JP7186632B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents

Description

本開示は、測定装置および測定方法に関する。

産業機器や車載機器等に搭載される液晶ディスプレイ等の光学表示機器は、従来平面形状であったが、近年はデザイン性が重視され、異形・湾曲形状のものが注目されてきている。このような光学表示機器では、液晶パネルに保護ガラスを貼り付けた貼り合せ部材が使用されるケースが多い。貼り合せ部材の貼り合せ要求精度は±０．１ｍｍ程度となっており、部材毎に貼り合せ精度を測定して良否判定を行なっている。

貼り合せ部材が平面形状である場合、保護ガラスおよび液晶パネルの各々において、２つの基準マーク（または基準位置）を認識し、その２つの基準マーク（または基準位置）の中間点の位置を検出し、保護ガラスにおける中間点と液晶パネルにおける中間点とのズレ量を測定し、そのズレ量が規格値内であるか否かによって貼り合せ精度の良否判定が行なわれている。

たとえば、特開２０１１－１９７２８１号公報（特許文献１）には、液晶パネルに偏光板を貼り合せた部材の貼り合せズレ量を測定する測定装置が開示されている。この測定装置は、被測定部材の四隅を撮像する撮像部と、撮像部によって撮像された画像に基づいて、液晶パネルの基準点と偏光板の端部との間の距離を貼り合せズレ量として求める制御部とを備えている（特許文献１参照）。

特開２０１１－１９７２８１号公報

特許文献１に記載の手法では、被測定部材が曲面形状を有する場合に、測定精度が被測定部材のセット状態に大きく依存するという問題がある。すなわち、貼り合せズレ量が０であることが予め確認されている基準サンプルを被測定部材として使用した場合でも、被測定部材が傾いた状態で測定されると、貼り合せズレ量は０にならない。

この対策として、曲面形状の貼り合せ部材を水平にセットするための治具を用いることが考えられる。しかしながら、曲面形状がばらつく場合、貼り合せ部材を確実にセットしようとすると、被測定部材に応力が生じてしまう可能性がある。また、様々な曲面形状に対応してセットする必要があり、測定が煩雑になる。

また、被測定部材の曲率半径が既知の一定値であれば、貼り合せズレ量を計算で求めることは可能である。しかしながら、実際には曲率半径がばらつき、被測定部材毎に曲率半径を精度良く測定することは困難である。また、曲率半径が一定値であると仮定してズレ量を計算すると、測定誤差が生じてしまう。

それゆえに、本開示の主たる目的は、貼り合せ部材が曲面形状を有する場合でも、貼り合せ部材に応力を生じさせることなく、貼り合せズレ量を容易かつ正確に測定可能な測定装置および測定方法を提供することである。

本開示の測定装置は、互いに貼り合わされた第１および第２の基板を含む貼り合せ部材の貼り合せズレ量を測定する測定装置である。第１の基板は、第１および第２の基準点を有し、第２の基板は、第３および第４の基準点を有する。この測定装置は、支持部と、駆動部と、撮像部と、制御部とを備える。支持部は、貼り合せ部材を回動可能に支持する。駆動部は、支持部を回動させる。撮像部は、支持部に支持された貼り合せ部材の第１から第４の基準点を貼り合せ部材の第１の方向（Ｚ方向）から撮像する。制御部は、第１および第２の基準点を通る第１の直線が第１の方向と直交する平面（ＸＹ平面）に平行になるように駆動部を制御し、撮像部によって撮像された第１から第４の基準点の画像を用いて貼り合せズレ量を求める。

この測定装置では、貼り合せ部材を回動可能に支持するとともに第１から第４の基準マークを第１の方向（Ｚ方向）から撮像し、第１および第２の基準点を通る直線が第１の方向と直交する平面（ＸＹ平面）に平行になるように貼り合せ部材を回動させ、第１から第４の基準点の画像を用いて貼り合せズレ量を求める。したがって、貼り合せ部材が曲面形状を有する場合でも、貼り合せ部材に応力を生じさせることなく、貼り合せズレ量を容易かつ正確に測定することができる。

