JP2839009B2 - 位置合わせ用カメラの自動校正方法 - Google Patents
位置合わせ用カメラの自動校正方法Info
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- JP2839009B2 JP2839009B2 JP10261796A JP10261796A JP2839009B2 JP 2839009 B2 JP2839009 B2 JP 2839009B2 JP 10261796 A JP10261796 A JP 10261796A JP 10261796 A JP10261796 A JP 10261796A JP 2839009 B2 JP2839009 B2 JP 2839009B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- axis
- cross mark
- stage
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は位置合わせ用カメラ
の自動校正方法、特に、移動機構を有する位置合わせ用
カメラの自動校正方法に関する。
の自動校正方法、特に、移動機構を有する位置合わせ用
カメラの自動校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の位置合わせ用カメラの自動校正方
法について図面を参照して詳細に説明する。
法について図面を参照して詳細に説明する。
【０００３】図４（ａ），（ｂ）は、従来の一例を示す
模式図である。ロボット１１０に円形の穴からなるター
ゲット１１２が配された板１１１を持たせ、これをカメ
ラ１１３によって撮像する。このときターゲット１１２
の重心位置が視覚装置１１４に設けられたモニタ１１５
の中心に来るように、視覚装置１１４によりロボットコ
ントローラ１１６を介してロボット１１０を制御する。
このようにしてターゲット１１２がモニタ１１５の中心
と一致したときのロボット座標を記憶する（この記憶は
ロボット１１０から視覚装置１１４へデータを送信し、
記憶する）（例えば、特開平３−２０９１０８号公報参
照）。
模式図である。ロボット１１０に円形の穴からなるター
ゲット１１２が配された板１１１を持たせ、これをカメ
ラ１１３によって撮像する。このときターゲット１１２
の重心位置が視覚装置１１４に設けられたモニタ１１５
の中心に来るように、視覚装置１１４によりロボットコ
ントローラ１１６を介してロボット１１０を制御する。
このようにしてターゲット１１２がモニタ１１５の中心
と一致したときのロボット座標を記憶する（この記憶は
ロボット１１０から視覚装置１１４へデータを送信し、
記憶する）（例えば、特開平３−２０９１０８号公報参
照）。
【０００４】次に自動校正手順を説明する。まず、ロボ
ット１１０をロボット座標のＸ，ＹＺ軸のうち一軸の方
向にのみ位置変化させる。この時の移動量はターゲット
１１２がカメラ１１３の視野から外れない値とし、その
値はあらかじめ分っているものとする。この操作によっ
て、ある一軸上を移動させたときのモニタ画面１画素あ
たりの概略の分解能を知ることができる。同様にして、
他の２軸上を移動させたときのモニタ画面１画素あたり
の概略の分解能を知ることができる。
ット１１０をロボット座標のＸ，ＹＺ軸のうち一軸の方
向にのみ位置変化させる。この時の移動量はターゲット
１１２がカメラ１１３の視野から外れない値とし、その
値はあらかじめ分っているものとする。この操作によっ
て、ある一軸上を移動させたときのモニタ画面１画素あ
たりの概略の分解能を知ることができる。同様にして、
他の２軸上を移動させたときのモニタ画面１画素あたり
の概略の分解能を知ることができる。
【０００５】モニタ１１５上に写ったターゲット１１２
の重心位置をｘ，ｙとしてモニタ中心の位置をｘ0 ，ｙ
0 とするとターゲット１１２を図４（ｂ）に示すよう
に、モニタ１１５の中心にもってくるためには次の量だ
けターゲットを移動しなければならない。
の重心位置をｘ，ｙとしてモニタ中心の位置をｘ0 ，ｙ
0 とするとターゲット１１２を図４（ｂ）に示すよう
に、モニタ１１５の中心にもってくるためには次の量だ
けターゲットを移動しなければならない。
【０００６】ｘ−ｘ0 ＝Δｘ ｙ−ｙ0 ＝Δｙ ここで、それぞれの軸の１画素あたりの分解能にΔｘ，
Δｙを乗ずることによってロボット１１０をモニタ１１
５の中心に移動させることができる。このとき、ロボッ
ト１１０を移動させる変数は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の２種類
あるが、カメラの光軸に最も近い軸（平行な軸）の座標
