JP3614529B2 - 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 - Google Patents
計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3614529B2 JP3614529B2 JP24940395A JP24940395A JP3614529B2 JP 3614529 B2 JP3614529 B2 JP 3614529B2 JP 24940395 A JP24940395 A JP 24940395A JP 24940395 A JP24940395 A JP 24940395A JP 3614529 B2 JP3614529 B2 JP 3614529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image processing
- distance
- coordinate system
- xyθ table
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置に関し、特に、対象物の位置、寸法、面積などを計測する計測装置において演算制御手段の演算に必要なパラメータを計測する方法、およびそのような計測方法が採用された計測装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、画像処理装置により対象物の位置や寸法を検出し、さらに駆動装置を用いて対象物を移動させることにより、対象物のアライメント、寸法の計測、検査などを行なうアライメントシステムが知られている(図1参照)。このようなアライメントシステムは、たとえば液晶ガラス基板やプリント基板の高い位置精度でのアライメント作業(位置合わせ作業)や精密な寸法計測作業、検査作業に使用される。
【0003】
ところで、このようなアライメントシステムでは、実際に使用する前に、
(1) 画像処理装置内の座標系から駆動装置の座標系への座標変換に必要な係数の計測、
(2) 画像処理装置に入力される画像入力装置の駆動装置上での取付位置の計測、
(3) 画像入力装置や駆動装置の非線形な歪み量の計測、
を行なうことが必要である。
【0004】
これらの計測より求められるデータは、主に対象物のアライメント作業に用いられる。つまり、(1)で計測されるデータは画像処理装置の位置データを駆動装置の移動量に変換する際に必要とされる。(2)で計測されるデータは対象物の回転方向に対するアライメント移動量を算出する際に用いられる。(3)で計測されるデータは、光学系や駆動装置の非線形歪みがアライメント後の位置決め精度に及ぼす影響を軽減するために用いられる。
【0005】
なお、これらの計測データは、アライメント作業のみではなく画像処理装置を利用した寸法計測や対象物の形状の検査などの用途に応用することも可能である。
【0006】
以下、従来の上記(1)〜(3)の計測方法について説明する。
(1)の計測について
従来の、画像処理装置内の座標系から駆動装置の座標系への座標変換に必要な係数の計測方法では、画像処理装置内の座標系の座標軸と駆動装置の座標系の座標軸に沿った方向の寸法の倍率(a,b)と、2つの座標系のなす傾き角度θとを係数として各々を別々に計測していた。
【0007】
具体的には、図10に示すように、既知の寸法(横x,縦y)の対象物(物体)30の画像を画像処理装置に入力し、画像処理装置により得られる寸法情報(横h,縦v)との比(x/h,y/v)を変換係数(a,b)として求めたり、図11に示すように、光学倍率を自由に変えられる光学系により既知の寸法の対象物30の画像を画像処理装置に入力し、画像処理装置により得られる寸法情報(h,v)が既知の寸法と一致するように光学系を調整したりしていた。
【0008】
また、2つの座標系のなす傾き角度θの情報を得るためには、図12に示すように、駆動装置の座標軸に平行となる対象物31の画像を画像処理装置に入力し、画像の傾きから画像処理装置の座標系の傾きを求めたり、機械的に2つの座標系の傾きをなくすため駆動装置の座標軸と平行となる対象物31の画像を画像処理装置に入力し光学系などの取付状態を2つの座標系が平行になるように調整したりしていた。
【0009】
(2)の計測について
また、従来の画像入力装置の駆動装置上での取付位置の計測方法では、装置の設計情報を基に取付位置を算出していた。
【0010】
(3)の計測について
また、従来の画像入力装置や駆動装置の非線形な歪み量の計測方法では、それぞれ専用の計測機器を用いて、光学装置の光学的な歪みの計測を行なったり、駆動装置の機械的な位置決め精度の計測を行なっていた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の上記(1)〜(3)の計測方法には、以下の問題があった。
【0012】
(1)の計測について