この発明の一実施の形態による貼り合せズレ量測定装置の構成を示す断面図である。 図１に示す制御装置の構成を示すブロック図である。 貼り合せズレ量測定装置の動作を説明するための断面図である。 図１に示す制御装置の動作の一部分を示すフローチャートである。 図１に示す制御装置の動作の残りの部分を示すフローチャートである。

図１は、この発明の一実施の形態に従う貼り合せズレ量測定装置の要部を示す断面図である。図１において、貼り合せズレ量測定装置は、支持部１、カメラ２、Ｘテーブル３、および制御装置４を備える。

支持部１は、被測定対象の貼り合せ部材１０を支持する。貼り合せ部材１０は、保護ガラス１１と液晶パネル１２とをたとえば粘着シートを用いて貼り合せたものであり、曲面形状を有する。図１では、貼り合せ部材１０がＸ方向（図中の左右方向）にロールしている場合が示されており、Ｙ方向（紙面に垂直な方向）から見ると円弧状（皿状）であり、Ｚ方向（図中の上下方向）から見ると長方形状である。

保護ガラス１１は、基準マーク（基準点）１１ａ，１１ｂを有する。液晶パネル１２は、基準マーク（基準点）１２ａ，１２ｂを有する。基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１がＸＹ平面に平行である場合に、保護ガラス１１と液晶パネル１２の貼り合せズレ量が測定される。Ｚ方向から見た基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄが最大値であるとき、直線Ｌ１はＸＹ平面に平行になる。

なお、貼り合せズレ量が０である場合には、Ｚ方向から見ると、直線Ｌ１と、基準マーク１２ａ，１２ｂを通る直線Ｌ２とが一致し、直線Ｌ１，Ｌ２はともにＸ方向に延在し、基準マーク１１ａ，１１ｂの中間点Ｐ１と基準マーク１２ａ，１２ｂの中間点Ｐ２とが一致する。貼り合せズレ量が０でない場合には、直線Ｌ１，Ｌ２が一致しなくなったり、直線Ｌ１，Ｌ２が交差したり、中間点Ｐ１，Ｐ２が一致しなくなったりする。

支持部１は、可動板１ａ、回転中心軸１ｂ、および２本のアーム１ｃ，１ｄを含む。可動板１ａは、ＸＹ平面に対して垂直に設けられており、その裏面の中央には回転中心軸１ｂが立設されている。回転中心軸１ｂは、Ｙ方向に延在しており、駆動部（図示せず）に結合されている。駆動部によって回転中心軸１ｂを一定角度回転させると、可動板１ａも一定角度回転する。

アーム１ｃ，１ｄは、可動板１ａの表面の一方端および他方端にそれぞれ立設されている。アーム１ｃ，１ｄの各々は、円柱状に形成され、Ｙ方向に延在している。アーム１ｃ，１ｄは、一定の間隔で平行に配置されている。貼り合せ部材１０は、２本のアーム１ｃ，１ｄの上にセットされる。

貼り合せ部材１０がアーム１ｃ，１ｄ上で滑ることを防止するため、アーム１ｃ，１ｄの表面に滑り止め加工を施してもよいし、貼り合せ部材１０を吸着する吸着機構をアーム１ｃ，１ｄに設けてもよいし、貼り合せ部材１０を把持する把持機構を支持部１に設けてもよい。

カメラ２は、貼り合せ部材１０の下方に配置され、その光軸２ａはＺ方向（図では上側方向）に向けられ、Ｘテーブル３に搭載されている。Ｘテーブル３は、制御装置４によって制御され、カメラ２をＸ方向の所望の位置に配置する。カメラ２は、制御装置４によって制御され、上方の基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの各々を撮像する。

図１では、カメラ２の光軸２ａが基準マーク１２ａに向けられている状態が示されている。この場合、カメラ２は、基準マーク１２ａおよびその周辺部の画像を撮像し、撮像した画像を構成する画像情報を制御装置４に出力する。

図２は、制御装置４の構成の一例を示すブロック図である。図２において、制御装置４は、駆動部２０、角度検出器２１、位置検出器２２、記憶部２３、表示部２４、および制御部２５を含む。