を変数として制御する。このようにしてターゲット１１
２がモニタ１１５の衷心に合う位置の座標を求めて
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）1 として記憶し、カメラ１１３の軸方向
に移動させながら（Ｘ，Ｙ，Ｚ）n 点を求め、これら求
められた点をもとに最小二乗法により直線を求めること
によって該直線の方向余絃を知ることができる。すなわ
ち、求めた直線を光軸として定義することにより、カメ
ラの設置方向を求めることができる。
Δｙを乗ずることによってロボット１１０をモニタ１１
５の中心に移動させることができる。このとき、ロボッ
ト１１０を移動させる変数は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の２種類
あるが、カメラの光軸に最も近い軸（平行な軸）の座標
を変数として制御する。このようにしてターゲット１１
２がモニタ１１５の衷心に合う位置の座標を求めて
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）1 として記憶し、カメラ１１３の軸方向
に移動させながら（Ｘ，Ｙ，Ｚ）n 点を求め、これら求
められた点をもとに最小二乗法により直線を求めること
によって該直線の方向余絃を知ることができる。すなわ
ち、求めた直線を光軸として定義することにより、カメ
ラの設置方向を求めることができる。
【０００７】従来の技術は、位置合わせをする対象が載
るステージのＸ，Ｙ各軸とカメラ視野のＸ，Ｙ軸の校正
に関しては問題としておらず、それらが平行直角である
ことを前提として、光軸の自動校正を行なっている。
るステージのＸ，Ｙ各軸とカメラ視野のＸ，Ｙ軸の校正
に関しては問題としておらず、それらが平行直角である
ことを前提として、光軸の自動校正を行なっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の位置合
わせ用カメラの自動校正方法は、カメラ・ステージ軸
と、カメラ視野の軸を一旦合わせても、ズーミングやフ
オーカシング等でズレが発生するので、時間のかかる再
調整作業が必要となるという欠点があった。
わせ用カメラの自動校正方法は、カメラ・ステージ軸
と、カメラ視野の軸を一旦合わせても、ズーミングやフ
オーカシング等でズレが発生するので、時間のかかる再
調整作業が必要となるという欠点があった。
【０００９】第１の発明の位置合わせ用カメラの自動校
正方法は、ワーク搭載面の１隅に設けられた十字マーク
においてＸ−Ｙステージのそれぞれの軸であるＸｓ軸と
Ｙｓ軸に十字マークの腕がそれぞれ平行でありかつ腕同
志は直交している十字マークとＸ−ＹステージのＸｓ軸
に平行でありＹｓ軸に直交し前記ワーク搭載面を観測す
るカメラが取り付けられるカメラステージＸｃ軸と前記
カメラ視野内に設定されたＸｖ−Ｙｖ軸とのズレを校正
するために腕の長さＬわかっている前記十字マークを有
するＸ−Ｙステージと、前記カメラで取り込んだ像を画
像処理し十字マークの重心位置および十字マークの腕方
向を測定する画像処理装置を有する装置を用いた位置合
わせ用カメラの自動校正方法において， （Ａ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｓ）のなかに撮像十字マーク（８ａ）を納めるステッ
プと， （Ｂ）前記撮像十字マーク（８ａ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ１，ｙ１），方向θ１，腕の長さＬ１を
計測するステップと， （Ｃ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｔ）のなかに撮像十字マーク（８ｂ）を納めるステッ
プと， （Ｄ）前記撮像十字マーク（８ｂ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ２，ｙ２），方向θ２，腕の長さＬ２を
計測するステップと， （Ｅ）前記方向θ１と前記方向θ２との方向単純平均θ
３を計算するステップと， （Ｆ）前記重心位置（ｘ１，ｙ１）と前記重心位置（ｘ
２，ｙ２）を通過する直線とカメラ軸Ｘｃとの角度βを
計算するステップと， （Ｇ）前記方向単純平均θ３と前記角度βを用いて、α
＝９０−θ３−βの式に当てはめ前記Ｘｓ軸と前記カメ
ラ・ステージＸｃ軸の角度αを求め，前記腕の長さＬ１
と前記腕の長さＬ２の単純平均を求め十字マークの腕の
長さＬ３を算出するステップと、を含んで構成される。
正方法は、ワーク搭載面の１隅に設けられた十字マーク
においてＸ−Ｙステージのそれぞれの軸であるＸｓ軸と
Ｙｓ軸に十字マークの腕がそれぞれ平行でありかつ腕同