従来の、画像処理装置内の座標系から駆動装置の座標系への座標変換に必要な係数の計測方法には、▲1▼変換係数算出のための演算を行なう必要がある、▲2▼得られた変換係数を検証するのが困難である、▲3▼光学倍率を変更することにより撮像される範囲が調整の過程で変化する、▲4▼光学倍率を正確に調整することが難しい、▲5▼取付状態を精密に調整する必要があり、それに伴い調整機構が必要となる(特に光学倍率が高くなるほど困難となる)、▲6▼それらの計測の大前提として光学系光軸と駆動装置軸とを正確に直交させる必要があり、それに伴い調整機構が必要となる、などの問題があった。
【0013】
(2)の計測について
また、従来の、画像入力装置の駆動装置上での取付位置の計測方法には、設計上のデータから得られる位置と実際の位置は一致しないのが普通であり、もし、設計上のデータから得られる位置と実際の位置を一致させようとするなら、取付位置を精密に調整するための機構が必要となる、という問題があった。
【0014】
(3)の計測について
また、従来の、画像入力装置や駆動装置の非線形な歪み量の計測方法では、計測のための特別な装置が別途必要になり、その歪み量の影響を除去するためには光学的な歪みがない光学系や高い位置決め精度を持つ駆動機構を用いなければならない、という問題があった。
【0015】
このように、従来の計測方法では、主に対象物を固定した状態で計測を行ない、また、光学系などの機械的な調整を行なっていた。したがって、計測に手間を要し、計測結果の検証が難しかった。また、機械的な調整が難しく、そのために特別な機構を設けなくてはならなかった。
【0016】
それゆえに、この発明の主たる目的は、座標変換係数などの計測および計測結果の検証が簡単で、機械的な調整機構が不要な計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置では、xyθテーブルによって対象物を既知の方向に既知の距離だけ移動させ、その既知の方向および距離と画像処理手段の検出出力から得られる対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、画像処理手段内の2次元座標系からxyθテーブルの2次元座標系への座標変換に必要な係数を計測する。
【0018】
したがって、この方法および装置では、対象物を移動させて座標変換係数を計測するので、計測および計測結果の検証が従来より簡単になり、機械的な調整機構が不要となる。
【0019】
また、この計測装置の演算パラメータ、および計測装置では、xyθテーブルによって対象物を所定の角度だけ回転させ、その回転角度と画像処理手段の検出出力から得られる対象物の移動方向および出力距離とに基づいて、xyθテーブルの2次元座標系内における撮像手段の取付位置を計測する。
【0020】
したがって、この方法および装置では、対象物を移動させてxyθテーブルの2次元座標系内における撮像手段の取付位置を計測するので、計測および計測結果の検証が従来より簡単になり、機械的な調整機構が不要となる。
【0021】
また、この計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置では、対象物を移動させずに対象物の位置を検出した後、xyθテーブルによって対象物をx方向に既知の第1の距離だけ移動させるとともにy方向に既知の第2の距離だけ移動させて対象物の位置を検出し、検出結果に基づいて対象物のx方向の移動距離およびy方向の移動距離を算出し、算出結果と第1および第2の距離とに基づいて対象物の移動後の位置におけるxyθテーブルおよび撮像手段の非線形な歪み量を計測する。
【0022】
したがって、この方法および装置では、対象物を移動させてxyθテーブルおよび撮像手段の非線形な歪み量を計測するので、計測および計測結果の検証が従来より簡単になり、機械的な調整機構が不要となる。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施の形態によるアライメントシステムの構成を示すブロック図である。図1において、このアライメントシステムは、駆動装置1、画像入力装置3、画像処理装置4および制御装置5を備える。駆動装置1は、制御装置5から出力された移動情報に従って、対象物2を水平面内(2次元座標系内)の任意の位置に移動させ、回転させる。画像入力装置3は、駆動装置1の上方のある位置に固定され、対象物2を撮像するための光学系を備え、画像信号を出力する。画像処理装置4は、画像入力装置3から出力された画像信号に基づいて、画像の位置情報を出力する。制御装置5は、画像処理装置4から出力された位置情報に基づいて、駆動装置1へ移動情報を出力する。
【0025】
図2は、図1に示したアライメントシステムの具体的な構成を例示する斜視図である。図2において、このアライメントシステムは、図1の駆動装置1となるxyθテーブル6と、図1の画像入力装置3となるCCDカメラ10と、画像処理装置4と、図1の制御装置5となるホストコンピュータ11、アライメントコントローラ12およびドライバユニット13とを備える。
【0026】
