JPH07140088A - 回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法 - Google Patents
回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法Info
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- JPH07140088A JPH07140088A JP5309945A JP30994593A JPH07140088A JP H07140088 A JPH07140088 A JP H07140088A JP 5309945 A JP5309945 A JP 5309945A JP 30994593 A JP30994593 A JP 30994593A JP H07140088 A JPH07140088 A JP H07140088A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 専用治具を用いることなく、ディスプレイ上
の１画素に対応するカメラの移動量を検出し、補正す
る。 【構成】 カメラ移動手段に回路基板Ｐに設けられてい
る基準マークＭの理論的な中心座標Ｍ１（ｘ１，ｙ１）
を与えて、その位置Ｍｉにカメラを移動させ、同基準マ
ークＭを撮像するとともに、画像処理手段にて基準マー
クＭの実際の中心座標Ｍ２（ｘ２，ｙ２）をその画素単
位で求めた後、カメラを画素単位でその基準マークＭ上
に移動させ、その際カメラ移動手段により回路基板上に
おけるカメラのＸ軸方向移動距離ｌｘとＹ軸方向の移動
距離ｌｙを得、ｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜およびｌｙ／｜ｙ
１−ｙ２｜の演算により、Ｘ軸方向とＹ軸方向それぞれ
についての上記カメラの画素単位あたりの移動量を検出
し、その値をもって１画素あたりのカメラ移動量を補正
する。
の１画素に対応するカメラの移動量を検出し、補正す
る。 【構成】 カメラ移動手段に回路基板Ｐに設けられてい
る基準マークＭの理論的な中心座標Ｍ１（ｘ１，ｙ１）
を与えて、その位置Ｍｉにカメラを移動させ、同基準マ
ークＭを撮像するとともに、画像処理手段にて基準マー
クＭの実際の中心座標Ｍ２（ｘ２，ｙ２）をその画素単
位で求めた後、カメラを画素単位でその基準マークＭ上
に移動させ、その際カメラ移動手段により回路基板上に
おけるカメラのＸ軸方向移動距離ｌｘとＹ軸方向の移動
距離ｌｙを得、ｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜およびｌｙ／｜ｙ
１−ｙ２｜の演算により、Ｘ軸方向とＹ軸方向それぞれ
についての上記カメラの画素単位あたりの移動量を検出
し、その値をもって１画素あたりのカメラ移動量を補正
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は回路基板検査装置にお
ける外観検査用カメラの単位移動量補正方法に関するも
のである。
ける外観検査用カメラの単位移動量補正方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】回路基板検査方法には、大別して電気的
に測定する方法とその外観から検査する方法とがある。
電気的測定においては、信号供給側のプローブと測定部
側のプローブとを被測定点に接触させて、その間の導通
状態や電流、電圧などを実際に計測するものであるた
め、信頼性の高い検査が行なえる。
に測定する方法とその外観から検査する方法とがある。
電気的測定においては、信号供給側のプローブと測定部
側のプローブとを被測定点に接触させて、その間の導通
状態や電流、電圧などを実際に計測するものであるた
め、信頼性の高い検査が行なえる。
【０００３】しかしながら、電気的検査では例えばチッ
プ部品やＩＣパッケージのリード端子などにおいて、一
応はハンダ付けはされて導通状態となっているものの、
その位置ずれやそれが剥がれ易い状態であるとかまでは
分からない。また、有極コンデンサの極性判別やバイパ
スコンデンサの有無なども電気的検査では検出し難い。
プ部品やＩＣパッケージのリード端子などにおいて、一
応はハンダ付けはされて導通状態となっているものの、
その位置ずれやそれが剥がれ易い状態であるとかまでは
分からない。また、有極コンデンサの極性判別やバイパ
スコンデンサの有無なども電気的検査では検出し難い。
【０００４】そこで、上記のような検査漏れのおそれが
ある場合には外観検査を行なうことになるが、目視によ
っていたのではきわめて能率が悪いため、カメラとその
