JP6911289B2 - エンコーダ装置、回転情報取得方法、補正装置、駆動装置、及びロボット装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係るエンコーダ装置を備えるロボット装置を示す図であり、(A)は−X方向から見た図、(B)は−Y方向から見た図である。本実施形態のエンコーダ装置ECは、例えば、図1に示すように、ロボット装置RBT1に備えられる。
第2実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。
次に、駆動装置について説明する。図11は、駆動装置MTRの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置MTRは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置MTRは、回転軸45と、回転軸45を回転駆動する本体部(駆動部)BDと、回転軸45の回転情報を検出するエンコーダ装置ECと、本体部BDを制御する制御部MCと、を備える。
次に、ロボット装置について説明する。図12は、ロボット装置RBT2を示す斜視図である。なお、図12には、ロボット装置RBT2の一部(関節部分)を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置RBT2は、第1アームAR1と、第2アームAR2と、関節部JTとを有している。第1アームAR1は、関節部JTを介して、第2アームAR2と接続されている。
Claims (16)
- 測定対象の回転軸に固定され、パターンが形成された回転部と、
前記パターンを検出する検出部と、
前記回転軸の支点間の長さ、及び前記支点間における前記回転軸の自重に基づくモーメントに基づいて、前記検出部により検出された前記回転軸の回転情報を補正する補正部と、を備える、エンコーダ装置。 - 前記補正部は、前記回転軸の軸方向が水平方向から垂直方向までの任意の方向に関する情報を使って、前記回転軸の回転情報を補正する、請求項1に記載のエンコーダ装置。
- 前記補正部は、前記回転軸の剛性及び前記回転軸の端部に生じるモーメントから前記回転軸の傾きを計算して、前記検出部に対する前記パターンの位置ずれ量に応じて前記回転情報を補正する、請求項1又は請求項2に記載のエンコーダ装置。
- 前記補正部は、前記位置ずれ量に応じた前記回転部の変動量に基づいて前記回転情報を補正する、請求項3に記載のエンコーダ装置。
- 前記補正部は、前記回転軸に重さの異なる負荷を前記回転軸の軸方向と直交する方向にかけたときの前記回転軸の端部の傾きを測定して求めた前記回転軸の剛性から前記回転軸の傾きを計算する、請求項3又は請求項4に記載のエンコーダ装置。
- 前記補正部は、(モーメント=−回転軸の重さ×回転軸の長さ/12)で表される式で計算された前記回転軸の端部のモーメントから前記回転軸の傾きを計算する、請求項3又は請求項4に記載のエンコーダ装置。
- 前記補正部は、前記回転情報を補正するための補正値を記憶する記憶部を備える、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記パターンは光学パターンであり、
前記検出部は、前記光学パターンによる反射光または透過光を検出する、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記パターンは磁気パターンであり、
前記検出部は、前記磁気パターンによる磁場を検出する、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記補正部は、前記回転軸の姿勢を制御する制御装置により供給される情報を用いて前記回転情報を補正する、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 駆動装置の高速回転軸に固定された高速回転部に備えるパターンを検出部により検出する第1エンコーダ部と、前記高速回転軸に対して減速機を介して減速された低速回転軸に固定された低速回転部に備えるパターンを検出部により検出する第2エンコーダ部と、を備えるダブルエンコーダ装置であり、
前記補正部は、少なくとも前記低速回転軸の回転情報に対して補正する、請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記ダブルエンコーダ装置は、基端側の水平軸に回転可能に設けられたアームの先端側に配置され、
前記補正部は、前記アームを前記水平軸のまわりに一方向に回転させながら1以上の位置において取得した前記第1エンコーダ部の値と第2エンコーダ部の値との差を算出し、かつ、前記アームを前記一方向と反対方向に回転させながら1以上の位置において取得した前記第1エンコーダ部の値と第2エンコーダ部の値との差を算出し、それぞれの差から、重力負荷に応じて前記回転情報を補正する、請求項11に記載のエンコーダ装置。 - 測定対象の回転軸に固定される回転部に形成されたパターンを検出することと、
前記検出の結果を用いて、前記回転軸の回転情報を算出することと、
前記回転軸の支点間の長さ、及び前記支点間における前記回転軸の自重に基づくモーメントに基づいて、前記回転軸の回転情報を補正することと、を含む、回転情報取得方法。 - エンコーダ装置の検出部から出力される回転軸の回転情報に関して、前記回転軸の支点間の長さ、及び前記支点間における前記回転軸の自重に基づくモーメントに基づいて、前記回転軸の回転情報を補正する、補正装置。
- 請求項1から請求項12のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記回転軸に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。 - 請求項15に記載の駆動装置を備えるロボット装置。
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EP2372302A1 (de) * | 2010-03-26 | 2011-10-05 | Leica Geosystems AG | Messverfahren für eine oberflächenvermessende Messmaschine |
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JP2022140590A (ja) * | 2018-09-24 | 2022-09-26 | 株式会社ニコン | 負荷検出用センサ |
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