xyθテーブル6は、固定台7と、固定台7上に移動可能に設けられた移動テーブル8と、固定台7の端部に固定された3つのアクチュエータ9とを含む。対象物2は移動テーブル8上に載置される。アクチュエータ9は、アライメントコントローラ12およびドライバユニット13の出力で制御され、移動テーブル8をx軸およびy軸方向に平行移動させるとともに、任意の座標を中心軸として移動テーブル8を回転させる。
【0027】
CCDカメラ10は、xyθテーブル6の上方のある位置に固定され、2次元の輝度信号を順に電気信号に変換して画像処理装置4へ出力する。画像処理装置4は、CCDカメラ10からの電気信号に基づいて画像の位置情報を求め、その位置情報をホストコンピュータ11に与える。
【0028】
ホストコンピュータ11は、システム全体を制御し、情報の処理を行なう。アライメントコントローラ12およびドライバユニット13は、ホストコンピュータ11によって制御され、xyθテーブル6のアクチュエータ9を駆動させる。
【0029】
以下、このアライメントシステムにおける上記(1)〜(3)の計測について説明する。計測用のプログラムは、図1の制御装置5(図2ではホストコンピュータ11)内に格納されている。
【0030】
(1)の計測について
図3は、画像処理装置4内の座標系から駆動装置1の座標系への座標変換の係数の計測方法を説明するための説明図、図4はその計測方法を示すフローチャートである。
【0031】
図3において、駆動装置1の座標系はX軸Y軸方向であり、画像処理装置4内の座標系はH軸V軸方向である。また、H軸方向からX軸方向になす角度をθとする。
【0032】
一般に画像処理装置4内の座標系から駆動装置1の座標系への座標変換は行列式により以下のように表わされる。
【0033】
【数1】
【0034】
行列式により表わされる1番目の座標変換の行列要素は−θ°の回転移動を意味しており、画像処理装置4内の座標系の軸と駆動装置1の座標系の軸とのなす傾き分を座標変換する。2番目の座標変換の行列要素はそれぞれの軸に沿った比例倍を意味しており、2つの座標系の2つの軸それぞれの単位長さの比を係数として座標変換する。3番目の座標変換の行列要素はV軸の向きを反転しY軸の方向と一致させる座標変換を意味している。
【0035】
3つの座標変換を合成した座標変換が画像処理装置4内の座標系から駆動装置1の座標系への座標変換であり、それらの行列要素をα,β,γ,δとし、これらを変換マトリックスの要素と呼ぶことにする。
【0036】
座標変換係数の計測においては、まず作業者は、制御装置5(図2ではホストコンピュータ11)を用いてシステムを座標変換係数計測モードに設定する。次いで、作業者は、対象物2上の測定点2a(たとえば液晶ガラス基板の位置合わせマーク)は画像処理装置4で座標計測が可能な範囲で移動しなくはならないため、X軸に沿った適当な移動量Δxと、Y軸に沿った適当な移動量Δyとを制御装置5に入力する。ただし、制御装置5が元々の画像の位置と光学系の倍率などから移動量Δx,Δyを概算し自動的に設定するようにプログラムすることも可能である。
【0037】
移動量Δx,Δyが入力されると、制御装置5は、座標変換係数の計測を自動的に行なう。すなわち、制御装置5は、ステップS1,S3,S5,S7において原点(0,0)から(+Δx/2,0),(−Δx/2,0),(0,+Δy/2),(0,−Δy/2)へと駆動装置1で対象物2を順次移動させ、ステップS2,S4,S6,S8において移動後の測定点2aの位置(c,d),(e,f),(g,h),(i,j)を画像処理装置4で計測し記憶していく。このとき計測される位置は画像処理装置4内の座標系上の座標値となる。
【0038】
最後に、制御装置5は、ステップS9において4つの座標値を用い次の式を用いて変換マトリックスの要素を算出する。
【0039】
α=nΔX/D,β=−mΔX/D,γ=−lΔY/D,Δ=kΔY/D
ただし、D=kn−lm≠0,k=c−e,l=d−f,m=g−i,n=h−jである。
【0040】
以上の手順により、画像処理装置4内の座標系から駆動装置2の座標系への座標変換マトリックスの要素が求められる。
【0041】
なお、変換マトリックスの要素値からさらに2つの座標系の傾きθと座標軸の倍率a,bを以下の式により算出することが可能である。
【0042】
θ1 =tan−1(−γ/α),θ2 =tan−1(+β/Δ)
a=α/cosθ=−γ/sinθ,b=−Δ/cosθ=−β/sinθ
a2 =α2 +γ2 ,b2 =β2 +Δ2
ここで、傾きθはθ1 ,θ2 の2通りの算出方法があり、理論的にはどちらの値も一致するのであるが、位置計測の計測誤差の影響により一致しない場合がある。実際にはアークタンジェントの分母の数値の絶対値が大きい値の方が誤差の影響を受けにくい。また、倍率a,bも同様に位置計測誤差の影響を受けやすい場合がある。
【0043】
(2)の計測について
図5は、画像入力装置3の駆動装置1上での取付位置の計測方法を説明するための説明図、図6はその計測方法を示すフローチャートである。
【0044】