駆動部２０は、制御部２５によって制御され、支持部１の回転中心軸１ｂを所望の角度だけ回動させる。駆動部２０は、たとえばステッピングモータを含んで構成される。角度検出器２１は、支持部１の可動板１ａのＸＹ平面に対する角度θ（すなわち貼り合せ部材１０の角度θ）を検出し、その検出値を示す信号を制御部２５に与える。駆動部２０および角度検出器２１は、支持部１と一体的に設けられていても構わない。

位置検出器２２は、Ｘテーブル３の可動部の位置、すなわちカメラ２の光軸２ａの位置（Ｘ座標）を検出し、その検出値を示す信号を制御部２５に与える。位置検出器２２は、Ｘテーブル３と一体的に設けられていても構わない。

記憶部２３は、制御部２５によって制御され、カメラ２からの画像情報、制御部２５による検出結果および演算結果などを記憶する。表示部２４は、制御部２５によって制御され、制御部２５によって求められた貼り合せズレ量、合否判定結果などを表示する。

制御部２５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２６と、メモリ（より具体的には、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory））２７と、各種信号を入出力するための入出力ポート（図示せず）とを含んで構成される。ＣＰＵ２６は、ＲＯＭに格納されているプログラムをＲＡＭに展開して実行する。ＲＯＭに格納されているプログラムには、制御部２５により実行される処理が記されている。

制御部２５は、角度検出器２１の出力信号に基づいて駆動部２０を制御することにより、貼り合せ部材１０の角度θを制御する。また、制御部２５は、位置検出器２２の出力信号に基づいてＸテーブル３を制御することにより、カメラ２の位置を制御する。

さらに、制御部２５は、カメラ２の位置とカメラ２からの画像情報とに基づいて、基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの各々の位置を検出する。具体的には、制御部２５は、基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂを撮像したときのカメラ２の位置をそれぞれＸｇａ，Ｘｇｂ，Ｘｐａ，Ｘｐｂとして記憶部２３に格納する。

さらに、制御部２５は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理することにより、基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの座標（ｘｇａ，ｙｇａ）、（ｘｇｂ，ｙｇｂ）、（ｘｐａ，ｙｐａ）、（ｘｐｂ，ｙｐｂ）を求め、記憶部２３に格納する。

さらに、制御部２５は、記憶部２３の記憶内容と以下の数式とに基づいて、Ｚ方向から見た基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの位置座標（ＸＧａ，ＹＧａ）、（ＸＧｂ，ＹＧｂ）、（ＸＰａ，ＹＰａ）、（ＸＰｂ，ＹＰｂ）を求め、記憶部２３に格納する。

ＸＧａ＝Ｘｇａ＋ｘｇａ，ＹＧａ＝ｙｇａ
ＸＧｂ＝Ｘｇｂ＋ｘｇｂ，ＹＧｂ＝ｙｇｂ
ＸＰａ＝Ｘｐａ＋ｘｐａ，ＹＰａ＝ｙｐａ
ＸＰｂ＝Ｘｐｂ＋ｘｐｂ，ＹＰｂ＝ｙｐｂ
さらに、制御部２５は、記憶部２３に記憶された基準マーク１１ａ，１１ｂの位置座標に基づいて基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄを求める。そして、制御部２５は、その距離Ｄが最大になるように貼り合せ部材１０の角度θを制御することにより、基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にする。基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄは、たとえば、Ｘ方向の距離で近似され、Ｄ＝ＸＧｂ－ＸＧａから算出される。

具体的には、制御部２５は、支持部１の角度θの初期値θ０を記憶部２３に格納し、θ＝θ０である場合の距離Ｄ０を求めて記憶部２３に格納する。次に、制御部２５は、支持部１を時計周り方向に一定角度θｃだけ回転させ、θ＝θ０＋θｃの場合の距離ＤＡ１を求めて記憶部２３に格納する。次いで、制御部２５は、支持部１を時計針の回転方向にさらに一定角度θｃだけ回転させ、θ＝θ０＋２θｃである場合の距離ＤＡ２を求めて記憶部２３に格納する。以下同様にして、制御部２５は、θ＝θ０＋ｎ×θｃ（ｎは３以上の整数）である場合の距離ＤＡｎを求めて記憶部２３に格納する。