画像処理によって自動的に外観検査を行なうようにした
例が図４に示されている。
ある場合には外観検査を行なうことになるが、目視によ
っていたのではきわめて能率が悪いため、カメラとその
画像処理によって自動的に外観検査を行なうようにした
例が図４に示されている。
【０００５】すなわち、まず検査基準としての良品基板
Ｐをカメラ１にて撮像し、画像処理装置２にてその画像
の特徴を抽出し、それを基準モデルとしてメモリに格納
する。この場合、画像の特徴抽出は、標準正規化相関法
や輪郭抽出法などにより行なわれ、例えは２値化データ
としてメモリに記憶される。
Ｐをカメラ１にて撮像し、画像処理装置２にてその画像
の特徴を抽出し、それを基準モデルとしてメモリに格納
する。この場合、画像の特徴抽出は、標準正規化相関法
や輪郭抽出法などにより行なわれ、例えは２値化データ
としてメモリに記憶される。
【０００６】検査にあたっては、被検査回路基板をカメ
ラ１にて撮像し、上記と同様に画像処理装置２にてその
画像の特徴を抽出するとともに、メモリから基準モデル
を読み出して両者の一致、不一致を比較判定する。この
比較判定は画像の重なり度合い（重複率）を得点化した
値によって判断され、例えばその得点値が予め設定され
ている基準得点値より大きい場合に良品と判定される。
ラ１にて撮像し、上記と同様に画像処理装置２にてその
画像の特徴を抽出するとともに、メモリから基準モデル
を読み出して両者の一致、不一致を比較判定する。この
比較判定は画像の重なり度合い（重複率）を得点化した
値によって判断され、例えばその得点値が予め設定され
ている基準得点値より大きい場合に良品と判定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このようにして、外観
検査を自動的に、かつ、短時間で行なうようにしている
が、ディスプレイ３の１画素あたりのカメラ１の移動量
（単位移動量）を求めるには次のようにしている。
検査を自動的に、かつ、短時間で行なうようにしている
が、ディスプレイ３の１画素あたりのカメラ１の移動量
（単位移動量）を求めるには次のようにしている。
【０００８】図５（Ａ）に示されているような例えば黒
丸図形が格子状に規則正しく並べられたテーブル４をカ
メラ１の真下に置き、その複数個の黒丸図形を撮像して
ディスプレイ３にそれを映し出す（同図（Ｂ）参照）。
なお、テーブル４の互いに隣り合う黒丸の中心間距離は
予めメートル単位で求められている。
丸図形が格子状に規則正しく並べられたテーブル４をカ
メラ１の真下に置き、その複数個の黒丸図形を撮像して
ディスプレイ３にそれを映し出す（同図（Ｂ）参照）。
なお、テーブル４の互いに隣り合う黒丸の中心間距離は
予めメートル単位で求められている。
【０００９】そして、ディスプレイ３に表示されている
任意の２つの黒丸の中心座標を画像処理（例えば、２値
化重心法など）によりその画素単位で求め、それら中心
座標間のＸ軸方向の画素数ｘ１およびＹ軸方向の画素数
ｙ１をそれぞれ求める。
任意の２つの黒丸の中心座標を画像処理（例えば、２値
化重心法など）によりその画素単位で求め、それら中心
座標間のＸ軸方向の画素数ｘ１およびＹ軸方向の画素数
ｙ１をそれぞれ求める。
【００１０】ここで、テーブル４における２つの黒丸間
のＸ軸方向の距離をｘ２、Ｙ軸方向の距離をｙ２（いず
れも既知）とすれば、ｘ２／ｘ１、ｙ２／ｙ１により、
単位画素あたりのカメラ１の移動量が検出され、この値
をもって位置補正などが行なわれる。
のＸ軸方向の距離をｘ２、Ｙ軸方向の距離をｙ２（いず
れも既知）とすれば、ｘ２／ｘ１、ｙ２／ｙ１により、
単位画素あたりのカメラ１の移動量が検出され、この値
をもって位置補正などが行なわれる。
【００１１】しかしながら、この従来法では上記テーブ
ルのような専用治具を必要とするばかりでなく、カメラ
の単位移動量を検出するたびに、その専用治具をカメラ
の真下位置にセットしなければならず、好ましくない。
ルのような専用治具を必要とするばかりでなく、カメラ
の単位移動量を検出するたびに、その専用治具をカメラ
の真下位置にセットしなければならず、好ましくない。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するためになされたもので、その構成上の特徴は、回
路基板と平行な平面内でＸ−Ｙ方向に移動し得る外観検
査用のカメラと、同カメラにて撮像された画像が表示さ
れるディスプレイを含む画像処理手段と、上記カメラを
Ｘ−Ｙ方向に移動させるカメラ移動手段とを備え、上記
ディスプレイの１画素に対応する上記カメラの単位移動
量を補正する回路基板検査装置における外観検査用カメ
ラの単位移動量補正方法であって、上記カメラ移動手段
