JP7266996B2 - インダクタ、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
図5は、実施例1の変形例1に係るインダクタの平面図である。図5に示すように、開口15および支柱18が2か所に設けられている。開口15と支柱18が設けられる箇所は配線14の一端と他端との間をほぼ3等分する位置であり、配線14の径方向のほぼ中心である。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例1のように、支柱18を複数設けることで配線14が機械的により補強される。
図6は、比較例1に係るインダクタの平面図である。図6に示すように、比較例1では、開口15および支柱18は設けられていない。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。比較例1では、配線14は支柱16および17のみにより支持される。このため、実施例1に比べ配線14の機械的強度が小さくなる。
図7(a)および図7(b)は、比較例2およびその変形例1に係るインダクタの平面図である。図7(a)に示すように、比較例2では、配線14の外周の外側に1つの引き出し部13が設けられている。支柱18は引き出し部13に設けられている。配線14内に開口15は設けられていない。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図8(a)および図8(b)は、比較例3およびその変形例1に係るインダクタの平面図である。図8(a)に示すように、比較例3では、配線14の内周の内側に1つの引き出し部13が設けられている。支柱18は引き出し部13に設けられている。配線14内に開口15は設けられていない。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
実施例1および各比較例について、インダクタのQ値を電磁界シミュレーションした。シミュレーション条件は以下である。
金属層30、32および34:銅層
基板10:ガラス基板
D1:800μm
D2:300μm
D3:250μm
T1、T2、T3、W1およびW2:30μm
巻き数:1.5
周波数:3GHz
図10(a)は、実施例1の変形例2に係るインダクタの平面図、図10(b)は、支柱18付近の配線12の拡大図である。図10(a)および10(b)に示すように、配線12の外周および内周に切り欠き15aが設けられている。切り欠き15aは、配線14と基板10とが重なる領域のうち、配線12の幅が狭くなるように形成された領域(すなわち、配線12に囲まれ少なくとも1方向が開放され閉じていない領域)である。支柱18は、切り欠き15a内に設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図11(a)から図11(c)は、実施例1の変形例3から5に係るインダクタの支柱18付近の断面図である。図11(a)に示すように、実施例1の変形例3では、実施例1の金属層32である金属層18bの代わりに絶縁層18cが設けられている。支柱18は金属層18aおよび絶縁層18cにより形成される。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図11(b)に示すように、実施例1の変形例4では、金属層18bと配線14との間に絶縁層18cが設けられている。支柱18は金属層18a、18bおよび絶縁層18cにより形成される。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図11(c)に示すように、実施例1の変形例5では、配線14の下面のほぼ全面に絶縁膜26が設けられている。金属層18bは絶縁膜26の下面に接する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例3から5のように、支柱18の少なくとも一部は絶縁体でもよい。
図12(a)から図12(e)は、実施例1の変形例6から10に係るインダクタの支柱18付近の断面図である。図12(a)に示すように、実施例1の変形例6では、配線12に開口15および切り欠き15aは設けられていない。平面視において支柱18は配線12と重なる。支柱18は配線12上に設けられた絶縁層18cにより形成される。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図12(b)に示すように、実施例1の変形例7では、絶縁層18cが配線12上に設けられ、金属層18bが絶縁層18c上に設けられている。支柱18は、絶縁層18cと金属層18bから形成される。その他の構成は、実施例1の変形例6と同じであり説明を省略する。
図12(c)に示すように、実施例1の変形例8では、金属層18bが配線12上に設けられ、絶縁層18cが金属層18b上に設けられている。支柱18は、絶縁層18cと金属層18bから形成される。その他の構成は、実施例1の変形例6と同じであり説明を省略する。
図12(d)に示すように、実施例1の変形例9では、絶縁膜26は配線12の上面のほぼ全面に設けられている。金属層18bは絶縁膜26上に設けられている。支柱18は、金属層18bから形成される。その他の構成は、実施例1の変形例6と同じであり説明を省略する。
図12(e)に示すように、実施例1の変形例10では、絶縁膜26は配線14の下面のほぼ全面に設けられている。金属層18bは配線12上に設けられ、絶縁膜26の下面に接している。支柱18は、金属層18bから形成される。その他の構成は、実施例1の変形例6と同じであり説明を省略する。
11 コイル
12、14 配線
15 開口
15a 切り欠き
16、17、18 支柱
18a、18b、30、32、34、36 金属層
18c 絶縁層
25 空隙
26 絶縁膜
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1配線と、
前記第1配線上に空隙を挟み設けられ、平面視において前記第1配線の少なくとも一部と少なくとも一部が重なる第2配線と、
前記第1配線の端部と前記第2配線の端部とを直流電流が導通可能なように接続する第1支柱と、
平面視において、前記第2配線と重なり、かつ前記第1配線と重なりまたは前記第1配線に囲まれるように設けられ、前記第1配線と絶縁され、前記第2配線を支持する第2支柱と、
を備え、
前記第1配線および前記第2配線は、平面視において中央領域を囲むコイル状であり、前記中央領域を囲む領域に前記第1配線に囲まれた開口が設けられ、
前記第2支柱は、平面視において前記第1配線と重ならず、前記開口内に設けられるインダクタ。 - 前記開口の大きさは前記第1配線の幅の3/4倍以下である請求項1に記載のインダクタ。
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1配線と、
前記第1配線上に空隙を挟み設けられ、平面視において前記第1配線の少なくとも一部と少なくとも一部が重なる第2配線と、
前記第1配線の端部と前記第2配線の端部とを直流電流が導通可能なように接続する第1支柱と、
平面視において、前記第2配線と重なり、かつ前記第1配線と重なりまたは前記第1配線に囲まれるように設けられ、前記第1配線と絶縁され、前記第2配線を支持する第2支柱と、
を備え、
前記第1配線および前記第2配線は、平面視において中央領域を囲むコイル状であり、前記中央領域を囲む領域における前記第1配線の外周に切り欠きが設けられ、
前記第2支柱は、平面視において前記第1配線と重ならず、前記切り欠き内に設けられるインダクタ。 - 前記第2支柱は、前記基板上に設けられ前記第1配線を形成する金属層とほぼ同じ材料およびほぼ同じ厚さを有する第1金属層と、前記第1金属層上に設けられ前記第1支柱を形成する金属層とほぼ同じ材料およびほぼ同じ厚さを有する第2金属層と、を備える請求項1から3のいずれか一項に記載のインダクタ。
- 前記第2支柱の少なくとも一部は金属である請求項1から4のいずれか一項に記載のインダクタ。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載のインダクタを含むフィルタ。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載のインダクタを含むマルチプレクサ。
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