JP6421722B2 - 画像処理装置、校正方法および校正プログラム - Google Patents
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Description
ステージ座標系でのY座標を Y2=sinα×β(X1−X0)、
カメラ座標系でのy座標を y2=sinα×β(x1−x0)+cosα×β(y1−y0)+y0、
としたが、これに限らず、ステージ座標系におけるY2を、X1に代えてステージ座標系の任意のX軸の値X3とし、そのX3に対して前述の相対角度α、相対倍率βの関係を当てはめたY座標の値とし、そのときのカメラ座標系におけるy2を、上記ステージ座標系の値X3に対応するカメラ座標系のx軸の値x3とし、x3に対して前述の相対角度α、相対倍率βの関係を当てはめたy座標の値を用いてもよい。
画像処理装置100の制御ブロック(特に処理部101)は、集積回路(ICチップ)等に形成された論理回路(ハードウェア)によって実現してもよいし、CPU(Central Processing Unit)を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
10 ワーク
100 画像処理装置
102,104 カメラ(撮像装置)
113 操作部(UI)
114 表示部(UI)
200 モーションコントローラ
300 Xステージ(第1ステージ)
400 Yステージ(第2ステージ)
500 θステージ(第3ステージ)
α 相対角度
β 相対倍率
Claims (14)
- 第1方向に移動する第1ステージと前記第1ステージから独立して第2方向に移動する第2ステージとから構成されるステージ座標系と、前記第1ステージ上の目印または前記第1ステージに載置された対象物上の目印を第1目印の画像として得ることが可能な第1撮像装置のカメラ座標系との位置校正を行う画像処理装置であって、
ステージの機械的な特性値と位置校正パラメータを記憶するメモリと、
前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第1目印の位置と前記特性値とから前記位置校正パラメータを計算する処理部とを備え、
前記処理部は、
前記第1ステージが第1基準位置にある時に前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の第1目印の位置を示す第1画像座標空間内基準位置を取得し、
前記第1ステージが前記第1基準位置から前記第1方向に移動して第1移動位置にある時に前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第1目印の位置を示す第1画像座標空間内移動位置を取得し、
前記第1目印を前記ステージ座標系の第1仮想位置に移動したと仮定した場合、前記メモリ内の前記第2ステージの特性値を用いて、前記第1仮想位置の前記第1目印を仮想的に撮像したら得られる第1画像座標空間内仮想位置を計算し、
前記第1基準位置と前記第1移動位置と前記第1仮想位置と前記第1画像座標空間内基準位置と前記第1画像座標空間内移動位置と前記第1画像座標空間内仮想位置とから第1位置校正パラメータを計算し、
前記第1位置校正パラメータを前記メモリに記憶する画像処理装置。 - 前記特性値には、前記第1方向に対する前記第2方向の相対角度と、前記第1ステージに対する前記第2ステージの移動量の相対倍率との少なくとも1つが含まれる請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記処理部は、前記第1画像座標空間内基準位置を、前記第1画像座標空間内移動位置の方向に、前記第1画像座標空間内移動位置および前記第1画像座標空間内基準位置間の距離に前記相対倍率を乗算して得られる値だけ進めた位置を画像座標空間内補正位置とし、
前記画像座標空間内補正位置を、前記第1画像座標空間内基準位置を中心として、前記相対角度だけ回転させた位置が、前記第1画像座標空間内仮想位置として計算することを特徴とする請求項2に記載の画像処理装置。 - 入力情報を受付ける入力部をさらに有し、
前記入力部は、前記特性値をユーザから受け付けることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の画像処理装置。 - 前記第2ステージ上の目印または前記第2ステージに載置された対象物上の目印を第2目印の画像として得ることが可能な第2撮像装置をさらに含み、
前記処理部は、
前記第2ステージが第2基準位置にある時に前記第2撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第2目印の位置を示す第2画像座標空間内基準位置を取得し、
前記第2ステージが前記第2基準位置から前記第2方向に移動して第2移動位置にある時に前記第2撮像装置を用いて撮像した画像上の第2目印の位置を示す第2画像座標空間内移動位置を取得し、
前記メモリ内の前記第1ステージの特性値から計算される第2仮想位置に移動した場合の画像上の前記第2目印の位置を示す第2画像座標空間内仮想位置を計算し、
前記第2基準位置と前記第2移動位置と前記第2仮想位置と前記第2画像座標空間内基準位置と前記第2画像座標空間内移動位置と前記第2画像座標空間内仮想位置とから第2位置校正パラメータを計算し、
前記第2位置校正パラメータを前記メモリに記憶する請求項1から4のいずれか1項に記載の画像処理装置。 - 値を出力する出力部をさらに有し、
前記処理部は、
前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第1目印の位置と前記第1位置校正パラメータとを用いて、前記第1目印のステージ座標系の位置を計算し、
前記第2撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第2目印の位置と前記第2位置校正パラメータとを用いて前記第2目印のステージ座標系の位置を計算し、
前記第1目印と前記第2目印とのステージ座標系の差分を計算し、
前記出力部は、当該差分を出力する請求項5に記載の画像処理装置。 - 値を出力する出力部をさらに有し、
前記処理部は、