志は直交している十字マークとＸ−ＹステージのＸｓ軸
に平行でありＹｓ軸に直交し前記ワーク搭載面を観測す
るカメラが取り付けられるカメラステージＸｃ軸と前記
カメラ視野内に設定されたＸｖ−Ｙｖ軸とのズレを校正
するために腕の長さＬわかっている前記十字マークを有
するＸ−Ｙステージと、前記カメラで取り込んだ像を画
像処理し十字マークの重心位置および十字マークの腕方
向を測定する画像処理装置を有する装置を用いた位置合
わせ用カメラの自動校正方法において， （Ａ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｓ）のなかに撮像十字マーク（８ａ）を納めるステッ
プと， （Ｂ）前記撮像十字マーク（８ａ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ１，ｙ１），方向θ１，腕の長さＬ１を
計測するステップと， （Ｃ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｔ）のなかに撮像十字マーク（８ｂ）を納めるステッ
プと， （Ｄ）前記撮像十字マーク（８ｂ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ２，ｙ２），方向θ２，腕の長さＬ２を
計測するステップと， （Ｅ）前記方向θ１と前記方向θ２との方向単純平均θ
３を計算するステップと， （Ｆ）前記重心位置（ｘ１，ｙ１）と前記重心位置（ｘ
２，ｙ２）を通過する直線とカメラ軸Ｘｃとの角度βを
計算するステップと， （Ｇ）前記方向単純平均θ３と前記角度βを用いて、α
＝９０−θ３−βの式に当てはめ前記Ｘｓ軸と前記カメ
ラ・ステージＸｃ軸の角度αを求め，前記腕の長さＬ１
と前記腕の長さＬ２の単純平均を求め十字マークの腕の
長さＬ３を算出するステップと、を含んで構成される。
【００１０】第２の発明の位置合わせ用カメラの自動校
正方法は、第１の発明において、前記腕の長さＬと前記
腕の長さの測定値の単純平均Ｌ３との比率で求まる画像
の縮尺補正を行なった後、前記角度αだけ座標回転補正
をかける。
正方法は、第１の発明において、前記腕の長さＬと前記
腕の長さの測定値の単純平均Ｌ３との比率で求まる画像
の縮尺補正を行なった後、前記角度αだけ座標回転補正
をかける。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１２】図１，図２および図３は本発明の一実施形
態を示す流れ図，グラフおよびブロック図である。図
１，図２，図３に示す位置合わせ用カメラの自動校正方
法は、ワーク搭載面の１隅に設けられた十字マークにお
いてＸ−Ｙステージのそれぞれの軸であるＸｓ軸とＹｓ
軸に十字マークの腕がそれぞれ平行でありかつ腕同志は
直交している十字マークとＸ−ＹステージのＸｓ軸に平
行でありＹｓ軸に直交し前記ワーク搭載面を観測するカ
メラが取り付けられるカメラステージＸｃ軸と前記カメ
ラ視野内に設定されたＸｖ−Ｙｖ軸とのズレを校正する
ために腕の長さＬわかっている前記十字マークを有する
Ｘ−Ｙステージと、前記カメラで取り込んだ像を画像処
理し十字マークの重心位置および十字マークの腕方向を
測定する画像処理装置を有する装置を用いた位置合わせ
用カメラの自動校正方法において， （Ａ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野９
（視野Ｓとする）の例えば 右半分に撮像十字マーク（８
ａ）を納めるステップと， （Ｂ）前記撮像十字マーク（８ａ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ１，ｙ１），方向θ１，腕の長さＬ１を
計測するステップと， （Ｃ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野９
（視野Ｔとする）の例えば 左半分（Ｔ）に撮像十字マー
ク（８ｂ）を納めるステップと， （Ｄ）前記撮像十字マーク（８ｂ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ２，ｙ２），方向θ２，腕の長さＬ２を
計測するステップと， （Ｅ）前記方向θ１と前記方向θ２との方向単純平均θ
３を計算するステップと， （Ｆ）前記重心位置（ｘ１，ｙ１）と前記重心位置（ｘ
２，ｙ２）を通過する直線とカメラ軸Ｘｃとの角度βを
計算するステップと， （Ｇ）前記方向単純平均θ３と前記角度βを用いて、α
＝９０−θ３−βの式に当てはめ前記Ｘｓ軸と前記カメ
ラ・ステージＸｃ軸の角度αを求め，前記腕の長さＬ１
と前記腕の長さＬ２の単純平均を求め十字マークの腕の
長さＬ３を算出するステップと、を含んで構成される。
ステップ１０１の視野Ｓで十字マークの左半分を撮像し