この計測では、まず作業者が、制御装置5を用いてシステムを取付位置計測モードに設定し制御装置5に回転角Δθを入力する。Δθだけ対象物2を回転移動させたとき画像処理装置4でその位置を検出できなくてはならないので、Δθの値はそのことを考慮して設定する。ただし、制御装置5が画像の位置の情報と回転角との関係からΔθの値を自動的に設定するようにプログラムすることも可能である。
【0045】
回転角Δθが入力されると、制御装置5は、取付位置の計測を自動的に行なう。すなわち、制御装置5は、ステップS11において対象物2上の測定点2aの現在地A(Ax ,Ay )を画像処理装置4で計測し、記憶する。次いで、制御装置5は、ステップS12において駆動装置1で対象物2をΔθだけ回転移動させ、ステップS13において対象物2上の測定点2aの移動後の位置B(Bx ,By )を計測し、記憶する。
【0046】
最後に、制御装置5は、ステップS14において2つの位置情報を用いて画像入力装置3の取付位置を次の方法で算出する。
【0047】
点A,Bは回転の中心点O(図2ではxyθテーブル6の移動テーブル8の中心点)を中心とする同じ円周上に存在するので、点Oは線分ABの垂直二等分線上に存在する。この垂直二等分線をLとし、LのX軸とのなす角度をθとすると、点Aの座標は次の式で表わされる。
【0048】
Ax =R・cos(θ−Δθ/2),Ay =R・sin(θ−Δθ/2)…(式1)
また点Oから点Aまでの距離Rは、
【0049】
【数2】
【0050】
となる。ここで、Δx,Δyは、対象物2をΔθだけ回転移動させた際の位置の変動量である。
【0051】
次に、この位置の変動量を駆動装置1の座標系のデータに変換する。距離Rを上式1に代入することにより点Aの座標は次式で求められる。
【0052】
【数3】
【0053】
ここで、θの値はΔx,Δyより容易に算出可能である。また、回転移動量ΔθとΔx,Δyから回転中心を原点とする点Aの座標が求められる。回転中心は駆動装置1上の既知の点なので、点Aの駆動装置1上での座標すなわち画像入力装置3の取付位置が算出される。
【0054】
(3)の計測について
図7は、画像入力装置3や駆動装置1の非線形な歪み量(以下、補正量と称す)の計測方法を説明するための説明図、図8はその計測方法を示すフローチャートである。
【0055】
補正量は、対象物2をある既知の量(Δx,Δy)だけ駆動装置1で移動させたときに、移動前と移動後の画像処理装置4の位置の情報より計測される移動量と既知の量(Δx,Δy)の差を求めることにより計測される。
【0056】
この計測では、まず作業者が、制御装置5を用いてシステムを補正量計測モードに設定し、次いで、移動量(Δx,Δy)すなわち補正量を計測したい位置を入力する。この量を適当に変えながら多数点の計測を行なえば、図9に示すような位置と補正量の関係のグラフを得ることができる。このグラフにおいて、補正量の大きさは実際の値を10倍して示されている。
【0057】
移動量(Δx,Δy)が入力されると、まず制御装置5は、ステップS21において対象物2を移動させないで対象物2の測定点2aの位置を計測する。この位置A(Ax ,Ay )が基準(原点)となる。次に、制御装置5は、ステップS22において駆動装置1を(Δx,Δy)だけ移動させ、移動後の対象物2の測定点2aの位置B(Bx ,By )を計測する。
【0058】
最後に、制御装置5は、ステップS24において位置情報(Ax ,Ay ),(Bx ,By )から補正量C(x,y)を次式で求める。
【0059】
x=Δx−(Bx −Ax ),y=Δy−(By −Ay )
対象物2の測定点2aの位置を計測したとき、その位置に対する補正量が予め計測されていればそのまま計測データに補正データを加えれば、非線形歪みの影響を除去した計測結果が得られる。
【0060】
もし、その位置に対する補正量が予め計測されていない場合は、予め計測されている補正量の中からその位置に最近接する位置に対する補正量を利用したり、その近傍の補正量を利用して補正量の推定値を算出し補正量として加える方法がある。
【0061】
この実施の形態では、制御装置4の内部に座標変換係数などの計測手順をプログラミングしたので、従来に比べ計測を短時間で終えることができ、かつ繰り返し計測を行なってその統計データをとることにより計測結果の検証も容易に行なうことができる。
【0062】
また、従来必要不可欠であった機械的な微調整を行なわなくてもよいので、そのための特別な機構を設ける必要がない。
【0063】
また、座標変換係数などの計測はアライメントを行なう際に必要不可欠な計測であるため、アライメント作業の段取り替えが容易に行なえるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態によるアライメントシステムの構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示したアライメントシステムの具体的な構成を例示する斜視図である。
【図3】図1に示したアライメントシステムにおける座標変換係数の計測方法を説明するための説明図である。
【図4】図3で説明した座標変換係数の計測方法のフローチャートである。
