KR101508594B1 - 회전시스템의 런아웃 측정장치 - Google Patents

회전시스템의 런아웃 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 모터와 같은 회전시스템의 런아웃 측정장치에 관한 것으로서, 측정대상인 상기 회전시스템을 수용하는 베이스 함체와; 상기 회전시스템의 상면에 중심 수직축선을 따라 탑재되어 일체로 체결됨으로써 상기 회전시스템의 구동에 따라 회전 구동되는 마스터 실린더와; 상기 베이스 함체 상에 고정되게 탑재되어 상기 마스터 실린더를 내측에 수용하는 프레임 실린더와; 상기 프레임 실린더의 축방향 상단부를 덮는 실린더 커버와; 상기 프레임 실린더의 하단부와 상단부에 각각 3개의 변위센서가 동일 평면상에 원주방향으로 이격되게 배치되며 각기 반경방향으로 내측에 배치되는 상기 마스터 실린더의 반경방향으로의 변위를 측정하기 위한 하단 및 상단 변위센서와; 상기 커버 측에 고정되게 설치되어 상기 마스터 실린더의 상면의 수직방향의 변위를 측정하기 위한 커버측 변위센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 회전시스템의 운동오차를 정확하게 측정할 수 있음은 물론, 이와 별도로 마스터 실린더의 형상정밀도까지도 함께 측정할 수 있다.

Description

회전시스템의 런아웃 측정장치{RUN-OUT MEASURING DEVICE FOR ROTATING SYSTEM}
본 발명은 모터와 같은 회전시스템의 정밀도를 판단하기 위한 수단으로서 상기 회전시스템의 운동오차를 측정하는 회전시스템의 런아웃 측정장치에 관한 것이다.
이상적인 회전시스템, 예를 들어 이상적인 모터(motor)는 1자유도(θz)의 회전을 한다. 런아웃(run-out)이란 상기 1자유도(θz)의 회전운동을 제외한 의도되지 않은 나머지 5자유도(x, y, z, θx, θy, θz) 방향으로의 변위를 변위센서로 측정한 값을 의미한다. 이러한 런아웃의 발생은 베어링의 마모 및 손상, 베어링 조립 시 틀어짐, 의도되지 않은 하중 등을 원인으로 한다.
일반적으로, 런아웃은 정밀 회전기기의 경우 가공 혹은 조립 정밀도를 저하시키며, 롤러의 경우에는 피이송물 혹은 가공물의 정밀도를 저하시키고, 회전동력기나 하드디스크 스핀들의 경우에는 성능을 저하시킬 뿐 아니라 베어링과 가이드 부분의 접촉에 의한 성능저하뿐 아니라 잦은 고장으로 인한 유지 보수의 어려움을 야기시킨다. 즉, 런아웃은 다양한 용도의 회전기기의 성능에 있어 때론 치명적인 악영향을 끼친다는 점에서 가장 우선적으로 측정/평가되어야 할 항목이다.
이에 따라, 종래에는 다이얼게이지 등의 변위센서를 이용하여 회전시스템의 구동 시 상기 런아웃 측정데이터를 구하고 이를 통해 상기 회전시스템의 회전운동오차를 평가하는 방법을 널리 사용하여 왔다.
도 1은 회전시스템의 운동오차를 측정하는 종래의 런아웃 측정장치의 일례로서 Lion Precision社(미국)의 Spindle Error Analyzer(SEA) System이다. 측정원리를 간단히 설명하자면, 도 2에 도시된 바와 같이, 회전시스템에 스핀들(1)을 장착하여 회전시키는 과정에서 상기 스핀들(1)의 일단부와 측면부에 구비되는 구(2, 2')에 대해 센서(3)로 정밀 위치를 측정함으로써 이를 통해 스핀들(1)과 연결된 측정대상인 회전체의 런아웃, 즉 수평/수직오차 및 각도오차를 구할 수 있게 된다.
그러나, 유의할 점은, 엄밀히 따지자면 상기한 바와 같은 런아웃이란 회전시스템의 회전 구동 시 상기 회전시스템의 고유한 운동오차와 함께, 회전자 혹은 이의 측정을 위해 일체로 회전하도록 결합시키는 측정매개체(artifact)의 형상오차, 회전자와 상기 측정매개체 간의 조립 시 발생하는 조립오차 등 모두 3가지 성분의 합으로 나타난다는 것이다.