た場合は、ステップ１ ０３で視野Ｔで十字マークの右半
分を撮像する。視野Ｓと視野Ｔとの合成イメージ上２つ
の十字マークの距離が離れていれば補正精度が向上する
ため、視野Ｓと視野Ｔでは逆サイドの半分の視野内に十
字マークを撮像する。
態を示す流れ図，グラフおよびブロック図である。図
１，図２，図３に示す位置合わせ用カメラの自動校正方
法は、ワーク搭載面の１隅に設けられた十字マークにお
いてＸ−Ｙステージのそれぞれの軸であるＸｓ軸とＹｓ
軸に十字マークの腕がそれぞれ平行でありかつ腕同志は
直交している十字マークとＸ−ＹステージのＸｓ軸に平
行でありＹｓ軸に直交し前記ワーク搭載面を観測するカ
メラが取り付けられるカメラステージＸｃ軸と前記カメ
ラ視野内に設定されたＸｖ−Ｙｖ軸とのズレを校正する
ために腕の長さＬわかっている前記十字マークを有する
Ｘ−Ｙステージと、前記カメラで取り込んだ像を画像処
理し十字マークの重心位置および十字マークの腕方向を
測定する画像処理装置を有する装置を用いた位置合わせ
用カメラの自動校正方法において， （Ａ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野９
（視野Ｓとする）の例えば 右半分に撮像十字マーク（８
ａ）を納めるステップと， （Ｂ）前記撮像十字マーク（８ａ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ１，ｙ１），方向θ１，腕の長さＬ１を
計測するステップと， （Ｃ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野９
（視野Ｔとする）の例えば 左半分（Ｔ）に撮像十字マー
ク（８ｂ）を納めるステップと， （Ｄ）前記撮像十字マーク（８ｂ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ２，ｙ２），方向θ２，腕の長さＬ２を
計測するステップと， （Ｅ）前記方向θ１と前記方向θ２との方向単純平均θ
３を計算するステップと， （Ｆ）前記重心位置（ｘ１，ｙ１）と前記重心位置（ｘ
２，ｙ２）を通過する直線とカメラ軸Ｘｃとの角度βを
計算するステップと， （Ｇ）前記方向単純平均θ３と前記角度βを用いて、α
＝９０−θ３−βの式に当てはめ前記Ｘｓ軸と前記カメ
ラ・ステージＸｃ軸の角度αを求め，前記腕の長さＬ１
と前記腕の長さＬ２の単純平均を求め十字マークの腕の
長さＬ３を算出するステップと、を含んで構成される。
ステップ１０１の視野Ｓで十字マークの左半分を撮像し
た場合は、ステップ１ ０３で視野Ｔで十字マークの右半
分を撮像する。視野Ｓと視野Ｔとの合成イメージ上２つ
の十字マークの距離が離れていれば補正精度が向上する
ため、視野Ｓと視野Ｔでは逆サイドの半分の視野内に十
字マークを撮像する。
【００１３】実際に校正を行う場合は，まず、あらかじ
め判明している十字マークの腕の長さＬと、測定した腕
の長さＬ３との比率で求まる画像の縮尺補正を行い，そ
の後に角度αだけ座標回転補正をかけることで可能とな
る．本発明の校正方法を利用する装置は，対象とする物
を乗せるＸ−Ｙステージ部１０に位置合わせ校正用の十
字マーク８を有する．十字マーク８の縦および横の線
は，ステージ部１０のＸｓ，Ｙｓ軸にそれぞれ平行直角
が保証されているものである．十字マーク８の位置は，
カメラ・ステージ６の可動範囲でカメラ４を移動させた
上で，カメラ４の視野に入るステージ部１０の任意の位
置である．実施例では，カメラ・ステージ部６はＸ軸の
場合について記述しているが，Ｙ軸でも同様に校正する
ことは可能である。
め判明している十字マークの腕の長さＬと、測定した腕
の長さＬ３との比率で求まる画像の縮尺補正を行い，そ
の後に角度αだけ座標回転補正をかけることで可能とな
る．本発明の校正方法を利用する装置は，対象とする物
を乗せるＸ−Ｙステージ部１０に位置合わせ校正用の十
字マーク８を有する．十字マーク８の縦および横の線
は，ステージ部１０のＸｓ，Ｙｓ軸にそれぞれ平行直角
が保証されているものである．十字マーク８の位置は，
カメラ・ステージ６の可動範囲でカメラ４を移動させた
上で，カメラ４の視野に入るステージ部１０の任意の位
置である．実施例では，カメラ・ステージ部６はＸ軸の
場合について記述しているが，Ｙ軸でも同様に校正する
ことは可能である。
【００１４】中央演算部１は，記憶部２に格納されてい
る前記フローを実現するプログラムが格納されており，
該プログラムの手順にしたがって，ステージ制御部５と
画像処理部３を制御し，十字マーク８を画像処理した結
果を入力し，その結果からカメラ校正用のパラメータを
計算する．さらに，該パラメータを記憶部２に格納し，