【図5】図1に示したアライメントシステムにおける画像入力装置の取付位置の計測方法を説明するための説明図である。
【図6】図5で説明した画像入力装置の取付位置の計測方法のフローチャートである。
【図7】図1に示したアライメントシステムにおける補正量の計測方法を説明するための説明図である。
【図8】図7で説明した補正量の計測方法のフローチャートである。
【図9】図7で説明した方法で計測した補正量を例示する図である。
【図10】従来のアライメントシステムにおける画像処理装置内の座標系の座標軸と駆動装置の座標系の座標軸に沿った方向の寸法の倍率を計測する方法を説明するための説明図である。
【図11】従来のアライメントシステムにおける画像処理装置内の座標系の座標軸と駆動装置の座標系の座標軸に沿った方向の寸法を一致させる方法を説明するための説明図である。
【図12】従来のアライメントシステムにおける画像処理装置内の座標系と駆動装置の座標系とがなす傾き角度を計測する方法を説明するための説明図である。
【符号の説明】
1 駆動装置
2,30,31 対象物
3 画像入力装置
4 画像処理装置
5 制御装置
6 xyθテーブル
10 CCDカメラ
11 ホストコンピュータ
12 アライメントコントローラ
13 ドライバユニット
Claims (2)
- 対象物を2次元座標系内で平行移動および回転させるためのxyθテーブル、
前記対象物を撮像するための撮像手段、
前記撮像手段の撮像出力に基づいて、前記対象物の2次元座標系内における位置を検出するための画像処理手段、および
前記画像処理手段の検出出力に基づいて演算処理を行なうとともに前記各手段を制御する演算制御手段を備え、
前記対象物の位置、寸法、面積などを計測する計測装置において、前記演算制御手段の演算に必要なパラメータを計測する方法であって、
前記xyθテーブルによって前記対象物を既知の方向に既知の距離だけ移動させ、その既知の方向および距離と前記画像処理手段の検出出力から得られる前記対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、前記画像処理手段内の2次元座標系から前記xyθテーブルの2次元座標系への座標変換に必要な係数を計測し、
前記xyθテーブルによって前記対象物を所定の角度だけ回転させ、その回転角度と前記画像処理手段の検出出力から得られる前記対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、前記撮像手段の前記xyθテーブルの2次元座標系内における取付位置を計測し、
前記対象物を移動させずに前記対象物の位置を検出した後、前記xyθテーブルによって前記対象物をx方向に既知の第1の距離だけ移動させるとともにy方向に既知の第2の距離だけ移動させて前記対象物の位置を検出し、検出結果に基づいて前記対象物の前記x方向の移動距離および前記y方向の移動距離を算出し、算出結果と前記第1および第2の距離とに基づいて前記対象物の移動後の位置における前記xyθテーブルおよび前記撮像手段の非線形な歪み量を計測することを特徴とする、計測装置の演算パラメータ計測方法。 - 対象物を2次元座標系内で平行移動および回転させるためのxyθテーブル、
前記対象物を撮像するための撮像手段、
前記撮像手段の撮像出力に基づいて、前記対象物の2次元座標系内における位置を検出するための画像処理手段、および
前記画像処理手段の検出出力に基づいて演算処理を行なうとともに前記各手段を制御する演算制御手段を備え、
前記対象物の位置、寸法、面積などを計測する計測装置において、
前記演算制御手段は、前記xyθテーブルによって前記対象物を既知の方向に既知の距離だけ移動させ、その既知の方向および距離と前記画像処理手段の検出出力から得られる前記対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、前記画像処理手段内の2次元座標系から前記xyθテーブルの2次元座標系への座標変換に必要な係数を計測し、
前記xyθテーブルによって前記対象物を所定の角度だけ回転させ、その回転角度と前記画像処理手段の検出出力から得られる前記対象物の移動方向および移動距離とに基づいて、前記撮像手段の前記xyθテーブルの2次元座標系内における取付位置を計測し、
前記対象物を移動させずに前記対象物の位置を検出した後、前記xyθテーブルによって前記対象物をx方向に既知の第1の距離だけ移動させるとともにy方向に既知の第2の距離だけ移動させて前記対象物の位置を検出し、検出結果に基づいて前記対象物の前記x方向の移動距離および前記y方向の移動距離を算出し、算出結果と前記第1および第2の距離とに基づいて前記対象物の移動後の位置における前記xyθテーブルおよび前記撮像手段の非線形な歪み量を計測することを特徴とする、計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24940395A JP3614529B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24940395A JP3614529B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989527A JPH0989527A (ja) | 1997-04-04 |