に上記回路基板に設けられている基準マークの理論的な
中心座標（ｘ１，ｙ１）を与えて上記カメラをその位置
に移動させて、同基準マークを撮像するとともに、上記
画像処理手段にて同基準マークの実際の中心座標（ｘ
２，ｙ２）をその画素単位で求めた後、上記カメラを画
素単位でその中心座標（ｘ２，ｙ２）上に移動させて、
上記カメラ移動手段によりその際の上記回路基板上にお
ける上記カメラのＸ軸方向移動距離ｌｘとＹ軸方向の移
動距離ｌｙを得、ｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜およびｌｙ／｜
ｙ１−ｙ２｜の演算により、Ｘ軸方向とＹ軸方向それぞ
れについての上記カメラの１画素単位あたりの移動量を
検出し、この値をもって上記カメラの移動量を補正する
ことにある。なお、カメラ側を固定とし、回路基板側を
移動させるようにしてもよい。
決するためになされたもので、その構成上の特徴は、回
路基板と平行な平面内でＸ−Ｙ方向に移動し得る外観検
査用のカメラと、同カメラにて撮像された画像が表示さ
れるディスプレイを含む画像処理手段と、上記カメラを
Ｘ−Ｙ方向に移動させるカメラ移動手段とを備え、上記
ディスプレイの１画素に対応する上記カメラの単位移動
量を補正する回路基板検査装置における外観検査用カメ
ラの単位移動量補正方法であって、上記カメラ移動手段
に上記回路基板に設けられている基準マークの理論的な
中心座標（ｘ１，ｙ１）を与えて上記カメラをその位置
に移動させて、同基準マークを撮像するとともに、上記
画像処理手段にて同基準マークの実際の中心座標（ｘ
２，ｙ２）をその画素単位で求めた後、上記カメラを画
素単位でその中心座標（ｘ２，ｙ２）上に移動させて、
上記カメラ移動手段によりその際の上記回路基板上にお
ける上記カメラのＸ軸方向移動距離ｌｘとＹ軸方向の移
動距離ｌｙを得、ｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜およびｌｙ／｜
ｙ１−ｙ２｜の演算により、Ｘ軸方向とＹ軸方向それぞ
れについての上記カメラの１画素単位あたりの移動量を
検出し、この値をもって上記カメラの移動量を補正する
ことにある。なお、カメラ側を固定とし、回路基板側を
移動させるようにしてもよい。
【００１３】
【作用】例えば、回路基板の基準マークの中心座標が
（２００，３００）であるとすると、まず、カメラをそ
の座標位置に移動させ、その位置において基準マークを
撮像するとともに、画像処理（例えば、２値化重心法）
にて同基準マークの実際の中心座標を画素単位で求め
る。そして、その座標値が例えば（２０２，３０１）で
あったとすると、カメラはＣＰＵなどの制御手段にてＸ
軸方向に２画素分、Ｙ軸方向に１画素分移動させられ
る。その際の実際の移動距離がＸ軸方向２０μｍ、Ｙ軸
方向１０μｍであるとすれば、１画素あたりの移動量は
１０μｍに補正（キャリブレーション）される。
（２００，３００）であるとすると、まず、カメラをそ
の座標位置に移動させ、その位置において基準マークを
撮像するとともに、画像処理（例えば、２値化重心法）
にて同基準マークの実際の中心座標を画素単位で求め
る。そして、その座標値が例えば（２０２，３０１）で
あったとすると、カメラはＣＰＵなどの制御手段にてＸ
軸方向に２画素分、Ｙ軸方向に１画素分移動させられ
る。その際の実際の移動距離がＸ軸方向２０μｍ、Ｙ軸
方向１０μｍであるとすれば、１画素あたりの移動量は
１０μｍに補正（キャリブレーション）される。
【００１４】
【実施例】まず、図を参照しながら、この発明が適用さ
れる回路基板検査装置の一実施例について、その概略を
説明する。これによると、同回路基板検査装置はＸ軸に
沿って配向された例えば３つのガイドレール１０ａ〜１
０ｃとを備え、この各ガイドレール１０ａ〜１０ｃには
Ｙ軸方向に延びるアーム１１ａ〜１１ｃがそれぞれ同ガ
イドレールに沿ってＸ軸方向に移動可能に保持されてい
る。
れる回路基板検査装置の一実施例について、その概略を
説明する。これによると、同回路基板検査装置はＸ軸に
沿って配向された例えば３つのガイドレール１０ａ〜１
０ｃとを備え、この各ガイドレール１０ａ〜１０ｃには
Ｙ軸方向に延びるアーム１１ａ〜１１ｃがそれぞれ同ガ
イドレールに沿ってＸ軸方向に移動可能に保持されてい
る。
【００１５】そして、各アーム１１ａ〜１１ｃには、可
動部１２ａ〜１２ｃがそのＹ軸方向に沿って移動可能に
保持されており、詳しくは図示されていないが、その可
動部１２ａ〜１２ｃの各々には、プローブ１３ａ〜１３
ｃが回路基板Ｐに対して接触し得るように昇降自在に取
り付けられている。
動部１２ａ〜１２ｃがそのＹ軸方向に沿って移動可能に
保持されており、詳しくは図示されていないが、その可