次に、制御部２５は、支持部１の角度θを初期値θ０に戻した後、支持部１を反時計周り方向に一定角度θｃだけ回転させ、θ＝θ０－θｃの場合の距離ＤＢ１を求めて記憶部２３に格納する。次いで、制御部２５は、支持部１を反時計周り方向にさらに一定角度θｃだけ回転させ、θ＝θ０－２θｃの距離ＤＢ２を求めて記憶部２３に格納する。以下同様にして、制御部２５は、θ＝θ０－ｎ×θｃ（ｎは３以上の整数）である場合の距離ＤＢｎを求めて記憶部２３に格納する。

制御部２５は、記憶部２３に格納された距離Ｄ０，ＤＡ１～ＤＡｎ，ＤＢ１～ＤＢｎに基づいて距離Ｄの最大値Ｄｍａｘを求め、最大値Ｄｍａｘのときのθｍａｘを求め、求めた角度θｍａｘに支持部１の角度θを設定する。これにより、基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１がＸＹ平面に平行になる。

さらに、制御部２５は、直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にした状態で、基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの各々の位置を検出し、基準マーク１１ａ，１１ｂの中間点Ｐ１の位置と、基準マーク１２ａ，１２ｂの中間点Ｐ２の位置とを検出する。そして、制御部２５は、中間点Ｐ１，Ｐ２のＸ方向のズレ量Δｘと、中間点Ｐ１，Ｐ２のＹ方向のズレ量Δｙと、直線Ｌ１，Ｌ２の角度のズレ量Δθとを求める。

ここで、基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの位置座標をそれぞれ（ＸＧａ，ＹＧａ）、（ＸＧｂ，ＹＧｂ）、（ＸＰａ，ＹＰａ）、（ＸＰｂ，ＹＰｂ）とすると、中間点Ｐ１の位置座標は［（ＸＧａ＋ＸＧｂ）／２，（ＹＧａ＋ＹＧｂ）／２］となり、中間点Ｐ２の位置座標は［（ＸＰａ＋ＸＰｂ）／２，（ＹＰａ＋ＹＰｂ）／２］となる。ズレ量Δｘは、Δｘ＝（ＸＧａ＋ＸＧｂ）／２－（ＸＰａ＋ＸＰｂ）／２となる。ズレ量Δｙは、Δｙ＝（ＹＧａ＋ＹＧｂ）／２－（ＹＰａ＋ＹＰｂ）／２となる。

また、直線Ｌ１の角度θ１は、θ１＝ａｔａｎ［（ＹＧｂ－ＹＧａ）／（ＸＧｂ－ＸＧａ）］となる。直線Ｌ２の角度θ２は、θ２＝ａｔａｎ［（ＹＰｂ－ＹＰａ）／（ＸＰｂ－ＸＰａ）］となる。ズレ量Δθは、Δθ＝θ１－θ２となる。

また、制御部２５は、測定された貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθと、予め設定された上限値ΔｘＨ，ΔｙＨ，ΔθＨとをそれぞれ比較し、比較結果に基づいて貼り合せ部材１０の合否を判定する。｜Δｘ｜＜ΔｘＨ，｜Δｙ｜＜ΔｙＨ，｜Δθ｜＜ΔθＨの条件が満たされている場合には、貼り合せ部材１０の貼り付け精度は合格となる。｜Δｘ｜＜ΔｘＨ，｜Δｙ｜＜ΔｙＨ，｜Δθ｜＜ΔθＨの条件が満たされていない場合には、貼り合せ部材１０の貼り付け精度は不合格となる。貼り合せ部材１０の合否結果およびズレ量Δｘ，Δｙ，Δθは、記憶部２３に記憶されるとともに、表示部２４に表示される。

図３は、図１および図２に示した貼り合せズレ量測定装置の動作を説明するための断面図である。図３において、貼り合せ部材１０Ａは、貼り合せズレ量が０であることが予め確認されている基準サンプルである。したがって、貼り合せ部材１０Ａの基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にした状態では、Ｚ方向から見ると、基準マーク１１ａ，１１ｂの中間点Ｐ１と基準マーク１２ａ，１２ｂの中間点Ｐ２との間のズレ量Δｘは０となる。