実際にステージの稼働軸を動作させる際の補正パラメー
タとする。
る前記フローを実現するプログラムが格納されており，
該プログラムの手順にしたがって，ステージ制御部５と
画像処理部３を制御し，十字マーク８を画像処理した結
果を入力し，その結果からカメラ校正用のパラメータを
計算する．さらに，該パラメータを記憶部２に格納し，
実際にステージの稼働軸を動作させる際の補正パラメー
タとする。
【００１５】画像処理部３は，取り込んだ画像を画像処
理し，十字マークの重心位置および方向と腕の長さを計
測するものである。
理し，十字マークの重心位置および方向と腕の長さを計
測するものである。
【００１６】カメラ４は，その十字マーク８を十分視野
に取り込める大きさの視野を持ち，カメラ視野のＸｖ，
Ｙｖ軸がカメラ・ステージ部６のＸｓ，Ｙｓ軸とそれぞ
れある程度の平行度はあるものとする．角度θは、十字
マークの腕とカメラ軸Ｘｖとの角度であり、すなわち、
ステージ軸Ｙｓとカメラ軸Ｘｖとの角度である。角度β
は同一カメラで撮像した２つの十字マークの重心がなす
直線とカメラ軸Ｘｖとのなす角度である。また、十字マ
ークは、カメラステージ軸と平行に移動するため、２つ
の十字マークの重心がなす直線とカメラステージ軸とは
平行である。よって、角度βはカメラステージ軸Ｘｃと
カメラ軸Ｘｖのなす角度になる。角度αは、カメラステ
ージ軸ＸｃとＸ−Ｙステージのカメラステージ軸Ｘｃと
ほぼ平行な軸（Ｘｓ軸）とがなす角度である。同一カメ
ラで撮像した２つの十字マークがなす直線とカメラステ
ージＸｓ軸とのなす角度と等しい。
に取り込める大きさの視野を持ち，カメラ視野のＸｖ，
Ｙｖ軸がカメラ・ステージ部６のＸｓ，Ｙｓ軸とそれぞ
れある程度の平行度はあるものとする．角度θは、十字
マークの腕とカメラ軸Ｘｖとの角度であり、すなわち、
ステージ軸Ｙｓとカメラ軸Ｘｖとの角度である。角度β
は同一カメラで撮像した２つの十字マークの重心がなす
直線とカメラ軸Ｘｖとのなす角度である。また、十字マ
ークは、カメラステージ軸と平行に移動するため、２つ
の十字マークの重心がなす直線とカメラステージ軸とは
平行である。よって、角度βはカメラステージ軸Ｘｃと
カメラ軸Ｘｖのなす角度になる。角度αは、カメラステ
ージ軸ＸｃとＸ−Ｙステージのカメラステージ軸Ｘｃと
ほぼ平行な軸（Ｘｓ軸）とがなす角度である。同一カメ
ラで撮像した２つの十字マークがなす直線とカメラステ
ージＸｓ軸とのなす角度と等しい。
【００１７】この角度を用いて、Ｘ−Ｙステージ座標系
とカメラ座標系との補正を行なう。
とカメラ座標系との補正を行なう。
【００１８】したがって、θとαとβとを加えるとステ
ージ軸ＸｓとＹｓのなす角度，すなわち直角になり、画
像処理から、角度θと角度βを求めることが可能なた
め、角度αはα＝９０−θ−βで求めることができる。
本例では、θを平均値θ３として説明している。
ージ軸ＸｓとＹｓのなす角度，すなわち直角になり、画
像処理から、角度θと角度βを求めることが可能なた
め、角度αはα＝９０−θ−βで求めることができる。
本例では、θを平均値θ３として説明している。
【００１９】
【発明の効果】本発明の位置合わせ用カメラの自動校正
方法は、カメラをカメラ・ステージに沿って動かし基準
マークを２箇所で取り込み画像処理することで各軸の角
度成分のズレを補正するパラメータを求め、求めたパラ
メータを使い一般的な回転座標変換を行いているので、
位置合わせ用カメラの自動校正を行うことが容易にでき
るという効果がある。
方法は、カメラをカメラ・ステージに沿って動かし基準
マークを２箇所で取り込み画像処理することで各軸の角
度成分のズレを補正するパラメータを求め、求めたパラ
メータを使い一般的な回転座標変換を行いているので、
位置合わせ用カメラの自動校正を行うことが容易にでき
るという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す流れ図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を示すグラフである。
【図３】本発明の第１の実施形態を示すブロック図であ
る。
る。
【図４】（ａ），（ｂ）は従来の一例を示す模式図であ
る。
る。
１ 中央演算部 ２ 画像処理部 ３ 記憶部 ４ カメラ ５ スデージ制御部 ６ カメラステージ ８ 十字マーク ９ カメラ視野 １０ Ｘ−Ｙステージ
Claims (2)
- 【請求項１】 ワーク搭載面の１隅に設けられた十字マ
ークにおいてＸ−Ｙステージのそれぞれの軸であるＸｓ
軸とＹｓ軸に十字マークの腕がそれぞれ平行でありかつ
腕同志は直交している十字マークとＸ−ＹステージのＸ
ｓ軸に平行でありＹｓ軸に直交し前記ワーク搭載面を観