따라서, 기존의 정밀하지 않은 회전시스템의 회전운동 정확도 평가는 상기 회전운동오차 성분으로부터 형상오차 성분과 조립오차 성분이 분리되지 못한 런아웃 데이터를 측정하는 것에 의하더라도 가능하였지만, 초정밀 영역의 회전시스템의 정확도 평가 시에는 형상오차 성분과 조립오차 성분을 충분히 고려해야 함에 따라 런아웃 데이터로부터 이들을 분리하고 필요에 따라 각 오차 성분만을 평가하는 기법이 요구되기에 이르렀다.
따라서, 본 발명의 목적은 회전시스템의 런아웃 데이터로부터 상기 회전시스템의 고유오차, 즉 운동오차 성분만을 분리하여 측정할 수 있는 회전시스템의 런아웃 측정장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 산업현장에서 쉽고 편리하게 만들어 사용할 수 있는 회전시스템의 런아웃 측정장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 회전시스템의 런아웃 측정장치에 있어서, 측정대상인 상기 회전시스템을 수용하는 베이스 함체와; 상기 회전시스템의 상면에 중심 수직축선을 따라 탑재되어 일체로 체결됨으로써 상기 회전시스템의 구동에 따라 회전 구동되는 마스터 실린더와; 상기 베이스 함체 상에 고정되게 탑재되어 상기 마스터 실린더를 내측에 수용하는 프레임 실린더와; 상기 프레임 실린더의 축방향 상단부를 덮는 실린더 커버와; 상기 프레임 실린더의 하단부와 상단부에 각각 3개의 변위센서가 동일 평면상에 원주방향으로 이격되게 배치되며 각기 반경방향으로 내측에 배치되는 상기 마스터 실린더의 반경방향으로의 변위를 측정하기 위한 하단 및 상단 변위센서와; 상기 커버 측에 고정되게 설치되어 상기 마스터 실린더의 상면의 수직방향의 변위를 측정하기 위한 커버측 변위센서를 포함함으로써, 상기 3개의 하단 변위센서와 3개의 상단 변위센서 및 상기 커버측 변위센서의 각 출력에 따른 런아웃 데이터로부터 상기 회전시스템의 운동오차 및 상기 마스터 실린더의 조립오차와 형상오차를 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 회전시스템의 런아웃 측정장치를 제공한다.
여기서, 상기 회전시스템의 런아웃 측정장치는, 상기 프레임 실린더의 상기 하단부와 상단부의 사이에 3개의 변위센서가 동일 평면상에 원주방향으로 이격되게 배치되며 각기 반경방향으로 내측에 배치되는 상기 마스터 실린더의 반경방향으로의 변위를 측정하기 위한 중단 변위센서와; 상기 커버 측에 고정되게 설치되어 상기 마스터 실린더의 상면의 수직방향의 변위를 측정하기 위한 커버측 제2 변위센서를 더 포함함으로써, 상기 3개의 하단 변위센서와 3개의 상단 변위센서, 상기 커버측 변위센서의 각 출력에 따른 런아웃 데이터에 더하여 상기 3개의 중단 변위센서의 출력에 따른 런아웃 데이터로부터 상기 마스터 실린더의 원통도를 측정할 수 있도록 하고, 상기 커버측 변위센서 및 제2 변위센서의 각 출력에 따른 런아웃 데이터로부터 상기 마스터 실린더의 상면의 편평도를 측정할 수 있도록 할 수도 있다.
이때, 상기 하단 변위센서, 상기 상단 변위센서 및 상기 중단 변위센서를 이루는 각기 3개의 변위센서의 배치각도는 서로소의 관계를 가질 수도 있다.