前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第1目印の位置と前記第1位置校正パラメータとを用いて、前記第1目印のステージ座標系の位置を計算し、
前記第2撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第2目印の位置と前記第2位置校正パラメータとを用いて前記第2目印のステージ座標系の位置を計算し、
前記出力部は、前記第1目印の位置および前記第2目印の位置を出力する請求項5に記載の画像処理装置。 - 前記第1ステージと連動し、かつ回転可能な第3ステージをさらに含み、
前記処理部は、
前記第1ステージ上の目印または前記第1ステージに載置された対象物上の目印または前記第3ステージ上の目印または前記第3ステージに載置された対象物上の目印のいずれかの目印を、前記第3ステージが第3基準位置にある時に前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の目印の位置を示す第3画像座標空間内基準位置を取得し、
前記第3ステージが前記第3基準位置から所定角だけ回転した時の画像上の目印の位置を示す第3画像座標空間内移動位置を取得し、
前記第3画像座標空間内基準位置、前記第3画像座標空間内移動位置、および前記所定角を用いて前記第3ステージの回転中心位置を計算し、
前記回転中心位置を前記メモリに記憶する請求項1から7のいずれか1項に記載の画像処理装置。 - 値を出力する出力部をさらに有し、
前記処理部は、前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の目印の位置から所定の目標位置に移動させるために必要な前記第3ステージの回転角を計算し、
前記出力部は、当該回転角を出力する請求項8に記載の画像処理装置。 - 第1方向に移動する第1ステージと前記第1ステージから独立して第2方向に移動する第2ステージとから構成されるステージ座標系と、前記第1ステージ上の目印または前記第1ステージに載置された対象物上の第1目印を画像として得ることが可能な第1撮像装置のカメラ座標系との位置校正を、画像処理装置の処理部が実行する位置校正方法であって、
前記処理部が処理するステップは、
前記第1ステージが第1基準位置にある時に前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の第1目印の位置を示す第1画像座標空間内基準位置を取得するステップと、
前記第1ステージが前記第1基準位置から前記第1方向に移動して第1移動位置にある時に前記第1撮像装置を用いて撮像した画像上の前記第1目印の位置を示す第1画像座標空間内移動位置を取得するステップと、
前記第2ステージの特性値から計算される第1仮想位置に移動した場合の画像上の前記第1目印の位置を示す第1画像座標空間内仮想位置を計算するステップと、
前記第1基準位置と前記第1移動位置と前記第1仮想位置と前記第1画像座標空間内基準位置と前記第1画像座標空間内移動位置と前記第1画像座標空間内仮想位置とから第1位置校正パラメータを計算するステップとを含む位置校正方法。 - 前記第2ステージ上の目印または前記第2ステージに載置された対象物上の目印を画像として得ることが可能な第2撮像装置との第2位置校正に切り替えるステップと、
前記第2ステージが第2基準位置にある時の画像上の目印の位置を示す第2画像座標空間内基準位置を取得するステップと、
前記第2ステージが前記第2基準位置から前記第2方向に移動して第2移動位置にある時の画像上の目印の位置を示す第2画像座標空間内移動位置を取得するステップと、
前記第1ステージの特性値から計算される第2仮想位置に移動した場合の画像上の目印の位置を示す第2画像座標空間内仮想位置を計算するステップと、
前記第2基準位置、前記第2移動位置、前記第2仮想位置、前記第2画像座標空間内基準位置、前記第2画像座標空間内移動位置、および前記第2画像座標空間内仮想位置を用いて第2位置校正パラメータを計算するステップとを含む請求項10に記載の位置校正方法。 - 前記第1ステージと連動し、かつ回転可能な第3ステージを含むステージ座標系と前記第1撮像装置のカメラ座標系との第3位置校正に切り替えるステップと、
前記第3ステージが第3基準位置にある時に、前記第1ステージ上の目印、または前記第1ステージに載置された対象物上の目印、または前記第3ステージ上の目印、または前記第3ステージに載置された対象物上の目印のいずれかの目印を前記第1撮像装置を用いて撮像し、画像上の目印の位置を示す第3画像座標空間内基準位置を取得するステップと、
前記第3ステージが第3基準位置から所定角だけ回転した時の画像上の目印の位置を示す第3画像座標空間内移動位置を取得するステップと、
前記第3画像座標空間内基準位置、前記第3画像座標空間内移動位置、および前記所定角を用いて前記第3ステージの回転中心を計算する第3位置校正を行うステップとを含む請求項10または11に記載の位置校正方法。 - 請求項10から12のいずれか1項に記載の各ステップを処理部に実行させるプログラム。
- 第1方向に移動する第1ステージと前記第1ステージから独立して第2方向に移動する第2ステージと、前記第1ステージおよび前記第2ステージの動作制御を行う動作制御装置と、第1ステージ上の目印または前記第1ステージに載置された対象物上の目印を画像として得ることが可能な第1撮像装置と、前記画像を処理する画像処理装置とを備えた工業装置であって、
前記画像処理装置は、前記第1ステージが第1基準位置にある時の画像上の目印の位置を示す第1画像座標空間内基準位置と、前記第1ステージが前記第1基準位置から前記第1方向に移動して第1移動位置にある時の画像上の目印の位置を示す第1画像座標空間内移動位置と、第1仮想位置に移動した場合に前記第2ステージの特性値から算出される画像上の目印の位置を示す第1画像座標空間内仮想位置とを用いて前記第1ステージおよび前記第2ステージのステージ座標系と前記第1撮像装置のカメラ座標系との位置校正を行い、この位置校正の結果のステージ座標系の座標を前記動作制御装置に出力する工業装置。
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