JP7221593B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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13 n型半導体層
14 活性層領域
15 電子ブロック層
16、21、31 p型半導体層
16A、21A、31A 組成傾斜層
Claims (9)
- AlGaNの組成を有するn型半導体層と、
前記n型半導体層上に形成され、AlGaNの組成を有し、200~300nmの発光波長帯域を有する活性層領域と、
前記活性層領域上に形成され、Al s Ga 1-s N(0.8<s≦1)の組成を有し、前記n型半導体層及び前記活性層領域よりも大きなバンドギャップを有する電子ブロック層と、
前記電子ブロック層上に形成され、前記電子ブロック層以下のバンドギャップを有するp型半導体層と、を有し、
前記p型半導体層は、AlzGa1-zN(0<z≦1)の組成を有しかつ前記電子ブロック層との界面から前記電子ブロック層に垂直な方向に沿って連続的にAl組成zが減少する組成傾斜層を有し、
前記組成傾斜層は、40nm以上の層厚を有し、
前記組成傾斜層における前記Al組成zの減少率は、0.0025~0.01nm -1 の範囲内であり、
前記電子ブロック層のAl組成sと前記組成傾斜層の前記電子ブロック層側界面のAl組成zとは(s-z)<0.05の関係を満たし、かつ、
前記組成傾斜層のAl組成zと前記電子ブロック層のAl組成sはz≦sの関係を満たすことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記n型半導体層は、単結晶のAlN基板上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記組成傾斜層は、前記電子ブロック層とは反対側の面上において前記n型半導体層よりも大きなバンドギャップを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 前記電子ブロック層は、AlNの組成を有し、
前記p型半導体層は、前記組成傾斜層上に形成され、前記組成傾斜層よりも小さなAl組成を有するAlGaN又はGaNの組成を有するコンタクト層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体発光素子。 - 前記組成傾斜層における前記Al組成zの前記減少率は、0.003~0.008nm-1の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記組成傾斜層における前記Al組成zの前記減少率は、0.003~0.006nm-1の範囲内であることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子。
- 前記組成傾斜層における前記Al組成zの減少率は、前記電子ブロック層との前記界面から徐々に減少することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記組成傾斜層における前記Al組成zの減少率は、前記電子ブロック層との前記界面から徐々に増加することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 単結晶のAlN基板と、
前記AlN基板上に形成されたAlGaNの組成を有するn型半導体層と、
前記n型半導体層上に形成され、AlGaNの組成を有し、200~300nmの発光波長帯域を有する活性層領域と、
前記活性層領域上に形成され、Al s Ga 1-s N(0.8<s≦1)の組成を有し、前記n型半導体層及び前記活性層領域よりも大きなバンドギャップを有する電子ブロック層と、
前記電子ブロック層上に形成され、前記電子ブロック層以下のバンドギャップを有するp型半導体層と、を有し、
前記p型半導体層は、Al z Ga 1-z N(0<z≦1)の組成を有しかつ前記電子ブロック層との界面から前記電子ブロック層に垂直な方向に沿って連続的にAl組成zが減少する組成傾斜層と、前記組成傾斜層の上に形成されたAl t Ga 1-t N(0≦t<0.8)の組成を有するコンタクト層を有し、
前記組成傾斜層は、40nm以上120nm以下の層厚を有し、
前記組成傾斜層のAl組成zの減少率は、0.0033~0.005nm -1 であり、
前記組成傾斜層は、前記電子ブロック層とは反対側の面上において前記n型半導体層よりも大きなバンドギャップを有し、かつ、
前記組成傾斜層のAl組成zは、前記電子ブロック層のAl組成sと前記コンタクト層のAl組成tに対して(t+s)/2<z<sの関係を満たすことを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018044566A JP7221593B2 (ja) | 2018-03-12 | 2018-03-12 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019160974A JP2019160974A (ja) | 2019-09-19 |
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ID=67992661
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018044566A Active JP7221593B2 (ja) | 2018-03-12 | 2018-03-12 | 半導体発光素子 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP7221593B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7473333B2 (ja) | 2019-12-19 | 2024-04-23 | 旭化成株式会社 | 窒化物半導体素子、窒化物半導体発光素子 |
JP2024061325A (ja) * | 2022-10-21 | 2024-05-07 | スタンレー電気株式会社 | 紫外半導体発光素子 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091705A (ja) | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Nec Corp | 窒化ガリウム系半導体発光素子 |
WO2014123092A1 (ja) | 2013-02-05 | 2014-08-14 | 株式会社トクヤマ | 窒化物半導体発光素子 |
JP2014160739A (ja) | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Sony Corp | 半導体発光素子および製造方法 |
US20150060908A1 (en) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Optoelectronic Device with Modulation Doping |
JP2015530753A (ja) | 2012-09-27 | 2015-10-15 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | メサ形の電流伝導が改善されたalgainn半導体レーザ |
WO2017057149A1 (ja) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091705A (ja) | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Nec Corp | 窒化ガリウム系半導体発光素子 |
JP2015530753A (ja) | 2012-09-27 | 2015-10-15 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | メサ形の電流伝導が改善されたalgainn半導体レーザ |
WO2014123092A1 (ja) | 2013-02-05 | 2014-08-14 | 株式会社トクヤマ | 窒化物半導体発光素子 |
JP2014160739A (ja) | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Sony Corp | 半導体発光素子および製造方法 |
US20150060908A1 (en) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Optoelectronic Device with Modulation Doping |
WO2017057149A1 (ja) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
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---|---|
JP2019160974A (ja) | 2019-09-19 |
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