動部１２ａ〜１２ｃの各々には、プローブ１３ａ〜１３
ｃが回路基板Ｐに対して接触し得るように昇降自在に取
り付けられている。
【００１６】アーム１１ａ〜１１ｃのいずれでもよい
が、この実施例においては、中間のアーム１１ｂにもう
一つの可動部１２ｄが同じくＹ軸方向に沿って移動可能
に保持され、同可動部１２ｄには図２に示されているよ
うに、回路基板Ｐの細部を任意の拡大倍率をもって撮像
し得る外観検査用のカメラ１４が取り付けられている。
が、この実施例においては、中間のアーム１１ｂにもう
一つの可動部１２ｄが同じくＹ軸方向に沿って移動可能
に保持され、同可動部１２ｄには図２に示されているよ
うに、回路基板Ｐの細部を任意の拡大倍率をもって撮像
し得る外観検査用のカメラ１４が取り付けられている。
【００１７】図示されていないが、ガイドレール１０ａ
〜１０ｃには各アーム１１ａ〜１１ｃをＸ軸方向に往復
動させるサーボモータを含む第１の移動手段が設けられ
ており、また、各アーム１１ａ〜１１ｃにも各可動部１
２ａ〜１２ｄをそのＹ軸方向に沿って往復動させるサー
ボモータを含む第２の移動手段が設けられている。
〜１０ｃには各アーム１１ａ〜１１ｃをＸ軸方向に往復
動させるサーボモータを含む第１の移動手段が設けられ
ており、また、各アーム１１ａ〜１１ｃにも各可動部１
２ａ〜１２ｄをそのＹ軸方向に沿って往復動させるサー
ボモータを含む第２の移動手段が設けられている。
【００１８】したがって、この第１および第２の移動手
段により、カメラ１４は各プローブ１３ａ〜１３ｃと同
様に回路基板Ｐに対して平行な平面内において任意に移
動し得、同カメラ１４で撮像した画像データが中央演算
処理ユニット（ＣＰＵ）２０に送られるようになってい
る。
段により、カメラ１４は各プローブ１３ａ〜１３ｃと同
様に回路基板Ｐに対して平行な平面内において任意に移
動し得、同カメラ１４で撮像した画像データが中央演算
処理ユニット（ＣＰＵ）２０に送られるようになってい
る。
【００１９】各プローブ１３ａ〜１３ｃも図示しない適
当なＩ／Ｏポートなどを介してＣＰＵ２０に接続される
が、この場合、同ＣＰＵ２０には画像処理部およびその
画像処理プログラムなどが格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ
Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、画像処理されたデータ
を記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅ
ｍｏｒｙ）とが設けられており、また、同ＣＰＵ２０に
は操作部２１とディスプレイ２２とが接続されている。
当なＩ／Ｏポートなどを介してＣＰＵ２０に接続される
が、この場合、同ＣＰＵ２０には画像処理部およびその
画像処理プログラムなどが格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ
Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、画像処理されたデータ
を記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅ
ｍｏｒｙ）とが設けられており、また、同ＣＰＵ２０に
は操作部２１とディスプレイ２２とが接続されている。
【００２０】まず、当初において、カメラ１４の１画素
あたりの移動量が例えば１２μｍに設定されているもの
とする。検査に先立って、その補正量を求めるには、カ
メラ移動手段に回路基板Ｐに設けられている基準マーク
Ｍの理論値的な中心座標Ｍ１（ｘ１，ｙ１）を与えてカ
メラ１４をその位置に移動させる。
あたりの移動量が例えば１２μｍに設定されているもの
とする。検査に先立って、その補正量を求めるには、カ
メラ移動手段に回路基板Ｐに設けられている基準マーク
Ｍの理論値的な中心座標Ｍ１（ｘ１，ｙ１）を与えてカ
メラ１４をその位置に移動させる。
【００２１】この場合、そのカメラ位置が基準マークＭ
と一致すれば何ら問題はないのであるが、通常はカメラ
の倍率やその他の誤差要因により、図３（Ａ）に示され
ているように、カメラ１４が移動させられた位置Ｍｉと
実際の基準マークＭの位置が異なる。
と一致すれば何ら問題はないのであるが、通常はカメラ
の倍率やその他の誤差要因により、図３（Ａ）に示され
ているように、カメラ１４が移動させられた位置Ｍｉと
実際の基準マークＭの位置が異なる。
【００２２】そこで、同カメラ１４にてその基準マーク
Ｍを撮像するとともに、例えば２値化重心法などの画像
処理法にてその中心座標Ｍ２（ｘ２，ｙ２）を画素単位
で求める。そして、カメラ１４を画素単位で同中心座標
Ｍ２（ｘ２，ｙ２）上に移動させる（図３（Ｂ）参