しかしながら、図３に示されるように、直線Ｌ１をＸＹ平面に対して斜めに配置した状態では、Ｚ方向から見ると、中間点Ｐ１とＰ２との間のズレ量Δｘは０よりも大きな値になってしまう。そこで、本実施の形態では、直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にした状態でズレ量が測定される。

図４は、図１および図２に示した制御装置４の動作の一部分を示すフローチャートである。図５は、制御装置４の動作の残りの部分を示すフローチャートである。図４を参照して、ステップＳ１において、貼り付けズレ量測定装置の使用者は、被測定対象の貼り合せ部材１０を支持部１にセットする。貼り合せ部材１０は、支持部１の２本のアーム１ｃ，１ｄ（図１）によって支持される。

ステップＳ２において、制御装置４は、支持部１の初期角度θ０を記憶する。ステップＳ３において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、保護ガラス１１の基準マーク１１ａを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ４において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１１ａを撮像する。ステップＳ５において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１１ａの位置座標（ＸＧａ，ＹＧａ）を求める。

ステップＳ６において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、保護ガラス１１の基準マーク１１ｂを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ７において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１１ｂを撮像する。ステップＳ８において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１１ｂの位置座標（ＸＧｂ，ＹＧｂ）を求める。

ステップＳ９において、制御装置４は、基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄ≒ＸＧｂ－ＸＧａを算出する。ステップＳ１０において、制御装置４は、時計周り中であるか否かを判別し、時計周り中である場合はステップＳ１１へ処理を進め、時計周り中でない場合はステップＳ１４へ処理を進める。

ステップＳ１１において、制御装置４は、一定角度θｃだけ支持部１を時計周りに回転させる。ステップＳ１２において、制御装置４は、設定回転数だけ支持部１を回転させたか否かを判別し、まだ回転させていない場合にはステップＳ３～Ｓ１２を繰り返し、回転させた場合にはステップＳ１３へ処理を進める。

ステップＳ１３において、制御装置４は、支持部１の角度を初期角度θ０まで戻し、ステップＳ１４において、制御装置４は、支持部１を一定角度θｃだけ支持部１を反時計周りに回転させる。ステップＳ１５において、制御装置４は、設定回転数だけ支持部１を回転させたか否かを判別し、まだ回転させていない場合にはステップＳ３～Ｓ１０，Ｓ１４，Ｓ１５を繰り返し、回転させた場合にはステップＳ１６へ処理を進める。

ステップＳ１６において、制御装置４は、基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄが最大となる角度θｍａｘを求め、支持部１の角度をθｍａｘに設定する。これにより、基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にすることができる。

図５を参照して、ステップＳ１８において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、保護ガラス１１の基準マーク１１ａを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ１９において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１１ａを撮像する。ステップＳ２０において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１１ａの位置座標（ＸＧａ，ＹＧａ）を求める。

ステップＳ２１において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、保護ガラス１１の基準マーク１１ｂを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ２２において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１１ｂを撮像する。ステップＳ２３において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１１ｂの位置座標（ＸＧｂ，ＹＧｂ）を求める。

ステップＳ２４において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、液晶パネル１２の基準マーク１２ａを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ２５において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１２ａを撮像する。ステップＳ２６において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１２ａの位置座標（ＸＰａ，ＹＰａ）を求める。

ステップＳ２７において、制御装置４は、Ｘテーブル３を制御してカメラ２を移動させ、保護ガラス１１の基準マーク１２ｂを撮像することが可能な位置にカメラ２を配置する。ステップＳ２８において、制御装置４は、カメラ２を制御して基準マーク１２ｂを撮像する。ステップＳ２９において、制御装置４は、カメラ２によって撮像された画像を画像処理して、基準マーク１２ｂの位置座標（ＸＰｂ，ＹＰｂ）を求める。

ステップＳ３０において、制御装置４は、ステップＳ２０，Ｓ２３，Ｓ２６，Ｓ２９で求めた基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの位置座標（ＸＧａ，ＹＧａ），（ＸＧｂ，ＹＧｂ），（ＸＰａ，ＹＰａ），（ＸＰｂ，ＹＰｂ）に基づいて貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを求める。

