、駆動装置10Cは、L字型のベース部材31Gと、モータ部14Bと、エンコーダ部12Bと、演算装置16Aと、制御装置24Aとを備えている。ベース部材31Gの上面31Gaにリニアガイド31Hを介してモータ部14Bが設置され、モータ部14Bは上面31Gaに平行に配置されたボールねじ18Cを回転駆動する。以下、ボールねじ18Cに平行にZ軸を取って説明する。ボールねじ18Cに対して可動部31Iが螺合され、可動部31Iの上面に可動テーブル31Jが固定され、可動テーブル31Jの上面に被加工物(不図示)が載置される。モータ部14Bでボールねじ18Cを回転駆動することで、可動部31Iを介して可動テーブル31JがZ方向に移動する。ボールねじ18Cは回転軸受(不図示)を介して上面31Gaに支持され、可動部31Iはガイド部材(不図示)に沿って移動する。
次に、本実施形態の変形例につき図12を参照して説明する。図12において、図1、図8、及び図11に対応する部分には同一又は類似する符号を付してその詳細な説明を省略する。
図9は、上記の実施形態の駆動装置10が使用されたロボット装置RBTを示す斜視図である。なお、図9には、ロボット装置RBTの一部(関節部分)を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置RBTは、第1アームAR1と、第2アームAR2と、関節部JTとを有している。第1アームAR1は、関節部JTを介して、第2アームAR2と接続されている。
1)固定部に対して弾性体を介して連結されて第1変位部を駆動するモータ部と、前記第1変位部の変位を変換して第2変位部に伝達する伝達部とを備える駆動装置に設けられるエンコーダであって、
前記第1変位部の第1変位情報を検出する第1検出器と、
前記第2変位部の第2変位情報を検出する第2検出器と、
前記固定部に対する前記モータ部の第3変位情報を検出する第3検出器と、
前記第1及び第2変位情報を用いて前記モータ部の駆動量に関する情報を求め、前記第3変位情報を用いて前記モータ部に対する負荷の情報を求める演算部と、を備えるエンコーダ。
2)前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める1に記載のエンコーダ。
3)前記演算部は、前記負荷の変動による前記第2変位部の変位を抑制するように前記駆動量の補正値を求める2に記載のエンコーダ。
4)前記演算部は、前記第1及び第2変位情報を用いて、前記第2変位部の位置情報を算出する1から3のいずれか一項に記載のエンコーダ。
5)前記第3検出器は、前記固定部の前記弾性体との連結部、及び前記モータ部の前記弾性体との連結部に配置される1から4のいずれか一項に記載のエンコーダ。
6)前記演算部は、前記第1及び第2変位情報を用いて、前記伝達部に加わる負荷の情報を求める1から5のいずれか一項に記載のエンコーダ。
7)前記第1及び第2変位部はそれぞれ第1及び第2回転軸であり、前記第1、第2、及び第3検出器は、それぞれ前記変位情報として回転情報を検出する1から6のいずれか一項に記載のエンコーダ。
8)前記弾性体は、前記第1回転軸に平行な軸の回りに弾性を持つ7に記載のエンコーダ。
9)前記負荷はトルクである7又は8に記載のエンコーダ。
10)第1変位部を駆動するモータ部と、前記モータ部が固定される固定部に対して前記モータ部を変位可能に連結する弾性体と、
前記第1変位部の変位を変換して第2変位部を駆動する伝達部と、
前記第1変位部の第1変位情報を検出する第1検出器と、
前記第2変位部の第2変位情報を検出する第2検出器と、
前記固定部に対する前記モータ部の第3変位情報を検出する第3検出器と、
前記第1及び第2変位情報を用いて、前記モータ部の駆動量に関する情報を求め、前記第3変位情報を用いて前記モータ部に対する負荷の情報を求める演算部と、
前記演算部で求められる情報を用いて前記モータ部を制御する制御部と、を備える駆動装置。
11)前記第3検出器は、前記固定部の前記弾性体との連結部、及び前記モータ部の前記弾性体との連結部に配置される10に記載の駆動装置。
12)前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める10又は11に記載の駆動装置。
13)10から12のいずれか一項に記載の駆動装置を備えるロボット装置。
14)固定部に対して弾性体を介して連結されて第1変位部を駆動するモータ部と、前記第1変位部の変位を変換して第2変位部に伝達する伝達部とを備える駆動装置の制御システムであって、
前記第1変位部の第1変位情報を検出する第1検出器と、
前記第2変位部の第2変位情報を検出する第2検出器と、
前記固定部に対する前記モータ部の第3変位情報を検出する第3検出器と、
前記第1及び第2変位情報を用いて、前記モータ部の駆動量に関する情報を求め、前記第3変位情報を用いて前記モータ部に対する負荷の情報を求める演算部と、
前記演算部で求められる情報を用いて前記モータ部を制御する制御部と、を備える制御システム。
15)前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める14に記載の制御システム。
16)前記演算部は、前記負荷の変動による前記第2変位部の変位を抑制するように前記駆動量の補正値を求める15に記載の制御システム。
17)前記演算部は、前記第1及び第2変位情報を用いて、前記第2変位部の位置情報を算出する14から16のいずれか一項に記載の制御システム。
18)前記第1及び第2変位部はそれぞれ第1及び第2回転軸であり、前記第1、第2、及び第3検出器は、それぞれ前記変位情報として回転情報を検出する14から17のいずれか一項に記載の制御システム。
19)前記負荷はトルクである18に記載の制御システム。
20)固定部に対して弾性体を介して連結されて第1変位部を駆動するモータ部と、前記第1変位部の変位を変換して第2変位部に伝達する伝達部とを備える駆動装置の制御方法であって、
前記第1変位部の第1変位情報を検出することと、
前記第2変位部の第2変位情報を検出することと、
前記固定部に対する前記モータ部の第3変位情報を検出することと、
前記第1及び第2変位情報を用いて、前記モータ部の駆動量に関する情報を求め、前記第3変位情報を用いて前記モータ部に対する負荷の情報を求めることと、
前記駆動量に関する情報及び前記負荷の情報を用いて前記モータ部を制御することと、を含む制御方法。
21)前記負荷の情報を求めることは、前記負荷を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求めることを含む20に記載の制御方法。
22)前記負荷の情報を求めることは、前記負荷の変動による前記第2変位部の変位を抑制するように前記駆動量の補正値を求めることを含む21に記載の制御方法。
23)前記モータ部の駆動量に関する情報を求めることは、
前記第1及び第2変位情報を用いて、前記第2変位部の位置情報を算出することを含む20から22のいずれか一項に記載の制御方法。