또한, 상기 커버측 변위센서 및 제2 변위센서는 동일 반경에 서로소의 관계를 갖는 배치각도로 배치될 수도 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치에 의하면 런아웃 데이터로부터 회전시스템의 운동오차만을 분리하여 정확하게 측정해낼 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치에 의하면 상기 런아웃 데이터로부터 회전시스템의 운동오차 뿐 아니라 마스터 실린더의 형상오차, 즉 원통도와 상면의 편평도까지도 측정할 수 있으므로 통상적으로 실린더 내지 실린더 형상의 제품은 회전기기의 가이드 혹은 기준물, 피스톤이나 인공관절과 같은 제품의 부품으로 사용되는 등 산업현장에서 광범위하게 적용된다는 점을 고려한다면 본 발명에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치의 활용도 내지 사용처를 더욱 확대시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치의 사진,
도 2는 도 1의 런아웃 측정장치의 작동원리를 설명하기 위한 개략도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치의 사시도,
도 4는 도 3의 런아웃 측정장치의 정면도,
도 5는 도 3의 런아웃 측정장치의 평면도,
도 6은 도 4의 AA선에 따른 단면도,
도 7은 도 3의 런아웃 측정장치의 주요부품을 도시한 확대사시도,
도 8은 도 3의 런아웃 측정장치를 통한 런아웃 측정대상인 회전시스템과 마스터 실린더의 사시도,
도 9는 도 3의 런아웃 측정장치의 측정원리를 설명하기 위한 개념도이다.
본 발명의 실시예에 따른 회전시스템의 런아웃 측정장치(100)는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 측정대상인 회전시스템, 즉 본 실시예에서는 모터(10)를 수용하는 베이스 함체(110), 이 베이스 함체(110)의 상면 중심에 기립되게 탑재되며 상기 모터(10) 상면에 중심 수직축선을 따라 탑재되어 일체로 체결되는 마스터 실린더(20)를 내측에 수용하는 프레임 실린더(120), 이 프레임 실린더(120)의 축방향 상단부를 덮는 실린더 커버(130)를 포함한다.
도 6을 참조하면, 모터(10)는 베이스 함체(110)의 바닥판(111) 상에 고정되게 탑재되어 구동 시 고정자 대비 회전자가 회전함으로써, 이 회전자 상단부에 체결된 상기 마스터 실린더(20)가 일체로 회전하게 된다. 모터(10)와 마스터 실린더(20)의 형상은 도 8에 도시된 바와 같다.
모터(10)의 상하 수직축을 중심으로 한 회전운동을 제외한 나머지 5축운동, 즉 런아웃은 모터(10)와 일체로 회전구동되는 상기 마스터 실린더(20)에 대한 오차 측정을 통해 구할 수 있다.
이를 위해, 프레임 실린더(120)에는 외주면의 하단, 중단 그리고 상단에 각각 3개의 변위센서(141, 142, 143)를 고정되게 설치하여 마스터 실린더(20)의 외측에 소정의 간극을 두고 일정한 각도 간격으로 배치되도록 한다. 또한, 상단의 커버(130) 측에도 2개의 변위센서(144)를 고정되게 설치하여 마스터 실린더(20)의 상면에 소정의 간극을 두고 이격되게 배치되도록 한다.
본 실시예에서 각 변위센서(141, 142, 143, 144)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 센서부(140a)와 이를 지지하기 위한 클램핑부(140b)로 이루어진다. 본 실시예에서 센서부(140a)는 정전용량형 센서로 그 설치위치에서 측정대상인 마스터 실린더(20)와의 간격변화에 따라 변화하는 전압을 발생시키고, 이 전압을 통해 마스터 실린더(20)의 위치를 측정할 수 있다. 클램핑부(140b)는 상기 센서부(140a)를 클램핑한 상태에서 전후 위치를 조절하기 위한 수단으로서 크로스롤러(140c)와 마이크로미터(140d)를 포함한다.
본 발명에 따른 센서부(140a)는 상기한 정전용량형 센서에 한정되는 것은 아니며 측정대상에 대한 변위값에 관한 정보만을 얻을 수 있으면 되므로, 상기 정전용량형 센서 외에 변위값을 측정할 수 있는 센서라면 어느 것이든 이용가능하다.
상기와 같은 센서(141 내지 144)의 배치에 따르면, 먼저 하단의 3개 센서(141)와 상단의 3개 센서(143) 그리고 커버(130) 측 1개의 센서(144)로는 회전시스템인 모터(10)의 운동오차를 측정할 수 있다.