ステップＳ３１において、制御装置４は、ズレ量Δｘ，Δｙ，Δθと上限値ΔｘＨ，ΔｙＨ，ΔθＨとを比較し、比較結果に基づいて貼り合せ部材１０の貼り合せ精度の合否を判別する。ステップＳ３１で合格と判別された場合には、ステップＳ３２へ処理が進められ、制御装置４は、合格である旨、ズレ量Δｘ，Δｙ，Δθなどを表示部２４に表示させる。ステップＳ３１で不合格と判別された場合には、ステップＳ３３へ処理が進められ、制御装置４は、不合格である旨、ズレ量Δｘ，Δｙ，Δθなどを表示部２４に表示させる。

以上のように、本実施の形態では、基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にした状態で、Ｚ方向から基準マーク１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂを撮像し、撮像した画像を用いて貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを求める。したがって、被測定部材が曲面形状を有する場合でも、被測定部材に応力を生じさせることなく、貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを容易かつ正確に測定することができる。

すなわち、本実施の形態では、被測定部材を支持部１の２本のアーム１ｃ，１ｄの上にセットすればよく、被測定部材毎に治具を準備する必要がないので、様々な曲面形状の被測定部材に容易に対応することができる。また、被測定部材を治具に嵌め込む必要がないので、被測定部材に応力が生じるおそれもない。また、直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にした状態で貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを測定するので、一定の状態で貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを正確に再現性良く測定することができる。

また、貼り合せズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを定量的に測定できるので、ズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを製造装置へフィードバックすることができる。この場合は、たとえばコンピュータを用いて、ズレ量Δｘ，Δｙ，Δθに応じた値のフィードバック量を求めればよい。

なお、本実施の形態では、保護ガラス１１の長辺が液晶パネル１２の長辺よりも長いため、保護ガラス１１の基準マーク１１ａ，１１ｂを通る直線Ｌ１をＸＹ平面に平行にしてズレ量を測定したが、液晶パネル１２の基準マーク１２ａ，１２ｂを通る直線Ｌ２をＸＹ平面に平行にしてズレ量を測定してもよい。ただし、貼り合せた２枚の基板のうちの長辺が長い方の基板を基準とする方が望ましい。

また、本実施の形態では、基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄの測定値が最大となる角度θｍａｘを選択するものとしたが、基準マーク１１ａ，１１ｂ間の距離Ｄの測定値と支持部１の角度θとのデータ群を最小二乗法などで曲線近似し、その近似関数の極大値となる角度θｍａｘを求めてもよい。

また、本実施の形態では、被測定部材を時計回りと反時計回りに同じ回数分、回転させているが、被測定部材の初期設定角度θ０によっては、回転途中で基準マーク間距離Ｄが極大となる場合がある。たとえば、最初のセット状態で被測定部材が反時計回りに回転していた場合である。その場合は、基準マーク間距離Ｄの極大を検出した時点で回転シーケンスを停止し、ステップＳ１７（図４）以降を実施しても構わない。

また、本実施の形態では、被測定部材の基準マーク間距離Ｄが最大となる状態でズレ量Δｘ，Δｙ，Δθを測定しているが、カメラ２をＺ方向に移動させるＺテーブルを設け、基準マーク１１ａ，１１ｂの高さＺＧａ，ＺＧｂをカメラ２の画像オートフォーカス機能を利用して求め、基準マーク１１ａ，１１ｂの高さＺＧａ，ＺＧｂが等しくなるように（ＺＧａ＝ＺＧｂ）支持部１の角度θを調整してもよい。あるいは、カメラ２にレーザ変位計のような高さ検出器を設け、基準マーク１１ａ，１１ｂの高さＺＧａ，ＺＧｂを測定してもよい。

また、本実施の形態では、１台のカメラ２を設けたが、カメラ２を２台設け、基準マーク１１ａ，１１ｂ（または１２ａ，１２ｂ）を同時に撮像すれば、ズレ量を高速に測定することができる。

また、貼り合せ部材１０の種類によっては、保護ガラス１１の基準マーク１１ａ，１１ｂを液晶パネル１２側から撮像できない場合がある。その場合は、貼り合せ部材１０の上下にカメラ２を設け、２台のカメラ２間のオフセット距離を予め測定しておけば、本実施の形態と同様の方法でズレ量を測定することができる。

