JP7221057B2 - 窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 - Google Patents
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Description
一態様では、前記入口ラインに取り付けられたヒータをさらに備え、前記ヒータは、前記入口ラインを流れる前記ガスを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記処理槽に取り付けられた熱交換器をさらに備え、前記熱交換器は、前記X型合成ゼオライトを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記入口ラインに取り付けられた熱交換器をさらに備え、前記熱交換器は、前記入口ラインを流れる前記ガスを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記処理槽の入口に連結される入口ラインを流れる前記ガスを、ヒータによって所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記処理槽に取り付けられた熱交換器によって、前記X型合成ゼオライトを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記処理槽の入口に連結される入口ラインを流れる前記ガスを、該入口ラインに取り付けられた熱交換器によって所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止する。
一態様では、前記熱交換器には、半導体処理装置の下流側に設置された排ガス処理装置から排出された高温の冷却水が供給される。
図2は、一実施形態に係る処理装置を示す模式図である。図2に示す処理装置100は、CVD装置、またはエッチング装置などの半導体処理装置200から排出される排ガスを処理する排ガス処理装置300の下流側に設置されている。排ガス処理装置300は、例えば、燃焼式排ガス処理装置、ヒータ式排ガス処理装置、プラズマ式排ガス処理装置、または触媒式排ガス処理装置である。上述したように、これら排ガス処理装置300から排出されるガスは、一酸化窒素および二酸化窒素などのNOxを高濃度で含有している。例えば、排ガス処理装置300から排出される排ガスには、500ppm以上の濃度を有するNOxが含まれている。
5 入口ライン
8 処理槽
10 オゾン供給ライン
12 排出ライン
15,17 ヒータ
19 熱交換器
100 処理装置
200 半導体処理装置
300 排ガス処理装置
Claims (11)
- 窒素酸化物を含むガスの処理装置であって、
X型合成ゼオライトが充填される処理槽と、
前記処理槽の入口に連結され、前記ガスを前記処理槽に導入する入口ラインと、
前記入口ラインに連結されるオゾン発生器と、を備え、
前記オゾン発生器は、前記ガスに含まれる一酸化窒素を二酸化窒素に酸化させるのに十分な量のオゾンを発生させ、
前記X型合成ゼオライトは、前記一酸化窒素の酸化反応で消費されなかった余剰オゾンを分解し、かつ前記ガスに含まれる二酸化窒素を物理吸着することを特徴とする処理装置。 - 前記処理槽に取り付けられたヒータをさらに備え、
前記ヒータは、前記X型合成ゼオライトを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記入口ラインに取り付けられたヒータをさらに備え、
前記ヒータは、前記入口ラインを流れる前記ガスを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項1または2に記載の処理装置。 - 前記処理槽に取り付けられた熱交換器をさらに備え、
前記熱交換器は、前記X型合成ゼオライトを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記入口ラインに取り付けられた熱交換器をさらに備え、
前記熱交換器は、前記入口ラインを流れる前記ガスを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項1または4に記載の処理装置。 - 窒素酸化物を含むガスの処理方法であって、
前記ガスに含まれる一酸化窒素を二酸化窒素に酸化するのに十分な量のオゾンを、前記ガスに添加して、前記一酸化窒素を前記二酸化窒素に酸化し、
前記一酸化窒素の酸化反応で消費されなかった余剰オゾンを、処理槽に充填されたX型合成ゼオライトに接触させて分解し、
前記ガスに含まれる二酸化窒素を、前記X型合成ゼオライトに物理吸着することを特徴とする処理方法。 - 前記X型合成ゼオライトをヒータによって所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項6に記載の処理方法。
- 前記処理槽の入口に連結される入口ラインを流れる前記ガスを、ヒータによって所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項6または7に記載の処理方法。
- 前記処理槽に取り付けられた熱交換器によって、前記X型合成ゼオライトを所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項6に記載の処理方法。
- 前記処理槽の入口に連結される入口ラインを流れる前記ガスを、該入口ラインに取り付けられた熱交換器によって所定の温度に加熱して、前記ガスに含まれる水分に起因する前記余剰オゾンの分解効率の低下を防止することを特徴とする請求項6または9に記載の処理方法。
- 前記熱交換器には、半導体処理装置の下流側に設置された排ガス処理装置から排出された高温の冷却水が供給されることを特徴とする請求項9または10に記載の処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019001969A JP7221057B2 (ja) | 2019-01-09 | 2019-01-09 | 窒素酸化物を含むガスの処理装置、および処理方法 |
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JP (1) | JP7221057B2 (ja) |
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