照）。
Ｍを撮像するとともに、例えば２値化重心法などの画像
処理法にてその中心座標Ｍ２（ｘ２，ｙ２）を画素単位
で求める。そして、カメラ１４を画素単位で同中心座標
Ｍ２（ｘ２，ｙ２）上に移動させる（図３（Ｂ）参
照）。
【００２３】なお、基準マークＭがカメラ１４の視野内
に収まっていれば、画像処理によりその中心座標Ｍ２を
求めることが可能であるが、基準マークＭがカメラ１４
の視野外である場合には、上記の理論的中心座標を設定
し直して再度カメラ１４を移動させることになる。
に収まっていれば、画像処理によりその中心座標Ｍ２を
求めることが可能であるが、基準マークＭがカメラ１４
の視野外である場合には、上記の理論的中心座標を設定
し直して再度カメラ１４を移動させることになる。
【００２４】これらの処理はＣＰＵ２０内で行なわれる
が、これと並行してＣＰＵ２０は上記第１および第２移
動手段より、カメラ１４が回路基板上において実際に移
動した実際の距離データを得る。
が、これと並行してＣＰＵ２０は上記第１および第２移
動手段より、カメラ１４が回路基板上において実際に移
動した実際の距離データを得る。
【００２５】その距離データから、カメラ１４のＸ軸方
向に移動した距離をｌｘ、Ｙ軸方向に移動した距離をｌ
ｙとすれば、中心座標Ｍ１，Ｍ２間におけるＸ軸方向の
画素数は｜ｘ１−ｘ２｜、Ｙ軸方向の画素数は｜ｙ１−
ｙ２｜であるから、Ｘ軸方向におけるカメラ１４の単位
画素あたりの移動量はｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜、Ｙ軸方向
におけるカメラ１４の単位画素あたりの移動量はｌｙ／
｜ｙ１−ｙ２｜により得られ、当初設定された１画素あ
たり１２μｍの値の補正（キャリブレーション）が行な
われる。
向に移動した距離をｌｘ、Ｙ軸方向に移動した距離をｌ
ｙとすれば、中心座標Ｍ１，Ｍ２間におけるＸ軸方向の
画素数は｜ｘ１−ｘ２｜、Ｙ軸方向の画素数は｜ｙ１−
ｙ２｜であるから、Ｘ軸方向におけるカメラ１４の単位
画素あたりの移動量はｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜、Ｙ軸方向
におけるカメラ１４の単位画素あたりの移動量はｌｙ／
｜ｙ１−ｙ２｜により得られ、当初設定された１画素あ
たり１２μｍの値の補正（キャリブレーション）が行な
われる。
【００２６】このようにして、ディスプレイ上の１画素
あたりのカメラ移動量が正確に検出され、その値をもっ
てカメラの位置補正などが行なわれる。この他に、この
実施例ではカメラがプローブピンと同様にＸ−Ｙ方向に
任意に移動可能であるため、回路基板の細部までをも精
度よく外観検査することができる。
あたりのカメラ移動量が正確に検出され、その値をもっ
てカメラの位置補正などが行なわれる。この他に、この
実施例ではカメラがプローブピンと同様にＸ−Ｙ方向に
任意に移動可能であるため、回路基板の細部までをも精
度よく外観検査することができる。
【００２７】なお、上記実施例ではカメラ側を移動させ
ているが、場合によってはカメラ側を固定とし、回路基
板側を移動させるようにしてもよい。また、回路基板に
設けられている基準マーク（フィデューシャルマーク）
を用いているが、他のマークや場合によっては実装部品
などを基準として用いてもよい。
ているが、場合によってはカメラ側を固定とし、回路基
板側を移動させるようにしてもよい。また、回路基板に
設けられている基準マーク（フィデューシャルマーク）
を用いているが、他のマークや場合によっては実装部品
などを基準として用いてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、基準マークが見える視野内においてカメラ（もしく
は回路基板）を少なくとも１回移動させることにより、
従来のような専用の治具を用いることなく、ディスプレ
イの１画素に対応するカメラの移動量を簡単かつ正確に
検出し、補正することができる。
ば、基準マークが見える視野内においてカメラ（もしく
は回路基板）を少なくとも１回移動させることにより、
従来のような専用の治具を用いることなく、ディスプレ
イの１画素に対応するカメラの移動量を簡単かつ正確に
検出し、補正することができる。
【図１】この発明が適用される回路基板検査装置の一実
施例を模式的に示した平面図。
施例を模式的に示した平面図。
【図２】同実施例においてカメラの取り付け状態を示し
た斜視図。
た斜視図。
【図３】この発明の動作を説明するための説明図。
【図４】従来例を説明するための模式図。
【図５】同従来例に使用される専用治具およびそれによ
る移動量検出方法を説明するための模式図。
る移動量検出方法を説明するための模式図。
