JP2019149447A - プローバ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- コンタクト部を有するテストヘッドと、
複数のプローブを有するプローブカードと、
前記テストヘッドと前記プローブカードとの間に配置され、前記複数のプローブを前記コンタクト部に電気的に各々接続する複数のコンタクトピンを有するインターフェイスと、
を備え、
前記コンタクトピンは、
軸状のばね部と、
前記ばね部の一端に形成されて前記コンタクト部に接触する軸状の第1接触部と、
前記ばね部の他端に形成されて前記プローブカードに接触する軸状の第2接触部と、
を有し、
前記ばね部、前記第1接触部及び前記第2接触部は一体構成物である、プローバ。 - 前記インターフェイスには、複数のピンユニットが着脱自在に取り付けられ、前記複数のピンユニット毎に複数の前記コンタクトピンが設けられている、請求項1に記載のプローバ。
- 前記テストヘッドと前記インターフェイスとの間には、リング状の第1シール部材が設けられ、
前記インターフェイスと前記プローブカードとの間には、リング状の第2シール部材が設けられ、
前記テストヘッドと前記インターフェイスと前記第1シール部材とによって囲まれた内部空間、及び前記インターフェイスと前記プローブカードと前記第2シール部材とによって囲まれた内部空間を各々減圧することにより、前記テストヘッド、前記インターフェイス及び前記プローブカードが一体化される、請求項1又は2に記載のプローバ。
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