JP7186356B2 - ウェーハチャック及びウェーハ保持装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明のウェーハ保持装置として機能するプローバ10の概略図である。なお、図中のX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は互いに直交している。
図3はウェーハチャック26の外観斜視図である。図4はウェーハチャック26の上面図である。図5はウェーハチャック26の分解斜視図である。図3から図5に示すように、ウェーハチャック26は、ポーラス板40と、このポーラス板40が接合されるベース部材42(基台ともいう)とを備える。
以上のように本実施形態では、外嵌枠48の内周面に第1抜け穴74及び各第2抜け穴76を形成することにより、保持面40a上でのダイシングフレームF等の保持の有無に応じてバキュームセンサ68により検出される圧力値の差を大きくすることができる。これにより、保持面40a上でのダイシングフレームF等の保持の有無を正確に判定することができる。また、外嵌枠48の内周面に第1抜け穴74及び各第2抜け穴76を形成するだけでよく、ポーラス板40に耐熱仕様等の特別な検出センサを設ける必要がなくなるので、ウェーハチャック26のコスト上昇が防止される。その結果、目の細かいポーラス板40の保持面40a上でのダイシングフレームF等の保持の有無を低コスト且つ正確に判定することができる。
上記実施形態では、外嵌枠48に第2抜け穴76を複数形成しているが、第2抜け穴76の数は特に限定されるものではなく、例えば1個であってよい。また、外嵌枠48に第2抜け穴76を形成することなく第1抜け穴74のみを形成してもよい。ただし、既述のバキュームセンサ68により検出される圧力値の差を大きくしたり、或いはプローバ10のスループットの低下を防止したりという効果をより高めるためには、外嵌枠48に第2抜け穴76を形成することが好ましい。
26…ウェーハチャック,
40…ポーラス板,
40a…保持面,
42…ベース部材,
46…接合面,
48…外嵌枠,
50…第1溝,
52…吸引孔,
56…エア流路,
60…接続路,
62…真空源,
66…電磁弁,
68…バキュームセンサ,
70…制御装置,
74…第1抜け穴,
76…第2抜け穴,
80…吸引孔,
82…第2溝
Claims (8)
- 多孔質材料で形成され且つウェーハを保持する保持面を有する吸着板と、
前記吸着板の前記保持面とは反対面側が接合される接合面であって且つ複数の第1溝が形成された接合面を有するベース部材と、
前記ベース部材の内部に形成されたエア流路であって、前記第1溝と吸引源とを連通するエア流路と、
前記接合面の外周部に形成され且つ前記吸着板の外周面に外嵌された環状の外嵌枠と、
前記外嵌枠の内周面側に形成され且つ前記吸着板の厚み方向に対して平行な方向に延びた第1抜け穴であって、前記エア流路に連通している第1抜け穴と、
を備えるウェーハチャック。 - 前記保持面が、ダイシングテープを介して前記ウェーハがマウントされているダイシングフレームを保持し、
前記保持面に前記ダイシングフレームが保持されている場合に、前記第1抜け穴が前記ダイシングテープにより覆われる請求項1に記載のウェーハチャック。 - 前記外嵌枠の内周面側において前記第1抜け穴とは異なる位置に形成され且つ前記厚み方向に対し平行な方向な延びた1又は複数の第2抜け穴と、
前記接合面に形成され且つ前記第1抜け穴と前記第2抜け穴とを連通する第2溝と、
を備える請求項1又は2に記載のウェーハチャック。 - 前記保持面が、ダイシングテープを介して前記ウェーハがマウントされているダイシングフレームを保持し、
前記保持面に前記ダイシングフレームが保持されている場合、前記第2抜け穴が前記ダイシングテープにより覆われる請求項3に記載のウェーハチャック。 - 前記第1抜け穴及び前記第2抜け穴がセミシリンドリカル形状に形成されている請求項3又は4に記載のウェーハチャック。
- 前記第2溝が、前記接合面において前記吸着板の外周面と前記外嵌枠の内周面との境界線に沿った形状を有する請求項3から5のいずれか1項に記載のウェーハチャック。
- 前記エア流路が、少なくとも圧力センサ又は流量センサを備える接続路を介して、前記吸引源に接続されている請求項1から6のいずれか1項に記載のウェーハチャック。
- 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のウェーハチャックと、
吸引源と、
前記エア流路と前記吸引源とを接続する接続路と、
前記接続路の途中に設けられた圧力センサ又は流量センサと、
前記圧力センサ又は前記流量センサの検出結果に基づき、前記保持面による前記ウェーハの保持の有無を判定する判定部と、
を備えるウェーハ保持装置。
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