１０ａ〜１０ｃ ガイドレール １１ａ〜１１ｃ アーム １２ａ〜１２ｄ 可動部 １３ａ〜１３ｃ プローブ １４ カメラ ２０ ＣＰＵ ２１ 操作部 ２２ ディスプレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 1/00 Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｕ 8315−4Ｅ (72)発明者 高橋 博之 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日置 電機株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 回路基板と平行な平面内でＸ−Ｙ方向に
移動し得る外観検査用のカメラと、同カメラにて撮像さ
れた画像が表示されるディスプレイを含む画像処理手段
と、上記カメラをＸ−Ｙ方向に移動させるカメラ移動手
段とを備え、上記ディスプレイの１画素に対応する上記
カメラの単位移動量を補正する回路基板検査装置におけ
る外観検査用カメラの単位移動量補正方法であって、上
記カメラ移動手段に上記回路基板に設けられている基準
マークの理論的な中心座標（ｘ１，ｙ１）を与えて上記
カメラをその位置に移動させて、同基準マークを撮像す
るとともに、上記画像処理手段にて同基準マークの実際
の中心座標（ｘ２，ｙ２）をその画素単位で求めた後、
上記カメラを画素単位でその中心座標（ｘ２，ｙ２）上
に移動させて、上記カメラ移動手段によりその際の上記
回路基板上における上記カメラのＸ軸方向移動距離ｌｘ
とＹ軸方向の移動距離ｌｙを得、ｌｘ／｜ｘ１−ｘ２｜
およびｌｙ／｜ｙ１−ｙ２｜の演算により、Ｘ軸方向と
Ｙ軸方向それぞれについての上記カメラの１画素単位あ
たりの移動量を検出し、この値をもって上記カメラの移
動量を補正することを特徴とする回路基板検査装置にお
ける外観検査用カメラの単位移動量補正方法。 - 【請求項２】 上記カメラ側を固定とし、上記回路基板
側を移動させるようにしたことを特徴とする請求項１に
記載の回路基板検査装置における外観検査用カメラの単
位移動量補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5309945A JPH07140088A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5309945A JPH07140088A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07140088A true JPH07140088A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17999247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5309945A Pending JPH07140088A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 回路基板検査装置における外観検査用カメラの単位移動量補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07140088A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989527A (ja) * | 1995-09-27 | 1997-04-04 | Ntn Corp | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 |
| JP2013096863A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Shimadzu Corp | キャリブレーション方法および基板検査装置 |
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| JP2018190848A (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 基板作業機 |
| CN113945363A (zh) * | 2021-10-20 | 2022-01-18 | 重庆市天实精工科技有限公司 | 检测摄像头模组传感器位移性能的方法 |
-
1993
- 1993-11-15 JP JP5309945A patent/JPH07140088A/ja active Pending
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