상,하단의 6개 센서(141, 143)로는 모터(10)의 구동 시 발생되는 마스터 실린더(20)의 기울어짐과 수평성분의 변위를 측정할 수 있고, 커버(130) 측 1개 센서(144)로는 마스터 실린더(20)의 수직성분의 변위를 측정할 수 있다.
상기 마스터 실린더(20)의 기울어짐과 수평성분의 변위, 그리고 수직성분의 변위는 모두 모터(10)에 기인한 것들이므로, 따라서 이들 오차의 측정을 통해 모터(10)의 회전반경방향, 수직방향 그리고 회전축의 기울어진 오차정도를 모두 측정할 수 있다.
한편, 하단과 상단의 센서(141, 143)는 모두 3개의 센서를 통한 멀티프로브 방식을 취함에 따라, 이들의 측정값들 간의 비교를 통해 마스터 실린더(20)의 형상오차 성분과 조립오차 성분을 모터(10)의 운동오차 성분과 분리하여 구해낼 수 있다.
상기 멀티프로브 방식은 Multiprobe error separation method로 알려진 방법으로서 3개 이상의 변위 측정센서를 사용하여 회전축의 오차운동과 피측정물체(여기서는 마스터 실린더(20))의 형상 프로파일의 조합을 측정한다. 측정된 런아웃 신호는 센서의 배치각도 간격만큼 지연된 형상신호에 동일한 2자유도의 오차운동신호를 획득하게 된다. 이 신호들은 다음의 과정을 통해 분리된다.
- 형상정보 프로파일의 퓨리에 시리즈로의 모델식 선정
- 3채널 런아웃 신호의 연립방정식 풀이를 통하여 오차운동이 제거된 형상정보 신호들 간의 조합에 의한 목적함수 생성
- 퓨리에 계수 계산
- 형상 프로파일 산출
- 2자유도 오차운동 산출
같은 평면상에 원주방향으로 서로 다른 각도에 배치되는 3개의 변위센서를 이용할 때, 상기의 과정을 통해 반경방향의 진원도를 구하면 다음의 일련의 식들로 나타낼 수 있다.
즉, 도 9에서와 같이, 일정 각도 φ와 ψ의 간격으로 배치된 3개의 변위센서 A, B, C 3개의 센서로부터 동시에 3개의 런아웃 신호 mA(θ),mB(θ),mC(θ)를 획득한다. 획득된 신호는 그림 XY 평면상에서의 회전축의 2자유도 오차운동 x(θ), y(θ)와 진원도 형상 프로파일 P(θ)가 합쳐진 상태로 획득된다.
Figure 112014028857391-pat00001
스핀들 중심축의 오차운동 x(θ)와 y(θ)는 mA(θ),mB(θ),mC(θ)에 각각 1, a, b라는 상수를 곱하여 더함으로써 소거된다. 여기서, a와 b의 값은 다음의 연립방정식을 통하여 산출한다.
Figure 112014028857391-pat00002
a, b 값을 산출함으로써, 각 런아웃 데이터에 1, a, b가 가중되어 더해진 데이터에는 오차운동데이터 성분이 0이 되어, 피 측정물의 진원도 프로파일성분들의 합으로 표현된다. 이때, 진원도 프로파일은 Fourier series의 형태로 모델링된다. 여기서, Ak와 Bk는 Fourier coefficients이다.
Figure 112014028857391-pat00003
식 (7)은 3개의 런아웃 신호에 1, a, b의 가중치가 곱해져서 합성된 데이터의 형태를 보여준다.
Figure 112014028857391-pat00004
식 (8)은 식 (9)과 같이 전개되며, αk=1+αcoskφ+bcoskψ 와 βk=bsinkψ-asinkφ 를 통해 식 (10)와 같이 표현될 수 있다.
Figure 112014028857391-pat00005
식 (9)에서 coskθ와 sinkθ의 계수는 M(θ)의 푸리에 계수이며 각각 Fk와 Gk로 정의될 때, 식 (10)과 같이 Ak와 Bk를 산출할 수 있다.
Figure 112014028857391-pat00006
Ak와 Bk가 산출되면, 진원도 형상 프로파일 P(θ)는 완전히 정의된다. 식 (1)로부터 식 (11)과 같이 x 방향 오차운동 x(θ)가 산출되며, 식 (2)와 (3)의 조합에 의해 식 (12)와 같이 y 방향 오차운동 y(θ)가 산출된다.
Figure 112014028857391-pat00007
진원도는 상기 수식에 의해 나타나는 그래프 상에서 동심을 갖는 외접원과 내접원의 반경차로 나타낸다.
이상과 같은 멀티프로브 방식의 보다 구체적인 원리에 대하여는 Whitehouse DJ. Some Theoretical Aspects of Error Separation Techniques in Surface Metrology. J. of Phys. E: Sci. Inst., 9 (7), 1976; 531~536 및 Robert D. Gredja, "Use and calibration of ultraprecision axes of rotation with nanometer level metrology", 2002, A doctor thesis in Mechanical Engineering, The Pennsylvania State University 에 나타난 바와 같다.
요약하면, 하단 및 상단의 3개 변위센서(141, 143)로는 각기 해당 높이에서의 마스터 실린더(20)의 형상오차와 조립오차를 측정할 수 있는바, 이는 원리적으로 각각의 센서(141, 143)에서는 회전주기마다 반복적으로 나타나는 데이터를 통해 마스터 실린더(20)의 조립오차 성분을 계산해낼 수 있고, 같은 층의 변위센서(141 또는 143)의 측정데이타 간을 비교함으로써 센서의 배치각도에 해당하는 위상차를 두고 반복되는 데이터를 통해 마스터 실린더(20)의 형상오차 성분을 계산해낼 수 있음에 기인한다.
경험적으로, 마스터 실린더(20)의 형상오차 성분을 계산하기 위한 3개의 변위센서(141 또는 143)의 배치각도, 즉 위상차는 측정되는 마스터 실린더(20)의 형상정보가 서로 겹치지 않도록 서로소의 관계를 가지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 360도를 108: 139: 113 로 나누는 위상차로 배치될 수 있다. 실험과정에서, 상기 센서(141, 143; 142도 포함)의 배치각도가 서로소가 아닐 때 주파수 변조현상이 나타나는 것으로 확인하였다.
한편, 상기한 하단의 3개 센서(141)와 상단의 3개 센서(143)에 중단의 3개 변위센서(142)를 추가로 구성함으로써 마스터 실린더(20)의 원통도를 측정할 수 있다. 즉, 하단, 중단 및 상단의 각 3개 센서(141, 142, 143)로부터 마스터 실린더(20)에 대한 상, 중, 하 각 층에서의 단면의 진원도를 얻을 수 있으며 이를 토대로 마스터 실린더(20)의 원통도를 계산해낼 수 있다. 여기서, 원통도란 같은 중심 축선을 기준으로 할 때 측정데이터로부터 얻어지는 외접 실린더와 내접 실린더 간의 반경방향 거리를 의미한다.
그리고, 상단의 커버(130)에 변위센서(144)를 2개 배치함으로써는 마스터 실린더(20)의 상면의 편평도를 구해낼 수 있다.
상면의 경우에는, 1자유도의 axial error motion에 1자유도의 형상 프로파일데이터가 합성된 런아웃 신호가 획득되므로, 2개의 프로브를 이용한 런아웃 신호 mA(θ), mB(θ)로부터 데이터 분리에 의한 오차운동 z(θ)와 형상 프로파일 P(θ)의 획득이 가능하다.
Figure 112014028857391-pat00008
식 (13), (14)의 런아웃 신호의 차이를 통해 axial 오차운동성분이 제거된 데이터의 형태가 식 (15)와 같이 표현된다.
Figure 112014028857391-pat00009
M(θ)의 푸리에 계수인 Fk와 Gk가 산출되면, 식(10)과 유사하게 식 (15)를 통해 Ak와 Bk를 산출 할 수 있다.
Figure 112014028857391-pat00010
P(θ)가 산출된 후, 식 (13)으로부터, 식 (17)과 같이 axial error motion z(θ)를 산출할 수 있다.
Figure 112014028857391-pat00011
이와 같이, 마스터 실린더(20) 상면의 형상오차와 조립오차를 측정할 수 있는바, 이는 원리적으로 각 센서(144)에서는 회전주기마다 반복적으로 나타나는 데이터를 통해 마스터 실린더(20) 상면과 관련된 조립오차 성분을 계산해낼 수 있고, 2개의 변위센서(144)의 측정데이타 간을 비교함으로써 센서의 배치각도에 해당하는 위상차를 두고 반복되는 데이터를 통해 마스터 실린더(20) 상면의 형상오차 성분을 계산해낼 수 있음에 기인한다.
이때에도, 경험적으로 2개의 센서(144) 간에는 동일한 반경을 갖는 원주상에서 서로소의 각도 관계를 가지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 2개의 센서는 360도를 139: 221 로 나누는 위상차로 배치될 수 있다.
한편, 이상에서 설명된 회전시스템의 런아웃 측정장치(100)는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 실시예에 불과하므로 본 발명의 권리범위 내지 기술적 범위가 상기 설명된 바에 한정되는 것으로 이해되어서는 곤란하다.
본 발명의 권리범위 내지 기술적 범위는 후술하는 특허청구범위 및 그 균등범위에 의해 정하여진다.
10: 모터 20: 마스터 실린더
100: 회전시스템의 런아웃 측정장치 110: 베이스 함체
120: 프레임 실린더 130: 커버
141: 하단 변위센서 142: 중단 변위센서
143: 상단 변위센서 144: 커버측 변위센서

Claims (4)

  1. 회전시스템의 런아웃 측정장치에 있어서,
    측정대상인 상기 회전시스템을 수용하는 베이스 함체와;
    상기 회전시스템의 상면에 중심 수직축선을 따라 탑재되어 일체로 체결됨으로써 상기 회전시스템의 구동에 따라 회전 구동되는 마스터 실린더와;
    상기 베이스 함체 상에 고정되게 탑재되어 상기 마스터 실린더를 내측에 수용하는 프레임 실린더와;
    상기 프레임 실린더의 축방향 상단부를 덮는 실린더 커버와;
    상기 프레임 실린더의 하단부와 상단부에 각각 3개의 변위센서가 동일 평면상에 원주방향으로 이격되게 배치되며 각기 반경방향으로 내측에 배치되는 상기 마스터 실린더의 반경방향으로의 변위를 측정하기 위한 하단 및 상단 변위센서와;
    상기 커버 측에 고정되게 설치되어 상기 마스터 실린더의 상면의 수직방향의 변위를 측정하기 위한 커버측 변위센서와;
    상기 프레임 실린더의 상기 하단부와 상단부의 사이에 3개의 변위센서가 동일 평면상에 원주방향으로 이격되게 배치되며 각기 반경방향으로 내측에 배치되는 상기 마스터 실린더의 반경방향으로의 변위를 측정하기 위한 중단 변위센서; 및
    상기 커버 측에 고정되게 설치되어 상기 마스터 실린더의 상면의 수직방향의 변위를 측정하기 위한 커버측 제2 변위센서를 포함함으로써,
    상기 3개의 하단 변위센서와 3개의 상단 변위센서, 상기 커버측 변위센서의 각 출력에 따른 런아웃 데이터에 더하여 상기 3개의 중단 변위센서의 출력에 따른 런아웃 데이터로부터 상기 마스터 실린더의 원통도를 측정할 수 있도록 하고,
    상기 커버측 변위센서 및 제2 변위센서의 각 출력에 따른 런아웃 데이터로부터 상기 마스터 실린더의 상면의 편평도를 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 회전시스템의 런아웃 측정장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하단 변위센서, 상기 상단 변위센서 및 상기 중단 변위센서를 이루는 각기 3개의 변위센서의 배치각도는 서로소의 관계를 가지는 것을 특징으로 하는 회전시스템의 런아웃 측정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 커버측 변위센서 및 제2 변위센서는 동일 반경에 서로소의 관계를 갖는 배치각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 회전시스템의 런아웃 측정장치.
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