JPS61194305A - 形状検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、被検査物をカメラでＷｉ像してその被検査物
の形状を検査する形状検査装置に関する。

［従来技術］ 従来この種の形状検査装置においては、被検査物をカメ
ラにより撮像して得た撮像信号を画像処理して被検査物
二次元パターンを作成し、その被検査物二次元パターン
を形成する画素数を演算すると共に、予め定められた標
準二次元パターンを形成する画素数とを比較し、両二次
元パターンを形成する画素数の差が所定の画素数以内か
否かを判定して被検査物の形状の良否を判定していた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記のように被検査物の二次元パターンを形成する画素
数と標準二次元パターンを形成する画素数との比較を行
うものにおいては、例えば被検査物に歪が生じている場
合にも被検査物を二次元パターン化した際、標準二次元
パターンと略同−画素数で形成されていれば、被検査物
の良否の判定が良と判定されることがあるだけでなく、
被検査物にパリ及び欠番ノが同時に生じ、そのパリ及び
欠けが夫々略同−画素数で形成されている場合にも被検
査物は良と判定されることがあり、正確な形状検査を行
うことができない等の問題点があった。

［発明の目的］ 本発明は上記の従来の問題点を解消するものであり、被
検査物の形状を正確に検査することができる形状検査＠
置を提供することを目的とする。

Ｅ問題点を解決するための手段及び作用］上記の目的を
達成するために本発明においては、第１図に示すように
、カメラ１２からの搬像信号を画像処理する被検査物パ
ターン化手段ａにより作成された被検査物二次元パター
ンと記憶手段すに記憶された標準二次元パターンとの相
通画素数を求める演算手段Ｃが設けられると共に、その
相違画素数より被検査物１０の良否を判定する判定手段
ｄが設けられ、前記標準二次元パターンと被検査物二次
元パターンとを演算手段Ｃにより各画素毎に比較照合し
てそれらの排他的論理和を取りその排他的論理和より相
違画素数を求め、その相違画素数が所定の画素数以内か
判定手段ｄにより判定して被検査物１０の良否を判定す
るものである。

［実施例］ 以下に本発明を具体化した一実施例を第２図乃至第７図
を参照して詳細に説明する。

形状検査装置は、被検査物１０を所定位置に保持するテ
ーブル（図示せず）と、被検査物１０の上方に配設され
たカメラ１２と、そのカメラ１２に接続されたマイクロ
コンピュータ１８と、そのマイクロコンピュータ１．８
に接続された表示部としてのＣＲＴ２０とより構成され
ている。前記マイクロコンピュータ１８は、中央処理装
置１（以下ＣＰＵという）１４と、制御プログラム及び
被検査物１０の標準二次元パターンデータ等各種データ
が記憶されたメモリ１６とより構成されている。

前記ＣＰＬＪ１４には、テーブル上の被検査物保持位置
近傍に配設された位置決め完了検出スイッチ１９が接続
され、被検査物１０がテーブル上の被検査物保持位置に
位置決めされた時、位置決め完了検出スイッチ１９が作
動されて、その検出信号がＣＰＵ１４に入力されるよう
に構成されている。

この形状検査装置は、第５図に示す銀白色の円柱状上部
１０ａとその上部１０ａよりも大なる径を有する黒色の
円柱状下部１０ｂとより構成された被検査物１０の上端
面の形状を検査するものである。

次に、本実施例の作用を第３図に示すフローチャートに
従って説明する。

電源が投入されると、ＣＰｔＪ１４は、制御プログラム
に従って作動され、まずステップＳＯを実行し、被検査
物１０がテーブル上の被検査物保持位置、すなわちカメ
ラ１２の撮像位置に位置決めされた時に出力される位置
決め完了検出スイッチ１９の検出信号があるかどうかの
確認を行う。

ここ１、テーブルの被検査物保持位置に被検査物１０が
適宜の搬送ロボット（図示せず）によって位置決めされ
ると、位置決め完了検出スイッチ１９が作動されて検出
信号がＣＰＬＪ１４に入力されるため、ＣＰＬＪ１４は
次のステップＳ１を実行する。ステップＳ１においてＣ
ＰＵ１４は、カメラ１２により撮像された被検査物１０
の撮像信号を入力すると共に、その撮像信号を２値化し
て被検査物１０の明るい上面とその他の暗い部分とを分
離することにより被検査物二次元パターン２２を作成し
、その被検査物二次元パターン２２をメモリ１６内の所
定のエリアに記憶する。次にステップＳ２が実行され、
被検査物二次元パターン２２とメモリ１６内に予め記憶
されている標準二次元パターン２４とを第６図に示すよ
うにＣＲＴ２０に表示させると共に、それらの両パター
ンを各画素毎に比較照合して第４図に示すように、それ
らの排他的論理和を取り、その結果を表示データとして
メモリ１６内の所定のエリアに記憶する。

次にステップＳ３において、前記排他的論理和を取った
結果、「明」となった画素数、すなわち被検査物二次元
パターン２２と標準二次元パターン２４とが一致しなか
った相違画素数をカウントし、ステップＳ４で相違画素
数が許容画素数以内が否かの判定を行う。その相違画素
数が許容画素数より多いと判定された場合には、ステッ
プｓ６が実行され、第７図に示すようにＣＲＴ２ｏに前
記両パターン２２．２４の相違部分２６の形状のみを表
示すると共に、ＣＲＴ２０の右下に「不良品」と表示す
る。また、相違画素数が許容画素数以内と判定された場
合には、ステップＳ５が実行され、ステップＳ６と同様
に相違部分２６の形状を表示すると共に、ＣＲＴ２０の
右下に「良品」と表示する。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明は、被検査物の二次元パター
ンと標準二次元パターンとの間で排他的論理和を取って
両パターンの相違画素数を求め、その相違画素数により
被検査物の良否の判定を行うようにしたので、パリ、欠
けを有するにも拘らずパリ、欠けを有しない良品の被検
査物と同−撮像面積を有する不良品の被検査物も確実に
判定できて、常に正確な形状検査を行うことができる効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のクレーム対応図、第２図は本発明の一
実施例の回路構成を示すブロック図、第３図は作用を説
明するフローチャート、第′″４図は被検査物二次元パ
ターンと標準二次元パターンとの排他的論理和の表示様
式を示す図、第５図は被検査物を示す斜視図、第６図は
ＣＲＴに表示された被検査物二次元パターンと標準二次
元パターンとを示す図、第７図はＣＲＴに表示された両
パターンの相違部分の形状を示す図である。 図中、１０は被検査物、１２はカメラ、２２は被検査物
二次元パターン、２４は標準二次元パターンである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査物（１０）をカメラ（１２）で撮像してその被検
   査物（１０）の形状を検査する形状検査装置において、 前記カメラ（１２）からの撮像信号を画像処理して被検
   査物二次元パターン（２２）を作成する被検査物パター
   ン化手段（ａ）と、 前記被検査物（１０）の標準二次元パターン（２４）を
   記憶する記憶手段（ｂ）と、 その標準二次元パターン（２４）と前記被検査物二次元
   パターン（２２）とを各画素毎に比較照合してそれらの
   排他的論理和を取り、その排他的論理和よりそれらの相
   違画素数を求める演算手段（ｃ）と、 その演算手段（ｃ）によって求められた相違画素数が所
   定の画素数以内か判定し被検査物（１０）の良否を判定
   する判定手段（ｄ）と を備えていることを特徴とする形状検査装置。