また、貼り合せ部材１０の種類によっては、保護ガラス１１の基準マーク１１ａ，１１ｂと液晶パネル１２の基準マーク１２ａ，１２ｂとのＹ方向の距離が大きく、カメラ２の視野に入らない場合がある。この場合は、カメラ２をＸ方向だけでなくＹ方向にも移動させることが可能なＸＹテーブルを設ければよい。

また、本実施の形態では、被測定部材が水平になるように支持部１を回転させるものとしたが、被測定部材側ではなく、カメラ２およびＸテーブル３側を回転させ、基準マーク間距離Ｄが最大となる角度に設定してもよい。

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 支持部、１ａ 可動板、１ｂ 回転中心軸、１ｃ，１ｄ アーム、２ カメラ、２ａ 光軸、３ Ｘテーブル、４ 制御装置、１０ 貼り合せ部材、１１ 保護ガラス、１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ 基準マーク、１２ 液晶パネル、Ｌ１，Ｌ２ 直線、Ｐ１，Ｐ２ 中間点、２０ 駆動部、２１ 角度検出器、２２ 位置検出器、２３ 記憶部、２４ 表示部、２５ 制御部。

Claims (7)

1. 互いに貼り合わされた第１および第２の基板を含む貼り合せ部材の貼り合せズレ量を測定する測定装置であって、前記第１の基板は、第１および第２の基準点を有し、前記第２の基板は、第３および第４の基準点を有し、
   前記貼り合せ部材を回動可能に支持する支持部と、
   前記支持部を回動させる駆動部と、
   前記支持部に支持された前記貼り合せ部材の前記第１から第４の基準点を前記貼り合せ部材の第１の方向から撮像する撮像部と、
   前記第１および第２の基準点を通る第１の直線が前記第１の方向と直交する平面に平行になるように前記駆動部を制御し、前記撮像部によって撮像された前記第１から第４の基準点の画像を用いて前記貼り合せズレ量を求める制御部とを備える、測定装置。
2. 前記制御部は、前記第１および第２の基準点の画像を用いて、前記貼り合せ部材を前記第１の方向から見たときの前記第１および第２の基準点間の距離を求め、前記距離が最大になるように前記駆動部を制御することにより、前記第１の直線を前記平面に平行にする、請求項１に記載の測定装置。
3. 前記第１から第４の基準点は、前記第１および第２の基板の貼り合せズレ量が０である場合に前記貼り合せ部材を前記第１の方向からみたときに、前記第１の直線と、前記第３および第４の基準点を通る第２の直線とが重なる点である、請求項１または請求項２に記載の測定装置。
4. 前記制御部は、前記第１から第４の基準点の画像を用いて、前記第１および第２の基準点の中間点と前記第３および第４の基準点の中間点との間の距離と、前記第１および第２の直線間の角度とを前記貼り合せズレ量として求める、請求項３に記載の測定装置。
5. 前記貼り合せ部材は、曲面形状を有する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の測定装置。
6. 前記支持部によって支持された前記貼り合せ部材を前記第１の方向から見た場合に、前記貼り合せ部材は、前記平面に平行な第２の方向に延在する辺を有する矩形であり、前記第１および第２の基準点は、前記第２の方向に配列され、前記第３および第４の基準点は、前記第２の方向に配列され、
   前記支持部によって支持された前記貼り合せ部材を、前記平面に平行であって前記第２の方向に直交する第３の方向から見た場合に、前記貼り合せ部材は、前記第２の方向にロールしており、
   前記支持部は、前記第３の方向に延在する回転中心軸を有する、請求項５に記載の測定装置。
7. 互いに貼り合わされた第１および第２の基板を含む貼り合せ部材の貼り合せズレ量を測定する測定方法であって、
   前記第１の基板は、第１および第２の基準点を有し、
   前記第２の基板は、第３および第４の基準点を有し、
   前記貼り合せ部材は、支持部によって回動可能に支持され、
   前記測定方法は、
   前記第１および第２の基準点を通る直線が予め定められた平面に平行になるように前記貼り合せ部材を回動させるステップと、
   前記第１から第４の基準点を前記平面に直交する方向から撮像し、撮像された画像を用いて前記貼り合せズレ量を求めるステップとを含む、測定方法。

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