JP3614529B2 true JP3614529B2 (ja) | 2005-01-26 |
Family
ID=17192469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24940395A Expired - Lifetime JP3614529B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3614529B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7305112B2 (en) * | 2002-10-15 | 2007-12-04 | The Scripps Research Institute | Method of converting rare cell scanner image coordinates to microscope coordinates using reticle marks on a sample media |
JP5487722B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2014-05-07 | ソニー株式会社 | 撮像装置と振れ補正方法 |
JP5629540B2 (ja) * | 2010-09-28 | 2014-11-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | アライメントユニット、基板処理装置、およびアライメント方法 |
CN105115450A (zh) * | 2015-09-16 | 2015-12-02 | 安庆市宜秀区永兴农机农艺综合发展专业合作社 | 一种农业机械作业面积测量仪 |
JP6696693B2 (ja) * | 2017-01-04 | 2020-05-20 | 株式会社東芝 | 回転ずれ量検出装置、物体検知センサ、回転ずれ量検出システム、回転ずれ量検出方法及び回転ずれ量検出プログラム |
CN113432561B (zh) * | 2021-08-02 | 2023-10-13 | 思看科技(杭州)股份有限公司 | 数据处理方法和三维扫描系统 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6052170A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-25 | Fuji Electric Co Ltd | 座標傾き補正方式 |
JPH0762863B2 (ja) * | 1985-09-06 | 1995-07-05 | 株式会社日立製作所 | 画像歪の補正方法 |
JPS63254575A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-10-21 | Fanuc Ltd | 視覚センサのキヤリブレ−シヨン装置 |
JPS6467606A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | Converting method for vision coordinates into robot coordinates |
JPH07117403B2 (ja) * | 1988-10-12 | 1995-12-18 | 松下電器産業株式会社 | ロボットの視覚座標校正方法およびシステム |
JPH0621772B2 (ja) * | 1989-02-06 | 1994-03-23 | 日本電信電話株式会社 | Tvカメラの内部パラメータの較正方法 |
JP3271813B2 (ja) * | 1993-02-08 | 2002-04-08 | オリンパス光学工業株式会社 | 画像計測装置用キャリブレーション方法とキャリブレーション装置 |
JP3339090B2 (ja) * | 1993-02-25 | 2002-10-28 | ソニー株式会社 | 位置検出方法 |
JPH07140088A (ja) * | 1993-11-15 | 1995-06-02 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法 |
JP3419870B2 (ja) * | 1994-01-11 | 2003-06-23 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 視覚認識装置の認識用光学系のキャリブレーション方法及びその方法を用いた視覚認識装置 |
JP2835274B2 (ja) * | 1994-02-24 | 1998-12-14 | 株式会社テック | 画像認識装置 |
-
1995