24)前記第1及び第2変位部はそれぞれ第1及び第2回転軸であり、前記変位情報としてそれぞれ回転情報が検出される20から23のいずれか一項に記載の制御方法。
Claims (31)
- 固定部または回転軸を回転駆動するモータ部の一方に設けられ、パターンが形成されたスケール部と、
前記固定部または前記モータ部の他方に設けられ、前記スケール部の前記パターンに基づく検出信号を生成する検出部と、
を備え、
前記検出信号は、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する為に用いられるエンコーダ。 - 前記検出信号に基づいて、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する演算部を更に備える請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記モータ部が前記固定部に対して回転可能になるように、前記モータ部及び前記固定部を連結する弾性体を更に備える請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記弾性体は、前記回転軸に平行な軸の回りに弾性を持つ請求項3に記載のエンコーダ。
- 前記弾性体は、フレクシャ、巻回されたスプリング、任意の形状の弾性部材、または高分子物質の弾性部材である請求項3に記載のエンコーダ。
- 前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める請求項2に記載のエンコーダ。
- 前記回転軸は入力軸として減速機に接続され、
前記減速器は前記入力軸の変位を変換して出力軸に伝達する請求項6に記載のエンコーダ。 - 前記演算部は、前記負荷の変動による前記出力軸の変位を抑制するように前記駆動量の補正値を求める請求項7に記載のエンコーダ。
- 前記入力軸の回転情報を検出する第1検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第1検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項7に記載のエンコーダ。 - 前記出力軸の回転情報を検出する第2検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第2検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項7に記載のエンコーダ。 - 前記出力軸の回転情報を検出する第2検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第1及び第2検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項9に記載のエンコーダ。 - 前記負荷はトルクである請求項2に記載のエンコーダ。
- 前記検出部は、前記固定部に対する前記モータ部の回転角を計測する請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記検出部は、ロータリーエンコーダ、またはリニアエンコーダである請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記スケール部は、反射型または透過型である請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記検出部の方式は、光学方式、磁気方式又は静電容量方式である請求項1に記載のエンコーダ。
- 入力軸を回転駆動するモータ部と、
エンコーダと、
を備え、
前記エンコーダは
固定部または前記モータ部の一方に設けられ、パターンが形成されたスケール部と、
前記固定部または前記モータ部の他方に設けられ、前記スケール部の前記パターンに基づく検出信号を生成する検出部と、
を備え、
前記検出信号は、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する為に用いられる駆動装置。 - 前記エンコーダは、前記検出信号に基づいて、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する演算部を更に備える請求項17に記載の駆動装置。
- 前記入力軸の変位を変換して出力軸に伝達する減速器を更に備える請求項17に記載の駆動装置。
- 前記モータ部が前記固定部に対して回転可能になるように、前記モータ部及び前記固定部を連結する弾性体を更に備える請求項17に記載の駆動装置。
- 前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める請求項1
8に記載の駆動装置。 - 前記回転軸は入力軸として減速機に接続され、
前記減速器は前記入力軸の変位を変換して出力軸に伝達する請求項21に記載の駆動装置。 - 前記演算部は、前記負荷の変動による前記出力軸の変位を抑制するように前記駆動量の補正値を求める請求項22に記載の駆動装置。
- 前記入力軸の回転情報を検出する第1検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第1検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項22に記載の駆動装置。 - 前記出力軸の回転情報を検出する第2検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第2検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項22に記載の駆動装置。 - 前記出力軸の回転情報を検出する第2検出部を更に備え、
前記演算部は、前記第1及び第2検出部が検出する前記回転情報に基づいて、前記駆動量を演算する請求項24に記載の駆動装置。 - 請求項17から26のいずれか一項に記載の駆動装置を備えるロボット装置。
- 固定部または回転軸を回転駆動するモータ部の一方に設けられ、パターンが形成されたスケール部と、
前記固定部または前記モータ部の他方に設けられ、前記スケール部の前記パターンに基づく検出信号を生成する検出部と、
を備え、
前記検出信号は、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する為に用いられる制御システム。 - 前記検出信号に基づいて、前記固定部から前記モータ部に加わる負荷の情報を演算する演算部を更に備える請求項28に記載の制御システム。
- 前記モータ部が前記固定部に対して回転可能になるように、前記モータ部及び前記固定部を連結する弾性体を更に備える請求項28に記載の制御システム。
- 前記演算部は、前記負荷の情報を用いて前記モータ部の駆動量の補正値を求める請求項29に記載の制御システム。
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