測するカメラが取り付けられるカメラステージＸｃ軸と
前記カメラ視野内に設定されたＸｖ−Ｙｖ軸とのズレを
校正するために腕の長さＬわかっている前記十字マーク
を有するＸ−Ｙステージと、前記カメラで取り込んだ像
を画像処理し十字マークの重心位置および十字マークの
腕方向を測定する画像処理装置を有する装置を用いた位
置合わせ用カメラの自動校正方法において， （Ａ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｓ）のなかに撮像十字マーク（８ａ）を納めるステッ
プと， （Ｂ）前記撮像十字マーク（８ａ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ１，ｙ１），方向θ１，腕の長さＬ１を
計測するステップと， （Ｃ）前記カメラ・ステージを微動させカメラ視野
（Ｔ）のなかに撮像十字マーク（８ｂ）を納めるステッ
プと， （Ｄ）前記撮像十字マーク（８ｂ）を画像処理して、そ
の重心位置（ｘ２，ｙ２），方向θ２，腕の長さＬ２を
計測するステップと， （Ｅ）前記方向θ１と前記方向θ２との方向単純平均θ
３を計算するステップと， （Ｆ）前記重心位置（ｘ１，ｙ１）と前記重心位置（ｘ
２，ｙ２）を通過する直線とカメラ軸Ｘｃとの角度βを
計算するステップと， （Ｇ）前記方向単純平均θ３と前記角度βを用いて、α
＝９０−θ３−βの式に当てはめ前記Ｘｓ軸と前記カメ
ラ・ステージＸｃ軸の角度αを求め，前記腕の長さＬ１
と前記腕の長さＬ２の単純平均を求め十字マークの腕の
長さＬ３を算出するステップと、 を含むことを特徴とする位置合わせ用カメラの自動校正
方法。 - 【請求項２】 前記腕の長さＬと前記腕の長さの測定値
の単純平均Ｌ３との比率で求まる画像の縮尺補正を行な
った後、前記角度αだけ座標回転補正をかける請求項１
記載の位置合わせ用カメラの自動校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10261796A JP2839009B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 位置合わせ用カメラの自動校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10261796A JP2839009B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 位置合わせ用カメラの自動校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09287919A JPH09287919A (ja) | 1997-11-04 |
| JP2839009B2 true JP2839009B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=14332216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10261796A Expired - Lifetime JP2839009B2 (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 位置合わせ用カメラの自動校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839009B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106651964A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-05-10 | 嘉兴锐视智能科技有限公司 | 激光相机的标定系统及标定装置 |
| CN110864671B (zh) * | 2018-08-28 | 2021-05-28 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 基于线结构光拟合平面的机器人重复定位精度测量方法 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP10261796A patent/JP2839009B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09287919A (ja) | 1997-11-04 |
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Legal Events
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980916 |