JP7242438B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
1A:ハウジング
2:開口部
3:搬出入手段
4:カセットテーブル
4A:カセット
5:仮置きテーブル
6:搬送手段
7:保持手段
8:洗浄手段
11:アライメント手段
12:切削手段(加工手段)
13:搬送手段
131:アーム部
132:板状部材
133:吸着パッド
100:制御手段
140:駆動手段
141:パルスモータ
142:ボールねじ
Claims (1)
- 複数の被加工物を収容したカセットが載置されるカセットテーブルと、該カセットテーブルに載置されたカセットから搬出された被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持手段から被加工物を搬出し搬送する搬送手段と、該搬送手段で搬送された被加工物を洗浄する洗浄手段と、から少なくとも構成される加工装置であって、
該保持手段に保持された被加工物が該加工手段によって加工された後、該被加工物を、該保持手段から該洗浄手段まで該被加工物の上面の水の層が維持されない高速で搬送する第1のモードと、該被加工物を、該保持手段から該洗浄手段まで該被加工物の上面の水の層が維持される低速で搬送する第2のモードと、が選択可能な制御手段と、を備えた加工装置。
Priority Applications (1)
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JP2019111826A JP7242438B2 (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019111826A JP7242438B2 (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020205324A JP2020205324A (ja) | 2020-12-24 |
JP7242438B2 true JP7242438B2 (ja) | 2023-03-20 |
Family
ID=73837527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2019111826A Active JP7242438B2 (ja) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005197325A (ja) | 2003-12-27 | 2005-07-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2007188974A (ja) | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
JP2010056327A (ja) | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク保持機構 |
JP2013139071A (ja) | 2012-01-05 | 2013-07-18 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
JP2017120805A (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 株式会社荏原製作所 | ウエハ処理装置及び搬送ロボット |
JP2018117014A (ja) | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社ディスコ | 搬出機構 |
-
2019
- 2019-06-17 JP JP2019111826A patent/JP7242438B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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