- 1995-09-27 JP JP24940395A patent/JP3614529B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0989527A (ja) | 1997-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9857786B2 (en) | System and method for aligning a coordinated movement machine reference frame with a measurement system reference frame | |
US10751883B2 (en) | Robot system with supplementary metrology position coordinates determination system | |
EP3091405B1 (en) | Method, device and system for improving system accuracy of x-y motion platform | |
US10871366B2 (en) | Supplementary metrology position coordinates determination system for use with a robot | |
JP2865723B2 (ja) | 再現可能な位置決めの誤差を修正する方法及び装置 | |
JP6421722B2 (ja) | 画像処理装置、校正方法および校正プログラム | |
TWI667090B (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP3614529B2 (ja) | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 | |
EP0653781A1 (en) | Method for co-registering semiconductor wafers undergoing work in one or more blind process modules | |
JP4345607B2 (ja) | 回転中心算出方法およびこの方法を用いたワーク位置決め装置 | |
JPH1051198A (ja) | 電子部品実装方法 | |
JP2012133122A (ja) | 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 | |
KR100765491B1 (ko) | 웨이퍼 자동 정렬 방법 | |
JP2003097943A (ja) | 移動ステージの真直度測定方法および装置とこれを用いた三次元形状測定機 | |
JP2003162308A (ja) | 作業装置の位置決め方法および装置 | |
JP3472553B2 (ja) | ギャップ調節装置及び調節方法 | |
JP2839009B2 (ja) | 位置合わせ用カメラの自動校正方法 | |
CN113280734B (zh) | 一种利用视觉标定修正手动位移台误差的方法 | |
JPH08181062A (ja) | 位置決め装置及び位置決め方法 | |
JPS6380529A (ja) | 半導体焼付け装置 | |
JP3095411B2 (ja) | Ccdカメラの校正方法 | |
CN116879320A (zh) | 一种电路板测量装置及其载具模组旋转坐标标定方法 | |
JP2548721Y2 (ja) | 自動キャリブレーション機能付ワーク位置決め装置 | |
JP3442496B2 (ja) | 位置認識方法、それを利用した検査方法及び装置、並びに制御方法及び装置 | |
JP2023040576A (ja) | 形状測定機及びその校正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041005 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071112 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091112 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091112 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101112 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111112 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121112 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121112 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |