JP5038861B2 - 位置測定装置 - Google Patents
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Description
・回転軸に対する測定用目盛全体の偏心、
・目盛の支持体の形状の、円筒形の理想形状からのずれ、
・回転方向にまたは当該回転方向と垂直に行われる理想のコード化方式からの、局所的な幾何偏差という形態の目盛の誤差、
・軸受の振れ、
・軸受の遊びまたは荷重による材料の変形のような、偶然生じる幾何偏差、
・電子評価ユニットにより起こる、角度位置の検出における偏差。
MK= 測定ヘッド
CK = 較正ヘッド
AE = 電子評価ユニット
TS = 目盛のマークを有するディスクの形態の測定基準部
後述するように、測定および較正ヘッドの測定基準部の全回転に対する測定値を、測定システムの設置後に実行される較正手順において用いることができ、その結果、補正値が、全角度範囲について、電子評価ユニット内において「ルックアップテーブル」または較正テーブル内に記憶され得る。
i=周期の順番
θci 開始角度
ei 測定ヘッドの軸の偏心
εji 規則的誤差の和
θi 理想角度
角周期ごとに、一般に以下が得られる。
θ1i=θi+ei+ε1i
θ2i=θi−ei+ε2i
Δ’i=θ1i−θ2i=2ei+ε1i−ε2i
θci=θi+(ε10+ε20)/2
補正された開始角度θciは目盛ディスクの偏心「e」による影響をもはや受けず、また、他の全ての規則的な誤差は、その符号は合計において重要ではないが、低減して平均値になることは、明らかである。
Claims (3)
- 相互に移動し得る2つの物体の相対位置を検出するための位置測定装置であって、当該装置は、
前記物体の一方に接合された目盛を有する測定基準部と、
他方の物体に接合されて前記目盛を読み取るスキャンヘッドと、
を備え、
前記スキャンヘッドは、不揮発性メモリを有する電子評価ユニットに接続され、前記不揮発性メモリ用の補正値は、前記スキャンヘッドにより記録された測定値を補正するように構成されており、
前記補正値は、前記スキャンヘッドの測定値、および同じ前記測定基準部をスキャンする少なくとも1つの追加の、一時的に装着されるスキャンヘッドの測定値に基づいて、前記位置測定装置を較正している間に確定される、装置。 - 相互に移動し得る2つの物体の相対位置を検出するための方法であって、当該方法は、
前記物体の一方に接合された測定基準部を、前記他方の物体に接合されたスキャンヘッドによってスキャンするステップと、
前記スキャンヘッドにより記録された測定値を、これより前の較正中に、前記スキャンヘッドの測定値と、前記同じ測定基準部をスキャンするように一時的に装着された少なくとも1つの追加のスキャンヘッドの測定値とから、確定され、記憶された補正値によって、補正するステップと、
を含む方法。 - 相互に移動し得る2つの物体の相対位置を検出するための位置測定装置を較正する方法であって、
当該位置測定装置は、前記物体の一方に接合された目盛を有する測定基準部と、前記目盛をスキャンするように前記他方の物体に接合されたスキャンヘッドとを備え、前記スキャンヘッドは、電子評価ユニットに連結され、
前記方法は、
前記同じ測定基準部をスキャンするために少なくとも1つの追加のスキャンヘッドを前記位置測定装置に追加するステップと、
前記各スキャンヘッドにより測定値を確定するステップと、
前記電子評価ユニットの不揮発性メモリ内に前記補正値を記憶する前記個々のスキャンヘッドにより記録された前記測定値同士の間の偏差から、補正値を確定するステップと、
続いて、前記位置測定装置から前記追加のスキャンヘッドを取り外すステップと、
を含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP06450170A EP1923670B1 (de) | 2006-11-17 | 2006-11-17 | Positionsmesseinrichtung |
EP06450170.3 | 2006-11-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008129018A JP2008129018A (ja) | 2008-06-05 |
JP5038861B2 true JP5038861B2 (ja) | 2012-10-03 |
Family
ID=37909618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007297109A Active JP5038861B2 (ja) | 2006-11-17 | 2007-11-15 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7797981B2 (ja) |
EP (1) | EP1923670B1 (ja) |
JP (1) | JP5038861B2 (ja) |
AT (1) | ATE461426T1 (ja) |
DE (1) | DE502006006465D1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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SE530573C2 (sv) * | 2006-11-16 | 2008-07-08 | Hexagon Metrology Ab | Förfarande och anordning för kompensering av geometriska fel i bearbetningsmaskiner |
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JP5731569B2 (ja) | 2013-05-02 | 2015-06-10 | ファナック株式会社 | 精度補正機能を備えたエンコーダ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-11-17 DE DE502006006465T patent/DE502006006465D1/de active Active
- 2006-11-17 AT AT06450170T patent/ATE461426T1/de active
- 2006-11-17 EP EP06450170A patent/EP1923670B1/de active Active
-
2007
- 2007-11-15 JP JP2007297109A patent/JP5038861B2/ja active Active
- 2007-11-16 US US11/985,867 patent/US7797981B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE461426T1 (de) | 2010-04-15 |
DE502006006465D1 (de) | 2010-04-29 |
JP2008129018A (ja) | 2008-06-05 |
EP1923670A1 (de) | 2008-05-21 |
US20080148808A1 (en) | 2008-06-26 |
EP1923670B1 (de) | 2010-03-17 |
US7797981B2 (en) | 2010-09-21 |
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